【課題】液体を高速かつ正確な量で液滴として吐出する。
【解決手段】液体２０１を貯留する貯留室２１０の一部を形成する第一部材１１１と、貯留室２１０内の液体２０１を吐出する吐出孔１１７が設けられる第二部材１１２と、第一部材１１１と第二部材１１２との間に配置される弾性部材１１３と、貯留室２１０内に液体２０１を供給する供給孔１１６と、貯留室２１０の容積を増減させる作動手段１１４と、第二部材１１２と熱的に接続され、第二部材１１２よりも熱容量の大きな蓄熱体１９２と、蓄熱体１９２を昇温する加熱手段１２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】短時間で精度良く全ノズルの吐出状態を検査することのできる吐出状態検査モードを備えた塗布装置および吐出状態検査方法を提供する。
【解決手段】各吐出ノズルからの液滴の吐出状態を検査する吐出状態検査モードを有する塗布装置であって、吐出状態検査モードにおいて、塗布ヘッド１０を検査面３１に対して平行な方向に速度ｖ_１で相対移動させている状態で吐出ノズル１１から検査面３１に向かって液滴を吐出することにより、液滴が検査面３１に対して平行な方向にシフト量ｄだけ移動して検査面３１上に着弾して液滴パターン２１を形成し、画像認識カメラが取得したこの液滴パターン２１の画像から液滴の位置を確認することにより、シフト量ｄを求め、このシフト量ｄをもとに液滴の吐出速度ｖ_２を算出し、これらシフト量ｄおよび吐出速度ｖ_２基づいて液滴の吐出状態を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 金属イオンによる塗布対象物の品質低下を抑制して良好な塗布を行なう。
【解決手段】 ノズルプレート７ｂが金属材料で構成されたインクジェット式の塗布ヘッド７に供給する塗布液を貯留する給液タンク１２と、塗布ヘッド７と給液タンク１２とを接続し塗布ヘッド７に塗布液を供給する給液管１３、１４と、塗布ヘッド７から塗布液を排出する排液管２２、２３と、給液タンク１２に貯留された塗布液を塗布ヘッドに向けて送液する送液手段１８と、この送液手段１８を制御する制御装置とを備え、制御装置は、塗布液中に含有される金属イオンの濃度が設定濃度に到達したときに、塗布液を排出管を通して排出させるように送液手段１８を制御する。 （もっと読む）

【課題】 表面平坦性に優れる被膜を形成可能な被膜形成装置および被膜形成方法を提供する。
【解決手段】 本実施形態の被膜形成装置１０は、回転台３０と、加熱器５０と、を備えている。この回転台３０は、上面に基板１１を載せるものである。この加熱器５０は、該回転台３０の上面３０ａと対向して配置される。この加熱器５０は、回転台３０の回転の中心部の発熱温度に比べて当該回転台３０の回転の外周部の発熱温度が高くなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】粉体の供給を簡単な構造で実現する。
【解決手段】粉体供給装置１２は、粉体ＹＡ１を収容すると共に、粉体ＹＡ１を供給先である粉体散布装置１１に供給する供給口２８ａを有する耐圧容器２０と、この耐圧容器２０内に間欠的な圧力を加える第１の送気手段２２と、耐圧容器２０内に連続的な圧力を加える第２の送気手段２３と、第１および第２の送気手段２２，２３を制御して耐圧容器２０内に間欠的な圧力および連続的な圧力を同時に加え、粉体ＹＡ１を耐圧容器２０内で浮遊させる制御ユニット２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出安定性を正確に判定する。
【解決手段】液滴を吐出する吐出口を有する塗布ヘッド４の吐出不良を検出する吐出不良検出装置８は、塗布ヘッド４の吐出口から液滴が吐出される空間を撮像する撮像部８ａと、その撮像部８ａにより撮像された画像を処理し、その画像中に点状の画像があるか否かを判断し、画像中に点状の画像があると判断した場合、塗布ヘッド４の吐出が安定していないと判定する判定部８ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に塗布膜の周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０の上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）

【課題】薬液の反対面へのまわりこみを抑制するスピンコーターを提供する。
【解決手段】基板１を下面において保持する基板保持ステージ２０を有する基板保持部と、上記基板保持ステージ２０の下方に配設され、上方の基板１に薬液を付着させる薬液吐出ノズル２６を有する薬液吐出部を基板保持ステージ２０と薬液吐出ノズル２６との間隔が０．５〜１０ｃｍに配置し、前記薬液の余剰分を回収する薬液回収部を有すると共に前記薬液吐出ノズル２６に循環する循環機構を有する。 （もっと読む）

