【課題】 高効率でパターン描画を行う。
【解決手段】 表側の第１の面及び裏側の第２の面を備える一方向に長い描画対象物を保持し、描画対象物の長さ方向に沿って搬送する搬送機構と、搬送機構に保持された描画対象物の第１の面に向けて液滴を吐出する第１の吐出部と、搬送機構に保持された描画対象物の第２の面に向けて液滴を吐出する第２の吐出部と、搬送機構に保持された描画対象物の第１の面及び第２の面の所定領域に液滴が塗布されるように、第１、第２の吐出部からの液滴の吐出、及び搬送機構による描画対象物の搬送を制御する制御装置とを有する描画装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】微小な領域に塗布することができ、１回の塗布量が多く、耐久性が高い塗布装置を提供する。
【解決手段】この塗布装置１は、その内部にインク３が注入され、その下端に開口部２ａが形成されたノズル状の容器２と、容器２内に挿入された針状の塗布部材４とを備える。待機時は、塗布部材４の先端部４ａをインク３に浸漬させ、塗布時は、塗布部材４の先端部４ａを開口部４を介して容器２の下に突出させ、塗布部材４の先端に付着したインク３を基板７の表面に塗布する。塗布部材４は、１本の細線５を折り返して形成した２本の細線５を含む。細線５の頂点部が塗布部材４の先端部４ａとなる。したがって、２本の細線４の微小隙間Ｇのインク３を基板７の表面に塗布できる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット法により微細なパターンでショートさせることなく機能性膜を形成することができる機能性膜の形成方法を提供する。
【解決手段】被印刷面上に、低表面エネルギー領域を隔てて隣接する高表面エネルギー領域２３１，２４１を有する表面において、高表面エネルギー領域２３１，２４１の形状及び機能液の着弾範囲に基づいて、高表面エネルギー領域２３１（２４１）に機能液を供給する際に該機能液が高表面エネルギー領域２３１（２４１）のみに触れるための滴下許容範囲２３１Ａ（２４１Ａ）を決定し、ついで滴下許容範囲２３１Ａ（２４１Ａ）内の任意の位置を高表面エネルギー領域２３１（２４１）に対する機能液の滴下位置２３１Ｃ（２４１Ｃ）として決定し、高表面エネルギー領域２３１（２４１）の滴下位置２３１Ｃ（２４１Ｃ）にインクジェット法を用いて選択的に機能液を供給して所定パターンの機能性膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板表面の微細領域に安定して液体を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】この塗布装置では、ノズル１の内部にインク２を注入し、ノズル１に固定した歪センサ３の出力信号に基づいてノズル１の先端が基板４の表面に接触したか否かを判別する。制御部５は、Ｚステージ７を制御してノズル１を基板４の方向に移動させ、ノズル１の先端が基板４の表面に接触したことに応じてノズル１を停止させ、ノズル１の先端のインク２を基板４の表面に塗布する。したがって、ノズル１の先端径と略同じ径のインク層２ａを塗布できる。 （もっと読む）

【課題】ダイ内の塗布液に含まれる気体を効果的に除去することができる塗布物の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】供給経路１２を、塗布液７の供給方向に沿ってキャビティー１１まで常に上昇するように形成する。供給経路１２を形成する壁面の粗さは、最大高さＲｚが０．２μｍ以下となるようにする。これにより、塗布液７に含まれる気体が浮力によってキャビティー１１まで移動しやすく、供給経路１２内に気体が滞留するのを防止することができる。したがって、キャビティー１１内の塗布液７の一部を塗布液７に含まれる気体とともに排出経路１４から排出させる際、供給経路１２内の気体も良好に排出経路１４から排出させることができるので、ダイ１内の塗布液７に含まれる気体を効果的に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する基材シートにダイコータを用いて塗布液を塗布する場合に、異物による欠陥が生じるのを防止することができる塗布液の塗布方法及び塗布装置、並びに、塗布物の製造方法を提供する。
【解決手段】ダイコータ７の吐出口７４を通り基材シート１に直交する仮想線Ｌが、基材シート１の第２面に交わる開始ラインＰ１と、当該開始ラインＰ１の上流側において基材シート１の第２面がバックアップロール８の回転に伴って当該バックアップロール８の外周面から離れる境界ラインＰ２と、の間の距離Ｄ１を５０ｍｍ以内とする。仮想線Ｌがバックアップロール８の外周面に交わるロール上ラインＰ３と、開始ラインＰ１と、の間の距離Ｄ２を５μｍ以上とする。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドに非適正ノズルが発生した場合でも、その非適正ノズルを適正な状態に戻すメンテナンス作業を行う機会を減少させ、稼働率の低下を抑える。
【解決手段】複数のノズルが所定方向に配列された塗布ヘッドと塗布領域を有する基板とをノズルの配列方向と交差する方向に相対的に走査移動させ、この走査移動時に塗布領域に対向するノズルから液滴を吐出させて塗布領域に塗布液の液滴を塗布する液滴塗布装置において、ノズルからの液滴の吐出状態を検出する検出部と、塗布ヘッドと基板とをノズルの配列方向に相対的に移動させる移動駆動部と、検出部と移動駆動部とを制御する制御部２５とを有し、制御部２５は、検出部２３の検出結果に基づいて各ノズルからの液滴の吐出状態の適否を判定し、非適正ノズルがあるときには、非適正ノズルが塗布領域から外れて位置するよう移動駆動部１０を制御する。 （もっと読む）

