【課題】結晶異方性エッチングにより安定的に流路を形成する流路デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明によると、第１の幅を有する第１領域と、第１の幅より広い第２の幅を有する第２領域と、一端が第１領域に接続し、他端が第２領域に接続する接続領域と、を含む流路を備えた流路デバイスの製造方法であって、一主面が｛１１０｝面であるシリコン基板を準備し、シリコン基板の一主面上に｛１１０｝面と｛１１１｝面の交線に沿った第１の端部と、交線に直交し＜１１１＞方向に延びる第２の端部と、を含むマスクパターンを形成し、マスクパターンを介して結晶異方性エッチングを行うことにより、シリコン基板の一主面に前記流路を形成すること、を含み、第２領域の両側にそれぞれ配置された第２の端部は、互いに第１領域との距離が異なるように形成されることを特徴とする流路デバイスの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのパケットに対して汚染なしに化学的または物理的処理を行うためのマイクロ流体デバイスおよび方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１において、該デバイスが、軸Ｘを有するマイクロチャネル２、および下記の少なくとも１つを含むパケット操作手段を含むところのデバイス、発電ユニット９、および上記発電ユニット９に連結されかつ、上記マイクロチャネルの少なくとも一部分の内部に、上記マイクロチャネルの軸Ｘと実質的に共線的である電場を作るように構成された電極アッセンブリ３、ここで、上記発電ユニット９は、マイクロチャネルにおいて少なくとも１つのパケットを変形させるまたは少なくとも２つのパケットを互いの方に移動させるような振幅および周波数を有する電場を発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】放電空間におけるプラズマの分布及び流れを好適化できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】誘電体３の貫通孔９は、放電空間９ａと、放電空間９ａとは反対側を拡径させる傾斜面３ｅを内周面の一部とする導入空間９ｂとを含む。第１対向電極５Ａは、ｚ方向の正側から放電空間９ａに面し、放電空間９ａ側が誘電体３により覆われている。第２対向電極５Ｂは、第１対向電極５Ａと放電空間９ａを挟んで対向している。第１イオン風用電極７Ａは、第１対向電極５Ａ側の傾斜面３ｅに位置している。プラズマ発生体１は、第１対向電極５Ａ及び第２対向電極５Ｂの間に電圧が印加されることにより放電空間９ａにプラズマを発生可能であり、第１対向電極５Ａ及び第１イオン風用電極７Ａの間に電圧が印加されることにより導入空間９ｂから放電空間９ａへ流れるイオン風を発生可能である。 （もっと読む）

【課題】スラグを乱すことなく気液界面の面積を拡大するマイクロリアクタを提供する。
【解決手段】互いに気液界面又は液液界面を形成する流体試料３，４が交互に供給される供給流路１０と、供給流路１０を介して供給された試料３，４が交互に連続するスラグを形成するスラグ形成流路１１と、スラグ形成流路１１よりも幅広に形成され、光を照射することにより、試料の界面において化学反応を進行させる反応流路１２と、スラグ形成流路１１と反応流路１２との間に介在し、一端をスラグ形成流路１１と連続され、他端を反応流路１２と連続され、漸次拡幅された拡幅部２０と、反応流路１２から連続し、反応した試料を排出する排出流路１３とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の貼り合せ工程で必要とされている面精度の向上を不要としかつ貼り合わせ用の設備を省略でき、コストも削減も実現することができる微細中空流路を有する石英ガラス物品の製造方法の提供。
【解決手段】平坦なシリカ基板１０の上面に燃焼除去可能な物質からなる凸状微小流路パターン部１２を形成する工程と、該微小流路パターン部を被覆するようにシリカ粉含有グリーン層１４を設けシリカ基板及びシリカ粉含有グリーン層からなるシリカ複合体１６を形成する工程と、該シリカ複合体を酸化性雰囲気で加熱保持して該微小流路パターン部を燃焼除去することにより微小中空流路１２Ａを形成し微小中空流路を有するシリカ複合体１６Ａを形成する工程と、該微小中空流路を有するシリカ複合体を高温に加熱して焼結透明化しかつ溶融一体化することにより微小中空流路を有する石英ガラス物品２０を形成する工程と、を含むようにした製造方法。 （もっと読む）

【課題】大気圧下で長時間プラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置は、第１導電体と、第２導電体と、第１導電体と第２導電体との間に備えられた少なくとも１層の絶縁層とを備えたプラズマ生成部を有し、第１導電体と第２導電体との間に電圧を印加することによってプラズマを生成するプラズマ生成装置であって、プラズマ生成部は、第１導電体と第２導電体とは絶縁層を介して互いに接触する接触部を有するとともに、接触部の周囲における、第１導電体と絶縁層との間、第２導電体と絶縁層との間、絶縁層同士の間のいずれか１つ以上に、プラズマを生成するための流体に晒された隙間を有し、絶縁層はセラミック層からなる。このプラズマ生成装置は、絶縁層をセラミック層とするため、長時間プラズマを生成させることができる。 （もっと読む）

