【課題】分割すべき領域の内部にレーザー光線を十分に集光させること。
【解決手段】改質層形成工程を実行する前に、ワーク１の表面にワーク１に対して吸収性を有するレーザー光線ＬＢを照射してワーク１の表面に存在する凹凸１０１を除去する。これにより、改質層形成工程を実行する際に、ワーク１の表面に存在する凹凸１０１によってレーザー光線ＬＢが散乱されることにより、分割すべき領域の内部にレーザー光線ＬＢを十分に集光できなくなることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】
レーザを用いた薄膜のスクライブにおいて、加工スポット間の重畳部でエネルギが過剰になることを防ぎ、下地へのダメージを発生させないようにすると共に、膜残りが発生しないようにスクライブ領域を加工することを可能にする。
【解決手段】
試料の表面に形成された薄膜にパルスレーザ光を試料の表面に対して相対的に走査しながら照射することで試料の表面から薄膜を部分的に除去加工する薄膜レーザパターニング方法及び装置において、パルスレーザを相対的に走査する方向に対して非対称なトップハット形状の強度分布を有するように成形し、この成形したパルスレーザの照射領域を一部重複させながら照射して相対的に走査することによりこの相対的に走査して照射した領域の薄膜を除去加工するようにした。 （もっと読む）

【課題】媒質の屈折率の温度依存性を利用して所望の光学特性を呈する。
【解決手段】
流体光学素子１０は、入射された光が通過する互いに対向する端面１１Ａ，１１Ｂを有する容器１１に、屈折率に温度依存性を有する媒質であって、第１の波長λ１のレーザ光Ｌ１は吸収し、第２の波長λ２のレーザ光Ｌ２は透過する波長選択性を有する液体１２を収容してなり、少なくとも高密度に集束された光が通過する側の端面に入射用又は出射用の開口１４が設けられている。この流体光学素子１０は、第１の波長λ１のレーザ光Ｌ１の照射により上記液体１２に温度勾配が与えられ、上記温度勾配にともなう上記液体１２の屈折率勾配によるレンズ効果、すなわち、熱レンズ効果を呈し、入射される第２の波長λ２のレーザ光Ｌ２に対して上記レンズ効果を付与する。 （もっと読む）

【課題】並行して使用するレーザ光のスポットの形状や大きさを簡単に個別に調整する。
【解決手段】レーザ光λａは、レンズ１２０ａにより結像位置Ｐ１ａにおいて結像した後、レンズ１２１ａによりコリメートされ、２波長性ミラー１２３に入射する。レーザ光λｂは、レンズ１２０ｂにより結像位置Ｐ１ｂにおいて結像した後、レンズ１２１ｂによりコリメートされ、全反射ミラー１２２により反射され、２波長性ミラー１２３に入射する。そして、レーザ光λａおよびレーザ光λｂは、２波長性ミラー１２３により光路が結合され、２波長性レンズ１２４により結像位置Ｐ２において結像する。本発明は、例えば、薄膜太陽電池パネルを加工するレーザ加工装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ガラスなどのワーク表面にレーザビームを走査しながら照射して同表面を加熱し、その背後を同じく走査しながら冷却しワークに表面スクライブを実現する方法及び装置において、所要レーザ出力を低減することと薄板ワークに対する安定した表面スクライブを行うことを目的とする。
【解決手段】加熱用レーザビームのエネルギー密度分布と冷却液分布を所要の熱応力スクライブ生成に最適化させることによって所要レーザ出力の低減とプロセス安定化を実現した。この実現のために前者では回折格子型光学素子を使用してスクライブ線方向の両側で対称性を持つ時間的にも空間的にも一様で過剰なエネルギー密度を避けた分布を実現した。また後者では冷却液が加熱領域の後方にスクライブ線の両側で対称性を有する分布を実現する冷却ノズルを使用した。 （もっと読む）

【課題】大きなガラスシートを小さく分割するガラス切断システムにおいて、切断速度を向上する。
【解決手段】３０ｍｍ以上の最大寸法を有する細長いビームスポット形状を有するレーザビームを、部分的なクラック切り込みラインを生成するためガラスシートを横断して移送させ、そのガラスシートを、その後、部分的なクラックの領域に曲げモーメントを付加することにより、器切り込みラインに沿って分割する。 （もっと読む）

【課題】溶接部の品質を向上させることができる中空エンジンバルブの溶接方法を提供する。
【解決手段】一端に傘形形状を有する中空軸状の弁傘部材１１と軸状の軸端封止部材１２とを互いに溶接することにより得られる中空エンジンバルブの溶接方法において、弁傘部材１１における中空軸部１１ｂの端面２１と軸端封止部材１２の端面３１とを突き合わせることにより形成される溶接部に、弁傘部材１１及び軸端封止部材１２の軸心に対して点対称となる２方向から同時に電子ビームＥを照射すると共に、突き合わされた弁傘部材１１及び前記軸端封止部材１２をその軸心周りに回転させることにより、弁傘部材１１と軸端封止部材１２とを溶接する。 （もっと読む）

