【課題】半導体加工装置用部材として好適なエロージョン性に優れるサーメット溶射皮膜被覆部材とその製法を提供する。
【解決手段】Ｎｉ及びＮｉ−Ｃｒ系Ｎｉ基合金を主成分とする金属１０〜９０ｍａｓｓ％とＡｌ_２Ｏ_３、Ｙ_２Ｏ_３、ＹＡＧ等からなる酸化物９０〜１０ｍａｓｓ％のサーメット溶射材料を用いて、各種プラズマ溶射法によって気孔率０．４〜１０％、膜厚５０〜５００μｍの皮膜を被覆形成する。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＡＳ耐性を長期間に亘って安定して維持する。
【解決手段】耐熱合金製の母材２１と、多数の気孔２３ａが形成され、母材２１を被覆する多孔質セラミックス層２３と、を備える耐高温部材１０であって、多孔質セラミックス層２３のうち少なくとも表面側には、複合酸化物２６が含浸した複合酸化物含浸部２５を具備していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イットリア系の皮膜で被覆された部材であって、主に、半導体や液晶製造用等のプラズマ処理装置部材として用いることができ、表面が緻密で滑らかであり、プラズマ処理時にパーティクルや金属不純物の発生によって被処理品を汚染することがなく、かつ、耐久性に優れた耐食性部材を提供する。
【解決手段】セラミックス又は金属からなる基材の少なくともプラズマ又は腐食性ガスに曝される部位の表面に、イットリア系耐食膜が形成された耐食性部材において、前記耐食膜の少なくとも表面層を、イットリアを主成分とし、他は五酸化タンタル又は五酸化ニオブのいずれか１種以上を前記イットリア１００ｍｏｌ％に対して０．０２ｍｏｌ％以上１０ｍｏｌ％以下含有している組成とする。 （もっと読む）

【課題】塗工用原紙の両端部が通過する部位でブレード先端が異常摩耗することなく長寿命化が図れる新規なコーターブレードを提供すること。
【解決手段】ブレード用鋼材１４からなり、塗工用原紙に接触する刃先の両端部にサーメット溶射皮膜１２を有し、当該サーメット溶射皮膜１２がクロムめっき皮膜１３で覆われている。 （もっと読む）

【課題】セラミックス層と耐熱合金製の母材の表面との間に形成されるボンドコート層の耐酸化性を高める。
【解決手段】セラミックス層３と耐熱合金製の母材１の表面との間に形成されるボンドコート層２は、ＣｏとＮｉの両方又は一方のＭと、Ｃｒと、Ａｌと、Ｙと、ＤｙとＣｅとの一方又は両方のＱと、を含み、Ｑが０．０５〜５ｗｔ％で、残量がＭとＣｒとＡｌとＹとである。 （もっと読む）

【課題】高温に曝される物品に対して耐摩耗性及び低摩擦特性のコーティングための組成物を提供する。
【解決手段】該コーティングのための組成物は、炭化物、ホウ化物、又は、タングステン、アルミニウム、クロム、タンタル、モリブデン、バナジウム、ジルコニウム、ニオブ若しくはこれらの組合せからなる選択される少なくとも１種の元素の酸化物を含む硬いセラミック相、ニッケル、コバルト、鉄、銅、クロム、銀及びこれらの組合せからなる少なくとも１種の金属を含む金属のバインダー相、及び潤滑相を含む。 （もっと読む）

