【課題】構造の簡素化と流通させる液体の清浄度向上との両立を図り、液体の供給停止後に生じる使用部における液垂れを抑制することができる新たな構造を備えた液体供給装置を提供する。
【解決手段】液体の供給部１０と、液体の使用部２０と、供給部から使用部へ液体を流通させる供給配管部３０とを有する液体供給装置１Ａであって、供給配管部は、供給部側から供給される液体を流通させる主配管部３１と、主配管部に接続されるアスピレータ５０と、アスピレータにより分岐され使用部側に液体を供給する使用側配管部３２及び副配管部３３と、副配管部に接続され開閉機能を有する弁１６とを備えており、アスピレータの主流路側に主配管部及び副配管部が接続され、アスピレータの吸引流路側に使用側配管部が接続される。 （もっと読む）

【課題】最低限の圧力で送液を行い、液体に気体を溶解させる。
【解決手段】気液混合流体生成装置３は、容器３ａと、その容器３ａ内に連通し、気体が溶存した液体を容器３ａ内に供給するための液体供給流路３ｂと、容器３ａを密閉状態及び開放状態に切替可能であり、液体供給流路３ｂから容器３ａへ送液を行う間、容器３ａを開放状態にして容器３ａの内圧を、液体供給流路３ｂ内の液体を容器３ａに向かって押す圧力未満にする内圧調整部３ｄと、容器３ａ内に連通し、液体が供給された密閉状態の容器３ａ内の空間に気体を供給するための気体供給流路３ｅとを備える。 （もっと読む）

【課題】微小気泡の安定供給を実現する。
【解決手段】送液装置１は、微小気泡を含む液体が流れる配管３と、その配管３の途中に設けられ、配管３内を流れる液体に旋回運動を与えて配管３内に旋回流を発生させる旋回流発生部８とを備える。これにより、前述の旋回流が配管３内に発生するため、液体中の微小気泡が配管３の内周面に付着することが抑止されるので、微小気泡の安定供給を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】流体を低圧用途に分配するための低圧の吸着体ベースの流体貯留および分配容器を使用する際における流体利用率を最大にする改良された方法の提供。
【解決手段】容器内にナノ多孔質炭素吸着体２０を保持する流体貯留および分配装置１０で、１つの実施態様は脱硫用途、別の実施態様は塩素ガスなどの貯留である。配置構成では複数の多孔質炭素物品が移動しないように拘束するために位置安定化構造が用いられる。制御された方法で酸素と反応するシランを貯留するために炭素吸着体を使用する赤外線放射デバイスについて、吸着体の抵抗および／または誘導加熱によって炭素吸着体が残留流体を脱着する配置構成は、炭素吸着体を膨張剤と接触させ、続いて炭素吸着体を加圧したガス状浸透剤と接触させて、膨張剤および浸透剤を除去することにより、多孔質炭素吸着体の充填能力を増加させる方法。 （もっと読む）

【課題】徴候型電子デバイス製品の製造に使用される高純度液体試薬及び化学機械的研磨組成等の化学試薬及び組成を保存し、分配するために、分配作業中に閉じ込められた液体が涸渇するか、涸渇に近づいている場合、空の状態又はほぼ空の状態を検出する機能を有する流体供給システムを提供する。
【解決手段】ディスペンサから分配された材料を使用する下流のツールへの材料を流すために、供給パッケージとサーボ油圧分配ポンプの中間で分配された材料を監視するか、周期的なスケジュールで補給されているディスペンサ内で、ディスペンサ室の補給時間を監視する圧力変換器を含む、空検出構成を使用する流体送出システムである。 （もっと読む）