【課題】温度環境の変化に伴うガイド部材の変形を抑制可能な技術を提供する。
【解決手段】移動装置１は、第１の材料により形成された基台１１と、基台１１上に設置された一対のガイド部材１２と、第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成され、一対のガイド部材１２に沿って移動可能な移動体１３と、一対のガイド部材１２のうちの少なくとも一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に配置された板バネ１４１とを備える。板バネ１４１は、移動体１３に対して固定される第１のブロック部と、ガイド部材１２ａの延在方向について第１のブロック部から離間した位置に配置され、ガイド部材に沿って摺動する摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、第１のブロック部と第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と
を備える。 （もっと読む）

【課題】シール若しくは接着剤の流動防止のための線幅を細く維持しつつ、均一で高い充填空間を確保できる接着剤供給装置及び接着剤供給方法を提供する。
【解決手段】紫外線の照射により硬化する接着剤Ｒを供給する接着剤供給装置において、ワークＳ１に対して線状に接着剤Ｒを供給する供給部１０と、供給部１０による接着剤Ｒの供給とともに、接着剤ＲにおけるワークＳ１との界面に対して、界面における接着剤が硬化するのに必要なエネルギーを有する紫外線を照射する照射部１１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】立体構造物に均一なコーティング剤の皮膜を形成する立体構造物のコーティング装置およびコーティング方法を提供する。
【解決手段】収容室２１にコーティング剤を供給して半導体装置４０を浸漬した後、収容室２１からコーティング剤を回収して半導体装置４０コーティング剤を塗布する。その後、回転駆動部３８によりコーティング剤を塗布した半導体装置４０を所望のコーティング剤の膜厚ごとに予め設定されている回転数で収容タンク１１とともに回転駆動する。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出する処理液の切り替えに要する時間を短縮し得る技術を提供する。
【解決手段】スリットノズル１１の内部空間１１Ｓに、４枚の仕切板４３１を有する仕切部材４３を装着する。この４枚の仕切板４３１によって、内部空間１１Ｓに処理液を貯留する貯留空間４１３ａ、４１３ｂ、４１３ｃが形成される。内部空間１１Ｓのうち、仕切部材４３のＹ方向外側両サイドの空間４２３ａ、４２３ｂには、選択的にエア供給部４２１からエアが供給される。空間４２３ａ、４２３ｂのどちらかにエアが供給されると、空間内の圧力が上昇し、仕切部材４３がＹ方向に沿って進退移動する。これにより、処理液を貯留する貯留空間４１３ａ、４１３ｂ、４１３ｃのいずれかと、吐出口１１１につながる接続空間１１１Ｈとが選択的に接続される。 （もっと読む）

【課題】アスペクト比が大きく且つ多数のスペーサを高速で実装することができる電界放出ディスプレイ用のスペーサ自動実装システムを提供する。
【解決手段】複数個のスペーサを水平整列パレット２１に水平方向に整列する水平整列機と、複数個のスペーサを垂直整列パレット５０に垂直に整列する反転機を含む垂直整列機５と、垂直整列パレット５０と接着剤の塗布されたパネル９とが固定される実装ベースと、垂直整列パレット５０に複数個のスペーサを真空吸着する真空吸着機７０と、複数個のスペーサをパネル９にガイドするガイド兼加圧機８０と、真空吸着機を垂直整列パレット５０でパネル９の上側に移動させる第１ローダ９１と、ガイド兼加圧機８０をパネル９の上側に移動させる第２ローダ９２と、垂直整列機５、真空吸着機７０、ガイド兼加圧機８０、第１ローダ９１及び第２ローダ９２を制御してパネル９に複数個のスペーサを実装する制御機とを含む。 （もっと読む）

【課題】厚みムラが大きい基板に対しても、口金と基板とが衝突すること防止し、かつ塗布膜に膜切れが発生することのない安定した塗布を行うことができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板表面計測部３０は、塗布動作を行う前に、基板Ｗの塗布領域内の各計測設定位置の高さを計測することにより、各計測設定位置の高さ情報をあらかじめ取得し、吐出部高さ調節部２０は、各計測設定位置の高さ情報に基づいて、基板Ｗの最も高い点よりも所定距離分上方に口金１１が位置するよう、塗布動作前に口金１１の高さを調節し、吐出部１０は、基板Ｗに対し水平方向に相対的に移動しながら塗布動作を行い、吐出量調節部４０は、各計測設定位置の高さ情報に基づいて、吐出部１０と基板Ｗとの距離に応じて吐出部１０から塗布領域内の各位置へ吐出すべき塗布液の吐出量を塗布動作中に調節しながら、塗布を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜を基板の面内に均一に形成することができる技術を提供すること。
【解決手段】基板の表面にノズルから基板の中心部に塗布膜を形成するための塗布液を供給すると共に、第１の回転速度で基板を回転させて、塗布液を基板の周縁部に遠心力によって広げ、次いで、前記塗布液の供給を続けたまま、当該基板の中心部側の液膜を周縁部側の液膜に比べて盛り上げて、液溜まりを形成するために、前記第１の回転速度よりも小さい第２の回転速度で基板を回転させた状態で塗布液の供給位置を基板の中心位置から前記偏心位置に向けて移動させ、次いで、液溜まりの厚さを大きくして、ノズルの液切れ時に当該液溜まりに垂れる液滴を馴染ませるために、基板の回転速度を前記第２の回転速度よりも小さい第３の回転速度に減速させた状態で、ノズルから前記偏心位置への塗布液の供給を停止する。 （もっと読む）

