【課題】半導体製造装置に腐食性ガスを供給する際に，ガスフィルタでは除去できない揮発性金属成分の混入を防止する。
【解決手段】半導体製造装置（例えば熱処理装置１１０）にガス供給流路２２０を介して腐食性の高いガスを供給可能なガス供給システムであって，ガス供給流路２２０に設けたガスフィルタ２４０と，ガス供給流路２２０のガスフィルタ２４０の配設位置よりも下流側に設けられ，ガス供給流路２２０を流通するガスに含まれる揮発性金属成分を液化させて除去する金属成分除去器２５０とを設けた。 （もっと読む）

ジクロロヒドリン、クロロヒドリンのエステル、モノクロロヒドリン及び／若しくはこれらのエステル並びに多ヒドロキシル化脂肪族炭化水素化合物及び／若しくはこれらのエステルから選択された１種又はそれ以上の化合物並びに、任意的に、水、塩素化剤、触媒及び／又は触媒のエステルの１種又はそれ以上の物質からなる混合物からジクロロヒドリンを回収する方法及び装置を開示する。この混合物は、蒸留又は分別されて、混合物からジクロロヒドリン（類）からなる低沸点フラクションを分離して、蒸留又は分別の残渣を含む高沸点フラクションを生成する。高沸点フラクションはストリッピングされて、残留するジクロロヒドリンを回収する。利点には、所定の蒸留塔についてのジクロロヒドリンの一層効率的な回収、重質副生物の生成に至る条件を回避することによるより少ない廃物及び回収装置に於ける減少した資本投資が含まれる。 （もっと読む）

ジクロロヒドリンと、ジクロロヒドリンのエステル、モノクロロヒドリンおよび／またはそのエステルならびにポリヒドロキシ脂肪族炭化水素化合物および／またはそのエステルから選択される１種以上の化合物と、所望により水、塩素化剤、触媒および／または触媒のエステルを含む１種以上の物質とを含む混合物からジクロロヒドリンを回収する方法および装置を開示する。該混合物は、１工程で該混合物からジクロロヒドリンを含む低沸点留分を分離するために該混合物を蒸留または分留する間にジクロロヒドリンを回収するためにストリッピングされる。利点としては、所与の蒸留塔についてのジクロロヒドリンのより効率的な回収、重質副生成物の形成を助長する条件の回避による廃物の減少、および回収装置における低下された資本投資の低減が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】沸点差が異なり、且つ高融点の複数成分を含む留出物の蒸留方法を提供する。
【解決手段】芳香族モノヒドロキシ化合物とカルボニル化合物とを原料として炭酸ジエステルを合成する工程で得られた反応液から未反応芳香族モノヒドロキシ化合物を含む留出物を留去した後、留出物を芳香族モノヒドロキシ化合物の融点以下の温度で運転する熱交換器１６ａに導入し、さらに凝縮液Ｌの一部を熱交換器１６ａの上流側に循環させる。 （もっと読む）

【課題】 スケールの付着を防止しつつ排水を処理し、多量の水を回収、リサイクルすることができる排水リサイクル方法の提供を目的とする。
【解決手段】 カルシウムイオンを含む排水を二酸化炭素含有ガスと接触させて、炭酸カルシウムを生成する前処理ステップと、炭酸カルシウムを含む排水を濃縮装置に移送して蒸発濃縮を行う濃縮ステップと、濃縮装置で発生した蒸気を回収する回収ステップとを備える排水リサイクル方法である。 （もっと読む）

【課題】優秀な物質分離特性と化学的、生物学的もしくは物理的なパッキング機能性の優秀な効果とを同時に示す改善された多目的パッキングを提供する。
【解決手段】特殊構造を有する有能な多目的パッキングは少なくとも２倍の機能性を有すると共に交互の層で設けられた物質分離要素と第２機能性要素とを内蔵し、物質分離要素はプロフィルド表面を有すると共に第２機能性要素のそれぞれは相互の頂部に設けられた２つもしくはそれ以上の閉鎖チャンバを有して第２機能性に関し物理的、化学的もしくは生物学的に活性なパッキング材料が充填される。 （もっと読む）

