【課題】バルジの発生を抑制するとともに、描画前に不良を検出し、効率的に画像を形成する。
【解決手段】液体を液滴として記録媒体に向けて吐出する液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドと前記記録媒体の間に前記記録媒体と平行に配置された、描画パターンと同じ密度及び配置で液体吐出用の穴が形成された中間ノズルアレイプレートと、前記中間ノズルアレイプレートの前記液体吐出用の穴から、前記記録媒体に向けて前記液体を一斉に吐出させる手段と、を有し、前記液体吐出ヘッドから、前記中間ノズルアレイプレートの描画データに対応した前記液体吐出用の穴に向けて液体を吐出して前記穴を前記液体で充填して前記中間ノズルアレイプレートに描画パターンを形成した後、中間ノズルアレイプレートの前記液体が充填された前記液体吐出用の穴から前記記録媒体に向けて、一斉に前記液体を吐出して、前記記録媒体上に描画パターンを形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドのノズルプレートに固化・固着した機能液を除去する液滴吐出ヘッドの付着物除去方法を提供する。
【解決手段】キャップベース６９に、キャップ室７２の底面で開口する導入口７３を設け、吸引ポンプ７６を介して、機能液を溶解する溶解液が貯留されたタンク７７に連通させた。また、シール部材７０には、キャップ室７２の開口面に近接する位置で開口する導出口７９を設け、廃液タンク８２に連通させた。そして、ノズル形成面４５ａに洗浄キャップ６８を当接させて、キャップ室７２を密閉すると、吸引ポンプ７６を駆動させてキャップ室７２に溶解液を供給し、該キャップ室７２を溶解液で満たした。従って、ノズル形成面４５ａに固着した機能液８３は、溶解液によって溶解されて除去される。そして、その後も供給される溶解液によって、キャップ室７２内の溶解液は廃液タンク８２へと排出される。 （もっと読む）

【課題】廃液収容容器の構成を複雑にすることなく、長期にわたり安定して廃液の堆積を低減することのできる廃液収容容器の提供。
【解決手段】維持回復機構から排出された廃液は、廃液タンク１００の廃液投入口から廃液タンク１００内に排出されると、スクリュー部材１１１上に滴下され、スクリュー部材１１１の回転に伴って吸収体１０２側に移動（移送）され、吸収体１０２に接触することで、スクリュー部材１１１から掻き取られ、吸収体１０２に吸収される。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を要することなくノズルの吐出状態を正確に検査し、ノズルが不良になる前に検出して処理効率の向上を図る。
【解決手段】間欠的にインクを吐出する複数の微小ノズルが下方に向けられた状態で設けられたインクジェットヘッド２６と、各微小ノズルから吐出されて滴下しているときのインク液滴の画像であり、画像領域中に各ノズルから吐出されたインク液滴が少なくとも１個は含まれるような画像を撮影するカメラ６６と、カメラ６６が撮影した画像の中に含まれるインク液滴の個数が所定個数あるか否かに基づいて、または各インク液滴が所定範囲にあるか否かに基づいて、微小ノズルのインク吐出状態の良否を判定する画像処理装置４５と、を有している。 （もっと読む）

【課題】 基板を浮上搬送しつつ塗布を施す場合でも、基板を安定させた状態で塗布できる浮上搬送塗布装置を提供する。
【解決手段】 スリットノズル９の直下には、サポートローラ１０がスリットノズル９と平行に配置されている。このサポートローラ１０は好ましくは上下方向に位置調整可能とされ、その上端は前記テーブル１〜４の上面と同一高さになるか、テーブルの上面よりも若干高い位置にする。このような構成とすることで塗布の際に基板Ｗの下面をサポートローラ１０で支持するため、基板Ｗが沈み込んだり撓んだりしない。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱させるための消費電力を低減できることができ、液滴吐出ヘッドへの放熱の影響を低減させることができる液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】配置位置ＰＦがノズルＮの直下の目標吐出位置Ｐに位置した時、半導体レーザと圧電素子ＰＺを駆動して、ノズルＮからの液滴Ｄが配置位置ＰＦ（目標吐出位置Ｐ）に着弾する直前に、その目標吐出位置Ｐにレーザ光Ｂを照射した。従って、基板Ｓ１は液滴Ｄが配置される配置位置ＰＦのみが加熱されるため、基板Ｓ１を加熱する際の消費電力の低減を図ることができる。しかも、基板Ｓ１全体の温度は抑えられるため、隣接する吐出ヘッド２０は基板Ｓ１から熱の影響が抑えられる。また、液滴Ｄが配置される前に、配置位置ＰＦがレーザ光Ｂにて加熱されるため、液滴Ｄはすみやかに乾燥する。 （もっと読む）