【課題】材料歩留りを向上させるとともに肉盛層での欠陥の発生を抑制できるレーザ肉盛溶接方法を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザ肉盛溶接方法は、レーザの照射断面形状を多角形とし、該多角形の少なくとも一辺を前記レーザの走査方向に沿わせるとともに、前記多角形のレーザで囲まれた内側に粉末状の溶加材６を供給する。このようにすることで、ビード４の端部への入熱を大きくすることができるとともに、溶加材６の飛散を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】空間光変調素子の劣化を防止することができるパターン投影装置およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を複数のミラーによって空間変調する空間光変調素子４５と、基板１を照明する照明系３６を含む照明光学系と、空間光変調素子４５に空間変調された変調光を対象物に投影する結像レンズ３８と、空間光変調素子４５から出力されたレーザ光の進行方向を結像レンズ３８の光軸と一致する方向に偏向させる偏向素子４６と、を備え、空間光変調素子４５は、空間光変調素子４５に入射するレーザ光の進行方向が該空間光変調素子４５の基準面の法線とおおよそ平行である。 （もっと読む）

【課題】光導波路や空間光変調素子の損傷および対物レンズの瞳での光損失を回避しつつ、効率よく加工面にレーザ光を伝達できるレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００において、制御部１０４は、記憶部５６が記憶する条件表のうち、実行すべき加工工程または加工対象物の種別に対応する条件表にしたがって、空間光変調素子３２から照射されたレーザ光を加工面に投射する対物レンズ３を切り替え、レーザ光源２１と光ファイバ２２との間に設けられる結合レンズを結合レンズ２４ａ，２４ｂのいずれかに切り替えさせることによって、光ファイバ２２から出射されるレーザ光のＮＡを対物レンズ３に合わせて変更させる。 （もっと読む）

【課題】 良質な加工を行う。
【解決手段】 レーザビームを加工対象物上に、複数の光強度分布のピークをもつビームプロファイルを形成させて入射させる。光強度分布のピークの値をＰ、光強度分布のピーク間の極小値をＡ、加工対象物の加工が可能な光強度の閾値をＳとするとき、
Ｓ＜Ａ≦（Ｐ＋Ｓ）／２
の関係を満たすように、レーザビームを前記加工対象物に入射させる。 （もっと読む）

【課題】レーザー発振器から発振されるレーザー光線を集光レンズによって集光することなく集光器に伝送することができる光伝送手段を備えたレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザー光線発振器６１が発振したパルスレーザー光線の波長域を拡張する波長域拡張手段６４と、波長域拡張手段によって波長域が拡張されたパルスレーザー光線のパルス時間幅を拡張するパルス時間幅拡張手段６５と、パルス時間幅拡張手段によってパルス時間幅が拡張されたパルスレーザー光線を集光する集光レンズ６６と、集光レンズによって集光されたパルスレーザー光線を入光して伝送する光ファイバー６７と、光ファイバーによって伝送されたパルスレーザー光線を平行光に修正する修正レンズ６８と、修正レンズによって平行光に修正されたパルスレーザー光線を元のパルス時間幅に圧縮して集光器に伝送するパルス時間幅圧縮手段６９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】厚みを有する被加工物を、ＣＯ_２レーザよりも波長が短いレーザを用いて切断することができるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を得ることを目的とする。
【解決手段】レーザ出射部２４によって、被加工物３０を切断するためのレーザビーム（ＣＯ_２レーザよりも波長が短いＹＡＧ系レーザ）が出射され、光学系２６によって、レーザ出射部２４から出射されたレーザビームのエネルギー分布が、被加工物３０の位置において該被加工物３０の切断の進行方向に対して偏重するように該レーザビームが集束されるので、レーザビームのパワーが溶融金属の温度上昇により消費できるようにレーザビームを集束させることが可能となり、溶融金属の温度を高温にできる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の分割がより確実化される被分割体の加工方法を提供する。
【解決手段】パルス幅がｐｓｅｃオーダーのパルスレーザー光を出射する光源からステージに至る光路を途中で第１と第２の光路に部分分岐させ、個々の単位パルス光について、前者を進む第１の半パルス光に対し後者を進む第２の半パルス光が遅延するように第２の光路の光路長を設定し、第１の半パルス光と第２の半パルス光の被照射領域が同一となり、かつ、個々の単位パルス光ごとの被照射領域が被加工面において離散的に形成されるようにパルスレーザー光を照射することによって、被照射領域同士の間で被加工物の劈開もしくは裂開を生じさせることで、被加工物に分割のための起点を形成する。 （もっと読む）

