【課題】 可撓性を有し、変換効率が高いＣＩＳ系太陽電池を提供する。
【解決手段】 芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分とから得られるポリイミドフィルムであって、２５℃から５００℃までの寸法変化率が、初期の２５℃での寸法を基準にして、−０．３％〜＋０．６％の範囲内であるポリイミドフィルムを基板として使用する。 （もっと読む）

磁気ランダムアクセスメモリを製造するためのシステム及び方法が、開示される。特に、堆積の間に磁性膜のアライニング方法が、開示される。上記方法は、基板上への第１の磁性材料の堆積の間に存在する基板の領域の第１の方向に沿って第１の磁場を印加することを含む。上記方法は、基板上への前記第１の磁性材料の堆積の間に、領域に第２の方向に沿って第２の磁場を印加することをさらに含む。
（もっと読む）

【課題】成膜コストを低く抑えることができ、薄膜化が容易で、光反射率の設定可能範囲の広い導電性アルミニウム薄膜を提供する。
【解決手段】基材１１の表面に形成される導電性アルミニウム（Ａｌ）薄膜たる酸素導入Ａｌ薄膜１２ａは、Ａｌにその固溶限界を超える酸素を導入させてなり、１００ａｔ％のアルミニウムに対する酸素導入量がＥＰＭＡによる測定値において５〜８０ａｔ％である。酸素導入Ａｌ薄膜１２ａは、純Ａｌターゲットを用い、グロー放電を利用した物理蒸着法を用い、その成膜雰囲気において希ガス流量に対して酸素流量を制御することにより成膜される。 （もっと読む）

【課題】圧電体膜を破壊することなく、圧電体膜の自発分極を所定の向きに配向させる圧電体膜の分極方法、および、圧電体膜に分極処理を施す工程を含む圧電素子構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に気相成長法により成膜された、未分極処理の、キュリー点Ｔｃが３００℃以下である圧電体膜２３に対して、０℃以下の温度条件下で、所定の向きの、圧電体膜２３の抗電界以上の大きさの電界Ｅを印加することにより、圧電体膜２３の自発分極を、所定の向きに配向させる。 （もっと読む）

【課題】 無機ＥＬ素子のＥＬ発光層の形成において、反応性スパッタリング法に用いるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットについて、大気中に長期間放置しても強度が低下することのない、高強度のスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】 ２４〜４３質量％のＡｌと、１〜１０質量％のＥｕと、残部のＢａとからなるホットプレス体からなるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットについて、不可避不純物として含まれる水素の量を５０ｐｐｍ以下に制御する。このスパッタリングターゲットの製造は、原料粉末をホットプレスする際に、差圧０.１ＭＰａでの窒素ガスのガス透過率が１×１０^−３ｃｍ^２／ｓ以上のホットプレス型を用いて行う。 （もっと読む）

【課題】ゲッターとしての有用性を有する、対応する層状構造も有する、真空筐体を提供する。
【解決手段】内側表面及び外側表面を有する壁により輪郭が示される真空筐体であって、内側表面は真空と接触し、外側表面は外気と接触し、好ましくないガス状混入物のためのゲッターの内部における存在によって特徴づけられ、基板（内部表面と一体になっているか、又はなっていない）を含み、その上に、（ａ）白金族金属及びその酸化物からなる群から選択される材料の少なくとも１層、及び（β）少なくとも１層の多孔質親水性層を含む薄層積層板の真空蒸着によって蒸着されていることを特徴とする、真空筐体。 （もっと読む）

【課題】透明蒸着用ポリエステルフイルムは、薄い蒸着膜厚さで高いガスバリア性能及び防湿性能を安定して付与し格段に向上させる透明蒸着用ポリエステルフイルム及びその透明蒸着ポリエステルフイルムを提供。
【解決手段】透明蒸着用ポリエステルフイルムは、少なくともＡ層とＢ層の２層を有してなる２軸配向ポリエステルフイルムであり、Ａ層とＢ層がそれぞれ最表層に位置し、かつＡ層側に金属または金属酸化物を用いてなる透明蒸着層が積層される態様で用いられるポリエステルフィルムであって、Ａ層表面（表面Ａ）の中心線面粗さ（ＳＲａ）が１０ｎｍ以下、表面Ａの中心線面粗さＳＲａが表面Ｂの中心線面粗さＳＲａよりも小さく、かつ表面Ａの山数ＳＰｃが表面Ｂの山数ＳＰｃよりも小さい、厚さ５〜２５μｍの透明蒸着用ポリエステルフイルムである。 （もっと読む）