【課題】吐出された液滴を速やかに乾燥させて生産性を上げるとともに高精細なパターンを形成することができる液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】吐出ヘッド２０から基板Ｓ１に向かって液滴Ｄを吐出しているとき、吐出面ＳＡとノズル形成面２３ａとの間に、乾燥用気体を、＋Ｙ方向に流す。また、吐出面ＳＡとノズル形成面２３ａとの間に第１照射光Ｌｅ１を−Ｙ方向に照射する。液滴Ｄは、乾燥用の気体の流速にて＋Ｙ方向に曲げられる力を受けるが、＋Ｙ方向側から照射される第１照射光Ｌｅ１にて、その力を相殺する力を受け、各ノズルＮから吐出される液滴Ｄを、ノズルＮに対向する基板Ｓ１の吐出面ＳＡ上の目標点Ｔ０に着弾させる。液滴Ｄは、乾燥用の気体と第１照射光Ｌｅ１とで同時に乾燥され、乾燥が相乗的に促進されるため乾燥時間を非常に短くすることができる。 （もっと読む）

【課題】スジ、ムラ等の塗布故障のない塗布膜を備える塗布物の製造方法及び塗布装置を提供することを課題とする。
【解決手段】マニホールドの側面部に前記マニホールドに塗布液を供給するための給液口と、前記給液口が形成されている前記マニホールドの反対側の側面部に前記マニホールドに供給された塗布液を排出するための排液口を備えるダイヘッドに対し、少なくとも粒子を２．５ｗｔ％以上含む塗布液を用い、前記ダイヘッドの給液口を通じて断面積がＳである前記マニホールド内に流量Ｑ_１で塗布液を供給し、前記リップ先端から流量Ｑ_２で塗布液を吐出し、さらに、前記排液口から流量Ｑ_１−Ｑ_２であり、且つ、式（１）（Ｑ_１−Ｑ_２）／Ｓ ≧ ３．０（ｍｍ／ｓｅｃ）を満たすように塗布液を排出することにより、支持体上に塗布液を連続的に塗布し塗布膜を形成することを特徴とする塗布物の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】レーザのエネルギー効率を図りつつ液滴の空中乾燥を行うことができる液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド２０から見て、＋Ｘ方向に対して角度θの方向から、帯状の照射光Ｌｅを、吐出面ＳＡとノズル形成面との間の空間に向かって照射させるようにした。そして、ノズルピッチをＬ、液滴の直径を２ｒ、ノズルＮの総数がｉ個としたとき、帯状の照射光Ｌｅに対して液滴が隙間なく並ぶ、すなわち、液滴と液滴との間を、通過する照射光Ｌｅが無く、最も効率よく照射光Ｌｅを液滴に照射する帯状の照射光Ｌｅの角度θを、Ｌ・ＳＩＮθ＝２ｒ、の式が成立する角度θとした。これにより、帯状の照射光Ｌｅの端から端まで無駄なく液滴に照射させることができ、レーザ光のエネルギー効率のよい液滴の空中乾燥ができる。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく粘性流体の塗布に係る作業効率を向上させる粘性流体塗布装置を提供すること。
【解決手段】基板上の複数の塗布位置に粘性流体を塗布する粘性流体塗布装置１０１であって、粘性流体を吐出する第１ノズル１１ａと、第１ノズル１１ａとの間の距離を変更可能に設けられ、粘性流体を吐出する第２ノズル１２ａと、第１ノズルと第２ノズルとに同時に粘性流体を吐出させることで、１つの基板上の一の塗布位置と他の塗布位置とへの粘性流体の塗布を同時に行わせる制御部３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】接着剤の固化に伴う肉痩せ、接着場所の時間的な偏りに起因する位置ズレが生じ
ることなく、機能液滴吐出ヘッドのノズル（ノズル列）の位置精度（組付け精度）やその
前提となるキャリッジの位置が高い精度で位置決め固定できるヘッドユニットの組立方法
を提供すること。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド３をサブキャリッジ２の所定位置に位置決めした状態で
固定するヘッドユニットの組立方法であって、機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジ２の
所定位置に位置決めするヘッド位置決め工程と、前記ヘッド位置決め工程後、機能液滴吐
出ヘッド３とキャリッジ２の間に接着剤を流入させ、該接着剤が固化するまでの間に前記
ヘッド位置決め工程を行い機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジ２に固定する固定工程と
を備えた。 （もっと読む）

