【課題】吐出された液体の体積を精度よく測定する。
【解決手段】吐出手段１０１から吐出される液体２００を表面張力を用いて凸状に保持する保持面部１２１と、保持面部１２１の周囲に形成され、保持面部１２１からの液体２００の流出を抑止する抑止面領域１２２とを備える検査部材１０２と、保持面部１２１に保持される液体２００の形状に関する情報である形状情報を取得する形状情報取得手段１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度で均一な塗布が可能な薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】塗布対象物１００を吸着保持する吸着テーブル９と、吸着テーブル９に吸着保持された塗布対象物１００の表面にインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら薄膜形成を行う複数の塗布ヘッド４と、塗布ヘッド４を塗布対象物１００の上方位置で移動させるガントリ３と、を備える薄膜形成装置１であって、ガントリ３に、塗布対象物１００の表面を加熱する熱源装置３１を更に備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品の搭載された基板は樹脂系のコーティング剤を塗布することによって基盤遮蔽層を形成し、錆や腐食が生じないように覆われていた。しかし電極の為のホールや端子部分にコーティング剤を塗布すると不良品の発生になった。
【解決手段】ディスプレイ上でコーティング禁止エリアを設定し、制御部によってノズルパスを演算し、効率よく塗布作業するようにプログラミングするとともに、マスキング作業を不要にしたので簡単に塗布作業ができるようになった。 （もっと読む）

【課題】印刷に関連する関連処理を円滑に実行できる印刷装置を提供する。
【解決手段】基材に対して液体の液滴を吐出して印刷を行う吐出ヘッドを有する。操作権限情報の入力を受け付けるとともに、入力された操作権限情報に対応して選択可能な印刷に関連する関連処理を表示し、選択された関連処理の実行の入力を受け付けたときに、関連処理の設定に関する操作情報を操作権限情報に応じた所定の操作手順に従って表示して、関連処理の設定の入力を受け付けるインターフェイス部ＩＦを備える。 （もっと読む）

【課題】ディスペンサに詰まりが生じた場合にディスペンサを交換することなく詰まりを解消する。
【解決手段】光透過性の吐出部１０Ａを有し吐出部１０Ａ先端の吐出口１０Ａ１から塗布材を吐出するディスペンサ１０と、吐出部１０Ａに照射可能なレーザ光を出射するレーザ光源１１と、レーザ光源１１から出射したレーザ光を吐出部１０Ａに照射させる光学系１２を備える。吐出部１０Ａの特定位置にレーザ光を照射させ、特定位置の吐出部１０Ａ内に存在する詰まり原因を流動化させることでディスペンサ１０の詰まりを解消する。 （もっと読む）

【課題】フレークや粒状などの形状に加工された固形分濃度の高い塗料を用いる場合でも、塗工時の塗膜厚と膜密度を安定させることができる塗工装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗工装置は、塗料１２を塗工するための二つのロール１８、１９と、二つのロール１８、１９の隙間に塗料１２を供給するホッパー１４と、ホッパー１４内における塗料１２の上面の高さを測定するセンサ１５とを備え、ホッパー１４内における塗料１２の上面の高さをセンサ１５で測定した結果に応じて、二つのロール１８、１９の周速度の比を変化させる。 （もっと読む）

【課題】従来のステージ装置では、ワークに対する処理精度を維持することが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、つなぎ合わされた第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との間の精度を監視する監視装置８７と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の性質にバラつきが生じるのを防ぐこと。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に吐出するノズルを有する塗布部と、前記塗布部に前記液状体を供給する供給系と、前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方から前記液状体を回収し、回収した前記液状体を前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方に供給する循環系とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来の除材方法では、ワークに対する描画品位を向上させることが困難である。
【解決手段】ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有するテーブル板７１と、テーブル板７１に載置されたワークＷに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、ワークＷを降下させることによって、ワークＷを載置面２５ａに載置し、且つ、載置面２５ａに載置されたワークＷを上昇させることによって、ワークＷを載置面２５ａから離間させる昇降装置と、を有し、前記昇降装置は、ワークＷを載置面２５ａに載置するときに、ワークＷを載置面２５ａ側に凸となる向きに湾曲させた状態でワークＷを降下させ、ワークＷを載置面２５ａから離間させるときに、ワークＷを載置面２５ａに載置するときよりもワークＷの湾曲を緩和した状態でワークＷを上昇させる、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】従来のステージ装置では、処理効率を向上させることが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との継ぎ目７７よりも第１ガイド部８１側に設けられ、ワークテーブル２５が継ぎ目７７よりも第１ガイド部８１側に位置している状態で、ワークＷのワークテーブル２５に対する位置精度を検出する第１検出装置１４と、継ぎ目７７よりも第２ガイド部８２側に設けられ、ワークテーブル２５が継ぎ目７７よりも第２ガイド部８２側に位置している状態で、ワークＷのワークテーブル２５に対する位置精度を検出する第２検出装置１５と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】基板が薄く大型化しても静電気により基板が割れるのを抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置する石材製のステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、を有しており、前記ステージの基板が載置される載置面には、載置された基板を前記載置面に吸着させる吸着溝が形成されており、この吸着溝にはアース接続された導電材が埋設されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板の浮上量の変動を抑制することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】第一気体供給経路及び第一吸引経路のうち少なくとも一方の経路の一部分には大気開放が可能な大気開放部が設けられているので、噴出される気体の流量及び吸引される気体の流量のうち少なくとも一方の変化を緩和することが可能となる。これにより、基板の浮上量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板の箇所毎に気流の流れ具合を微調整して、塗布膜の乾燥ムラを少なくできる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１は、塗布膜を形成した基板１４を収容するチャンバー１０と、チャンバー１０の天面の排気口１１に接続された減圧配管１２と、チャンバー１０内で基板１４と排気口１１の間に配置されるものであって、複数の通気孔１７が形成された分散板１６を備える。複数の通気孔１７のうち、少なくとも一部の通気孔１７は開度可変である。開度可変とされた通気孔１７は、絞り機構１８により開度を変える。分散板１６は、複数の区画１９ａ、１９ｂ、１９ｃを設定し、区画毎に通気孔１７を複数ずつ配置し、区画毎に通気孔１７の開度を設定するという構成が可能である。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドに対するメンテナンス頻度を適正に行い、吐出特性を安定化させる。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドの周囲の湿度を測定する湿度測定部と、前記吐出ヘッドを保守するメンテナンス部と、測定された前記湿度に基づいて、前記吐出ヘッドに対する前記メンテナンス部の駆動頻度を制御する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に溶液を均一に塗布することができる塗布装置、ならびに塗布対象物への溶液の塗布によって均一な薄膜を形成することができる薄膜製造方法を実現する。
【解決手段】吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物の上に塗布されて、塗布対象物の上に皮膜が形成される。この皮膜が形成される工程において、吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物に塗布される前または吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物に塗布され始める際に帯電によって吐出部に蓄積されている電気量が低減される。 （もっと読む）

