【課題】基材の表面にバルジを誘導するためのパターンを形成せずに組成物の液滴を付与して線状パターンを形成する場合に比べ、線状パターンに生じるバルジの方向が制御されるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に組成物の液滴を線状に付与して線状パターン１２Ａ，１２Ｂを形成する線状パターン形成工程と、線状パターンを形成すると共に又は線状パターンを形成する前に、液滴を付与して、前記線状のパターンの幅方向における片側の縁で接触するバルジ誘導用パターン１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを形成するバルジ誘導用パターン形成工程と、を含む。バルジ誘導用パターンを形成した後、線状パターンを形成することが望ましく、予めパターン形成領域外に組成物の液滴を付与してバルジ発生位置を確認するためのバルジ確認用パターンを形成する工程をさらに含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】外光に対する優れた反射防止性能を発揮し、且つ、表面抵抗値の増加を抑え、導電性の低下を抑制することが可能な透明導電材を製造する方法を提供すること。
【解決手段】（ａ）透明基材の一面側に銀粒子及びバインダー樹脂を含む導電性パターン層を有する導電部材を準備する工程、及び（ｂ）Ｃ．Ｉ． Ａｃｉｄ Ｂｌａｃｋ ２が溶解された塩酸水溶液に、前記導電部材を接触させて、導電性パターン層表面近傍のバインダー樹脂から露出した銀粒子の表面に暗色層を形成する工程を含む、透明導電材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】塗布液例えばレジスト液の供給量が少ない場合でも、基板の表面に均一に塗布膜を形成することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布方法は、基板（Ｗ）の中心にプリウエット液を供給するとともに基板を回転させてプリウエット液を第１の基板の表面全体に拡散させるプリウエット工程と、プリウエット液が供給された基板に塗布液（例えばレジスト液）を供給し、これを乾燥させることにより前記第１の基板の表面に塗布膜を形成する塗布膜形成工程とを備える。プリウエット液として、塗布膜成分（例えばレジスト成分）を溶解しうる溶剤と、この溶剤よりも表面張力が高い高表面張力液体とを混合することにより得た塗布液よりも表面張力が高い混合液体を用いる。溶剤と高表面張力液体とを別個に用意し、プリウエット液を供給する際に溶剤と高表面張力液体とを混合する。 （もっと読む）

【課題】被塗装物の塗膜を沸騰させることなく、急激に加熱することを可能とする塗膜形成装置を提供する。
【解決手段】塗膜形成装置１は基体４を保持する保持部１８と基体４の外周面４ｃに塗料７を塗布する塗布ノズル１９と塗布ノズル１９を移動させる移動部２０と加熱ユニット１２を有する。保持部１８が磁性金属で構成されかつキュリー温度が塗料７を加熱する温度に応じて定められた外筒部材４２と低抵抗金属で構成された内筒部材４３を有する。加熱ユニット１２交流電圧が印加されることで保持部１８を誘導加熱方式で加熱するコイル３６と外筒部材４２の温度が前記キュリー温度に達するまでコイルが生じる磁束が外筒部材４２内のみに流れかつ外筒部材４２の温度が前記キュリー温度に達すると磁束が内筒部材４３にも流れるようにコイルに交流電圧を印加する交流電源３４を有する。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布する未硬化樹脂材料の塗布分布の補間をショット単位でより厳密に行うことができ、しかも、生成工程における作業負荷を抑制しつつ効率的にショット毎の未硬化樹脂材料の塗布分布を再補間することができるインプリント方法を提供する。
【解決手段】型パターンを形成した型２０と、基板３０に型２０を接近・離反させる型駆動部１４と、基板３０に未硬化樹脂材料を塗布するディスペンサ１７と、未硬化樹脂材料を樹脂パターンとして硬化させる光源１９と、複数ショットのショット単位で樹脂パターンに対する未硬化樹脂材料の塗布分布を生成してディスペンサ１７を制御するディスペンサ制御部４３と、基板３０に対する複数ショット位置とディスペンサ１７及び光源１９との相対位置を考慮したショットレイアウト情報を変数としてディスペンサ制御部４３による未硬化樹脂材料の塗布分布を補間する主制御部４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】生産工程適性が高く、高いバリア性能を有し耐久性に優れる有機電子デバイスを与える有機電子デバイスの製造方法、それにより得られた有機電子デバイスを提供する。
【解決手段】実質的に水蒸気バリア性を有さない基材１上に、ポリシラザン化合物とアミン化合物を含有する塗布液を塗布、乾燥後に真空紫外光を照射することによりケイ素化合物からなる水蒸気バリア層を少なくとも２層２、３以上形成する際、該基材に近い側に用いる塗布液が含有するアミン化合物の沸点が、該基材から遠い側に用いる塗布液が含有するアミン化合物の沸点よりも高いことを特徴とするバリアフィルム及びその製造方法、並びに、有機電子デバイス及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、極めて高いバリア性能をもち、かつ経時安定性に優れたバリア性フィルムを安価に製造するための製造方法を提供すること、およびその方法により製造されたガスバリア性フィルムを用いた、極めて耐久性の高い有機光電変換素子や有機ＥＬ素子の様な有機電子デバイスを提供することにある。
【解決手段】樹脂基板の少なくとも一面上に、ポリシラザン骨格を有するシリコン化合物層を設け、該シリコン化合物層を少なくとも波長２００ｎｍ以下の真空紫外光を照射することにより改質して酸化ケイ素または酸窒化ケイ素からなるガスバリア性層を成膜するガスバリア性フィルムの製造方法に於いて、特定の式１を満足する条件でガスバリア性層を成膜することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル用ＴＦＴ基板におけるゲート絶縁膜のように、濡れ広がりの制約を満足しつつ、膜厚を上限および下限値がある所定の範囲内に収めることが必要な成膜工程において、制約条件を満足する範囲での膜厚制御性を向上させ、プロセスマージンを向上させる膜形成方法および膜形成装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る絶縁膜形成方法は、絶縁材料および有機マトリクス成分を含有する液体を基板に塗布した後、非加熱下で所定の時間置き、その後で、上記有機マトリクス成分の架橋促進温度を超えない温度で強制乾燥処理を施す。 （もっと読む）