【課題】カーテンコータのエッジ処理を円滑に行う。
【解決手段】本発明のカーテンコータのエッジ処理装置は高速で走行するウェブｗ上面に塗料を塗布すべく、下方に向かって流れ落ちる塗料カーテンｃの両端部を挟むように設けられ、内側の面に潤滑液ｆが流れる細い溝２ｄｉが設けられ、該潤滑液ｆによって塗料ｔとガイド２表面との粘性による流れの阻害を軽減するようになっているネックイン防止用の１対のエッジガイド２と、ウェブｗ上への塗料カーテンｃの着地点よりも上流側に、下方に向かって外側に開いて八の字状に配置され、走行するウェブｗの両端部に接触してウェブｗの両端部を下方に屈曲させる１対のベンディングロッド３とを有してなり、塗料カーテンｃの幅はウェブｗの幅よりも狭く、塗料カーテンｃの両端部がウェブｗの屈曲した部分に着地する瞬間に塗料と潤滑液の混合物ｋが側方に飛散するようになっている。 （もっと読む）

【課題】優れた撥インク性を有し、かつその撥インク性を長時間保持できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、ノズル２が設けられたノズルプレート１と、このノズルプレート１の表面を覆う樹脂膜３とを備えている。樹脂膜３は、鉛筆硬度が２Ｈ以上のものであり、この樹脂膜３の表面における少なくともノズル２の周縁領域は、最大高さが０．０２μｍ以上２μｍ以下の微細突起が０．１〜２００００個／μｍ²の分布密度で分布する３１凹凸面３２であって算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以下である凹凸面３２となっている。 （もっと読む）

【課題】第１に、大きくて重く高価であり補修も必要な塗布ロールを使用せず、第２に、塗布量コントロールが自在に可能で、第３に、塗布パターンコントロールも自在に可能であり、第４に、接着剤除去作業も不要化される、接着剤の塗布装置を提案する。
【解決手段】この塗布装置８は、主剤Ｄと硬化剤Ｅからなる２液性の接着剤Ａを、搬送される塗布対象に対し、インクジェット方式にて塗布する。そして、塗布対象の搬送ライン方向Ｂに沿って、主剤Ｄを噴射する主剤ヘッドノズル１１と、硬化剤Ｅを噴射する硬化剤ヘッドノズル１２とが、直列に設けられており、噴射された主剤Ｄと硬化剤Ｅが、塗布対象上で重ねられ混合されて、接着剤ＡのドットＦを形成する。そして塗布装置８は、代表的にはハニカムコアの製造工程で使用され、塗布対象の母材シート４に搬送ライン方向Ｂに沿って、ドットＦが集合したラインの平行列にて、接着剤Ａの条線が形成される。 （もっと読む）