【課題】表層の炭素濃度の高いチタン板を用いても、低い接触抵抗を長期間維持することができる燃料電池セパレータ用チタン基材、および、その基材を用いた燃料電池セパレータ、ならびに、その製造方法を提供する。
【解決手段】燃料電池セパレータ用チタン基材１は、貴金属皮膜１２を備える燃料電池セパレータ１１に用いられ、表面から所定深さまでＸ線光電子分光分析により測定される２８０〜２８４ｅＶの結合エネルギーを有する炭素の濃度が５原子％以上である純チタンまたはチタン合金からなるチタン板２と、チタン板２の表面に形成され、チタンおよびジルコニウムから選ばれる１種以上の金属からなる膜厚１５〜５００ｎｍの金属皮膜３と、金属皮膜３の表面に形成され、金属の酸化物からなる酸化皮膜４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一な膜を成膜することを目的とする。また、成膜に要する時間を短縮し、生産性を向上させることを目的とする。
【解決手段】一方の面に、光吸収層と、光吸収層に接して形成された材料層と、を有する第１の基板を用い、第１の基板の材料層が形成された面と、第２の基板の被成膜面とを対向させ、第１の基板の他方の面側から周波数１０ＭＨｚ以上、パルス幅１００ｆｓ以上１０ｎｓ以下のレーザ光を照射し、光吸収層と重なる位置にある材料層の一部を選択的に加熱し、材料層の一部を第２の基板の被成膜面に成膜する成膜方法において、式（１）または式（２）を満たす条件で成膜する。


（もっと読む）

本発明は単にファンデルワールス力ではなく、４ｅＶ≦の結合エネルギーによって化学的に結合された気密接着被覆を表面に有する単結晶アルカリ土類金属フッ化物光学素子に関するものである。光学素子に被覆を施す材料はＳｉＯ_２、Ｆ−ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｆ−Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯＮ、ＨｆＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＴｉＯ_２、ＺｒＯ_２、及びこれ等のうちの（任意の）混合物、例えば、ＳｉＯ_２ＪＨｆＯ_２及びＦ−ＳｉＯ_２/ＺｒＯ_２から成る群より選択される。光学素子に使用される好ましいアルカリ土類金属フッ化物はＣａＦ_２であり、好ましい被覆はＳｉＯ_２、Ｆ−ＳｉＯ_２、ＳｉＯ_２/ＺｒＯ_２及びＦ−ＳｉＯ_２/ＺｒＯ_２である。
（もっと読む）

【課題】ＰＤＰにおいて、厚膜化してもクラックが生じにくい低誘電率の誘電体層および保護膜を、簡易迅速に一貫して形成する。
【解決手段】ハース２０５の内部が、ＳｉＯ₂粒子を収納するための凹部２０５ｂと、ＭｇＯ粒子を収納するための凹部２０５ｃとに分割され、複数種類の材料が充填できる構造になっている。ＳｉＯ₂粒子が収納された凹部２０５ｂにプラズマビーム２１３が照射されるよう位置決めされた初期位置と、ＭｇＯ粒子が収納された凹部２０５ｃにプラズマビーム２１３が照射されるよう位置決めされた初期位置とに切り替え可能な回転機構２０５ｄを備えている。回転機構２０５ｄは、成膜材料を切り替えるだけではなく、プラズマビーム２１３が照射される間、所定の角度ｄだけ往復運動をする回転機構を備えている。 （もっと読む）

【解決課題】磁性を有する粉末の表面に、スパッタリング法で種々の金属をコーティングすることができる磁性粉末コーティング用スパッタリング装置を提供すること。
【解決手段】真空に保持された回転ドラム内で、磁性を有する粉末をスパッタ粒子でコーティングする粉末コーティング用スパッタリング装置であって、半円筒状ケーシングとハウジングとによって形成される半円筒状の空洞部に非磁性でかつ導磁率が１．２以下の特性を有するオーステナイト系ステンレス鋼の粉末が充填され、バッキングプレート、マグネット及び冷却水通路と、ターゲットプレート及び粉末付着防止用スカートとを備えたスパッタリングユニットがハウジングの下側に取り付けられ、ターゲットプレートの表面が装入された磁性粉末に対して回転ドラムの回転中心点よりも遠い位置に設置されており、回転ドラム内に粉末撹拌翼が設置されている。 （もっと読む）

本発明はアルカリ金属又はアルカリ土類金属で基板（２）をコーティングするためのコーティング設備（１）の真空コーティングチャンバ（３）から、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の残留物を除去するクリーニング方法に関する。この目的のために、アルカリ金属又はアルカリ土類金属と反応して対応する固体化合物を形成するＮ_２、Ｏ_２、又は空気の群からのガスをチャンバ（３）内に導入する。真空コーティングチャンバ（３）内に追加的に水を導入することができる。アルカリ金属又はアルカリ土類金属がガスと反応した後に、真空コーティングチャンバから対応する固体化合物が除去される。
（もっと読む）

