【課題】ベルトコンベヤーシステム（１）として設計されコンベヤーベルト（５）を有し、少なくともその一部がコンベヤーローラ（２）に巻回されるコンベヤーシステム（１）であって、少なくともコンベヤーベルト（５）の巻回角度における半径を有し、これがコンベヤーローラ（２）の軸端部におけるコンベヤーローラ（２）の半径に実質的に等しいか又はこれより僅かに小さい軸受カップ（６）の少なくとも片側にコンベヤーローラ（２）が支持され、コンベヤーベルト（５）がコンベヤーローラ（２）の長さより軸方向に広く、コンベヤーローラ（２）と軸受カップ（６）との間の隙間（７）をコンベヤーベルト（５）によって塞ぐようにコンベヤーベルト（５）がコンベヤーローラ（２）上に配置されることを特徴とするコンベヤーシステム（１）を提供する。 （もっと読む）

【課題】第１に、基板材の揺れや蛇行が防止され、搬送トラブルが回避されて、安定した水平搬送が実現され、第２に、基板材の滑りも防止され、この面からも安定した水平搬送が実現され、第３に、しかもこれらが、基板材に擦り傷，傷痕，損傷等のダメージを与えることなく実現される、基板材のコンベアを提案する。
【解決手段】このコンベア３は、基板材Ａの表面処理装置１で使用される。表面処理装置１は、処理液Ｂの薬液槽５と、薬液槽５内で基板材Ａを液中搬送するコンベア３と、基板材Ａに処理液Ｂを液中噴射するスプレーノズルと、を有している。コンベア３は、基板材Ａの回路形成面Ｄには無接触で左右両側端面Ｅを上下で挟んで送る端面搬送ローラー８，９が、列設されており、端面搬送ローラー８，９としては、直進ローラーＲ１と斜めローラーＲ２が採用されると共に、その外周面には滑り止め加工が施されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の形状に応じてユニット化された搬送シャフトを組み合わせた、芯出しの調整が不要で、取り付けが簡単な基板搬送ローラ、及びそれを用いた基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】第１の搬送シャフト１００と、第２の搬送シャフト１１０と、第３の搬送シャフト１２０とを具備し、１つ以上の第１の搬送シャフト１００が同軸上にマグネットカップリングされ、該マグネットカップリングされた１つ以上の第１の搬送シャフト１００の片側に第２の搬送シャフト１１０がマグネットカップリングされ、その反対側に第３の搬送シャフト１２０がマグネットカップリングされて成る。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送を効率的に行うことができる基板搬送装置及びこれに使用されるガイドユニットを提供する。
【解決手段】複数のシャフト１４０を平行に配置し、各シャフト１４０に回転一体に搬送ローラを設ける。基板Ｓの搬送時に基板Ｓが側方向に揺れることを防止するためにガイドユニット２００を設ける。ガイドユニット２００にシャフト１４０を挿入する貫通孔を有する内輪２４０、内輪２４０を挿入する貫通孔を有する外輪２２０及び内輪２４０と外輪２２０とが互いの回転を妨害しないように両者間にベアリング２６０を設ける。外輪２２０の外周面から側方向にリング形状にガイド２３０を突出させ、外輪２２０の外周面を基板Ｓの底面エッジと接触させて基板Ｓを支持し、側面を基板Ｓの側面と接触させて基板Ｓが側方向に移動することを防止する。内輪２４０をシャフト１４０とともに回転させ、外輪２２０を基板Ｓとの摩擦力によって回転させる。 （もっと読む）

【課題】基板を所定の傾斜角度で搬送しながら処理する際に、基板の下端を支持するローラに傷等が発生することを抑制することができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板３を搬送しながら処理する処理装置１において、基板３を所定の角度で支持して搬送する搬送ローラ４と、この搬送ローラ４によって搬送される基板３の下端を支持する下端支持ローラ５とが処理室２内に配されており、搬送ローラ４をモータ８により回転駆動し、下端支持ローラ５を基板３の搬送に伴って連れ回る状態とする。 （もっと読む）

