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Fターム[4J038PA21]の内容

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Fターム[4J038PA21]に分類される特許

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【課題】比誘電率が3以下と小さく、しかもマイクロフォトリソグラフィ加工に優れた絶縁膜を形成できるような低誘電率シリカ系被膜形成用塗布液、およびこのような低誘電率シリカ系被膜が形成された基材を提供する。
【解決手段】(i)フェニル基を有するシリカ系微粒子と、(ii)酸化分解性樹脂を含有し、
かつフェニル基を有するシリカ系微粒子と酸化分解性樹脂との重量比(フェニル基を有するシリカ系微粒子/酸化分解性樹脂)が、0.5〜5の範囲にあることを特徴とする低誘
電率シリカ系被膜形成用塗布液。 (もっと読む)


添加剤を含有する硝酸塩前駆体水溶液から、臨界電流密度(J)値が1MA/cmを超える100〜800nmのReBCO膜を作製した。硝酸バリウムの結晶化を抑制するために、ポリエチレングリコール(PEG)およびスクロースなどの添加剤を選択した。これにより、より高濃度の溶液が得られ、亀裂のないより厚い単層が得られる。さらに水溶性粘度調整剤(例えば、ポリビニルアルコール(PVA)またはセルロース誘導体)を使用することで、厚さを増大させ、セラミック表面の濡れを可能にした。熱処理中に高温の水蒸気が存在すると、膜は損傷するが、低温における水蒸気の役割についてはまだ調査中である。
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【課題】鉄鋼スラグのアルカリ成分による抗菌効果を、良好に得ることのできる抗菌塗料を提供すること。
【解決手段】少なくとも5重量%の鉄鋼スラグ粉体1と、水に不溶性の熱溶融性樹脂粉体2とから成る混合粉体に、塗料として塗布し得る粘度とするための水3を添加して混合、撹拌して成る塗料を塗布することで、鉄鋼スラグ粉体1と熱溶融性樹脂粉体2とが、その形状を維持したまま、塗布面に仮固定される。その後、該塗布面を熱溶融性樹脂粉体2の溶融温度以上の適宜な温度に加温することで、鉄鋼スラグ粉体1同士並びに鉄鋼スラグ粉体1と塗布面とが、該溶融した熱溶融性樹脂粉体2により結着されるようになるので、鉄鋼スラグのアルカリ成分による抗菌効果を、良好に得ることができる。 (もっと読む)


【課題】 通常の半導体製造プロセスに用いられる方法によって、容易に、任意に制御された膜厚の薄膜が形成可能であり、機械強度及び誘電特性に優れた新たな多孔質膜形成用塗布液、及びこの多孔質膜を内蔵する高性能かつ高信頼性を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】 下記一般式(1) Si(OR14 (1)で表される4官能性アルコキシシラン化合物、及び、下記一般式(2) R2nSi(OR34-n (2)で表されるアルコキシシラン化合物をそれぞれ少なくとも1種以上含む加水分解性シラン化合物を、酸性触媒の存在下、大過剰の水を含む反応液中で加水分解及び縮合を行って得たポリシロキサン化合物と酸化ケイ素系微粒子とを含有する多孔質膜形成用組成物である。 (もっと読む)


【課題】低誘電性、接着性に優れると共に十分な機械強度を有するシリカ系被膜を形成できるシリカ系被膜形成用組成物を提供すること。
【解決手段】本発明のシリカ系被膜形成用組成物は、(a)成分:式(1);RSiX4−n(Rは、H原子若しくはF原子、又はB原子、N原子、Al原子、P原子、Si原子、Ge原子若しくはTi原子を含む基、又は炭素数1〜20の有機基を示し、Xは加水分解性基を示し、nは0〜2の整数を示し、nが2のとき各Rは同一でも異なってもよく、nが0〜2のとき各Xは同一でも異なってもよい)で表される化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、(b)成分:(a)成分を溶解可能な溶媒と、(c)成分:オニウム塩と、(d)成分:250〜500℃で熱分解又は揮発する熱分解揮発性化合物とを含有し、オニウム塩の含有量はシリカ系被膜形成用組成物全量に対して0.001ppm〜5%である。 (もっと読む)


【課題】湿式コーティング法による金属酸化物膜の製造において、好適に使用できる安定な塗布液組成物および金属酸化物膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】炭素数6〜12の脂肪族有機酸金属化合物の少なくとも1種類を含有してなるプレカーサ成分と、炭素数6〜12の脂肪族有機酸の酸無水物と、有機溶剤とを含有してなることを特徴とする塗布液組成物、および該組成物を塗布する塗布工程と、50〜200℃に加熱する乾燥工程と、400〜900℃に加熱する焼成工程とを経ることを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】エッチング耐性に優れ、ドライエッチングプロセスにおいて、下層膜パターンが折れ曲がり難く、レジストパターンを忠実に再現性よく被加工基板に転写することが可能なレジスト下層膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】レジスト下層膜形成用組成物は、(A)ターシャリブトキシカルボニル基を含むフラーレン誘導体化合物と、(B)溶剤と、を含有するレジスト下層膜形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】混合物上の塩化物塩を他の有機ケイ素前駆体材料と沈殿させる可能性が実質的に無い有機ケイ素前駆体組成物を提供する。
【解決手段】ジエトキシメチルシランを含む別の組成物と混合した場合に収率好ましからざる塩化物塩沈殿を与えないジエトキシメチルシランを含む有機ケイ素組成物、溶解残留塩化物の濃度、および溶解残留塩化物捕集剤の濃度を与える。 (もっと読む)