【解決手段】フッ化水素酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液中の固形分を分離した後、蒸留によりまず廃液を濃縮し、主としてフッ化水素酸を含む水溶液と主としてケイフッ化水素酸を含む水溶液をそれぞれ回収する。その他の物質は釜残に残す。
【効果】フッ化水素を含む水溶液は、フッ化水素酸を加えて濃度を調製した後、ガラスのケミカルエッチング処理液として再利用できる。ケイフッ化水素酸を含む水溶液は、２酸化ケイ素を加えてフッ化水素酸をケイフッ化水素酸に変換することにより、さらに水で希釈して所定の濃度に調製することにより、市販用のケイフッ化水素酸およびケイフッ化物の合成原料として再利用できる。 （もっと読む）

【解決手段】フッ化水素酸、塩酸、ケイフッ化水素酸およびホウフッ化水素酸を含む廃液を、常圧もしくは減圧下における蒸留操作により、酸をほとんど含まない水、ケイフッ化水素酸をほとんど含まないフッ化水素酸と塩酸の混合水溶液、および、塩酸を含まずフッ化水素酸とケイフッ化水素酸を含む水溶液の順に留出させる。ホウフッ化水素酸またはホウ素分は釜残に残す。
【効果】フッ化水素、塩酸、ケイフッ化水素酸を効率よく分離・回収できる。フッ化水素と塩酸を含む水溶液は、ガラスのケミカルエッチング処理液として再利用できる。ケイフッ化水素酸を含む水溶液は、市販用のケイフッ化水素酸、および、ケイフッ化物の合成原料として再利用できる。 （もっと読む）

ポリエステル製造プラントにおける廃水の低減方法は、化学反応器の少なくとも１つからのエチレングリコール含有組成物を水分離カラムに供給する工程を含む。水分離カラムは、水分離カラム中に存在する全てのアセトアルデヒドを実質的に蒸気の状態に保持するように所定の温度範囲内に保つ。１種又はそれ以上の有機化合物を含む廃棄物−蒸気混合物はその後に水分離カラムから除去し、燃焼する。ポリエステル製造プラントは任意的に、熱交換器を有するスプレー凝縮器システムを含み、熱交換器が清浄を必要とする場合には熱交換器を水分離カラムに由来する高温エチレングリコール組成物と接触させるようにする。ポリエステル製造プラント中に存在するいかなる化学物質によっても雨水が汚染されないように、ポリエステル製造プラントは屋根及び壁で囲むことができる。
（もっと読む）

【課題】異常運転時において、減圧システムの圧力が急上昇することにより減圧容器の運転温度が上昇して取り扱い物質が熱劣化することを防止し、またシステムへの大気や酸素含有ガスの吸い込みによる爆発混合気体の生成を防止することができるという、特に工業的実施の観点に優れる減圧システムを提供する。
【解決手段】減圧容器に液を供給する配管に液柱を有し、液の流れについての液柱の上流側に気相と液相が存在する設備が設置され、液柱高さが下記式（１）を満足する減圧システム。
Ｈ≧（Ｐ₁−Ｐ₂）／ρ （１）
Ｈ：液柱高さ［ｍ］
Ｐ₁：気相が存在する設備の圧力［ｋｇ／ｍ²］
Ｐ₂：減圧設備の圧力［ｋｇ／ｍ²］
ρ：見かけの液の比重［ｋｇ／ｍ³］ （もっと読む）

【課題】 低濃度のＸｅが含まれるプラズマエッチング等の半導体製造プロセス排ガス中より、水分、ＣＯ_２およびＦＣ等を機能的に除去して高純度なＸｅを回収することが可能な、簡便で捕集効率の高い回収方法および回収装置を提供すること。
【解決手段】 キセノンおよびフルオロカーボンを含む試料について、少なくとも、細孔径４Å以下の合成ゼオライトおよび酸化アルミニウムを直列に配して充填された第１吸着手段（Ａ１）、シリコーン製あるいはポリエチレン製の中空糸ガス分離膜モジュール４からなるガス分離手段（Ａ２）、活性炭、細孔径５Å以上の合成ゼオライト、細孔径５Å以上のモレキュラーシービングカーボン、あるいはこれらの組合せのいずれかが充填された第２吸着手段（Ａ３）、反応剤としてカルシウム化合物が充填された反応手段（Ａ４）、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固形物分離部とディーゼル生成物用蒸留部とを有する油回路中の炭化水素含有残留物からディーゼル油を生成する方法および装置を提供する。
【解決手段】固形物分離部とディーゼル生成物のための生成物蒸留部とを備えた油回路中の炭化水素含有残留物からディーゼル油を生成する方法において、高性能チャンバー混合機１の吸込側に投入容器２が接続されかつ圧送側に蒸発器１４が接続され、該蒸発器の上部に蒸留塔１８が設けられている。 （もっと読む）