一実施例では、コンベヤベルトが、複数のローラセットを有しており、各ローラセットが第１のローラ及び第２のローラを有しており、第１及び第２のローラが、第１の角度方向への一方のローラの駆動により、第２の反対の角度方向に他方のローラが回転するように、互いに接触するよう配置されている。 （もっと読む）

１列に配置且つ搬送するための段差のある整列装置。整列装置が、搬送方向に進む中央コンベヤ及び２つの側方コンベヤを有している。コンベヤのローラが、コンベヤの厚さ方向を通って突出し、下に有る支持用軸受面の上に載ることで、コンベヤが搬送方向に進む際にローラが回転する。中央コンベヤのローラは、搬送方向に回転する。側方コンベヤのローラは、搬送方向に対して斜めの方向に回転し、ローラの上で搬送される物品が下流側に中央コンベヤに向けて導かれる。中央コンベヤのローラの上端は、垂直方向に側方の斜めのローラの上端に対して上下にオフセットしている。 （もっと読む）

【課題】表示用パネルを搬送するコンベアからなる搬送装置において、表示用パネルが搭載されるローラの位置を改良することにより、表示用パネルに局所的に負荷をかけないようにする。
【解決手段】表示用パネルの搬送方向に対して軸線方向が直交する駆動軸が、前記表示用パネルの搬送方向に所要間隔をあけて並列配置され、回転駆動される前記各駆動軸に軸線方向に間隔をあけてパネル搭載用のローラが外嵌固定されている搬送コンベアを備えた表示用パネルの搬送装置であって、前記表示用パネルの搬送方向におけるローラの配置位置を相違させ、搬送方向の２００００ｍｍの範囲内に、搬送方向において同一位置にローラを位置させず、搬送される前記表示用パネルに対する前記ローラからの負荷を分散させる構成としている。 （もっと読む）

【課題】ローラ本体と被固定部材の一体化および分解が容易であると共に、分解後にローラ本体や被固定部材を容易に再利用可能なローラ装置、並びに、ローラ装置の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】ローラ装置１は、ローラ本体２の両端に閉塞部材３が取り付けられている。閉塞部材３は、軸体挿通孔２２を有する閉塞部材本体１０と固定手段１１を有する。固定手段１１は、軸体挿通孔２２に挿通された軸体３０と、これに螺合されたテーパーナット３１とを有する。閉塞部材３は、ローラ本体２の端部に差し込まれた状態で軸体３０を回転させ、テーパーナット３１を軸体挿通孔２２内に侵入させることにより外周部２１がローラ本体２の内周面に押しつけられた状態となり、ローラ本体２に対して固定された状態になる。 （もっと読む）

【課題】装置構成がコンパクトで、物品の搬送方向を迅速かつ任意の方向に変更可能な搬送モジュール、並びに、当該搬送モジュールを備えた搬送装置の提供を目的とする。
【解決手段】搬送装置１は、搬送モジュール５０を主搬送経路２の中途に設けた構成とされている。搬送モジュール５０は、複数の搬送セル６０を２次元に配した構成とされており、そのそれぞれにモータ内蔵ローラ８０が設けられている。各モータ内蔵ローラ８０は、旋回軸を中心として旋回可能とされている。各搬送セル６０のモータ内蔵ローラ８０は、物品の搬送経路にあわせて旋回する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、磁着筒と回転軸との固着構造を簡単にすると共に、その応用範囲を拡大することを目的としたものである。
【解決手段】この発明は、回転軸にＯリングを嵌装固定し、該Ｏリングの外側へ、周壁にＮ、Ｓ永久磁石条を交互に設けた磁着筒を嵌装し、前記回転軸と、前記磁着筒とを、Ｏリングの弾力により固定したことを特徴とする磁着筒付回転軸により目的を達成した。 （もっと読む）

