【課題】組み立て時の調整時間を短縮できる基板搬送装置及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】駆動部と、基板に当接することで搬送力を付与する搬送用コロを有する第１シャフトと、駆動部による駆動力を第１シャフトに伝達する第２シャフトと、第１シャフトを着脱可能に支持する支持部材と、第２シャフトに対して第１シャフトを着脱可能に連結する連結部材と、を備えた基板搬送装置に関する。連結部材は、第１シャフト及び第２シャフトにおける径方向に対する位置ズレを許容可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して納期の短縮化とコストダウンを図り得ると共に、効率を高めて省エネルギ化とコンパクト化を図ることができ、更に外観向上をも図り得るコンベヤ駆動装置を提供する。
【解決手段】コンベヤ１の駆動軸２をダイレクトドライブ方式で回転駆動する永久磁石同期モータ３が、低保持力の永久磁石である可変磁石を備えた可変磁束モータ３ａであり、回転数に応じて可変磁石に磁化電流を供給し磁束を制御することにより、可変磁束モータ３ａが所定の回転数範囲内でトルク一定となるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】重量物の製品を搬送する場合であっても、ローラが撓むのを抑制して装置自体の耐久性を高めることができる。また、小型の駆動及び従動スプロケット（１１ａ・１１ｂ、１７ａ・１７ｂ）を使用して倍速コンベヤチェーン（１９）を確実に搬送走行させることができ、装置自体を小型化及び軽量化することができる。
【解決手段】隣接する一方のチェーン単位部材（２１）の軸受大径部（２３ａ）の内側面側に他方のチェーン単位部材（２１）の軸支部（２３ｄ）が位置するように配置すると共に一対の軸支部（２３ｄ）間に倍速ローラ（２９）を配置した状態で一致する軸受孔（２３ｂ）及び軸支孔（２３ｅ、２９ａ）内に連結ピン（３１）を挿入してチェーン単位部材（２１）相互を所要の長さで無端状に連結する。 （もっと読む）

【課題】２以上のモータが強制的に同期させられる場合において、各モータへの供給電流のアンバランスを抑制可能なモータ制御システム、制御装置、並びにモータ内蔵ローラと制御装置の組み合わせを提供することである。
【解決手段】モータ制御システム１は、モータ内蔵ローラ２と、コントローラ（制御装置）６，７の組み合わせからなるものである。モータ内蔵ローラ２は、ローラ本体３とモータ４，５を有している。モータ４，５は、出力軸同士がローラ本体３で一体的に連結されており、モータ４，５は、強制的に同期運転するものである。モータ４，５の回転数に応じてコントローラ６，７から供給する電流パルスに下限が設定されている。 （もっと読む）

【課題】 センサ，電源，配線系の構成が簡素で、集中管理が行い易く、軸受の的確な異常検出に貢献できる異常検出機能付き搬送装置用軸受ユニットを提供する。
【解決手段】 転がり軸受６をハウジング８内に設置してなり、コンベア１等の搬送装置に装備される搬送装置用軸受ユニット１０に適用する。軸受６の状況を検出するセンサ１１と、このセンサ１１で検出した情報を無線送信する送信機１３と、環境エネルギによって発電する発電素子１４を有する電源１２とを設ける。前記発電素子１４としては、振動発電素子や熱発電素子を用いる。コンベア１におけるコンベアローラ４や、プランマブロック等に適用する。 （もっと読む）

【課題】作業者による作業上の安全性向上および転動体の周囲からの異物等の侵入防止を可能としながら、搬送装置の組立性およびメンテナンス性を向上させることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１００は搬送ベルトＢにより回転駆動される複数のボール１６０と、搬送ベルトＢを上方から覆うとともに物品Ｗが搬送される搬送路を形成するカバー１３０と、搬送ベルトＢおよびカバー１３０を支持する機台とを備える。カバー１３０には各ボール１６０が貫通してその上部１６１のみがカバー１３０の上面１３１から上方に突出する所定数の収容孔１５３が設けられる。カバー１３０は、ボール１６０が収容された収容孔１５３を形成している周縁部１５７がボール１６０の周囲を囲んでいる状態で各ボール１６０を回転可能に支持している。カバー１３０および各ボール１６０は、一体の状態で機台に対して着脱可能に固定される。 （もっと読む）

