【課題】ゲッター作用を有する蒸着材料中の不純物の基板及び堆積膜中への付着を防止すると共に、成膜チャンバー内を短時間で高真空に到達させ、真空排気後短時間で蒸着の成膜速度安定性を実現した蒸着方法、及び蒸着装置を提供する。
【解決手段】少なくとも蒸着源４ａ、４ｂに対向する面を備えたダミー部材７を、成膜チャンバー１の真空排気の過程で該成膜チャンバー１内に搬入し、該ダミー部材７に所定の厚さの蒸着膜を形成した後、実基板２への蒸着を行うことにより、ダミー部材７に堆積する蒸着膜に、蒸着源４ａ、４ｂから放出される不純物や成膜チャンバー１内に残留する水分が取り込まれ、実基板２に堆積する膜に混入する不純物が低減され、実基板２へ蒸着を行う際の圧力に達するまでの時間が短縮される。 （もっと読む）

【課題】安定した、高い発光効率の赤色発光が得られるＥｕドープＺｎＯ膜形成方法を提供する。
【解決手段】まず、第１工程で、Ｈ₂Ｏガスを導入するスパッタ法で、基板１０１の上に、ＥｕがドープされたＺｎＯからなる薄膜１０２を形成する。次に、第２工程で、薄膜を加熱する。Ｈ₂Ｏガスを用いているので、形成される膜にはＨ原子も導入されるようになる。この結果、主に６２０ｎｍ付近で発光するＥｕを添加したＺｎＯを形成できるようになり、Ｅｕを添加したＺｎＯで、高い発光効率で安定した赤色発光が得られるようになる。 （もっと読む）

【課題】電圧降下による輝度ムラを低減させ、強度が高く、有機ＥＬ層からの発熱を効率良く放散して有機ＥＬ層の劣化を防止する有機ＥＬパネル、および上述した有機ＥＬパネルを低コストで形成する製造方法を提供。
【解決手段】透明基板上に形成された透明電極層、上記透明電極層上にパターン状に形成された隔壁、上記隔壁間の発光領域内に形成され、かつ少なくとも発光層を有する有機ＥＬ層、ならびに上記隔壁および上記有機ＥＬ層上に形成された背面電極層を有する有機ＥＬ基板と、上記有機ＥＬ基板の上記背面電極層上に配置され、フレキシブル性を備え、かつ少なくとも金属層を有する封止基板を有し、上記有機ＥＬ基板の上記隔壁上に位置する上記背面電極層と上記封止基板の上記金属層とが接触しており、上記有機ＥＬ基板および上記封止基板の間で上記封止部によって封止された封止空間の圧力が大気圧よりも低いことを特徴とする有機ＥＬパネル。 （もっと読む）

【課題】生産性が改善された発光装置の製造方法、発光装置及びこれを備える電子機器を提供する。
【解決手段】発光装置の製造方法は、基板１００上に発光素子を形成し、封止用基板１０５上に封止樹脂膜１３４と、封止樹脂膜１３４を取り囲むループ状の接着膜１４４と、を形成し、基板１００と封止用基板１０５とを第１の圧力の下で貼り合わせた後、両基板周辺の圧力を第１の圧力よりも高い第２の圧力へと変化させる、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】賦活剤を必須とせず青色に発光する青色蛍光体及びその製造方法並びにその青色蛍光体を用いた青色発光素子を提供すること。
【解決手段】立方晶の結晶構造を有する第２族元素及び／又は第１２族元素と第１６族元素の化合物を含有する青色蛍光体の前駆体と発熱分解性化合物を容器内に投入する（ステップＳ１）。次に、この密閉容器を封止して密閉する（ステップＳ２）。次に、発熱分解性化合物を加熱する（ステップＳ３）。次に、発熱分解性化合物を分解して、密閉容器内を１ＭＰａ以上５０ＭＰａ以下に加圧する（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】基板上に機能膜を形成することにより製造される素子の製造において、機能性インクを基板上に吐出配置し、減圧乾燥を施して機能性インクから機能膜を形成する際に、機能膜の膜厚形状を均一にすることのできる機能膜形成方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子１０の製造において、有機発光層形成用インクから有機発光層２２を形成する際に、減圧乾燥機内において一度に減圧乾燥を施す基板１２上に吐出配置する有機発光層形成用インクに含有される溶媒の量と当該基板１２上に吐出配置する塗工液に含有される溶媒の量とを合計した総溶媒量が所定量になるように、基板１２上に吐出配置する塗工液の量を設定する。 （もっと読む）

【課題】被処理体に蒸着する成膜材料の蒸気を均熱化することができる蒸着装置を提供する。
【解決手段】減圧された処理室３０内において、被処理体に成膜材料を蒸着して成膜処理する蒸着装置であって、成膜材料の蒸気を噴出させる蒸気噴出口８０が処理室３０に配置された蒸着ヘッド６５を備える。蒸着ヘッド６５には、処理室３０内に対して封止されたヒータ収納部１０２が形成され、ヒータ収納部１０２には、アルゴンガス、窒素ガスの少なくともいずれかが存在する。 （もっと読む）