本発明は、ホウ素、アルミニウムおよび/またはチタニウム、およびケイ素結合分岐状アルコキシ基を含有するシリコーン樹脂;同シリコーン樹脂を含有するシリコーン組成物;シリコーン組成物を基板に塗布して膜を形成し、膜のシリコーン樹脂を熱分解することからなる被覆基板の製造方法に関する。前記シリコーン樹脂は、(EOs/2(HSiO3/2((RO)SiO1/2((RO)SiO2/2(ROSiO3/2(SiO4/2(各Eは独立してホウ素、アルミニウム、およびチタニウムから選択される原子であり;RはCからC10の分岐状アルキルであり;Eがホウ素またはアルミニウムであるときは、s=3で、Eがチタニウムであるときは、s=4であり;tは0.01から0.8であり;vは0から0.99であり;wは0から0.99であり;xは0から0.99であり;yは0から0.99であり;zは0から0.8であり;w+x+y=0.01から0.99;かつ、t+v+w+x+y+z=1)で表される。 (もっと読む)


約10〜約400nmの平均粒度を有するフルオロポリマー粒子を含む水性フルオロポリマー分散液。本分散液は、少なくとも約35〜約70質量%の固形分含有率を有し、そしてフルオロポリマー固形分の質量を基準として約0.03質量%〜約10質量%のアニオン性高分子電解質分散剤を含む。本分散液は少なくとも約100秒のゲル化時間を有する。 (もっと読む)


【課題】ガラス、金属の他、熱劣化を受けやすい基材に対してもその表面に塗布し得る塗料を用いることにより、汚れを水洗などにより容易に除去でき、且つ持続性、耐久性に優れた、表面親水性を有する基材の製造方法を提供する。
【解決手段】50質量%〜100 質量%未満のアルミナ成分と50質量%以下のシリカ成分を水及び/又は有機溶媒に分散させてなる塗料を基材表面に塗布し、それを50〜600 ℃の温度で熱処理してシリカーアルミナの複合酸化物の下層を形成した後、更にその上に珪酸塩とリン酸又はその誘導体の水溶液を塗布し、それを50〜600 ℃の温度で熱処理して上層を形成するようにした。それにより、易洗浄性及び防汚染性を有し、親水性を長期にわたって持続することが可能な耐久性を具備した塗布膜が形成された、表面親水性を有する基材を製造することができる。 (もっと読む)


【課題】カプセル化されたマイケル付加触媒を提供する。
【解決手段】カプセル化触媒が、マイケル供与体および受容体の存在下、二成分又は多成分系で、ポットライフ、硬化速度に前例のない制御をもたらし、かつ一成分型組成物としての使用を可能にするので、接着剤、シーラント、コーティング、エラストマー、フィルム、および発泡体として有用な組成物が得られる。カプセル化触媒は貯蔵、処理の間の様々な反応物質の時期尚早の反応を防止し、決められた事象例えば熱、圧力又は溶媒和の適用でカプセルを破裂し、迅速に硬化させる。カプセル化触媒の使用は、ポットライフ、硬化速度に、従来組成物にない制御をもたらす。カプセル化触媒を使用した結果、従来不知の一成分型マイケル付加組成物の可能性が生じる。カプセル化触媒の使用は、カプセルの破裂時に非常に迅速な硬化を提供し、迅速なグリーン強度発現を可能にする。 (もっと読む)


【課題】柔軟性を有するシリコーンゴムなどの基材表面に塗布し、乾燥させ、焼成した後でもクラックが生じることのない、新規なフッ素樹脂コーティング用水性分散組成物、及びそれを用いた積層体を提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂コーティング用水性分散組成物がフッ素樹脂粒子ディスパージョンと分解して気化する温度が該フッ素樹脂粒子の分解温度までの温度範囲内にある解重合性アクリル樹脂粒子エマルジョンと分解して気化する温度が該解重合性アクリル樹脂の分解温度までの温度範囲内にある水溶性高分子からなり、前記解重合性アクリル樹脂粒子エマルジョンを前記フッ素樹脂粒子ディスパージョンの固形分に対して5重量%以上50重量%未満含み、かつ、前記水溶性高分子を前記フッ素樹脂粒子ディスパージョンの固形分に対して5重量%以上50重量%未満含むこと。 (もっと読む)