【課題】多種類の半導体ガスの貯蔵、供給装置を低圧で小型化する。
【解決手段】直方体形状の流体貯蔵・計量分配容器５０，５２を含む流体貯蔵・計量分配装置及び、こうした流体貯蔵・計量分配装置および／または使用時換気ガス清浄器６１を、換気されたガスキャビネット２０内に含む一体型ガスキャビネットアセンブリを開示する。たとえば、ガスキャビネット２０から供給された処理ガスが、有毒又は有害な特性のものである場合、ガスキャビネット２０は、物理的吸着剤及び化学吸着媒体の使用によって、運転の安全面で強化されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】特別な装置を必要とせずに、対象ガス使用装置からの排気に含まれるフッ素によって、排気システムを構成する樹脂製材料が腐食されること抑制し、排気システムの寿命を延長させること。
【解決手段】本発明は、フッ素ガスまたは反応性の高いフッ素系ガスを排出する対象装置から排出された排気を処理するための処理装置、および、上記対象装置と上記処理装置とを接続する樹脂製部分を含む送気管を備える排気システムであって、少なくとも上記送気管内の樹脂製部分の一部に、フッ素と反応する物質を含有する反応用ガスが供給されることを特徴とする、排気システムである。 （もっと読む）

【課題】複数の液体を混合してなる混合液を用いる液処理装置における混合液の濃度について、大きなコストをかけることなく、よりワイドレンジな調整を実現すること。
【解決手段】液処理装置１０は、主配管２０と、主配管に接続された液供給機構４０と、主配管から分岐する複数の分岐管２５と、各分岐管に接続された複数の処理ユニット５０と、を有する。液供給機構４０は、主配管上に設けられた混合器４３と、第１液源からの第１液を前記混合器へ供給する第１液供給管４１ｂと、レギュレータ４２ｔによって制御された加圧力に従って第２液タンクから第２液を前記混合器へ供給する第２液供給管４２ｂと、を有する。第２液供給管４２ｂに、流量調整バルブ４２ｄが設けられている。混合液の混合比調整のために、流量調整バルブ４２ｄとレギュレータ４２ｔとが連動して制御される。 （もっと読む）

【課題】高純度液体に含まれるバクテリア等の微量な有機物を除去するとともに、簡易に設置することができる液体浄化装置を提供すること。
【解決手段】液体浄化装置１２を構成する流路ブロック２１は、透明に形成されている。流路ブロック２１に形成された液体流路３２の内面には、光触媒層３６が設けられている。流路ブロック２１の管状部３７にはＬＥＤ４１の取付基板４２が設けられ、流路ブロック２１と光照射部２２とが一体的に組みつけられている。ＬＥＤ４１が発した紫外光は透明な管状部３２を透過して光触媒層３６に照射され、光触媒層３６を活性化させる。 （もっと読む）

圧力分配パッケージのための分配アセンブリは、独立しており、かつ別個のものである液体導管と抽出導管とを有するとともに、加圧気体導管を有するコネクタを含む。ライナ取り付け部アダプタには、液体抽出導管を画定するコネクタのプローブ部を受容するための長手方向の穴を含んでもよく、気体の除去を可能にする側方穴を含んでもよい。コネクタを分配アセンブリに挿入すると、（ａ）気体抽出導管と分配容積との間、（ｂ）液体抽出導管と分配容積との間、および（ｃ）加圧気体導管と圧力分配容器内の加圧されるべき空間との間に同時に流体連結が形成される。流体回路内の流体の存在または流動流体の相変化は、第１の感温体の出力と第２の感温体の出力を比較することによって検出してもよい。一方の検出素子は、気体に曝露しているが液体に曝露していない検出素子の温度を上昇させるためのヒータを含む。流体を分配するためのシステムおよび方法は、第１の圧力分配装置と、分配される流体の気体飽和への接近と相関する状態を検出するために配置された検出素子とを含み、そのような検出した状態に応答して、使用箇所に供給される圧力分配される流体の流れを組み合わせるために第２の圧力分配装置によって分配を開始する。
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【課題】 容器の底に沈殿したパーティクルが巻き込まれることを防止し、純度の高い液体材料を供給することを可能とすること。
【解決手段】 所定量の液体材料が充填される充填容器と、充填容器内の気層を加圧する加圧用ガスが導入される加圧用ガス導入配管と、充填容器内の液体材料を外部へ供給する配管Ｌａと、を備え、配管Ｌａは、下端が充填容器内の液体材料の液層内に浸され、上端が閉塞する配管Ｌ１と、配管Ｌ１の上端にその一部が挿入されて接続され、配管Ｌ１の内径よりも外径が小さい配管Ｌ２を有し、充填容器内に加圧用ガス導入配管を介して加圧用ガスを導入することにより、配管Ｌａを介して液体材料を供給することを可能とする液体材料容器。 （もっと読む）

