【課題】カラーフィルタ基板の研磨時に、膜厚（色度）に面内分布が生じた際、処理基板にかかる荷重を局所的に変更することで、研磨処理における膜厚（色度）バラツキを軽減でき、過研磨部と研磨不足の部分の発生を抑え、ワーク表面の均一性を出し、製品収率の向上が可能なカラーフィルタ基板研磨機及び研磨方法を提供する。
【解決手段】テンプレート７にはマグネットプレートが具備されており、テンプレート７はマグネットプレートの磁気により平盤研磨機の上定盤３に着脱可能に保持され、選択された領域のマグネットプレートの厚みを調整することでテンプレート７の板厚を所定の厚み分布に調整する。 （もっと読む）

【課題】フィレットローリング加工時にフィレットローラに欠けなどの破損が発生することを抑制可能なフィレットローリング加工装置及び加工方法を提供する。
【解決手段】フィレットローリング加工装置（１００）は、フィレット溝部Ｆにフィレットローラ（５）を圧接しながら、クランクシャフトＳを回転することによりフィレットローリング加工を行う。特に、低圧力値でフィレットローラ（５）をフィレット溝部Ｆに圧接しながら、低回転速度でクランクシャフトＳを回転駆動することにより、フィレット溝部Ｆの表面上に存在する凹凸を平滑化した後に、フィレットローリング加工を行うように制御する制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は研磨パッドの全面に研磨用液を安定供給することを課題とする。
【解決手段】研磨用液供給装置１００は、研磨用液を貯留する液貯留部１１０と、液貯留部１１０に研磨用液を補給する液補給部１２０と、両面研磨装置２００の上定盤２０１と下定盤２０２との間に研磨用液を供給する複数の液供給チューブ１３０とを有する。液貯留部１１０は、環状に形成された多重溝１４０と、多重溝１４０を支持する支持部材１６０とを有する。多重溝１４０は、内側溝部材１４２と、外側溝部材１４４とが同心円状に配されている。内側溝部材１４２及び外側溝部材１４４は、複数の液供給チューブ１３０を通して上定盤２０１に保持された上側研磨パッド３３０に連通される。 （もっと読む）

【課題】 表面がテーパ面に形成された対象物の表面の研磨作業を短時間で効率よく行うことができる装置を提供する。
【解決手段】 表面がテーパ面に形成された円柱状又は円筒状の対象物５０の表面を研磨する研磨装置１であって、前記対象物５０に取り付けられて、前記対象物５０の軸線方向に移動可能な装置本体２と、該装置本体２を前記対象物５０の軸線方向に移動可能に支持するとともに、前記対象物５０の径方向に進退可能な複数の支持ローラ１２を有する移動手段１０と、前記装置本体２に設けられるとともに、前記対象物５０の周方向に回転可能な回転部２５と、該回転部２５を前記対象物５０の周方向に回転させる回転手段３３と、該回転部２５に設けられるとともに、前記対象物５０の表面を研磨可能、かつ前記対象物５０の径方向に進退可能な研磨ブラシ４５を有する研磨部３５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】研磨時の被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥が少なく、かつ、被鏡面研磨面の表面粗さが小さくなる安定した研磨特性が得られる仕上げ用研磨パッドを提供する。
【解決手段】異なる２種以上の層からなる研磨シート（ａ）とクッション層（ｂ）からなる研磨パッドであって、前記研磨シート（ａ）の表層が湿式凝固法で得られるポリウレタンを主成分とする多孔質ポリウレタン層（ｃ）であり、その他の層のいずれかが圧縮弾性率が０．０８ＭＰa以上０．２５ＭＰａ以下の発泡プラスチック層（ｄ）からなる研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】矩形状の基板の両主表面を研削する場合に、研削後の基板の主表面形状を良好にし、かつ、当該研削を行う定盤の平坦度低下を抑制できるようにする。
【解決手段】両面研削装置の回転する上下両定盤３，４の研削面間にキャリアで保持された矩形状の基板２０を挟持して前記基板２０の両主表面を研削する研削工程において、前記キャリアは、１枚の基板２０を保持する基板保持部１７を備える内側キャリア１６と、前記内側キャリア１６を回動自在に保持するキャリア保持部１５を複数有する外側キャリア１３とからなり、前記研削工程は、前記外側キャリア１３を前記定盤３，４の回転軸を中心に公転かつ自転させ、前記基板２０の両主表面の一部領域が前記定盤３，４の外周端部よりも外周側を通過させて前記基板２０の両主表面を研削する。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴット等の硬脆物のスライス切断に使用されるワイヤーソーのソーワイヤーを新たな開発により、切断効率の向上、環境への負荷の低減、経済性の改善等をはかる。
【解決手段】ソーワイヤーのコアー材をバルブ金属からなるクラッド材で被覆し、必要があれば、クラッド層部に凹凸を形成した後、マイクロアーク酸化処理をほどこし、セラミックス層を形成することにより、砥粒粉を使用しないか、砥粒粉の使用量が極めて少なくて済むシリコンインゴッド等の硬脆物を切断できるソーワイヤーを提供するものである。 （もっと読む）

