【課題】 高い真空度を得るために長時間をかけたり、特別の装置を使用したりすることなく、アルミニウムのような易酸化性蒸着材料を希土類系永久磁石のような被処理物に安定に蒸着させるための表面処理方法、この方法を実施するために好適な表面処理装置などを提供すること。
【解決手段】 易酸化性蒸着材料からなる蒸着被膜を被処理物の表面に形成する表面処理方法であって、処理室内の少なくとも溶融蒸発部と被処理物の近傍に蒸着制御ガスを供給した状態で前記蒸着材料を蒸発させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属粉末の高速プレス成形加工で潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製金型を提供する。
【解決手段】金型は、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる金型本体の少なくとも成形面に、マグネトロンスパッタリング装置にて、磁場中成膜された、窒化チタン層および／または炭窒化チタン層で、かつ０．１〜３μｍの平均層厚を有する密着接合層を介して、その表面に炭化タングステンターゲットとＴｉターゲットを用い、炭化水素の分解ガスと窒素とＡｒの混合ガスからなる反応雰囲気で磁場中成膜する。成膜は、Ｗ：１０〜４０原子％、Ｔｉ：０．５〜４原子％、窒素：１０〜３０原子％、を含有し、残りが炭素と不可避不純物からなり、透過型電子顕微鏡による観察で、炭素系非晶質体の素地に、結晶質炭窒化チタン系化合物の微粒が分散分布した組織を示し、かつ１〜１３μｍの平均層厚を有する。 （もっと読む）

【課題】潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製ブローチを提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金で構成されたブローチ本体の表面に、（ａ）下部層として、組成式：（Ｔｉ_１−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．６５）を満足するＴｉとＡｌの複合窒化物からなると共に、１〜３μｍの平均層厚を有する硬質被覆層、（ｂ）上部層として、オージェ分光分析装置で測定して、Ｗ：５〜２０原子％、Ｔｉ：０．５〜４原子％、窒素：１０〜３０原子％、を含有し、残りが炭素と不可避不純物からなる組成を有すると共に、透過型電子顕微鏡による観察で、炭素系非晶質体の素地に、結晶質炭窒化チタン系化合物の微粒が分散分布した組織を示し、かつ１〜３μｍの平均層厚を有する潤滑性非晶質炭素系被膜を蒸着形成してなる表面被覆超硬合金製ブローチ。 （もっと読む）

【課題】硬質皮膜の密着性を改善し、耐酸化性、耐摩耗性を向上させ、更に高温状態での耐溶着性並びに硬質皮膜中への被削材元素の拡散を抑制し、切削加工の乾式化、高速化、高送り化に対応する硬質皮膜の製造方法を提供する。
【解決手段】本願第１発明は、硬質皮膜は高密度プラズマにより被覆した相と、低密度プラズマにより被覆した相とが多相構造をなし、該硬質皮膜内部において組成濃度差を発生させることを特徴とする硬質皮膜の製造方法である。次に、本願第２発明は、プラズマ密度の異なる手法を被覆時に併用し、高硬度皮膜と低硬度皮膜とを連続して交互に被覆することを特徴とする硬質皮膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工でダイヤモンド状炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金基体の表面に、収束磁場形成のプラズマ化学蒸着装置にて、（ａ）Ｔｉターゲットをスパッタして、磁場中成膜されたＴｉＮ層およびＴｉＣＮ層のうちのいずれか、または両方の積層からなり、かつ０．５〜３μｍの平均層厚を有する密着接合層を介して、（ｂ）酸化シリコン焼結体ターゲットをスパッタして磁場中成膜された、ダイヤモンド状炭素（ＤＬＣ）からなる素地に、透過型電子顕微鏡による観察で最大径が１０ｎｍ（ナノメーター）以下の酸化シリコン微粒が、Ｘ線光電子分光装置（ＥＳＣＡ）による測定で１〜１０原子％の割合で分散分布した組織を有し、かつ０．６〜１５μｍの平均層厚を有するダイヤモンド状炭素系被膜を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 超硬合金の母材にコーティングされるＷを含む硬質被膜の密着性および耐摩耗性を向上させる。
【解決手段】 超硬合金から成る工具母材１２の表面には、ＴｉＷＳｉ合金をターゲットとするアーク放電イオンプレーティング法により、そのＴｉＷＳｉ合金の炭化物（ＴｉＷＳｉＣ）、窒化物（ＴｉＷＳｉＮ）、或いは炭窒化物（ＴｉＷＳｉＣＮ）から成る単一の組成の硬質被膜１４が設けられているため、Ｔｉ、Ｗ、およびＳｉを別々のターゲットとして用いてコーティングする場合のようにＴｉ化合物、Ｗ化合物、Ｓｉ化合物が混在している場合に比較して、ＴｉＷＳｉ合金とＷＣとの親和性により、ＷＣを主成分とする超硬合金の工具母材１２に対する密着性が一層向上する。また、Ｓｉを含んでいるため、硬さがＨＶ０．０２５で３０００以上となり、優れた耐摩耗性が得られるようになる。 （もっと読む）