【課題】回転軸に対するホイール体の取り付けや調整などを作業性良く容易に行え、取り付け姿勢を常に安定できるコンベヤ装置を提供する。
【解決手段】ホイール体３６は、回転軸に外嵌させるための貫通孔３７Ａを有するボス部３７と、ボス部の外側に位置するホイール部３８からなる。ボス部は、貫通孔の内径３７ＳΦを回転軸３５の外径３５ＬΦよりも小さく設定するとともに、貫通孔内周面３７ａの少なくとも１箇所に外方への切り込み３７Ｂを形成し、切り込みにより貫通孔を、弾性力に抗して拡径自在に構成した。切り込みに対して操作具を差し込むなどして切り込みを拡げることで、貫通孔の内径を回転軸の外径よりも大きい内径に拡径でき、ホイール体の回転軸への外嵌を容易に行える。操作具を引き抜くことで、ボス部の弾性復元力によって切り込みを縮めて、貫通孔内周面を回転軸の外面に弾性圧接でき、ホイール体を回転軸へ固定（定着）できる。 （もっと読む）

【課題】ローラ体の着脱作業を容易かつ迅速に行えるコンベヤ装置を提供する。
【解決手段】一方のコンベヤフレーム１１に形成したコンベヤ幅方向Ａの貫通部１５に軸受３７を設け、他方のコンベヤフレーム２１の上面側に、軸受３４の下部分が嵌入自在な凹部２５を形成するとともに、軸受の上部分が嵌入自在な押え部材２８を着脱自在に設けた。ローラ軸３１にローラ３２を外嵌して形成したローラ体３０は、ローラ軸の両端の軸受をそれぞれコンベヤフレーム側に定着したことで、高速度搬送であっても振動は生じ難いものにできる。ローラ体の取り換えは、ローラ軸の外端部分に対して軸受３７を離脱し、そして押え部材を離脱し、ローラ体をコンベヤ幅方向で内側へ移動させることで、ローラ体をコンベヤフレーム間から離脱できる。逆操作によってコンベヤフレーム間にローラ体を組み込める。各ローラ体の着脱作業を、それぞれ独立して容易かつ迅速に行える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、互いに平行に配置された複数のメインシャフトが回転しつつメインシャフト上の所定物品を水平に移送させる物品移送装置に関し、メインシャフトが物品や自らの重さにより垂れるのを防止する構造を提供する。
【解決手段】本発明の物品移送装置は、前記メインシャフトを貫通して両端がフレームに固定されることによって、前記メインシャフトのたわみを防止する複数の補助シャフト、前記補助シャフトとメインシャフトとの間に設けられて、前記メインシャフトを回転可能に支持する複数のベアリング部材及び前記補助シャフトの張力を調節する引張手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ローラ体と同期モータの連結や分離を、作業性良く、容易に行えるコンベヤ装置を提供する。
【解決手段】ローラ体３３を、ローラ軸３４を介して一対のコンベヤフレーム３６間に回転自在に配設するとともに、搬送方向Ｂにおいて複数本を並列して配設した。各ローラ軸３４にそれぞれ同期モータ３８を設け、そのモータ軸３９を、ローラ軸３４の端部に嵌入される差し込み係合式のカップリング体４１を介して、ローラ軸３４に連動連結した。ローラ軸に同期モータを設けるに、ローラ軸の端部内にカップリング体を差し込みにより嵌入させ、そしてカップリング体内にモータ軸を差し込みにより嵌入させることで行える。ローラ軸とモータ軸との分離は、カップリング体に対してモータ軸を引き抜いたのち、ローラ軸に対してカップリング体を引き抜くなどの操作によって行える。ローラ体と同期モータの連結や分離を、差し込み嵌入や引き抜きにより作業性良く、容易に行える。 （もっと読む）