【課題】ポンプによって分配されるレジンの量を正確に測定し、その結果をフィードバックすることで、分配されるレジンの量をより正確に制御する体積感知型ディスペンサー制御方法を提供する。
【解決手段】ポンプでレジンを吐き出して製品に所定量のレジンを分配するように制御する体積感知型ディスペンサー制御方法であって、前記ポンプで前記製品にレジンを分配する予備分配段階、前記予備分配段階が済んだ製品を光スキャナでスキャンして、分配されたレジンの体積を測定する体積測定段階、前記体積測定段階で感知されたレジンの量と所定の分配量との差を用いて、追加に分配されるレジンの量を計算する補正体積算定段階、及び前記補正体積算定段階で計算されたレジンの補正量を反映して前記製品にレジンを分配する補正分配段階を含む。 （もっと読む）

【課題】バブリング量の変化に追従してピックアップ量を制御することができるバブリング気化供給方法及び装置を提供する。
【解決手段】熱交換器１１が内蔵された密閉原料槽１０内に液体原料Ｌを貯えると共に導入管８を挿入し、熱交換器１１に所定温度の熱媒Ｍを循環させつつ導入管８にキャリアガスＣを所定流量で導入して液体原料Ｌをバブリングし、バブリングによる気化ガスＧとキャリアガスＣとの混合ガス（Ｇ＋Ｃ）を原料槽１０の気相部から抜出して供給する。好ましくは、導入管８上に熱交換器１４を設け、所定温度の熱媒Ｍを原料槽１０内の熱交換器１１及び導入管８上の熱交換器１４に循環させつつキャリアガスＣを導入する。更に好ましくは、原料槽１０に原料補充管１５を接続すると共に補充管１５上に熱交換器１６を設け、その熱交換器１６にも熱媒Ｍを循環させながら液体原料Ｌを補充する。 （もっと読む）

【課題】化学薬品前駆体の高流速または高真空下もしくは高差圧条件下での流動を可能にする一方で、高水準なスプラッシュガードの機能を与える。
【解決手段】本発明は、浸漬管入口；該浸漬管の出口および該容器の排出口の間に配置され、該邪魔円盤および該容器の該側壁の間に狭い環状の間隙を与え、液滴が該容器の該排出口および該容器の側壁の内側表面に入ることを防止する少なくとも１つの邪魔円盤、ならびに該邪魔円盤の近傍の該側壁上に半径方向の内側に張り出した環状の偏向突起を有する容器である。また、本発明は上記の構造を有する容器から化学薬品前駆体を供給する方法である。液体および蒸気供給の両方が想定されている。 （もっと読む）

【課題】改良されたガス輸送装置を提供する。
【解決手段】ガス供給源を含むベッセル、始端と、使用のポイントへのガスの輸送に適合した終端とを有するピグテール導管、第一端と、ボディーセクションと、第二端とを有するサージチャンバーであって、前記第一端は前記ピグテール導管の始端と連絡されており、前記サージチャンバーの前記ボディーセクションは前記ピグテール導管の断面よりも大きい断面を有し、第二端は前記ガス供給源を含む前記ベッセルと連絡されている、サージチャンバー、前記ピグテール導管内で、前記終端からガス供給源を含むベッセルに向かう方向へのパージガスの輸送のためのパージガス供給源であって、前記パージガスでの前記ピグテールの加圧の交互サイクルの間に用いられるパージガス供給源、及び、前記ピグテール内に保持された不純物ガスの除去を可能にする、前記ピグテール導管内の脱圧源を含む、ガスを輸送するための装置。 （もっと読む）