【課題】高速間欠塗布、および被塗布材全域への塗布を可能にする、塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】液体を塗布対象物に塗布する液体塗布装置において、気体の吸引口を有し、且つ、吸引口側の壁面に複数の凹凸が存在する、もしくは吸引口側の壁面の濡れ性が一定ではない部分を設けたノズルを用い、塗布終端において吸引を強めることで選択的に塗布液をノズル壁面に濡れ上がらせ、ビードに細かい亀裂を複数生じさせる。 （もっと読む）

【課題】液処理の工程に応じて基板の上方における気流の状態を最適化可能な液処理装置、および液処理方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを液処理する液処理装置１において、基板Ｗを水平に支持し、基板Ｗと共に回転可能な支持部材１０と、支持部材１０と共に基板Ｗを液処理するための処理室Ｓを形成し、処理室Ｓ内に気体を流入させる開口部２４を備えるカバー２０と、処理室Ｓ内において基板Ｗに上方から処理液を供給する液供給部材３０と、支持部材１０の外周部１３とカバー２０の外周部２３との間に形成される環状間隙ＧＰを取り囲み、環状間隙ＧＰを介して、回転する基板Ｗから振り切られる処理液を受け取るカップ４０と、環状間隙ＧＰを調節する調節機構１２２と、処理室Ｓの開口部２４に液供給部材３０を接近または離間させる移動機構１３２とを有する。 （もっと読む）

【課題】定着ベルト基材のような比較的柔軟な円筒状被塗工物の外側面に対して均一な塗膜をより高い塗工速度で形成することができる塗工装置を提供する。
【解決手段】塗工桶が上部部材と下部部材とにより構成され、下部部材には下部部材と円筒状被塗工物との間を水密に保つシール部材が設けられ、塗工液供給部が上部部材と下部部材との間に形成され、塗装時に円筒状被塗工物の外側面及びシール部材とともに塗工液を保持しながら円筒状被塗工物の外側面に塗工液を塗布する塗工液接触面が上部部材の貫通孔の内側面に円筒状被塗工物と離間して設けられ、上部部材を円筒状被塗工物と同軸に回転可能に保持する滑り部材が上部部材と下部部材との間に設けられ、かつ、上部部材を回転駆動させる上部部材回転駆動手段を有する塗工装置。 （もっと読む）

【課題】ワークの内面に全面に亙って粉体塗料を付着させることができる粉体塗装装置を提供する。
【解決手段】ワーク５１の内面に静電粉体塗装を行なうに際して、帯電した粉体塗料Fをワークの内面に吹き付けて付着させるための装置であって、ワークの内側に挿入される粉体塗料吐出ノズル１１を有し、この粉体塗料吐出ノズルからワークの内面に向けて放射状に粉体塗料を吐出することを特徴とする。ワークとしては例えば、内周面にスロットを備えるインナースロットモーターコアである。 （もっと読む）

【課題】塗料の無駄、及び空調のためのエネルギーを抑えながら、インクジェット方式で携帯端末用筐体の塗装を可能にすること。
【解決手段】鉛直方向に回動自在の第１ステージ１０と水平方向に回動自在の第２ステージ１１を有したワーク供給テーブルを具備するワーク搬送装置５と、ワーク搬送装置５の軌道の途上に配設されたインクジェット装置１２及びＵＶ硬化装置１６と、装置全体の作動を制御する制御部２１を具備し、インクジェット装置１２は上下動自在のプリンタヘッド１４を具備し、ワーク搬送装置５によって移動しているワークにプリンタヘッド１４からインクを着弾させることでワーク平面を塗装し、第１ステージ１０及び第２ステージ１１を所定角度回動することでプリンタヘッド１４に対してワークを所定角度だけ傾けるとともにプリンタヘッド１４を所定長だけ上昇することで、ワークの側面を塗装可能にした。 （もっと読む）