【課題】電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れた放電電極および放電装置を提供することを目的とする。
【解決手段】従来の電極の部分を導電性の粉体５に替えることで、温度影響による電極剥がれを防止することができる。また、従来の誘電体バリアの部分を、セラミックあるいは石英で形成され、粉体５を収容可能に構成した筒６に替えることで、筒６と粉体５との間に隙間が生じにくいので、放電電圧が上昇しにくく、発熱しにくくなる。また、筒６がセラミックあるいは石英で形成されているので、耐熱性に優れ、ピンホールもなく、非常に長寿命が期待できる。その結果、電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れたプラズマ用電極１を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】多段階反応のためのマイクロリアクタにおいて、混合部同士の距離が短く、さらに、必要に応じて簡便な方法で混合部の距離を変更可能であり、流路の密閉性に優れたマイクロリアクタを提供すること。
【解決手段】本発明のマイクロリアクタは、第一のマイクロミキサと第二のマイクロミキサとを備え、第一のマイクロミキサは突出部を備え、第二のマイクロミキサは陥入部を備え、第一及び第二のマイクロミキサは、流体を導入するための複数の導入経路と、前記の導入経路を合流して前記流体を混合するための混合部と、前記混合部で混合した流体を導出するための導出経路とを備え、前記突出部と前記陥入部とが係合され、その係合部分において導入経路と導出経路とが接続されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】効率的な誘導結合によるトロイダルプラズマ発生と金属含有フッ素ガス処理装置を提供する。
【解決手段】金属含有フッ素ガスを減少させるための装置は、金属含有フッ素ガスを閉じ込めるプラズマチャンバ２０と、プラズマチャンバ２０の一部分を取り囲む一次巻線１８および磁心１６を有する変圧器１２を備え、一次巻線１８に結合されたスイッチング電源２６がトロイダルプラズマを直接生成し、トロイダルプラズマが、変圧器１２の二次回路を完成させ、金属含有フッ素ガスと反応し、固体金属材料、固体金属酸化物材料又は固体金属窒化物材料の少なくとも１つを生成する。さらに、生成材料をプラズマチャンバから出力する出口と、出口と流体連通し収集するための交換可能な構成要素とを構成要素とを備える。 （もっと読む）

【課題】それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の紫外線照射装置（光照射装置）は、給気ダクト４を介して内部に冷却媒体を給気可能な長尺で中空の給気ボックス２（ボックス）と、給気ボックス４の長手方向に沿って複数配置されたＵＶ照射モジュール５１〜５６（光照射源）と、給気ボックス４の長手方向に沿って複数設けられた、内部に空間６１１〜６６１を備え、空間６１１〜６６１を介してＵＶ照射モジュール５１〜５６に冷却媒体を供給する分岐ダクト６１〜６６と、複数の分岐ダクト６１〜６６の近傍に設けられた、空間６１１〜６６１において障害物となることにより、分岐ダクト６１〜６６を通過する冷却媒体の風量を調整可能な風量調整機構９１〜９６と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】シングルモードの空胴共振器を使用したマイクロ波装置に関し、被処理液の流量を多くして均一に効率良く処理可能にする。
【解決手段】被処理液とは異なる誘電率を有すると共に被処理液の流れを乱す障害手段６３を収容してあり、照射室内に生じる電界方向に対し軸線を沿わせて、空胴共振器の照射室に設置される流通管６０を提案する。この流通管をマイクロ波装置の照射室に設置すると、被処理液を流す流通管内において電界分布が一様ではなくなり、被処理液に吸収されるマイクロ波が抑制され、Ｑの低下が抑えられて同調が外れにくくなるので、被処理液の流量を増やすことができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな光照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の光照射装置は、内部に細長い第１の空間として空間２１を備える、長尺でかつ幅がＷ１である給気側ボックス（第１のボックス）２と、空間２１と連通するように給気側ボックス２に接続された給気ダクト（第１のダクト）４と、給気側ボックス２の長手方向に沿って配置されたＵＶ照射モジュール（光照射源）５１〜５６と、内部に細長い第２の空間として空間７１を備え、空間７１の長手方向が空間２１の長手方向に沿うように配置された、長尺でかつ幅がＷ２であり、Ｗ２＜Ｗ１を満たす排気側ボックス（第２のボックス）７と、空間７１と連通するように給気側ボックス７に接続された排気ダクト（第２のダクト）８と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】低温プラズマで生成するプラズマジェットを、簡易な構成により、効率良く発生させる沿面放電型プラズマジェット生成装置の提供。
【解決手段】円筒状アルミナセラミック４の内表面に線状の放電電極３を設け、かつ、その内部または外表面に面状の誘導電極５を設けた円筒型沿面放電素子２において、一方の端面（ガス流入口１）からガスを供給し他方の端面（噴出口６）から噴出させ、放電電極３と誘導電極５の間に高周波高電圧を印加して沿面放電を発生させプラズマ（沿面放電励起プラズマ）を生成することで噴出口６からプラズマジェットを噴出させる。 （もっと読む）