【課題】ロールへの塗膜形成として、塗布液の無駄をなくし、均一に塗布できる装置及び塗布方法を提供することである。
【解決手段】ロールを水平に両端チャックして、所望の周速度で回転し得るロールへの塗膜形成装置において、前記ロールの上側より近接し、塗布液を上側より塗布する塗布ヘッドと、前記塗布液を必要な量だけ塗布ヘッドに供給する塗布液供給手段と、
前記塗布ヘッドの面長を、前記ロールの面長より両端を短くし、前記ロールの両端に未塗布部を形成し、前記塗布ヘッドの両端の外面に、塗布ヘッドと相対する前記未塗布部との距離を測定する手段と、前記距離を測定する手段と連結して距離を一定に制御する手段と、
を備えたことを特徴とするロールへの塗膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、その直後にプライミングローラ１４に所定の回転角で往復の回転運動を行わせてから、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、スリットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４上のレジスト液膜ＲＭ₁を所定の待機用回転角位置へ着かせる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明の洗浄方法は、液滴吐出装置の流路内のカラーフィルター用インクを洗浄液で置換するステップと、置換された洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出するステップと、被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得するステップと、電子画像を画像処理することにより、ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するステップと、各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定するステップと、第１の基準直線と各ドットの中心との距離を求めることにより、Ｙ軸方向への各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布針を用いて液体材料を塗布する際に、従来よりも長い距離の塗布を可能にする。
【解決手段】塗布機構２５において、液体材料１０を収納する液体容器１１の底部１３には貫通孔１４が形成されている。塗布針１の先端には平坦面３が形成され、塗布針１の先端部には、先端に向かって細くなるテーパ部２が形成されている。塗布針１には、さらに、先端から上方に向かって、テーパ部２の少なくとも一部および平坦面３の各々を分割するように１または複数のスリット溝５が形成されている。塗布対象物２６に液体材料１０を塗布するときに液体材料１０を平坦面３に導くために、塗布針１は、液体容器１１の貫通孔１４を貫通するとともに１または複数のスリット溝５の上端が液体容器１１の底部１３よりも上方に位置するように液体容器１１に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】塗布処理装置により基板に対して塗布処理を行うにあたり、塗布液を供給するノズルの位置調整を作業員の熟練度によらず正確で且つ迅速に行う。
【解決手段】ウェハに塗布液を供給する塗布液ノズル３３の位置調整を行う方法であって、塗布液ノズル３３を、ウェハが保持されていない状態のスピンチャック２０の中心部の上方に移動させ、その後、スピンチャック２０の中心部に対応する吸引口２０ａ及び塗布液ノズル３３の先端部をＣＣＤカメラ５０、５１により撮像し、撮像された画像において、塗布液ノズル３３の先端部の中心の水平方向の位置とスピンチャック２０の中心部である吸引口２０ａの水平方向の位置とが一致するように塗布液ノズル３３の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】非平坦な基体表面上に液滴を付着させるときの液滴配置誤差を減少させる。
【解決手段】基体の表面プロファイルを、液滴吐出装置の複数のノズルが配列する方向と平行な方向に沿って該基体を測る変位計測器のアレイを用いて、前記基体と前記液滴吐出装置との相対移動の方向に対して垂直な方向であって前記ノズルが配列する方向に沿った複数の位置で同時に、測定する。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドが稼動していても、当該吐出ヘッドが備える全ての吐出ノズルが、必ずしも稼動していない。吐出ヘッドの稼動時間内に稼動する機会の少ない吐出ノズルが、停止状態が続くことで、不具合が発生する可能性が高くなることを抑制する描画方法、及び描画装置を提供する。
【解決手段】描画方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと被描画媒体とを、被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に複数の吐出ノズルから選択的に液状体を吐出させる描画走査工程を含む描画工程を実施することによって、被描画面に液状体を用いて画像を描画する描画方法であって、描画走査工程における吐出ヘッドと被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 高精度に描画を行う。
【解決手段】 保持対象物を保持するステージと、ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットとを有し、ステージは、吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、更に、第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、検出器による検出結果に基づいて、第１の吐出ヘッドと第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、把握した相対位置関係を加味して、ステージに保持された保持対象物と吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置とを含む描画装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】パネル装飾フレーム薄膜図案層の製造方法の提供。
【解決手段】パネル装飾フレーム薄膜図案層の製造方法は、平面型の高光透過率基板１００を提供し、毛細管塗布装置３００により、フォトレジスト液３１３を、毛細管３２０から噴出し、基板１００上に塗布し、毛細管塗布装置３００と基板１００との間は、順番に所定の移動軌跡に基づき相対運動を行い、これにより基板１００上には所定のフォトレジスト図案を形成し、フォトレジストを固化し、基板１００上にフォトレジスト図案薄膜層を形成し、毛細管塗布装置３００は、フォトレジスト液３１３を充填する塗布液ポンプ３１０を備え、中空管状の毛細管３２０を下方へと延伸して設置し、フォトレジスト液３１３を毛細管３２０中の液出口３２５から、基板１００表面へと連続して送り出し、フォトレジスト液３１３は、粘度値が２〜１０ｃｐｓである黒色ネガティブ型フォトレジストで、移動軌跡は螺旋状移動軌跡である。 （もっと読む）