【課題】ポリアルコール系樹脂とポリカルボン酸系樹脂及び金属化合物を併用し、熱処理によるエステル結合及び金属イオン架橋を利用してガスバリア性を高めたガスバリア性積層フィルムにおいては、高温でのかなりの時間の熱処理により、フィルム基材の変質や変形或いはガスバリア性樹脂の熱劣化や着色更にはエネルギー多量消費などの問題が避け難いので、このような問題の解決を図り、ガスバリア性に富むフィルム材料を製造する、工業的に優れた製法を開発する。
【解決手段】フィルム基材にガスバリア層形成のためのポリカルボン酸系樹脂を塗布し乾燥してなる積層フィルムに、熱処理をすることなく、多価金属の化合物を含む水溶液を噴霧した多湿処理槽にて金属化合物水溶液を浸透処理し、必要により洗浄液にて洗浄し、次いで乾燥させて、金属イオンによりポリカルボン酸系樹脂を架橋させることによって、ガスバリア性積層フィルムを製造する。 (もっと読む)


【課題】親水性及び撥油性による優れた防汚性をもち、かつ耐熱性、高硬度、耐候性、耐薬品性、密着性、低廉性等に優れるハイブリッド皮膜付き製品を低い環境負荷の下で製造可能なハイブリッド塗料を提供する。また、そのようなハイブリッド皮膜付き製品を製造する上で適したハイブリッド塗料の製造方法を提供する。そして、そのようなハイブリッド皮膜付き製品の製造方法を提供する。
【解決手段】ハイブリッド塗料は、水ガラスと、両末端にフッ素含有基をもつオリゴマー及び/又はコオリゴマーである低重合体とが少なくとも混合されてなる。ハイブリッド皮膜付き製品の製造方法は、ハイブリッド塗料を得た後、基材1上にハイブリッド塗料を塗布して基材1上に塗膜層2aを形成し、塗膜層2aを固化してハイブリッド皮膜2bとする。 (もっと読む)


【課題】熱処理を行わずに、金属を含有した連続膜を形成する金属含有膜の形成方法を提供する。
【解決手段】水素化アルミニウムリチウムとシクロペンタシランとを含有する液体12をセル11内に充填し、液体12とセル11の内壁面11aとを接触させる。次いで、セル11の外壁面11bの一領域11b’にスポットUV照射器14を密着させて紫外線Vを照射することで、領域11b’の裏面側となる内壁面11aの一領域11a’にシリコン膜21aと金属膜21bとが順次積層された金属含有膜21を形成する。 (もっと読む)


本発明は、a)フィルム形成性シリコーン組成物を基板表面に堆積すること(前記シリコーン組成物は:(i)少なくとも一つのフィルム形成性シリコーン架橋樹脂、(ii)少なくとも1種のα,ω−ヒドロキシル化された、実質的に直鎖状の熱分解可能なシリコーンオイル、および(iii)少なくとも1種の、シリコーン樹脂(i)およびシリコーンオイル(ii)を相溶化するための溶媒を含む)と、b)同時にまたは連続的に溶媒(iii)を、好ましくは加熱によって除去することと、c)フィルム形成性シリコーン組成物を加熱によって硬化することに本質がある、低誘電率のシリコーン被覆を製造するための方法に関する。本発明の方法を実行することによって得られるシリコーン被覆および前記シリコーン被覆を、電気絶縁体の形態で含む集積回路も開示される。 (もっと読む)


【課題】 従来よりも高いガスバリア性能を備え、かつ平滑性、密着性に優れ、大サイズに対応可能なガスバリア性薄膜積層体のバリアフィルムと、高い生産性を有するバリアフィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】 基材上に、少なくともバリア層とポリマー層とを有するバリアフィルムにおいて、該ポリマー層が重合性モノマーを含有する塗布液をミスト状で該基材の表面に噴霧した後、硬化させて形成されたものであることを特徴とするバリアフィルム。 (もっと読む)


【課題】 高分子フイルムなどの熱に弱い基板上で導電性粉末の分散液またはペーストを焼結して導体膜を形成する。
【解決手段】 液状媒体に導電性粒子を分散させた分散液またはペーストを基板上に塗布し、この基板上に塗布された分散液またはペーストに振動磁界を照射して基板上に導電性焼結体を形成する導電膜または配線の形成法である。導電性粒子は平均粒径が10μm以下の金属粒子および/または導電性金属酸化物粒子であるのがよく、振動磁界の周波数は2〜20万ヘルツである。 (もっと読む)


加水分解性ケイ酸塩オリゴマーである前駆体製剤を基板上にコーティングし、塩基、水、及びオリゴマーの加水分解を抑制する抑制剤を含む気体雰囲気において硬化することにより作製されるシリカ又はシリカ様フィルムの形態の制御方法を提供する。 (もっと読む)


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