【課題】塗布膜厚分布の高さ検出を所定精度でいつでも検出を可能にし、膜厚分布測定ができない時は、塗布を停止して不良製品流出を回避する。常に検出器の較正を行い膜厚分布の測定を可能とし、生産性・稼働率で高品質製品の生産を可能とする塗布方法および塗布装置を提供する。更にこの方法および装置を用い高品質で高生産性を維持したプラズマディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】塗布前に被塗布部材９の表面高さを検知するステップと、被塗布部材に塗布膜を形成するステップと、塗布後に被塗布部材の表面高さ９ａを検知するステップと、塗布前後の被塗布部材の高さより塗布膜の厚さを演算して求めるステップと、を有する塗布方法で、塗布前後の表面高さを検知するステップの前、中または後に連続して、異なる高さの２以上の基準面を持つ基準器６を用い基準器高さを測定する塗布方法。 （もっと読む）

【課題】 周縁部においても膜厚均一性の高い塗布膜の形成方法および塗布膜形成装置を提供すること。
【解決手段】 塗布液膜の周縁部の上方を覆うようなカバーを設けて、塗布液膜の周縁部において局所的に溶媒蒸気が滞留する空間を作り、この空間の大きさを乾燥中に制御させることによって、塗布液膜周縁部での蒸発速度を調節し、塗布液膜内の濃度分布を均一にすることで周縁部の膜厚不均一を抑制する。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークを備える基板の位置決めにおいて、アライメントマークの正確な位置が未知である場合においても、正確に基板の位置合せを行なう。
【解決手段】基板２におけるアライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】カップリング剤の変質や、被処理物へのミストの付着を防止しつつ、被処理物に対して均一なカップリング剤の被膜を効率よく成膜可能な表面処理装置および表面処理方法を提供すること。
【解決手段】表面処理装置１は、被処理物９を収納し、密閉構造を備える処理容器２と、処理容器２内を減圧する減圧ポンプ（減圧手段）３と、処理容器２内にカップリング剤を含む液状原料を供給する原料供給機構（液状原料供給手段）４とを有している。そして、処理容器２内に被処理物９を収納し、処理容器２内を減圧した後、減圧状態で封じ切りを行う。次いで、原料供給機構４により、処理容器２内に液状原料８を供給する。これにより、供給された液状原料８は気化し、その気化物が処理容器２内に拡散することで、被処理物９の表面にカップリング剤の被膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】安定して高い疎水性を確保できる疎水化処理方法及び疎水化処理装置を提供すること。
【解決手段】 処理容器内にて、ウエハＷに、ＨＭＤＳガスを供給し、前記ウエハの表面に−Ｏ（ＣＨ_３）_３よりなる疎水基を生成する疎水化処理において、前記疎水化を促進させる反応促進剤として水蒸気をウエハＷに供給する工程と、前記処理容器内に搬入されたウエハＷを加熱する工程と、加熱されたウエハＷの表面に前記水蒸気が吸着している状態で、当該ウエハＷの表面に前記ＨＭＤガスを供給する工程と、を実施する。前記水蒸気により、ＨＭＤＳ疎水化処理ガスのケイ素と、基板表面の酸素との反応が促進され、安定して高い疎水性が得られる。 （もっと読む）