【課題】 電極板と集電板との溶接を好適に行うことのできる溶接方法および溶接装置および電池の製造方法および電池を提供すること。
【解決手段】 正極集電板１１０を正極板Ｐに溶接する際に，照射中心領域Ｚと高強度外周部領域Ｙとを有するレーザを用いる。高強度外周部領域Ｙにおけるレーザの強度は，照射中心領域Ｚにおけるレーザの強度よりも強い。レーザを走査する際には，溶接幅の方向の中心に照射中心領域Ｘが走査されるようにするとともに，溶接幅の方向の中心の両側に高強度外周部領域Ｙが走査されるようにする。そのため，溶接箇所におけるレーザの走査方向に垂直な断面では，熱影響部の断面形状に，レーザを照射する向きに突出している凸部Ｘ２，Ｘ３が表れている。そして，凸部Ｘ２，Ｘ３の間に凹部Ｘ１が表れている。 （もっと読む）

【課題】厚みを有する被加工物を波長が短いレーザを用いて切断することができるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を得ることを目的とする。
【解決手段】レーザ加工装置１０は、第１照射部１４によって集束されたＹＡＧ系レーザを被加工物１２に照射し、第２照射部１６によって集束され、ＹＡＧ系レーザよりも波長が長いＣＯ_２レーザをＹＡＧ系レーザが照射されている被加工物１２の領域に照射する。すなわち、ＹＡＧ系レーザが被加工物１２を構成する金属を溶融させ、ＹＡＧ系レーザよりもプラズマ吸収率の高いＣＯ_２レーザが溶融金属の温度を上昇させる。この結果、溶融金属が高温となり、溶融金属をアシストガスで吹き飛ばせるほど溶融金属の粘性を下げることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を実現できるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ光にて試料Ｓを補修するレーザ加工装置１００において、観察光を出射する照明光源１と、加工用のレーザ光を出射するレーザ発振機９と、観察光とレーザ光とを環状とするリング状開口部４１の形成された光路切替部材４と、対物レンズ６１の外側において、対物レンズ６１を囲うように配されたリングレンズ６２と、を備え、光路切替部材４のリング状開口部４１を通過した観察光とレーザ光とは、リングレンズ６２を介して試料Ｓに照射される。 （もっと読む）

【解決手段】 先ず、板状の被加工物２に対して液柱Ｗを噴射すると同時に該液柱W内に導光されたレーザ光Ｌを照射して、切断予定線Ｃに沿って被加工物２を切断する（図４（ａ））。次に、被加工物２の切断面２Ａをなぞるようにして、再度液柱Ｗを被加工物２に噴射すると同時にレーザ光Ｌを照射して、切断面２Ａの長手方向全域を除去する仕上げ加工を施す（図４（ｂ））。
【効果】 切断面２Ａのドロスや酸化膜が除去されて、平滑な端面２Ａ’を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】被加工物に、略同一のテーパ角を有する複数のテーパ穴を同時に形成することができるテーパ穴形成装置を提供する。
【解決手段】テーパ穴形成装置１０は、マスク照明系１１からの光を変調して、略円形の等強度線を有する光を被加工物１８に照射する光変調手段１５を備えている。光変調手段１５は、各々がテーパ穴２０に対応する変調量分布を有する複数の単位変調手段を有しており、各単位変調手段により変調されて被加工物１８に照射される光は各々、テーパ穴２０に対応する光強度分布を有する単位階調光５０となっている。また、各単位階調光５０のうち一の単位階調光５０における傾斜部分５２の幅ｗは、その他の単位階調光５０のうち少なくとも１つの単位階調光５０における傾斜部分５２の幅と異なっている。 （もっと読む）

【課題】矩形の照射パターンの寸法や照射パターン同士の間隔を容易に変更可能なレーザビーム照射装置を提供する。
【解決手段】レーザビーム照射装置１は、レーザビームを発振するレーザ発振器１１と、レーザビームの形状を矩形に変換するとともに強度を均一化する光ファイバ１３、光ファイバ１３から出射したレーザビームを複数のレーザビームに分岐する分岐用ＤＯＥ１４と、分岐用ＤＯＥ１４から出射したレーザビームを結像する光学系とを備える。光学系は、複数のレーザビームが入射する第１のシリンドリカルレンズ１５と、第１のシリンドリカルレンズ１５から出射したレーザビームが入射する第２のシリンドリカルレンズ１６とを含む。第１のシリンドリカルレンズ１５のシリンドリカル面１５ａにおける曲率を持たない第１の方向と、第２のシリンドリカルレンズ１６のシリンドリカル面１６ａにおける曲率を持たない第２の方向とが互いに直行している。 （もっと読む）