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【課題】 割れ難く機械加工ができる程度まで密度を向上させることができるCo、Taおよび希土類金属を含有する膜を形成するためのスパッタリングターゲットの製造方法を提供すること。
【解決手段】 希土類金属をRとしてR:5〜10原子%、Ta:5〜10原子%を含有し、残部:Coおよび不可避不純物からなるターゲット組成となる割合で、CoとRとの合金粉末であるR−Co合金粉と、Ta粉と、の混合粉末を作製する工程と、該混合粉末を真空または不活性ガス雰囲気中でホットプレスする工程と、を有している。 (もっと読む)


【課題】 組織のさらなる微細化が可能であると共にコンタミネーションが少ない磁気記録膜形成用スパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 非磁性酸化物、CrおよびPtを含有し、残部がCoおよび不可避不純物からなるターゲットの製造方法であって、Co、CrおよびPtの各元素を単体として又はこれらのうち2種以上の元素を含む合金として粉末にした原料粉末と非磁性酸化物の原料粉末との各原料粉末が混合された一次混合粉末を焼結させて一次焼結体を得る一次焼結工程と、一次焼結体を粉砕して一次焼結体粉末を得る粉砕工程と、前記各原料粉末が混合された二次混合粉末1と一次焼結体粉末2とを混合および粉砕後、焼結させる二次焼結工程と、を有し、二次混合粉末1の平均粒径が0.05〜30μmであり、一次焼結体粉末2の最大粒径が200μm未満である。 (もっと読む)


【課題】FeRAMやDRAMなどに使用されるTi−Al−N膜などの成膜用のTi−Al合金ターゲットにおいて、不純物量の低減を図った上で、ターゲットの製造歩留りを高めると共に、膜品質の向上などを図る。
【解決手段】スパッタリングターゲットは、Alを5〜50原子%の範囲で含有するTi−Al合金からなる。このようなTi−Al合金ターゲットにおいて、ターゲットのCu含有量を10ppm以下およびAg含有量を1ppm以下とする。 (もっと読む)


【課題】金属化合物を含有するセラミックパウダーからなる焼結材料の強度と硬度を、合せて向上する。
【解決手段】実質的に式MaXbを有する第1の金属化合物を含有するコア粒子に、(Mはチタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、アルミニウム、ホウ素およびシリコンからなる群より選択される金属であり、一方Xは窒素、炭素、ホウ素および酸素からなる群より選択される1以上の元素を表し、文字aおよびbはゼロより大きく4を含む数。)、第1の金属化合物と異なる第2の金属化合物を中間層としてコートした粒子を形成し、(中間層の材料はコア粒子を構成する材料より高い相対破壊靭性を有している。)、このコートしたコア粒子(複合粒状材料)を、鉄、コバルトまたはニッケルで結合した焼結材料。 (もっと読む)


【課題】 高温成形時の溶融を抑制することで高密度化を達成できる、太陽電池の光吸収薄膜層を製造するための高強度Cu−Ga系スパッタリングターゲット材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 原子%で、Gaを29〜40%含み、残部Cuおよび不可避的不純物からなる粉末冶金ターゲット材において、X線回折においてCuベースのfcc相の(111)面とCu9Ga4相の(330)面からのX線回折ピーク強度比が、0.05≦Cu[I(111)]/Cu9Ga4[I(330)]≦0.80、かつCuGa2相の(102)とCu9Ga4相の(330)面からのX線回折ピーク強度比が、CuGa2[I(102)]/Cu9Ga4[I(330)]≦0.10であり、さらに相対密度が95%以上であることを特徴とした高強度Cu−Ga系ターゲット材、およびその製造方法。 (もっと読む)


【課題】坑壁からの面圧を低減、かつ振動発生を抑制することができるロックビットを提供する。
【解決手段】第1の発明は、ジャーナル部を有するビットボディと、ビットボディに対して回転可能なコーン部と、コーン部とジャーナル部の間の軸受部と、コーン部とジャーナル部の間に設けられ、軸受部を密封するためのシールとを備えるロックビットにおいて、コーン部は坑井の側壁と接触するゲージサーフェイスを有し、このゲージサーフェイスに、ダイヤモンド複合材料を設置、好ましくは広く滑らかに設置した。第2の発明においては、ビッドボディの外周部にリングビットが設けられている。また、トリコンビットのコーン部には坑井の側壁と接触するゲージチップおよびサーフェイスチップが設けられておらず、坑井の底部と接触する超硬チップのみが設けられている。 (もっと読む)