【課題】容易、確実且つ安全に保護管の切断作業が出来る動力工具を提供する。
【解決手段】既存の動力工具の先端を延長させて、延長部先端を略９０度に折り曲げ、折り曲げ先端部にダイヤモンドディスク１９を取り付けて既存の動力工具の駆動力によりダイヤモンドディスク１９を回転可能とし、ダイヤモンドディスク１９の外周に沿ってダイヤモンドディスク１９の外周縁の一部を被う保護カバー１５を、一定値以上の荷重を加えることにより回転可能に設けた動力切断工具Ａを設け、保護管Ｂの外側面に、長手方向に一定幅を有する開口部３２を設け、開口部３２から、動力切断工具Ａの折り曲げ先端部を挿入し、折り曲げ先端部のダイヤモンドディスク１９によって、保護管Ｂの内側から、保護カバー１５を常にケーブル３３側にして保護管Ｂの輪切り作業を前記開口部３２の端縁から行うこととした。 （もっと読む）

【課題】歯車の歯元円半径及び歯面をピーニングにより強化し、かつ耐摩耗性を高め、その後で振動仕上げ処理によりピーニングによる圧痕を減少させる。
【解決手段】第１ピーニング媒体を金属歯車の複数表面に衝突させ、歯車の歯元の強度と耐摩耗性を高め、次いで、第２ピーニング媒体に複数表面を曝すことにより歯車表面の圧縮応力（ＫＳＩ）を高め、容器内で精密仕上げ媒体を歯車と共に振動させた後、歯車を洗浄し、さび止め処理をする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の板厚の仕上がり寸法バラツキをバッチ間で抑えることができる、研磨装置の提供。
【解決手段】毎回同じ目標板厚値Ａに従ってガラス基板の研磨処理を行う研磨手段として上定盤４０を備える、研磨装置であって、上定盤４０によって今回の研磨処理で研磨されているガラス基板の研磨中板厚値Ｔｃを測定するために上定盤４０のモーター駆動軸６１に対する相対位置を計測する接触式変位センサ６５と、上定盤４０によって前回以前の研磨処理で研磨されたガラス基板の仕上がり板厚値Ｔと目標板厚値Ａとの仕上がり誤差に基づいて、接触式変位センサ６５の計測結果に基づいて得られた研磨中板厚値Ｔｃの板厚補正値Ｔｐを算出する制御部９０とを備え、上定盤４０は、板厚補正値Ｔｐが目標板厚値Ａに到達するまでガラス基板を研磨する、ことを特徴とする、研磨装置。 （もっと読む）

【課題】シール性能を高く保ちながら、空気注入装置の製造コストを低減できる研磨治具の空気供給方法を提供する。
【解決手段】空気注入口１６に、シール部材３４を有する注入口部材４を挿入する接続ステップと、空気出口３６から空気を吐出させる空気供給ステップとを有する。前記注入口部材４には、周壁４２と、第１、第２の側壁４３，４４とを有する環状溝４１が形成されている。シール部材３４は、Ｏリングからなり、環状溝４１の中に挿入される。前記接続ステップの終了後は、シール部材３４と周壁４２との間に隙間Ｓ２が形成され、第１の側壁４３とシール部材３４との間に隙間Ｓ１が形成され、第２の側壁４４にシール部材４３が接触する。空気供給ステップは、シール部材３４が空気圧で径方向外側に付勢され、シール部材３４の外周部が空気注入口１６の壁面１６ａに押し付けられる押圧ステップを含む。 （もっと読む）