【課題】液膜を乾燥させて形成する膜の膜厚制御性を向上させる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】膜厚計測部は、液膜Ｆ０における反射光の分布を計測して反射光データを生成する。制御部は、反射光データを用いることにより各座標の膜厚差分値を演算し、膜厚温度変換を用いることにより各座標の膜厚差分値を液膜Ｆ０の温度に変換する。そして、制御部は、膜厚差分値の分布に応じた温度分布を液膜Ｆ０に形成して液膜Ｆ０の乾燥処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】装置の簡略化及び塗布異常検査時間の短縮化を実現することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１において、塗布対象物Ｋが載置されるステージ２と、ステージ２上の塗布対象物Ｋに対してシール材を吐出する吐出ヘッド４と、シール材の塗布パターンの目標塗布軌跡に基づいてステージ２を移動させるステージ移動機構３と、ステージ２の位置を検出する位置検出部と、検出したステージ２の位置と目標塗布軌跡に基づく位置とを比較し、塗布対象物Ｋに塗布されたシール材の塗布パターン形状の良否を判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】記録媒体の塗布領域境界部で生じる輝度ムラを良好に抑制する記録装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】記録装置１０は、基板１１を配置する処理ステーション１６と、インクジェット方式で記録媒体を塗布する複数の記録素子１８を備えた記録媒体塗布部１３と、記録媒体の塗布雰囲気を制御する雰囲気制御ユニット１４と、を備える。雰囲気制御ユニット１４は、処理ステーション１６を囲むように設けられた処理室２０と、供給された主溶媒３０を気化させる主溶媒気化部２１と、処理室２０と主溶媒気化部２１との間で気化された主溶媒３０を循環させる循環経路部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】走査方向に指向性のあるスリットノズルを採用した場合における、タクトタイムの増大を抑制する。
【解決手段】基板処理装置１の架橋構造に、走査方向に指向性を有する２つのスリットノズル４１ａ，４１ｂを取り付ける。このとき、スリットノズル４１ａについては（＋Ｘ）方向が走査方向となる向きで取り付け、スリットノズル４１ｂについては（−Ｘ）方向が走査方向となる向きに取り付ける。架橋構造の（＋Ｘ）方向に基板９０が存在する場合には、架橋構造を（＋Ｘ）方向に移動させつつスリットノズル４１ａからレジスト液を吐出させる。一方、架橋構造の（−Ｘ）方向に基板９０が存在する場合には、架橋構造を（−Ｘ）方向に移動させつつスリットノズル４１ｂからレジスト液を吐出させる。 （もっと読む）

【課題】保守部材の取り付け、取り外しの際の迅速性及び信頼性の向上と、清浄度の維持を図ったペースト塗布装置、及び、保守部材着脱方法を提供する。
【解決手段】塗布ユニット２０内の制御部１８２は、基板ステージ１１６と、ストッカ上下機構１２４と、クランパ１１９−１及び１１９−２との動作を制御する。これにより、、ストッカ１２２が上下に移動し、基板ステージ１１６がストッカ１２２に近づく方向あるいは離れる方向に移動し、クランパ１１９−１及び１１９−２が開放及び閉鎖を行う。このような動作により、基板ステージ１１６に取り付けられていた、複数の使用済みの保守部材１５０は、取り外されてストッカ１２２内の空いている載置台１３０に配置され、載置台１３０に搭載された未使用の保守部材１５０は、取り出されて基板ステージ１１６に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】機能液滴吐出ヘッドをヘッドプレートに接着固定するときに、外力が加わることのないヘッドユニットの組立方法および組立装置を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド３およびヘッドプレート４を磁性体で構成すると共に少なくとも一方を磁化する磁化工程と、磁化工程の後、機能液滴吐出ヘッド３をヘッドプレート４に磁着した状態で、ヘッドプレート４に対し機能液滴吐出ヘッド３を位置決めする位置決め工程と、位置決め工程の後、機能液滴吐出ヘッド３およびヘッドプレート４との隙間に接着剤を注入して、機能液滴吐出ヘッド３をヘッドプレート４に接着固定する固定工程と、固定工程の後、磁化工程で磁化した機能液滴吐出ヘッド３および／またはヘッドプレート４を脱磁する脱磁工程と、を有している。 （もっと読む）