【課題】セラミックス回路基板と金属ベース板の放熱性が高く信頼性に優れた、安価なパワーモジュール構造体と、その製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス回路基板1の熱膨張係数をα(×10−6/K)、応力緩和板2の熱膨張係数をβ(×10−6/K)、金属ベース板3の熱膨張係数をγ(×10−6/K)とした時、(α+γ)/2−4<β<(α+γ)/2+4を満たす熱膨張係数を有し、板厚が0.5〜3.0mmで温度25℃の熱伝導率が100W/(m・K)以上、3点曲げ強度が50MPa以上の応力緩和板2の表面に金属層を形成した後、セラミックス回路基板1と金属ベース板3との間にはんだ付け又はロウ付けしてなるパワーモジュール構造体。 (もっと読む)


【課題】相対的に低い温度の熱処理によっても、比抵抗、抵抗温度特性、高温安定性、耐塩水性のいずれにも優れた薄膜抵抗器、およびその製造のための抵抗体材料および製造方法を提供する。
【解決手段】Cr、AlおよびYから選択される1種以上の添加元素を10〜60質量%含有し、残部がNiと不可避不純物からなるNi合金に、SiO2を主成分とし、B、Mg、Ca、Ba、Al、Zrおよびこれらの酸化物から選択される1種以上を0〜90質量%含有するシリケート系ガラスが3〜20質量%添加されている抵抗体材料を使用する。 (もっと読む)


残留圧縮応力状態にある第一の領域、および該第一の領域に隣接する残留引張応力状態にある第二の領域を備えるPCD構造体であって、第一および第二の領域がそれぞれ個別のPCDグレードで形成され、ダイヤモンド粒の相互成長によって互いに直接的に結合されてなり、PCDグレードが少なくとも1,200MPaの抗折力(TRS)を有する、PCD構造体。残留圧縮応力状態にある第三の領域も、第二の領域が第一および第三の領域の間に配置されて、第一および第三の領域にダイヤモンド粒の相互成長によって結合されるように提供されてもよい。
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内燃機関用のスパークプラグは、プラチナ(Pt)ベースの合金の電極材料を用いた1つ以上の電極を有する。合金は、アルミニウム(Al)と、ニッケル(Ni)、レニウム(Re)、ルテニウム(Ru)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、およびタングステン(W)を含む群から選択される1つ以上の耐熱金属とを含む。開示された合金のうちの少なくともいくつかでは、アルミニウムは、電極材料の表面上への酸化アルミニウム(Al23)層の形成に寄与する。
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【課題】種々の金属材料などからなるスパッタリングターゲットにおいて、各種デバイスの高性能化などに伴って益々厳しくなってきているスパッタ膜への要求特性を満足させる。具体的には、スパッタ膜の膜厚分布や膜組成の均一化、各種機能材料として用いられる膜の諸特性の向上および均一化、ダスト発生数の低減などを図る。
【解決手段】Mnを主成分とし、各部位の酸素量を全体の酸素量の平均値に対して±27%以内の範囲にあるスパッタリングターゲット、またはMnを主成分とし、各部位の窒素量を全体の酸素量の平均値に対して±75%以内の範囲にあるスパッタリングターゲットを製造する方法において、Mnを主成分とする粗金属材を真空溶解して溶解材を得る工程と、前記溶解材に所定の処理および加工を施して所定の形状に成形する工程とを有する。 (もっと読む)


超硬合金基材に結合されたPCD構造を備える多結晶ダイヤモンド(PCD)複合成形体要素であって、基材の少なくとも周辺領域が、少なくとも約0.1ミクロン、かつ、多くとも約0.7ミクロンの平均自由行程(MFP)特性および少なくとも約1.9GPaの弾性限界を有する超硬合金材料を備える、多結晶ダイヤモンド複合成形体要素。 (もっと読む)


【課題】半導体素子などに用いられるCu配線のバリア層の形成に好適なスパッタリングターゲットの製造方法及びスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】粗金属Taをエレクトロンビーム溶解して高純度Taインゴットを精製する工程と、得られた高純度Taインゴットに対して鍛造、圧延による塑性加工を施す工程と、塑性加工を施した前記高純度Taインゴットに熱処理を施す工程と、を有することを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法、及びパッタリングターゲット。 (もっと読む)