少なくとも１種の有機化合物を含有する供給ストリームを触媒的に処理するためのプロセスであって、蒸留反応システムであって、この蒸留反応システムの頂部に配置された反応区画と、リボイラおよび／またはガスストリッピング区画とを有する蒸留反応システムを準備するステップであって、このリボイラおよび／またはガスストリッピング区画は、残留物ストリームの少なくとも一部分を気化させて上記残留物ストリームの気化された部分を上記蒸留反応システムの底部に戻すためのものであるステップと、有機物供給ストリームを上記最上部の反応区画の下で蒸留反応システムに導入するステップと、必要に応じて、ガス状反応物質供給ストリームを上記反応区画の最上部の下で上記蒸留反応システムに導入するステップと、オーバーヘッド生成物ストリームの実質的な還流もしくは再循環なく、または所望の生成物を再循環させる可能性があるあらゆる他の液体ストリーム、もしくは還流させることが望ましくない任意の他の化合物を上記最上部の反応区画に供給することなく、オーバーヘッド生成物ストリームを上記最上部の反応区画の上の上記蒸留反応システムの一部から除去するステップとを含む、プロセスが提供される。 （もっと読む）

本発明の対象は、１０１３ミリバールで高沸点の成分および沸騰しない成分から選択された成分Ａと、２０℃および１０１３ミリバールでガス状の成分および高沸点成分Ａよりも少なくとも３０゜Ｋ低い温度で沸騰する成分から選択される成分Ｂを有する液体の成分を蒸発させる方法であり、この場合少なくとも１つの成分は、少なくとも部分的にイオンに解離し、その際液体は、交互の導通によって加熱される。
（もっと読む）

【課題】安全且つ低コストで、低濃度ＰＣＢ含有絶縁油を処理するために、ＰＣＢの抽出・分離・回収方法とその装置を提供すること。
【解決手段】低濃度のＰＣＢを含有する絶縁油からＰＣＢを分離・回収するに際し、（１）ＰＣＢを含有する絶縁油と非プロトン性有機極性溶媒を混合し、絶縁油と、ＰＣＢの非プロトン性有機極性溶媒溶液とを分離し、（２）該ＰＣＢの非プロトン性有機極性溶媒溶液に水と炭化水素溶媒を添加混合し、水と非プロトン性有機極性溶媒の溶液とＰＣＢの炭化水素溶媒溶液に分離し、次いで（３）該ＰＣＢの炭化水素溶媒溶液からの炭化水素溶媒を回収すると共にＰＣＢを分離・回収する方法、及びそれに用いられる装置。 （もっと読む）