【課題】有機フィルムの作成方法を提供する。
【解決手段】有機蒸気を運ぶために非反応性同伴ガスを使用する。該有機蒸気をノズルブロック９３０を通して冷却された基体９５０上に噴出してパターン化有機フィルム９６０を形成する。該方法を遂行するための装置も提供されている。該装置は、有機蒸気源、同伴ガス源、及び真空室を含む。該有機蒸気源と該同伴ガス源に取り付けられた加熱ノズルブロック９３０は、該真空室内に配置された冷却基体９５０上に同伴ガスと有機蒸気を噴出するように適応させた少なくとも１個のノズルを有する。 （もっと読む）

【課題】板状ワークに適度な張力が与えられるように微正圧を封止して、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワークが撓み変形しない貼合構造体を提供する。
【解決手段】板状ワーク１，２の接近移動に伴って表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になる直前まで、通気手段４によって内部空間ＩＳから外部空間ＯＳへの通気を確保することにより、板状ワーク１，２間の内部空間ＩＳ内に収容される流体が外部空間ＯＳに排出され、これに続いて、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１から最終貼り合せキャップＧ２になるまで、内部空間ＩＳを密閉することにより、内部空間ＩＳの内圧が接着剤３を破壊しないレベルの微正圧に上昇し、この最終貼り合せキャップＧ２で接着剤３が硬化されることにより、内部空間ＩＳに微正圧の流体を封止した状態で板状ワーク１，２同士が貼り合わされる。 （もっと読む）

【課題】成膜開始時、成膜時、及び成膜停止時における配管系、原料容器、及び吹き出し容器の圧力を制御することにより、高品質で長寿命の膜、特に、有機ＥＬ膜を得ることである。
【解決手段】原料を気化させ、気化した原料をガスで輸送してガス放出部から基板に放出して膜を成膜する成膜装置として、気化手段と、該気化手段とガス放出部との間に輸送ガス及び原料の流通経路を設けると共に、輸送ガスと同種のガスを気化手段を介さずに流通経路を用いてガス放出部に供給するガス供給手段を設け、成膜前および成膜停止時に原料をガス放出部に流通させない制御とガス供給手段からのガスをガス放出部に供給する制御とを成膜状態との遷移時に行なうと共に、ガス放出部と気化手段の圧力が成膜時の圧力となるようにガスを供給する制御を行う一方、成膜時にガス供給手段からのガスが流通させない制御と気化手段からガスを供給する制御とを行い、成膜する。 （もっと読む）

【課題】製造不良を抑制して、第１基板と第２基板とを接着することが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】それぞれ複数の有機ＥＬ素子が設けられ、互いに分離して配置される複数の第１エリアと、前記複数の第１エリアの合間に設けられる第２エリアと、を有する第１基板と、前記第１基板に対向して配置される第２基板と、を備えた有機ＥＬ装置の製造方法が提供される。まず、前記複数の第１エリアのそれぞれに対向する前記第２基板上の領域に第１キャビティ、および、少なくとも一部の前記第２エリアに対向する前記第２基板上の領域に第２キャビティをそれぞれ形成する。次に、大気圧より低い所定の圧力下で、前記第１キャビティの周囲に第１閉空間が形成され、かつ少なくとも１つの前記第２キャビティの周囲に第２閉空間が形成されるように、接着剤を介して、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせる。さらに、前記第１基板と前記第２基板とを接着する。 （もっと読む）

【課題】十分なガスバリア性を示す高密度の非晶質窒化珪素膜を簡便な方法で提供すること。
【解決手段】高周波放電を利用したプラズマＣＶＤ法において、シランガスと、水素ガスと、アンモニアガスまたは窒素ガスの少なくとも一方とを含む混合ガスを用いて、電極間距離を５０〜１００ｍｍとし、シランガスに対する水素ガスの流量比（Ｈ₂／ＳｉＨ₄）を０．５〜３．０として非晶質窒化珪素膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】印刷法を用いる際に印刷材料の溶媒が揮発することにより生じる問題を解決することを目的とする。
【解決手段】本発明では、発光装置の画素部に印刷法を用いてＥＬ層を形成するための処理室（または、印刷室と呼ぶ）の圧力を大気圧（常圧）又は大気圧以上の加圧状態にし、さらに印刷室内を不活性気体で充填したり、溶媒雰囲気とすることを特徴とする。これにより、印刷材料の溶媒が揮発して変化するのを防ぐことができるため、成膜の困難性を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】微量の液体を高精度に塗布するための液体材料塗布装置に関し、特に１ｐＬ以下の塗布量をディスペンサー方式によって塗布するのに好適な液体塗布技術を提供する。
【解決手段】ディスペンサーノズル先端の内径を細くし、ノズル内の液体が形成する２つの界面に接する気体の圧力を等しくすることにより、ノズル先端の液面位置が安定するようにし、該ノズル先端の液面位置が安定した状態で、ノズル内部の液体に、ノズル後端から高精度に制御されたパルス状の圧力を加えることにより、ノズル内の液体を被塗布物上に塗布し、さらに塗布後において適切なタイミングでノズルを上昇させるよう、液体塗布装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】端部からの水分等の浸入を効果的に抑制し、かつより簡素な方法で形成可能な封止構造を提供する。
【解決手段】基板上に配置された電子デバイスを覆う封止構造１は、無機物を主成分とするバッファ層２と；無機物を主成分とし、バッファ層２の密度よりも高い密度を有すると共に、バッファ層２に重ねられたバリア層３と；を含む。封止構造１は、外縁１１を含む傾斜部分１２を備え、傾斜部分１２の厚みは、外縁１１に近づくほど小さくなる。封止構造１の最外面は、バリア層３で覆われている。 （もっと読む）