【課題】包丁等の刃物の刃先を容易に研磨することができる電動構造の刃物用研ぎ機であって、刃物の研磨痕を刃先の辺に対して垂直方向に形成することによって切れ味の鋭い研磨痕を形成するようにした刃物用研ぎ機を提供する。
【解決手段】電動モータによって移動する研磨材が左右の傾斜板の間の離間部に露呈することによって、何れかの傾斜板の上面に刃面を当てた刃物の刃先を一対のガイドローラに摺動自在に当てた状態で、該刃物の刃先を傾斜板の角度調整による所定角度で研磨材に接触させ、左右の傾斜板の何れに刃物を載置したかによって、電動モータに接続された操作スイッチを正転又は逆転の状態に切り替えることにより、刃物の刃先を接触させた研磨材を刃先から遠ざかる方向へ垂直方向に回転するようにした。 （もっと読む）

【課題】被研磨物に対する保持力を確保し被研磨物の着脱を容易にすることができる保持材を提供する。
【解決手段】保持材１０は、湿式凝固法により作製されたポリウレタンシート２と、ポリウレタンシート２の表面に配置された保護層５とを備えている。ポリウレタンシート２は、スキン層２ａと、スキン層２ａより内部側にセル３が略均等に分散した状態で形成されたナップ層２ｂとを有している。保護層５は、湿式凝固法によるポリウレタンシート２の作製後にスキン層２ａを覆うように水性エマルジョン型ポリウレタン樹脂で形成されている。保護層５の表面が保持面Ｓを形成している。保護層５には、スキン層２ａの表面が部分的に露出する凹部５ａが形成されている。スキン層２ａの表面が保護層５で保護され、凹部５ａの形成により被研磨物に対する密着力が制限される。 （もっと読む）

【課題】被研磨物に対する保持力を確保し被研磨物の着脱を容易にすることができる保持材を提供する。
【解決手段】保持材１０は、湿式凝固法により作製されたポリウレタンシート２と、ポリウレタンシート２の表面に配置された保護層５とを備えている。ポリウレタンシート２は、スキン層２ａと、スキン層２ａより内部側に形成されたナップ層２ｂとを有している。ナップ層２ｂには、ポリウレタンシート２の厚み方向に沿って縦長の多数のセル３が形成されている。保護層５は、ポリウレタンシート２を形成するポリウレタン樹脂と比べて耐酸性および耐アルカリ性の大きな樹脂で形成されている。保護層５の表面が被研磨物を保持するための保持面Ｓを形成している。保護層５には、スキン層２ａの表面が部分的に露出した凹部５ａが形成されている。凹部５ａは、保持面Ｓ内で均等となるように形成されている。保護層５がスキン層２ａを保護する機能を果たす。 （もっと読む）

【課題】ボルト締結時にダミーヘッドが変形した場合でも、ビード部によるボアの周縁部への面圧を均一に加えることができるシリンダブロックの加工用治具および加工方法を提供する。
【解決手段】ダミーヘッド１００のシリンダブロック２００の上面への載置時、たとえばビード部１３０では、最厚部１３１が、隣接するボア２０１の同士の間の軸間部分に配置され、最薄部１３２が、その軸間部分から周方向に略９０度離れて配置される。ダミーヘッド１００のボルト締結時、本体１１０がボア２０１に向かう方向とは反対側に凸状に歪む。ビード部１３０の形状を本体１１０の変形を考慮した形状としているから、本体１１０の変形は、ビード部１３０の全ての部分１３１〜１３３がボア２０１の周縁部に当接した状態で行われる。 （もっと読む）