本発明の基材及び耐摩耗性被膜を含んで成る切削工具は、前記耐摩耗性被膜が１層以上の耐熱性化合物からなり、前記化合物の少なくとも１層がＭＸ／ＬＸ／ＭＸ／ＬＸ積層の多層状の構成物から成り、積層する層のＭＸ／ＬＸがＴｉ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｖ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ａｌ、ＳｉまたはＷそれらの混合物からなる群から選択された元素Ｍ及びＬを含む炭化物または窒化物であり、一連の個々の層の厚みには繰り返し周期がなくて多層状の構造物の全体に亘って実質的に非周期的であり、そして個々のＭＸ及びＬＸ層の厚みが０．１束より大きいがこの構造物中の１０連続層の合計が３００ｎｍより小さく、且つ前記多層状の構造物は合計厚みが０．５μｍより大きいが２０μｍより小さくてＰＶＤ技術で堆積され且つＭＸまたはＬＸの少なくとも１層が電気的に絶縁される切削工具に関し、且つそのような工具の製造方法に関する。
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【課題】高品質の薄膜の形成が可能となり、中でも低い基板温度環境において、基板との密着性が良好で、緻密性が高く、硬度の高い、高品質のフッ化物薄膜の形成が可能となる薄膜形成方法および薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】膜材料６を真空中で加熱し、該膜材料を蒸発させる工程と、前記蒸発させた膜材料による蒸発材料に、電子源９から放出された低エネルギーの電子を付着させ、該蒸発材料を負イオン化する工程と、前記イオン化した蒸発材料を電界（１０１）によって被処理基板２に向けて加速し、該被処理基板上に該材料を蒸着させる工程とを有し、薄膜を形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】アーク式イオンプレーティングによる成膜方法及び装置であって、カソード材料として２種以上の元素を含むものを採用して複数元素を含む膜を形成でき、しかも、ドロップレット付着が抑制された、それだけ平滑な膜を形成できる成膜方法及び装置を提供する。
【解決手段】カソード１２として２種以上の元素を含む材料からなるものを採用し、膜形成にあたって、カソードアーク走行面１２１と正規成膜位置Ｐの被成膜物品Ｗ間の成膜距離Ｌを１５０ｍｍ以上３５０ｍｍ以下に設定し、真空アーク放電を成膜用ガス雰囲気において行わせ、且つ、成膜ガス圧を４Ｐａ〜７Ｐａの範囲に設定し、プラズマ生成領域に磁場を印加し、該磁場は、該カソードアーク走行面１２１位置で該面の法線となす角度が３０°以下である磁力線１３１からなる磁場とするアーク式イオンプレーティングによる成膜方法及び成膜装置Ａ。 （もっと読む）

【課題】 高品質のＧａ_２Ｏ_３系化合物半導体からなる薄膜を形成することができるｐ型Ｇａ_２Ｏ_３膜の製造方法およびｐｎ接合型Ｇａ_２Ｏ_３膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 真空層５２内を減圧し、酸素ラジカルを注入しながらセル５５ａを加熱し、Ｇａの分子線９０、およびセル５５ｂを加熱し、Ｍｇの分子線９０をＧａ_２Ｏ_３系化合物からなる基板２５上に照射して、基板２５上にｐ型β−Ｇａ_２Ｏ_３からなるｐ型β−Ｇａ_２Ｏ_３層を成長させる。 （もっと読む）