【課題】ＰＥＴフィルム等の汎用高分子基板を用いた場合でも、基板上に優れた導電性と光透過性とを有する導電性膜を、簡易かつ安価に、そして生産性良く製造することができる、導電性膜の製造方法、及び、導電性膜を提供する。
【解決手段】導電性微粒子を含む有機溶媒分散体を用いて基板上に導電性膜を製造する方法であって、該製造方法は、有機溶媒分散体を基板に塗工し、パターンを有する導電性膜を形成する工程と、赤外線を照射する工程とをこの順に行うことによって基板上にパターンを有する導電性膜を形成することを特徴とする導電性膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】小さい吸引力でノズルから液体を吸引する。
【解決手段】インクジェットプリンタ１は、インクを貯留するタンク３と、タンク３から供給されたインクを、複数のノズル２ａが形成されたノズル面２ｂからインク液滴として吐出するインクジェットヘッド２と、タンク３における上部空間Ａの圧力を調節することで、ノズル面２ｂにおけるインクの圧力を調節する調圧ポンプ４と、インクジェットヘッド２を掃引する掃引ユニット６と、不良ノズルを検出するノズルチェック装置７と、制御部１０と、を備える。そして、制御部１０は、掃引ユニット６を用いてノズルチェック装置７で検出された不良ノズルが含まれる一部のノズル２ａを吸引する際、調圧ポンプ４による上部空間Ａの圧力制御により、ノズル面２ｂにおけるインクの圧力を指定圧力よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】洗浄能力が高く、噴射ノズル数の増加に伴う洗浄水流量の確保が容易であり、装置の構造を簡略化して小型・軽量化を図れ、洗浄時に装置の振動が生じにくく、均一で効率的な洗浄ができる回転型高圧水噴射式洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧水を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する複数の高圧水噴射ノズル２１を備え、複数の噴射ノズルを円周方向に沿って等間隔にかつ長手方向に沿って複数列設けたノズルホルダー２と、このノズルホルダーと一体回転可能に接続され各噴射ノズル２１の高圧水供給路４１に連通可能な複数の高圧水導入路４５を円周方向に等間隔にかつ長手方向に沿って設けた回転型分配弁４と、ノズルホルダー２および回転型分配弁４の一方向連続回転手段７とを備え、回転型分配弁４から高圧水を複数の高圧水導入路４５に順次・間欠的に供給し、ノズルホルダ２ーの複数の噴射ノズル２１から高圧水を順番にかつ間欠的に噴射させる。 （もっと読む）

【課題】正確且つ適正に液滴の吐出量を計測可能なノズルごとの吐出量の計測方法、これを用いた電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例のノズルごとの吐出量の計測方法は、吐出ヘッドにおける複数のノズルの配置に対応して設けられ、一対の電極のうちの一方の電極を有する複数の膜形成領域のそれぞれにノズルから機能性材料を含む液体を液滴として予め定められた吐出回数で吐出する試験吐出工程と、膜形成領域に吐出された液体を固化して機能性材料からなる機能膜を形成する機能膜形成工程と、機能膜を覆うように一対の電極のうちの他方の電極を形成する電極形成工程と、膜形成領域ごとの機能膜の電気特性を一対の電極を介して計測する計測工程と、計測された電気特性の結果に基づいて、機能膜の膜厚を求める膜厚算出工程と、求められた機能膜の膜厚に基づいて、液滴のノズルごとの吐出量を求める吐出量算出工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】プリント基板製造工程のハンドリング性向上及び歩留りアップによるコスト削減。
【解決手段】銅又は銅合金からなる矩形の箔Ａを、接着強度５ｇ／ｃｍ〜５００ｇ／ｃｍである接着剤Ｂにより、前記矩形の箔Ａの対向する２辺の端部で張り合わせた後、この接着した前記矩形の箔Ａの両面に、プリプレグＰ及び銅箔Ｃを順に張り合わせて積層体Ｄとし、次にこの積層体Ｄの両面に、全面を覆う大きさのドライフィルムレジストＦをラミネートし、ラミネート後にドライフィルムレジストＦを露光・現像してパターンを形成し、さらにこのパターン部をエッチング及びめっきにより金属パターンＧを形成した後、前記接着剤Ｂによる張り合わせた部分から剥離して、片面に金属パターンＧが形成された２枚の積層板Ｈ。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、低温（２００℃以下）で硬化可能であり、得られる硬化膜が柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、ハンダ耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、硬化膜からの難燃剤成分のブリードアウトが発生しない熱硬化性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも（Ａ）分子内にラジカル重合性基を実質的に含有しないカルボキシル基含有樹脂、（Ｂ）エポキシ樹脂、及び（Ｃ）熱硬化性樹脂組成物中において粒子径が１μｍ以上、２５μｍ以下で存在しているイミド樹脂を含有することを特徴とする熱硬化性樹脂組成物を用いることで上記課題を解決しうる。 （もっと読む）

【課題】吐出する機能液が所定の温度に調整されるまでの待機時間を短くする液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】着色液３１を液滴４６にして吐出し所定のパターンを描画する液滴吐出装置８にかかわる。着色液３１を加熱または冷却して着色液３１を所定の温度に調整する第１加熱冷却装置４１を備え、第１加熱冷却装置４１は１つのパターンを描画するときに吐出する量の着色液３１を所定の温度に調整する。 （もっと読む）