【課題】発光特性が良好な発光装置を製造することができる製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】ＥＬ基板１と封止基板９を収容しているチャンバ６０内の内圧を第１の気圧にした状態で、ＥＬ基板１及び封止基板９と接着剤枠１５により、ＥＬ基板１の発光領域Ｒ１を密閉した密閉空間を形成し、チャンバ６０内の内圧を第１の気圧より高い第２の気圧にすることで、ＥＬ基板１と封止基板９の周囲の圧力を接着剤枠１５内の密閉空間よりも高くして、ＥＬ基板１と封止基板９に対して均等に圧力をかけて、ＥＬ基板１と封止基板９を略平行に貼り合わせることを可能とするとともに、貼り合わせにおいて接着剤枠１５を一部押し潰すことで接着剤枠１５内の密閉空間を圧縮して、密閉空間内の気圧を第１の気圧より高くする。 （もっと読む）

【課題】発光特性が優れ、輝度コントロールでの色温度安定性や、長時間でのパルス駆動発光における耐久性にも優れた、有機ＥＬ素子および有機ＥＬ素子の製造方法を提供することである。さらには、フレキシブルな基板上に形成された有機ＥＬ素子の超臨界流体処理においても、有機機能層の損傷が少ない有機ＥＬ素子および有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】フレキシブル基板上に、第一電極、第二電極と有機機能層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子において、該有機機能層の含水率が５ｐｐｍ以下であり、かつ酸素分子含有率が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 （もっと読む）

【課題】巻取り体の端面からのガス供給装置を設置することなく、大気開放時にゴミの流入を防止し、且つ、巻取り部材を非接触状態で維持する非接触巻取り体の製造方法。
【解決手段】５．０×１０^−４Ｐａ以下の圧力条件に保たれた真空容器の内部で、基板の端部に直接突起形状を複数設ける工程、または、少なくとも片面に突起形状を複数設けたテープ状フィルムを該基板の両端に共巻する工程を有し、次いで、前記真空容器を前記圧力条件〜大気圧条件に大気開放する工程を有する非接触巻取り体の製造方法において、該大気開放する工程が、真空状態から１．０×１０^−３Ｐａ／秒〜０．１Ｐａ／秒の速度で１Ｐａ〜１０Ｐａの圧力範囲に装置内を調整する第１の圧力調整工程と、次いで、１．０×１０^１Ｐａ／秒〜５．０×１０^２Ｐａ／秒以下の速度で大気開放する第２の圧力調整工程を有することを特徴とする非接触巻取り体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】封止信頼性を向上させた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供すること。
【解決手段】本発明によれば、基板と、基板上に基板側から順次設けられた画素電極と、有機層と、導電層と、２層以上の封止層とを備え、すべての封止層のうち１ａｔ．％以上を占める主要な構成元素種が導電層と同一であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子であり、高い成膜圧力で成膜された封止膜２０６ａは、導電層１０５と同一元素種で構成されているため、強い密着性を得ることができ、封止性を向上させることができる。かかる構成によれば、封止膜２０６ａの高い密着性・カバレッジと２０６ｂの高い緻密性により不純ガスのデバイスへの侵入を防いで封止の信頼性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】複数のスイッチング素子が配置された領域の周辺部の切断を行う必要がないと共に、周辺部に保護素子を設ける必要がない静電対策手段を備える電子装置を提供する。
【解決手段】複数の走査線１４と、複数の走査線１４と交差する複数の信号線１２と、複数の走査線１４と複数の信号線１２の交差点１６に対応してそれぞれ設けられた複数のスイッチング素子４０と、複数のスイッチング素子４０が配置されたスイッチング素子配置領域２０の外側で、複数の走査線１４と複数の信号線１２とに接続された共通接続部材１０であって、固有抵抗値が可変な材料から成る共通接続部材１０と、を備える。 （もっと読む）