【課題】 CCPターゲットの利用効率を高めるため、厚くても漏れ磁束が大きいCCPターゲットを提供することを課題とする。
【解決手段】 非磁性酸化物、CrおよびPtを含有し、残部がCoおよび不可避不純物からなる磁気記録膜形成用スパッタリングターゲットであって、Co、CrおよびPtの各元素を単体として又はこれらのうち2種以上の元素を含む合金として粉末にした原料粉末と非磁性酸化物の原料粉末との各原料粉末が混合された一次混合粉末を焼結させて一次焼結体を得る一次焼結工程と、前記一次焼結体を粉砕して一次焼結体粉末を得る粉砕工程と、前記各原料粉末が混合された二次混合粉末と一次焼結体粉末とを混合後、焼結させる二次焼結工程と、を経て製造され、二次混合粉末の焼結体からなる組織中に、一次焼結体粉末の焼結体からなる組織が分散している。 (もっと読む)


【課題】残留磁束密度を低下させることなく、保磁力の向上を図ること。
【解決手段】以下の構成を備えた磁気異方性磁石素材及びその製造方法。(1)前記磁気異方性磁石素材は、Pr:12.5〜15.0原子%、B:4.5〜6.5原子%、及びGa:0.1〜0.7原子%を含み、残部がT及び不可避的不純物からなるPr−T−B−Ga系の成分組成を有する。但し、Tは、Fe又はFeの一部をCoで置換したものである。(2)前記磁気異方性磁石素材は、残留磁束密度(Br)/飽和磁束密度(Js)で規定される磁気配向度が0.92以上である。(3)前記磁気異方性磁石素材は、結晶粒径が1μm以下である。 (もっと読む)


【課題】 熱間塑性加工により結晶粒を特定の方向に配向させて磁気的に異方性を付与した永久磁石を製作する際に、残留磁束密度及び保磁力を効果的に向上させることができる低コストの永久磁石の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の永久磁石の製造方法は、熱間塑性加工により製作された磁石Sを所定温度にて熱処理する熱処理工程と、前記磁石を処理室70内に配置して所定温度に加熱すると共に、同一または他の処理室内に配置したジスプロシウム、テルビウムの少なくとも一方を含む蒸発材料vを蒸発させ、この蒸発したジスプロシウムやテルビウムの金属原子の磁石表面への供給量を調節してこの金属原子を付着させ、この付着した金属原子を焼結磁石の結晶粒界及び/または結晶粒界相に拡散させる蒸気処理工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】 ZT値が「2」以上の熱電材料の製造を可能にする。
【解決手段】 高密度化高性能ナノ結晶バルク熱電材料の製造方法は、(1)ナノパウダーの生成ステップにおいて、原料として対応する元素材料を使用し、融解または機械的合金化法により融点温度Tmを有する熱電合金を生成し、不活性雰囲気あるいは真空下で合金をボール製粉して、5−30nmの平均粒径を有する合金パウダーを生成し、(2)高圧焼結ステップにおいて、不活性雰囲気あるいは真空下で製粉したパウダーをプレスしてプリホームを成形し、高圧金型にプリホームを入れ、0.8−6.0のGPaの圧力、0.25−0.8Tmの温度で10−120分間プリホームを焼結し、90−100%の相対密度および10−50nmの平均粒径を有するナノ結晶バルク熱電材料を取得する。 (もっと読む)



【課題】ダイヤモンド複合耐摩耗部材に圧力と熱の衝撃に対して強靭な特性を付与する事。
【解決手段】ダイヤモンド粒及びWC粒からなる硬質粒子、と燐(P)を含有する鉄族金属の結合材と、分散して単独で存在する銅を含む材料の、燐の割合を調整して焼結適正温度を900℃〜1080℃とする工程と、ホットプレス焼結または放電焼結をする工程を含む、複合耐摩耗部材の製造方法であり、ダイヤモンド粒とWC粒からなる硬質粒子と、燐を含有する鉄族金属の結合材と、銅とを含む材料を備え、燐の重量%はWC粒と結合材の合計重量に対し0.01%〜1.0%である複合耐摩耗部材である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、金属支持板と冷却フィンの接合が高い機械的特性・放熱性が得られる配線基板冷却機構及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、半導体チップや電子部品等の発熱体を搭載する配線基板と、前記配線基板を支持する金属支持板と、前記金属支持板に設けられ、前記発熱体が発生した熱を放熱する冷却フィンを有する冷却装置、ないし冷却ユニットを含む冷却機構が備わる配線基板冷却機構において、前記金属支持板と前記冷却フィンを接合する接合部位に介在する接合材料としての金属焼結体は10〜1000nmの結晶粒からなる銀および/または銅を主体とし、かつ金属焼結体の内部粒界が酸化皮膜層を介さずに金属接合していることを特徴とする配線基板冷却機構および配線基板冷却機構の製造方法を提供する。 (もっと読む)


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