【課題】ローラを回転可能に支持するローラ支持体および回動体を有するローラ組立体の軽量化により、組立性やメンテナンス性を向上させることができ、しかもローラ組立体の回動応答性を向上させることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】仕分装置は、ローラ１２０とローラ支持体１３０および回動体１４０から構成されるローラ支持台Ａ１とを有する複数のローラ組立体Ａと、ローラ１２０を水平軸線Ｌｈ回りに回転させる回転駆動機構と、回動体１４０を介してローラ１２０を垂直軸線Ｌｖ回りに回動させる回動駆動機構と、ローラ組立体Ａが組み付けられる保持フレーム１９１，１９２とを備える。ローラ支持体１３０のローラ軸１３１および該ローラ軸１３１を支持する支持体本体１３２と、回動体１４０の関節軸１４１および該関節軸１４１を支持する回動体本体１４２とが、樹脂で形成されている。 （もっと読む）

【課題】物品を案内体に極力接触させることなく、上流側コンベヤ部分から下流側コンベヤ部分に亘って物品を搬送させ易い搬送コンベヤを提供する。
【解決手段】上流側仮想経路線Ｌ３を円弧状に設定し、上流側コンベヤ部分１３を、下流側仮想経路線Ｌ４に上流側仮想経路線Ｌ３を接続させ且つ上流側仮想経路線Ｌ３の下流側端の接線と下流側仮想経路線Ｌ４の上流側端の接線とが同じ角度となる状態で設け、上流側コンベヤ部分１３を、上流側姿勢となるように物品を縦軸心周りに回転させながら載置搬送するように構成し、下流側コンベヤ部分１４の搬送に伴う物品の回転量を多くする状態で物品を載置搬送する回転操作搬送手段１５を、下流側コンベヤ部分１４の上流側端部に設ける。 （もっと読む）

【課題】被搬送物（５５）幅に応じて共通の端部ローラ（３３）及び連結ローラ（３５）を組合わせて倍速ローラ（２９）を製作し、倍速コンベヤ（１）の製作を効率化すると共に低コスト化する。
【解決手段】チェーン単位部材（１７）の搬送直交方向幅に対して所定数で分割された軸線長さからなる一対の端部ローラ（３３）及び端部ローラ（３３）間に配置される少なくとも１個の連結ローラ（３５）を同一軸線にて連結して一体化して倍速ローラ（２９）を構成し、搬送直交方向に対する被搬送物（５５）の幅に応じて端部ローラ（３３）間に配置される連結ローラ（３５）数を増減して倍速ローラ（２９）の軸線長さを可変可能にする。 （もっと読む）

【課題】シンプルな構造を有し、短時間で搬送物の方向転換、位置決めを行う球体駆動モジュール及びそれを用いた搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送物下面に当接して回転可能な球体１１と、球体１１を回転する駆動機構１２と、球体１１を回転可能に保持する球体保持部材１３と、球体保持部材１３及び駆動機構１２の基台１４と、支持部材１５を介して基台１４に取付けられ、球体保持部材１３及び駆動機構１２を覆い上面の開口部１６から球体１１の上部を露出させるカバー部材１７とを有する球体駆動モジュール１０であって、駆動機構１２は、平面視して球体１１の中心に向けて直交する方向から球体１１に当接する第１、第２の駆動輪１８、１９と、第１、第２の駆動輪１８、１９の第１、第２の回転駆動源２０、２１と、球体１１を挟んで第１、第２の駆動輪１８、１９と対向する第１、第２の補助受け部材２２、２３とを備え、球体１１の表層部はゴム又は樹脂からなる。 （もっと読む）

【課題】幅が広いローラコンベアを構成することが可能であり、且つ部品の互換性が高く、さらに組み立てが容易であって、搬送物を真っ直ぐに搬送することができる搬送装置を開発する。
【解決手段】搬送装置１は、２個の駆動コンベア２と従動コンベア３とを間隔Ｗを開けて平行に並べたものである。２個のローラコンベア２，３の内、一方のローラコンベア２は、モータ内蔵ローラ５を有するものであり、他方のローラコンベア３は、駆動源を有しない従動コンベアである。ローラコンベア２内の、各ローラ５，１０〜１６は、隣接するローラ５，１０〜１６との間でベルト５３が懸架されており、いずれか一つのローラ５，１０〜１６が回転すると、他のローラ５，１０〜１６も回転する。ローラコンベア３も同様である。駆動コンベア２の一体回転側支持軸５０と、従動コンベア３の一体回転側支持軸５０とが一体的に回転する様に両者がシャフト７０で連結されている。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送方向の曲がりを搬送しながら補正する基板搬送装置を提供する。
【解決手段】コロによって基板を搬送する基板搬送装置であって、載置された基板を搬送し、基準速度で回転するコロと、基準速度に対して加減速された速度で回転するコロで構成される複数の搬送コロと、前記搬送コロを備えた複数のコロ軸と、前記コロ軸を回転駆動させる駆動用モータと、搬送中の基板の曲がりを検知するセンサーと、前記センサーからの出力信号によって基板の曲がり度合いを検出する基板曲がり検出装置と、前記基板曲がり検出装置からの出力信号を得て、前記搬送コロの内、基準速度に対して加減速された速度で回転するコロの回転速度を調整するための調整用モータを制御する制御装置と、前記調整用モータの回転によってコロの回転速度を加減速させる差動装置を備え、基板の搬送中の曲がりを補正することを特徴とする基板搬送装置。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の位置決め時に、搬送ローラーとガラス基板との擦れがない基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板を処理装置内あるいは処理装置間で、受け渡しや受け入れを行う際に用いられる搬送装置であって、前記ガラス基板を載置し搬送するローラーの内周部に、ローラーの回転方向に対して垂直の方向に設けられた可動溝と、ガラス基板をローラー上に載置して位置決めする際に、前記可動溝に沿って先端がリングによって可動する可動部を有する可動部支持体と、前記可動溝に沿って可動部が可動することによってローラーがガラス基板の位置決め方向に傾いた状態を保持しながらローラーを回転させるためのストッパと、を有するローラーが１本のシャフトに１つまたは複数備えられ、更に前記シャフトが複数備えられたことを特徴とする基板搬送装置。 （もっと読む）