【課題】すぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備え、かつ、長期に亘って被削材の仕上げ面精度を維持することができる表面被覆ＴｉＣＮ基サーメット製切削インサートの製造方法を提供する。
【解決手段】原料粉末を成形、焼結することにより所定形状のＴｉＣＮ基サーメット製切削インサートを作製した後、その表面にウエットブラスト処理を施すことにより、インサート表面部の硬質相に４５０〜１０００ＭＰａの残留圧縮応力を付与すると同時にインサート表面粗さを、カットオフ値０．０８ｍｍにおける算術平均粗さＲａで０．２μｍ以下に平滑化し、その表面に、物理蒸着法にて硬質被覆層を蒸着形成することにより、すぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備え、かつ、長期に亘って被削材の仕上げ面精度を維持することができる表面被覆ＴｉＣＮ基サーメット製切削インサートを製造する。 （もっと読む）

【課題】研磨液を供給するために研磨剤を流通させる樋を使用する場合でも、研磨液の流通に阻害が生じにくく、安定的に研磨を行なうことができる円盤状基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】ガラス基板の主表面を研削する研削工程と、研削工程を経たガラス基板を研磨液を用いて研磨する研磨工程とを有する円盤状基板の製造方法であって、研磨工程に用いられる研磨機５０は、研磨液槽１０１から樋１０４を介してガラス基板に対して研磨液を供給されるとともに樋１０４の内面が撥水性被材によって被覆されていることを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリンダの内面における摩擦抵抗の低減及び耐焼き付き性の向上を図る。
【解決手段】シリンダ２の内面３ａに対し、砥石１１を備えたホーニングヘッド５を、軸方向に移動させつつ回転させて前記シリンダ２の内面にクロスハッチの溝を加工するホーニング加工方法において、前記ホーニングヘッド５の砥石１１を前記シリンダ２の内面３ａにおける軸方向の中央部並びにその両端側の上端部及び下端部に対応させて三分割し、中央部の砥石１１ａよりも上端部及び下端部の砥石１１ｂ，１１ｃの目の粗さを粗くすることにより、シリンダ２の内面３ａにおける中央部のクロスハッチ８ａの溝９を浅く加工し、上端部及び下端部のクロスハッチ８ｂ，８ｃの溝１０を中央部のクロスハッチ８ａのそれよりも深く加工する。 （もっと読む）

【課題】シリンダの内面における摩擦抵抗の低減及び耐焼き付き性の向上を図る。
【解決手段】シリンダ２の内面３ａに対し、砥石１１を備えたホーニングヘッド５を、軸方向に移動させつつ回転させて前記シリンダの内面にクロスハッチの溝を加工するホーニング加工方法において、前記ホーニングヘッド５の砥石１１を前記シリンダ２の内面３ａにおける軸方向の中央部並びにその両端側の上端部及び下端部に対応させて三分割し、これら中央部の砥石１１ａ，よりも上端部及び下端部の砥石１１ｂ，１１ｃを強く前記シリンダ２の内面３ａに押圧することにより、シリンダ２の内面３ａにおける中央部のクロスハッチ８ａの溝９を浅く加工し、上端部及び下端部のクロスハッチ８ｂの溝１０を中央部のクロスハッチ８ａの溝９よりも深く加工する。 （もっと読む）

【課題】量産性が高いグリーンボールの加工装置およびグリーンボールの加工方法を提供する。
【解決手段】グリーンボールの加工装置は、上加工定盤部と下加工定盤部とを備えている。上加工定盤部が第１の高さ位置にある状態で、上加工定盤部と下加工定盤部とは、下加工定盤部の第１の平面と上加工定盤部の第２の平面との間にグリーンボールを挟み込むための内部空間を有している。上加工定盤部は、第１の高さ位置で内部空間にグリーンボールを挿入するための挿入部を含んでいる。上加工定盤部と下加工定盤部とは、上加工定盤部が第１の高さ位置にある状態で内部空間にグリーンボールを保持でき、かつ上加工定盤部が第２の高さ位置にある状態で、グリーンボールを上加工定盤部と下加工定盤部との間の空間から排出できるように構成されている。下加工定盤部は、グリーンボールを下加工定盤部の第１の平面上から排出するための排出部を含み、排出部は内部空間の範囲外に構成されている。 （もっと読む）