【課題】電気化学セルを安定した状態で導電性接続部材に接合した接合構造を有する電気化学リアクターを提供すること。
【解決手段】本発明によって提供される電気化学リアクター（２０）は、固体電解質を備える電気化学セル（１０）と導電性接続部材（２４）との接合が、該セルと該接続部材との直接的な接触を回避して該セルと該接続部材との間に配置された導電性接合材（３０）を介して行われており、その接合材は、ガラスマトリックスと導電性粒子とを有し、ここで該ガラスマトリックスは酸化物換算の質量比で以下の組成：
ＳｉＯ_２ ６０〜７５質量％；
Ａｌ_２Ｏ_３ ５〜１５質量％；
Ｎａ_２Ｏ及び／又はＫ_２Ｏ １５〜２５質量％；
ＣａＯ及び／又はＭｇＯ １〜５質量％；
から実質的に構成されている。 （もっと読む）

【課題】各部材に形成された領域を高精度かつ簡便に位置決めして繋ぎ合わせることが可能な複合材料構造物の提供。
【解決手段】熱可塑性樹脂からなり、熱圧着により接合された二以上の基材１１，１２と、前記熱可塑性樹脂よりも熱変形温度が高い材料からなり、基材１１，１２の少なくとも一つに形成された空間内に挿入された一以上の部材２と、から構成され、前記空間内に挿入された部材２が、熱圧着により熱変形した基材１１，１２の前記空間を構成する壁面１３によって固定保持されている複合材料構造物Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑制し、被照射面に凹部や凸部があったとしても、当該凹部や凸部に対応する被照射面に光を十分に照射することができるようにすること。
【解決手段】光照射装置１０は、接着シートＡＳの接着剤層により形成される被照射面Ｓ１に光を照射する装置である。被照射面Ｓ１は、第１照射面ＳＡと、この第１照射面ＳＡに設けられた凸部からなる第２照射面ＳＢとを有する。光照射装置１０は、接着シートＡＳを支持する支持手段１１と、被照射面Ｓ１に対向して所定波長の光を照射可能な発光ダイオード２７を有する発光手段１２と、接着シートＡＳと発光手段１２とを相対移動させる移動手段１３とを備えている。発光手段１２は、発光ダイオード２７の中心ＣＴと被照射面Ｓ１上の焦点ＦＣとを通る光軸ＡＸを第１照射面ＳＡに対して斜め方向に設定可能に設けられ、第２照射面ＳＢでの光照射量の増大を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】応力が過度に集中する鋭角な部分や直角な部分が形成されていない断面形状を有するマイクロ流路基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ流路基板１０は、内部にマイクロ流路１１が設けられたマイクロ流路本体１５を備え、マイクロ流路１１の天井部とマイクロ流路１１の内側壁が交わる第１の角部１６、およびマイクロ流路１１の底部と内側壁が交わる第２の角部１７が曲面をなしていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】適切なパワーのマイクロ波を照射する方法、およびマイクロ波支援反応装置を提供する。
【解決手段】マイクロ波支援反応装置１０を、マイクロ波放射源１１、内部に複数の異なるタイプの反応容器１４を有するキャビティ１２、マイクロ波放射源およびキャビティをマイクロ波連通する導波路１３、センサ１５、インターフェース２０、コンピュータコントローラ２１から構成し、キャビティ内に位置決めされた反応容器の数および／またはタイプに応答して、マイクロ波放射源の出力を決定する。 （もっと読む）

【課題】幅広の照射エリア内で良好な光量分布の照射光を得ることが可能な照射装置用光学ユニット及び照射装置を提供する。
【解決手段】照射装置用光学ユニットは、複数の光源から入射される光を多数のファイバ素線を束ねた複数のファイババンドルによってそれぞれ導光し出射する光照射装置用光学ユニットであって、各光源から入射される光を各ファイババンドルに導光する複数のカップリングレンズを備え、各ファイババンドルは、基端部においてファイバ素線が結束され各カップリングレンズからの光が入射される光入射面を形成し、先端部においてファイバ素線が矩形状に接合され導光した光を出射する光出射面を形成し、複数のファイババンドルの先端部は光出射面が連続するように一列に並べられて接合されており、各ファイババンドルのファイバ素線は、光出射面の少なくとも隣接する光出射面との接合部近傍において、二次元の正方稠密に配置されている。 （もっと読む）

【課題】放電プラズマによる気流誘起現象により高温下や含塵環境下においても安定して気流を発生させることができ、空気力学的特性の制御などを行うことが可能な気流発生装置、気流発生方法および気流発生ユニットを提供する。
【解決手段】気流発生装置４０は、固体からなる誘電体２０の表面と同一面に露出された一つの電極２１と、電極２１から誘電体２０の表面と水平な方向にずらして電極２１と離間され、かつ誘電体内に埋設された一つの電極２２と、電極２１と電極２２との間に、（１）交番電圧の印加、または（２）断続的な電圧の印加および／または電圧値を調整しながらの電圧の印加が可能な放電用電源２４とを備える。電極２１と電極２２との間における誘電体バリア放電により、誘電体２０の表面に沿って、流れる方向が所定の時間間隔で反転して振動する気流を発生させる。 （もっと読む）