【課題】塗布層の屈折率や厚みの均一性が優れており、安定性・生産性に優れたポリエステルフィルムロールおよびその製造方法を提供。
【解決手段】基材ポリエステルフィルムの少なくとも片面に塗布層が積層された積層ポリエステルフィルムをロール状に巻き取り、ロールの任意の位置から採取し区間において、幅方向３カ所、長手方向３カ所の組み合わせ計９点について測定した塗布層側表面の波長４００〜７００ｎｍにおける表面反射率について、反射率が極小となる波長をλｍｉｎ、λｍｉｎにおける反射率をＲｍｉｎとしたとき上記９測定点にて以下を満たすポリエステルフィルムロール。（１）λｍｉｎが５００〜６００ｎｍの範囲に存在する（２）Ｒｍｉｎが４．０〜６．０％である（３）上記９測定点のλｍｉｎにおいて、λｍｉｎの最大値（９測定点の内、最も波長が長いもの）と最小値（９測定点の内、最も波長が短いもの）の差が３０ｎｍ以下であること。 （もっと読む）

【課題】塗布液の蒸発に起因するダイコータの変形防止と、塗布開始時に発生する面状故障を防止できる塗膜付きフィルムの製造方法、及び塗布装置の提供。
【解決手段】塗布液２４が供給されるマニホールド１４と、マニホールドと連通するスロット１６と、スロットの先端に形成されたリップ面１８とを有するダイコータ１２と、ダイコータ１２から吐出された塗布液２４がリップ面１８から下方の領域に付着しないようにダイコータ１２に取り付けられた、テーパー形状の上端部を有する断熱性の板材４０と減圧チャンバー５０とを備える塗布装置１０を準備する。ダイコータ１２から塗布液２４を吐出させながら、塗布時における塗布装置１０とウエブＷとの所定クリアランスより大となる位置で塗布装置１０を待機させる。塗布装置１０を所定クリアランスとなる位置に移動し、ウエブＷとダイコータ１２との間にビード２４ａを形成し、塗膜２４ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】化粧溝と接合ノリ面との色差をなくし、フローリング時に床材の接合溝部と化粧溝とが違和感なく調和した床材を製造する方法を提供することである。
【解決手段】化粧溝１と接合ノリ面２とを有するパーティクルボード基材からなる床材の表面をホワイト色に仕上げる床材の製造方法において、上記化粧溝１と接合ノリ面２とを含む表面全体をスポンジロールＳで予備着色塗装した後、掻き取りロールＲで表面の予備着色層を掻き取る予備塗装を行い、つぎにゴムロールＮで表面を下地塗装し、さらに化粧溝１と接合ノリ面２とを含む表面全体をスポンジロールＳで着色塗装し、ついで掻き取りロールＲで上記着色塗装層を掻き取って化粧溝１および接合ノリ面２のそれぞれの溝面を着色し、しかる後、ゴムロールＮで表面着色を行い、さらに表面仕上げを行う。 （もっと読む）

【課題】 高精度に描画を行う。
【解決手段】 保持面を備え、保持面に基板を保持するステージと、保持面に保持された基板に向けて液滴を吐出する第１及び第２の吐出領域とを有し、保持面に保持された基板と、第１の吐出領域との間の距離、及び、保持面に保持された基板と、第２の吐出領域との間の距離を、それぞれ所定範囲内に維持する描画装置であって、ステージは、保持面内の第１の方向に、第１及び第２の吐出領域との間で相対的に移動可能に基板を保持し、第２の吐出領域は、第１の吐出領域の、第１の方向と保持面内で交差する方向と平行な方向側に配置され、第１、第２の吐出領域は、それぞれ保持面と交差する第２、第３の方向と平行な方向に、基板との間で相対的な移動が可能であり、更に、基板の反りに応じて、基板の第１の方向への相対的な移動、及び、第１、第２の吐出領域の第２、第３の方向と平行な方向への相対的な移動を制御する制御装置を含む描画装置を提供する。 （もっと読む）