【課題】ＬａＢ₆薄膜をマグネトロンスパッタリングで成膜するに際し、得られるＬａＢ₆薄膜の広域ドメイン方向の単結晶性を改善する。
【解決手段】基板１２の表面における平行磁場強度を、ターゲット１１の表面における平行磁場強度の０．１倍以下に設定する。 （もっと読む）

【課題】電子伝導度が低く、全固体型リチウム二次電池の固体電解質に用いた場合に、電池の自己放電を抑制することができるLi₂S‐P₂S₅系固体電解質、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第一のLi₂S‐P₂S₅系固体電解質は、気相法により形成されており、そして、次の式を満足する。式…Li₂S‐P₂S_5-αO_βN_γ（α＝β＋(3γ/2)、但しβ又はγは0を含む）。また、第二のLi₂S‐P₂S₅系固体電解質は、気相法により形成されており、そして、化学量論組成より硫黄を0モル％超10モル％以下の範囲で過剰に含有しており、次の式を満足する。式…Li₂S‐P₂S₅‐S。これら第一及び第二のLi₂S‐P₂S₅系固体電解質は、電子伝導度が1×10^-10S/cm以下である。 （もっと読む）

【課題】高温での時定数が向上されるよう材料設計された、ウルツ鉱型の結晶構造を有する窒化アルミニウム圧電体を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電体の製造方法は、ウルツ鉱型の結晶構造を有する窒化アルミニウムからなる圧電体の製造方法において、酸素の含有量が０．００１％以上、０．５％以下であり、アルゴンおよび窒素の合計含有量が９９．５％以上、９９．９９９％以下である混合気体の存在下において、アルミニウムと混合気体中の窒素、酸素とを反応させつつ基板上に形成させ、さらに基板上に形成した窒化アルミニウムを５００℃以上、８５０℃以下の温度にて加熱する方法である。 （もっと読む）

【課題】タービン動翼などに設けられる遮熱用などの保護皮膜において、接着性の良い保護皮膜、及びその設層方法を提供する。
【解決手段】保護皮膜を有する物品は、第１表面２２を有する基材１８と、第１表面２２から延在する複数の要素２０ａと、複数の要素２０ａの少なくとも一部の間、又は複数の要素２０ａの少なくとも一部の上、又はその両方に配置された保護皮膜２４ａとを備える。複数の要素２０ａは基材１８と一体である。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】膜質の良い有機薄膜を成膜可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】基板ホルダ４０は基板７が水平にされた水平状態から起こされ、基板ホルダ４０に保持された基板７は、基板ホルダ４０と一緒に起立し、水平面から傾いた起立状態にされる。放出装置５０は起立状態の基板７と対面し、該基板７に有機材料の蒸気を噴出して、基板７表面に有機薄膜が成長する。有機薄膜が成長する間、基板７を起立状態にしておけば、有機薄膜に塵等の不純物が混入しない。 （もっと読む）

【課題】初期だけでなく、燃料電池の作動環境で長時間使用しても、耐食性及び電気伝導性に優れた燃料電池用ステンレス分離板及びその製造方法が提供される。
【解決手段】本発明の一実施例に係る燃料電池用ステンレス分離板の製造方法は、ステンレス鋼板母材を用意する段階と、ステンレス鋼板母材の表面層の鉄（Ｆｅ）成分を低減させて、ステンレス鋼板の表面に、クロム（Ｃｒ）成分の相対的な量が増加されたＣｒ−ｒｉｃｈ不動態被膜を形成する表面改質段階と、表面改質されたステンレス鋼板母材の表面に、金属窒化物層（ＭＮ_x）、金属／金属窒化物層（Ｍ／ＭＮ_x）、金属炭化物層（ＭＣ_y）、金属ホウ素化物層（ＭＢ_z）のうちから選択されるコーティング層を形成する段階とを備える。 （もっと読む）

【課題】所望の領域の材料のみが成膜されることを可能にし、微細パターンの形成を可能にすることを目的とする。また、成膜に要する時間を短縮し、生産性を向上させることを目的とする。
【解決手段】一方の面に、金属窒化物を含む光吸収層と、光吸収層に接して形成された材料層と、を有する第１の基板を用い、第１の基板の材料層が形成された面と、第２の基板の被成膜面とを対向させ、第１の基板の他方の面側から周波数１０ＭＨｚ以上、パルス幅１００ｆｓ以上１０ｎｓ以下のレーザ光を照射し、光吸収層と重なる位置にある材料層の一部を選択的に加熱し、材料層の一部を第２の基板の被成膜面に成膜する。 （もっと読む）