【課題】ガス流量が変化しても、反応に必要な濃度のオゾンガスを供給する。
【解決手段】液化したオゾンをオゾンチャンバ３１に蓄積し、液化したオゾンを気化して高濃度オゾンガスを発生させる液体オゾン蓄積用ベッセル３０において、オゾンチャンバ３１から排出されるガスに含まれる微粒子を除去するためのフィルタ３５は筒状であり、フィルタ３５の上端が、チャンバ３１の天井面に、また、フィルタ３５の下端が、チャンバ３１の底面にそれぞれ接続し、さらに、発生させた高濃度オゾンガスを排出するため配管３３をフィルタ３５の中空部と連通させ、フィルタ３５の中空部に希釈ガスを導入することによりオゾンガスを希釈し、希釈したガスを前記ベッセル３０の外部に備えられた装置に供給する。 （もっと読む）

【課題】少流量ガスが処理チャンバーに到達する時間に大きな遅れが発生することを抑制することができ、所定の混合ガスをより早くガス使用対象に供給することのできる混合ガスの供給方法及び混合ガスの供給装置を提供する。
【解決手段】共通配管１０に接続された複数の個別ガス供給ライン１Ａ〜１Ｐを通して複数種のガスを供給し、当該複数種のガスの混合ガスを、前記共通配管１０のガスアウト部１１を通じて混合ガス供給ラインにより処理チャンバー３０に供給する混合ガスの供給方法であって、流量の異なる２種類以上のガスを同時に供給する際に、流量の少ないガスを、流量の多いガスよりガスアウト部１１に近い位置に設けた個別ガス供給ライン１Ａ〜１Ｐから供給する。 （もっと読む）

【課題】流体供給装置から一定品質の流体を安定して供給する。
【解決手段】流体供給装置の流路内に流体を一定時間封入し、その封入前後の流体の不純物成分量から、その流路内における不純物成分の単位時間当たりの変化量を求める（ステップＳ１〜Ｓ５）。そして、その変化量を、予め設定された許容変化量と比較することにより、流路内に封入した流体の品質や流路の清浄度を判定する（ステップＳ６，Ｓ７）。一定の品質が確認された後、流体供給装置からの流体の供給を開始する。 （もっと読む）

【課題】 気化器を備えたガス供給装置の省エネルギ化と装置の小型化を図ると共に、厳密な気化器側の温度制御を必要とすることなしに高精度なガス流量制御を安定に且つ簡単に行えるようにしたガス供給装置を提供すること。
【解決手段】 液体受入れタンクと，液体を気化する気化器と，気化ガスの流量を調整する高温型圧力式流量制御装置と，気化器と高温型圧力式流量制御装置とこれ等に接続した配管路の所望部分を加熱する加熱装置とから気化器を備えたガス供給装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 操作性がよくかつコンパクトな構造を有するとともに、液体材料を汚染することなく、またセンサ自体の汚染もなく、液体材料の残量あるいは空状態の有無を正確に検出することが可能な、充填容器内の液体材料の残量検知装置、これを用いた液体材料の残量検知方法およびこれらを用いた液体材料の供給装置を提供すること。
【解決手段】 供出用配管１５の中間に配設された所定の容積の空間部２と、空間部２の外周部２ａに配された超音波センサ３と、空間部２の下部２ｂに配設され充填容器１１からの供出用配管１５と接続された１の配管Ａと、空間部２の下部２ｂに配設され消費設備への供出用配管１５と接続された他の１の配管Ｂと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）