【課題】平板ディスプレイ製造工程で、大型のガラスを移送するローラシャフトのたるみ防止装置を提供する。
【解決手段】ガラス移送用ローラコンベヤにおいて、ローラーシャフト１００のベアリングホルダー１５０の一方に、ローラーシャフトにかかる荷重とローラーシャフトの自重を支えながら前記ローラーシャフトが回転できるように、２つのマグネチック１６０とスプリングを設け、マグネチックの反発力を利用してローラシャフトを引っ張り上げローラシャフトのたるみを防止する。 （もっと読む）

【課題】
コロ搬送装置において複数のサイズの基板を、各基板サイズに合わせるための余計な調整時間の必要もなく、できるだけ少ないコロを適切に配置して、安定した高速基板搬送装置を提供する。
【解決手段】
基板の搬送方向に配列した複数のコロから構成されるコロ列を複数列有し、予め決められたｍ種類（ｍは２以上の整数）の幅の基板を、少なくとも２列のコロ列により搬送する基板搬送装置であって、１〜ｍ種類目までの各基板（ｉ番目の基板の幅をＡｉとする）について、該基板を支えるコロ列のうち最も内側の２列のコロ列間隔をＢ１ｉ、最も外側の２列のコロ列間隔をＢ２ｉとしたとき、全ての基板についてコロ列間隔Ｂ１ｉ、Ｂ２ｉの関係が下記式（１）を満足するようにコロが配置されていることを特徴とする基板搬送装置。
０．５Ａｉ≦（Ｂ１ｉ＋Ｂ２ｉ）／２≦０．７Ａｉ （１） （もっと読む）

【課題】安定した搬送性能を有する搬送ローラ及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明は、各種基板（３）を搬送ローラ（４）によって搬送しながら各種処理を行うインライン方式の基板処理システムに用いられる基板搬送装置に関するものである。本発明による基板搬送装置は、基板搬送方向に沿って所定の間隔で配列した複数の搬送ローラ（４）と、前記複数の搬送ローラを部分的に包囲するチャンバ（６０，６２ａ，６２ｂ）と、搬送ローラに連結され、基板搬送ローラに回転駆動力を伝達する駆動機構（７０）と、搬送ローラに連結され、搬送ローラの水平度を調整する水平度調整機構（７１）とを具える。搬送ローラの水平度調整機構及び回転駆動機構はチャンバの外部に位置し、チャンバの外部から搬送ローラの水平度が調整される。 （もっと読む）

【課題】回転軸の撓みを減少させることができて大形のガラス基板等の板状物を搬送することができ、しかも、回転軸を回転させるための駆動力の増大を生じさせない板状物の搬送装置の回転軸支持用の静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、回転軸６の円筒状外周面５に対して隙間９をもって対面する半割円筒状受面１０を有した半割円柱状の軸受本体１１と、半割円筒状受面１０に形成された複数の気体噴出口４１を有していると共に回転軸６の円筒状外周面５と半割円筒状受面１０との隙間９に複数の気体噴出口４１から気体を供給する気体供給手段１３と、相互に滑動自在に接している凸球面１４及び凹球面１５を有しており、凸球面１４及び凹球面１５の相互の滑動により軸受本体１１を揺動自在に支持する軸受支持体１６とを具備している。 （もっと読む）

【課題】この発明はオゾンや熱に対して耐性を備えた金属製の駆動ローラによって基板を損傷させることなく搬送できるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を所定の角度で傾斜した起立状態で搬送しながら処理する基板の処理装置であって、
チャンバ内に設けられ基板の傾斜方向下方の面を支持する支持ローラと、回転駆動される回転軸１９に取着され傾斜方向下方の面が支持ローラによって支持された基板の下端を支持してその基板を所定方向に搬送する駆動ローラ１７を具備し、
駆動ローラは、回転軸に取着される金属製の輪体５８と、輪体の外周面に設けられ基板が搬送方向上流側の駆動ローラから乗り移るときに加わる力で弾性的に変形する金属製の板状部材６１とによって構成されている。 （もっと読む）