【課題】吐出量の変化を高精度に補正し、塗布形状ないしフィレット形状を安定させることができる塗布方法、塗布装置およびプログラムの提供。
【解決手段】毛細管現象を利用して吐出装置から吐出した液体材料を充填する液体材料の塗布方法であって、連続した複数の塗布領域からなる塗布パターン作成工程と、一の吐出パルスに複数の休止パルスを所定の比率で組み合わせたサイクルを複数作成し、各塗布領域に割り当てる工程と、各塗布領域について割り当てられたサイクルで塗布を実施する工程と、予め設定した補正周期で、補正周期の時点における吐出量を計測し、吐出量の補正量を算出する補正量算出工程と、補正量算出工程で算出した補正量に基づき、１以上のサイクルについて、一の吐出パルスに対する休止パルスの比率を調整する工程と、を含み、休止パルスの長さを吐出パルスの長さと比べ充分に短く設定した液体材料の塗布方法並びに装置及びプログラム。 （もっと読む）

【課題】バッテリーの残量が低下したときの電圧低下が抑制され、バッテリーの消耗により残量がある程度低下したときにも、好ましい液体吐出状態が維持される、液体吐出装置及び液体吐出方法を提供する。
【解決手段】ヘッド駆動部へ電力を供給するバッテリーから吐出素子へ供給される電圧を検出する電圧検出部と、検出電圧が所定の基準電圧以上の場合は第１のクロック信号１００に基づいて決められた同一のタイミングで複数のインクジェットヘッドの駆動を開始させ、検出電圧が所定の基準電圧未満の場合は複数のインクジェットヘッドごとに生成された第２のクロック信号１０２〜１０８に基づいて決められたそれぞれのタイミングで複数のインクジェットヘッドの駆動を開始させるので、複数のインクジェットヘッドの駆動開始が重複せずに、電力消費の集中によるバッテリーの出力電圧の低下が回避される。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の除去精度の向上、塗布膜除去時間の短縮及び溶剤の使用量の削減が図れる塗布膜除去方法及び装置を提供すること。
【解決手段】溶剤吐出部及び不活性ガス吐出部により基板表面の端部から溶剤及び不活性ガスを吐出しながら、塗布膜除去部を基板の辺縁の所定の幅に沿って基板の一端側から他端側まで移動させ（除去工程：Ｓ−１）、濃度測定部により、排出路から排出される溶剤及び溶解物の混合排液中の溶解物の濃度を検出し（濃度検出工程：Ｓ−２）、濃度測定部により検出された混合排液中の溶解物の有無を判別し（濃度判別工程：Ｓ−３）、濃度測定部による溶解物の濃度検出値に基づいて塗布膜の除去条件を変更設定する（除去条件変更工程：Ｓ−６）。溶解物の濃度判別工程において、混合排液中の上記溶解物の無が確認されるまで、塗布膜除去工程を続行し、溶解物の無が確認された後、変更設定された除去条件により、塗布膜の除去を行う。 （もっと読む）

【課題】塗布ユニットが固定されている場合であっても、口金部の交換を容易に行うことができ、また、口金部の交換に伴うコストアップを抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を浮上させる浮上ステージと、浮上ステージから基板を浮上させた状態で浮上ステージに沿って基板を搬送する基板搬送部と、塗布液を吐出する口金部が着脱可能に支持されるとともに、口金部が浮上ステージに対向した状態で固定して設置された塗布ユニットと、を備えており、浮上ステージ上に浮上した基板を基板搬送部により塗布ユニットに対して移動させつつ口金部から塗布液を吐出することにより、基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、口金部を載置可能な口金移載ユニットをさらに備え、この口金移載ユニットが口金部と対向する口金受取位置と口金部を交換する口金交換位置とに移動可能である構成とする。 （もっと読む）

【課題】画像の質感低下を抑制できる印刷方法を提供する。
【解決手段】後工程で支持部材に貼設される記録媒体Ｐに対して相対移動する吐出ヘッド９により液滴を吐出して有色領域ＣＡに有色部Ｃ１を形成する。記録媒体との同一の相対移動時に、有色領域に有色部形成材料を含み活性光線で硬化する第１液体の液滴を吐出するとともに、有色領域外に位置する非有色領域ＣＮに非有色部形成材料を含み活性光線で硬化する第２液体の液滴を吐出して、有色部と面一の表面を有する非有色部Ｃ２を形成する工程を含む。 （もっと読む）