【課題】 活性アルミナ及び二酸化ケイ素を主成分とする無機セラミック系の吸着剤で、フッ素を含有する排水・廃液からフッ素を吸着処理し、吸着処理後の吸着剤を用いてフッ酸を生成する場合において、フッ酸の生成効率を高めるとともに、吸着剤の劣化を抑制することを課題とする。
【解決手段】 フッ素イオンを含有するフッ素化合物またはフッ素混合物からフッ素イオンを、活性アルミナおよび二酸化ケイ素を主成分とするセラミック系の吸着剤で吸着処理し、吸着処理後の吸着剤を用いてフッ酸を生成するフッ酸生成装置において、前記吸着剤と強アルカリまたは強酸とを反応させるとともに、結晶性二酸化ケイ素を加えてヘキサフルオロケイ酸ガスを発生させる蒸留手段と、前記蒸留手段により発生したヘキサフルオロケイ酸ガスを冷却し、加水分解してフッ酸を生成する冷却手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】系内から排出する塩素を削減して、系外へパージする際に塩素を処理するために要するアルカリ溶液の使用量を削減するスタートアップ方法を提供することである。
【解決手段】塩化水素から塩素を製造するプロセスのスタートアップ方法であって、塩化水素から塩素を含む混合ガスを製造する混合ガス製造工程（Ｓ１０）と、混合ガスを圧縮機１０４の吸入部１０４ａに導入して、圧縮機１０４により混合ガスを圧縮して、圧縮混合ガスを製造する圧縮混合ガス製造工程（Ｓ２０）と、圧縮混合ガスを精製塔１０５に導入して、蒸留により精製塩素と不純物とに分離する精製工程（Ｓ３０）と、精製塩素を圧縮機１０４の吸入部１０４ａに導入して、混合ガスと精製塩素とを圧縮する再圧縮工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】循環型液体又は超臨界二酸化炭素反応／処理装置を提供する。
【解決手段】加圧条件下で液体二酸化炭素を貯留する貯槽又は容器において、液体二酸化炭素の液面レベルを検知する手段として、差圧発信機を設置し、貯槽又は容器の下部から液体側接続配管が差圧発信機へ、上部から気体側接続配管が差圧発信機へそれぞれ個別に接続され、液体側接続配管は、差圧発信機の上部へ貫通流路を形成し、貫通後の配管は貯槽や容器の最大高さを超過する高さを有し、かつ気体側接続配管に連結されている、ことを特徴とする液面レベル検知装置、当該検知装置を設置した循環型液体又は超臨界二酸化炭素反応／処理装置。 （もっと読む）

本発明は、アルキル化された芳香族化合物を製造するためのプロセスに関する。このプロセスは、オレフィンおよび芳香族化合物を、アルキル化ユニットの少なくとも第１および第２の縦方向に空間を空けた触媒的反応帯へアルキル化反応条件下で導入して、アルキル化された生成物を得るステップを含み、前記第２の触媒的反応帯は前記第１の触媒的反応帯の上に配置されており、前記少なくとも第１および第２の触媒的反応帯の各々からの芳香族化合物は、前記アルキル化プロセスの発熱的な反応熱により気化された前記芳香族化合物の少なくとも一部を再液化するために冷却手段と接触し、前記オレフィンは、それぞれ第１および第２のオレフィン供給流れを経由して、約１０％未満だけ変化する少なくとも第１および第２の触媒的反応帯への入口でのオレフィン分圧を維持するようなそれぞれのオレフィン供給速度で少なくとも前記第１および第２の触媒的反応帯に導入されることを特徴とする。本発明はさらに、本発明のアルキル化プロセスを実施するための装置に関する。 （もっと読む）

本発明は、半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置及びその制御方法に関し、特に、公知の副産物捕集装置を構成するにおいて、垂直軸の周囲に一定角度をおいて固定設置された状態でサーボモータの駆動方向に応じて上プレート及び下プレート間で左右に回動し、いずれか一個が副産物を捕集して残りは反復的に清掃を行う数個のトラップユニットと、中央部は前記トラップユニットが固定された垂直軸が貫通する形態で軸支されて、前記上蓋体及び下蓋体と一定間隔を維持する形態で設置され前記ケースの上部及び下部からトラップユニット等の上開口部及び下開口部に接触され各々のトラップユニットに副産物流入口及び副産物排出口と洗浄水供給口及び洗浄水排出口、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口を選択的に連結させる上プレート及び下プレートと、平常時には伸長により前記上プレート及び下プレートとユニット等との間で気密を維持させて、トラップユニット等の交替のために一定方向に回動させる際には、垂直になりトラップユニット等を円滑に回動させるトラップとプレート連結及び分離手段と、前記垂直軸の低端部に軸が連結された状態で下プレートの底面に固定設置され制御部の出力信号に応じて正、逆方向に回動し前記トラップユニット等を一定角度範囲内で回転させるサーボモータと、制御プログラムを通じて前記サーボモータとトラップとプレートの連結及び分離手段及び各種バルブの駆動を制御する制御部とから構成される。
（もっと読む）