【課題】高品質の薄膜の形成が可能となり、中でも低い基板温度環境において、基板との密着性が良好で、緻密性が高く、硬度の高い、高品質のフッ化物薄膜の形成が可能となる薄膜形成方法および薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】膜材料６を真空中で加熱し、該膜材料６を蒸発させる、前記蒸発させた膜材料による蒸発材料に、イオン源９から放出された１価または２価の金属イオンを付加し、該蒸発材料をイオン化し、前記イオン化した蒸発材料を電界（１０１）によって被処理基板に向けて加速し、該被処理基板２上に該材料を蒸着させ、薄膜を形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】リード切断用被覆金型部材において、加工先端部は優れた耐摩耗性と耐溶着性を有し、摩耗の進行が抑えられるよになることから、長期の寿命化が可能となるようなリード切断用被覆金型部材を提供することである。
【解決手段】基体の表面に硬質皮膜が被覆されたリード切断用被覆金型部材において、該金型部材の少なくとも加工先端部近傍に硬質皮膜を有し、該硬質皮膜は周期律表４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｓｉから選ばれる１種以上の金属成分と、Ｃ、Ｎ、Ｏ、Ｂから選ばれる１種以上の非金属成分とから構成され、該金型部材の加工先端部における丸み半径Ｒμｍを、０．０５≦Ｒ≦３としたことを特徴とするリード切断用被覆金型部材である。 （もっと読む）

【課題】基材との密着性または耐久性に優れた硬質体を形成するための時効性金属材料表面の硬質化処理方法、及び時効性金属材料表面の硬質化処理装置、及び耐久性に優れ安価な切削工具を提供する。
【解決手段】固溶化熱処理した時効性金属材料１９を、素地３２中に析出成分を含む化合物３１が析出しないように該金属材料１９を冷却しながら、該金属材料の表面近傍の温度が析出成分を含む化合物３１の析出温度域となるようにスパッタエッチングするとともに、該スパッタエッチング速度が該金属材料１９の析出成分を含む化合物３１の深さ方法の成長速度を超えない範囲でスパッタエッチングし、該金属材料１９の該スパッタエッチング面に析出成分を含む硬度の高い化合物３１の微小突起物を形成する。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｚ）}Ａｌ_XＳｉ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＴａＢＮ（硼窒化タンタル）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＴａＢ_２（硼化タンタル）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】蛍光体層を真空蒸着で形成し、かつ、蒸着レートおよび膜厚を正確に制御できる放射線像変換パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】成膜中にレーザ変位計２０ａ〜２０ｆ等を用いて蛍光体層の膜厚を測定し、その測定結果に応じて、加熱制御手段２４によりルツボ５０ａ〜５０ｆの発熱を調整して、ルツボ毎の蒸着レートを制御する。 （もっと読む）

【課題】真空紫外領域での光吸収を低減させ、赤外領域から真空紫外領域までの広い光波長範囲にわたって良好な光学特性を発揮する薄膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】この成膜方法は、ラドンガス、キセノンガス、クリプトンガス、又はアルゴンガスのうち少なくともいずれか１以上のガスを選択する第１のガス選択ステップと、ネオンガス又はヘリウムガスのいずれか１以上のガスを選択する第２のガス選択ステップと、第１ガス選択ステップにより選択されたガスと第２ガス選択ステップにより選択されたガスとをその混合比を調整して混合する混合ステップと、その混合ガスをスパッタリングガスとして用いて基材表面にスパッタリングにより薄膜を成膜する成膜ステップとを有している。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ａｌ_１−ＸＴｉ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６０を示す）を満足する（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＭｏＢＮ（硼窒化モリブデン）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＭｏＢ（硼化モリブデン）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{１−（Ｘ＋Ｚ）}Ａｌ_XＳｉ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＭｏＢＮ（硼窒化モリブデン）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＭｏＢ（硼化モリブデン）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】小径の回転工具の基体表面に適切な硬質皮膜を被覆することによって、小径工具の切削加工において最も重要となる折損寿命の向上と、硬質皮膜の酸化を抑制し耐摩耗性を改善させることである。更に、小径工具の、特に折損等生じやすい、首部からクランプするためのシャンク部との段差部の強度を向上させ、折損を防止する事である。
【解決手段】硬質皮膜を被覆した被覆小径工具において、該小径工具の刃部の直径Ｄμｍは、５≦Ｄ≦８００、該硬質皮膜はスパッタリング法により被覆され、該硬質皮膜の少なくとも１層の残留圧縮応力ＴはＧＰａで、２≦Ｔ≦８、であることを特徴とする被覆小径工具であり、更に、段差付き円筒形状の場合には、該刃部・首部の少なくとも１部に該硬質皮膜が被覆されていることを特徴とする被覆小径工具である。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｚ）}Ａｌ_XＢ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足するＴｉとＡｌとＢ（ボロン）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＭｏＢＮ（硼窒化モリブデン）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＭｏＢ（硼化モリブデン）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）