【課題】 基板２の幅に応じて、基板の搬送装置の搬送路幅を迅速且つ、確実に拡縮できるものの提供。
【解決手段】 上下一対づつの多数の搬送ローラ１、１ａが搬送方向に並列され、基板２の両端部がその搬送ローラ１、１ａ外周の基板挟持体３間に挟持されて、搬送されるものにおいて、少なくとも一方側の基板挟持体３は回転軸４の軸線方向に移動自在に被嵌され、上下一対の基板挟持体３の嵌着部５にスライドロット６が挿通され、そのスライドロット６にアクチュエータ７が連結されて、それが軸線方向に往復移動されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】摩耗による不具合を防止し、長期間にわたって安定的な物品搬送が可能となるボールコンベアを提供する。
【解決手段】被搬送物２０を支持する主球３と、主球３を収容する開口部７を有する本体部５とを有するボールコンベア１。本体部５の開口部７の内面７ａに、複数の受け球４を介して主球３を回転自在に支持する球面状の支持凹部６が形成されている。主球３は回転により被搬送物２０を搬送可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、床上に低い位置に配設されたプーリを介して搬送板によって被搬送体を搬送することを目的とする。
【解決手段】本発明による搬送装置は、床(30)上に設置された第１、第２長手部材(3,3A)に設けられ円盤状のプーリ(2,2A)を有するモータ(7,7A)と、各長手部材(3,3A)間の間隔(D)を可変的に設定するための間隔保持部材(D)と、前記各プーリ(2,2A)上に載置された搬送板(32)とを備え、各プーリ(2,2A)間に互いに空間を介して離間している構成である。 （もっと読む）

【課題】昇降装置を使用せず、重量物でも方向変換が円滑に行え、粉塵対策も万全であり、メンテナンスが容易で、導入費用も安価なコンベアの方向変換用ローラ及びコンベアの方向変換用テーブル。
【解決手段】球の両側を平行に切除した形状の２個のローラ1,2の枢軸12,22が直交し、正面視にて２個のローラの射影の外形線が仮想円に沿うように構成されているコンベアの方向変換用ローラ及び該方向変換用ローラを複数個行列させたコンベアの方向変換用テーブル。 （もっと読む）

互いに分離した第１および第２端部を有し、第１および第２端部の結合面が互いに相補的に対向して結合可能なＯリング本体と、第１および第２端部の結合面が相補的に対向して結合した状態を維持するように第１および第２端部を締結させる締結ユニットとを含み、Ｏリング本体には外側面から引入形成されて締結ユニットが収容されて装着される第１および第２収容溝が互いに反対側で対応するように形成されたことを特徴とする搬送ローラ用Ｏリングが開示される。
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【課題】ローラ本体を絞り加工して形成した溝を利用して動力を伝動するものであり、動力伝動効率の高い動力伝動構造及びローラコンベア装置を提案するものである。
【解決手段】モータ内蔵ローラ２と、空転ローラ３とを混在させてフレーム５に平行に取り付けられたローラコンベア装置７であり、モータ内蔵ローラ２と両隣の空転ローラ３間にベルト１が懸架され、空転ローラ３がモータ内蔵ローラ２の回転力を受けて回転される。ベルト１は、円弧状に突出した二つの突出部１０と突出部１１同士を接続する連結部１２を有するものである。連結部１２の下面を構成する円弧の半径Ｒは、突出部１０の円弧の半径ｒよりも２０パーセント大きい。突出部１０の中心軸Ｘ同士の距離Ｗは、ベルト１の全高Ｈの２倍である。 （もっと読む）