【課題】セラミックス粉末を使用して衝撃焼結被覆によりセラミックス皮膜を製造する場合、プラズマ溶射は、フレーム温度が15000℃から30000℃にもなる。また従来のフレーム溶射はフレーム温度が2200℃から3400℃になり粉末が容易に溶融し、また昇華、分解することにより、溶射粉末と異なる変態した皮膜、組成が変わる皮膜となる。低温で衝撃焼結被覆をすることにより要求を満足する機能性を有する優れた皮膜を得る安価な方法を提供する。
【解決手段】従来のフレーム溶射と異なり、ガンの燃焼室の後に、粉末と燃焼ガスを供給ノズルからフレームの軸に向けて燃焼ガスとスラリー状微粉末を噴射し、燃焼室に導入の酸素量と供給ノズルから導入する燃焼ガスとの容量を調整してフレーム中に存在するセラミックス微粉末の温度を制御し、また燃焼生成ガスにより加速して、衝撃焼結被覆をし、要求機能特性と密着性を有する皮膜を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属カルシウムは、水とくに空気中の水分と反応して水素を発生する性質を持つため、保管中に水素が溜って火気により爆発する危険がある。このため、これまでは金属カルシウムは鉄製の容器に入れて密封して保管して来た。鉄製の容器は重くて取扱いが容易でない、という問題があるので、これを解決する。
【解決手段】金属カルシウムの表面に、例えばアルミニウムのような金属、合成樹脂又は珪酸ソーダの皮膜を形成して、金属カルシウムが水と接触するのを遮断する。また、こうして表面被覆された金属カルシウムをポリオレフィン製の袋に入れ、袋の口を密封して湿気との接触を遮断する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な作業にて、所望の粒径の粉末を効率良く製造することができる溶射粉末の製造方法を提供することにある。
【解決手段】溶射粉末の原料及び水並びに分散剤を混合してなるスラリー１３の固形分濃度を６０重量％以上８６重量％以下に調整し、スラリー１３を噴霧乾燥装置１０の円盤状のアトマイザ１２に供給し、アトマイザ１２の回転速度を調整して、アトマイザ１２からスラリー１３が突出する突出速度を３０ｍ／秒以上１１０ｍ／秒以下にし、スラリー１３が噴霧乾燥器１０内で乾燥して溶射粉末本体２２を形成し、これを熱処理し所望の粒径分布の溶射粉末を得ようにする。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れより低コストで製造できる遮熱コーティング材、及び、これを備えるタービン部材及びガスタービンを提供する。
【解決手段】耐熱合金基材１１上に、耐高温酸化合金からなるボンドコート１２とトップコート１３とを備え、前記トップコート１３が前記ボンドコート１２側から順に、ジルコニアを主とするジルコニア含有層１４と、一般式Ａ_２Ｚｒ_２Ｏ_７（Ａは希土類元素を表す）で表される材料、または、Ａ’_１Ｂ_１Ｚｒ_２Ｏ_７（Ａ’及びＢは、それぞれＬａ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｇｄ，Ｄｙ，Ｃｅ，Ｙｂのいずれか、かつ、Ａ’とＢとは互いに異なる元素を表す）を主とする放射層１５とで構成され、前記放射層１５の膜厚が、前記トップコート１３の膜厚の１０％未満とされる遮熱コーティング材。 （もっと読む）

【課題】層状物品を提供する。
【解決手段】本物品は、第１の外側層（３００）と、第２の中間層（２００、２０１）と、基材（１００）とを含み、第２の中間層（２００、２０１）は、第１の界面で第１の外側層（３００）にかつ第２の界面で基材（１００）に接触している。第１の外側層（３００）は、Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を含み、また第２の中間層（２００、２０１）は、傾斜機能材料を含む。傾斜機能材料は、第１の界面に近接した位置において実質的にＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を含まずかつ第２の界面の位置において第１の外側層（３００）と実質的に等しい量のＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を有する組成を含む。 （もっと読む）

【課題】真空成膜装置で内部応力が大きい薄膜を成膜する際に、成膜工程中に付着する成膜材料の剥離を安定かつ有効に防止し、装置クリーニングや部品の交換などに伴う生産性の低下や成膜コストの増加を抑える。
【解決手段】Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｇ、ＡｕおよびＩｎから選ばれる金属元素の単体、もしくは前記金属元素を含む合金または化合物の薄膜を成膜する真空成膜装置の構成部品１を製造する方法であって、部品本体２の表面に膜厚が300μm以上のＣｕ溶射膜３を形成する工程と、表面に前記Ｃｕ溶射膜３が形成された部品を、真空雰囲気中で加熱するアニーリング工程と、前記アニーリング工程後、水素雰囲気中にて前記加熱温度より低い温度で前記部品を還元する還元処理工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡便で小型の溶接改質装置により、短期間で溶接金属の耐食性を改善することができる構造材の表面改質装置及びその方法を提供する。
【解決手段】溶接トーチ部２と表面改質トーチ部３とを有する構造材の表面改質装置１において、前記溶接トーチ部２と表面改質トーチ部３を移動可能な連結部材１７により連結するとともに、前記表面改質トーチ部３は、前記溶接トーチ部２で形成された溶接金属２２の表面にチタン含有溶液を噴射しアナターゼ型酸化チタン層からなる表面改質層２１を形成する。 （もっと読む）

本発明は、熱間工具（１）、特に継目無管を製造するための穿孔マンドレル若しくは圧延ロッド又は金属からなる管状の被加工物を熱間鍛造するための鍛造マンドレルであって、工具基体（２）を備え、工具基体（２）が少なくとも作業領域（３）にコーティング（４）を有している熱間工具（１）に関する。工具基体におけるコーティング（４）の強度の改善を達成するために、本発明では、工具基体（２）が表面異形成形部（５）を有しており、表面異形成形部（５）にコーティング（４）が被着されているようにした。さらに本発明は、このような熱間工具を製造する方法に関する。
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【課題】未溶着の溶射粒子を高濃度に回収でき、容易に選別・再利用でき、溶射粒子の利用率を向上させ得る溶射装置を提供する。
【解決手段】溶射ガン３から発射される溶射粒子を通過させるように被溶射体５の周囲を囲う第一内部空間１１を形成する第一包囲体９と、第一内部空間１１の雰囲気を吸引排気する第一排気系１３と、第一排気系１３に介装され、溶射粒子を選別するサイクロン２７と、第一包囲体９の周囲を囲う第二内部空間４５を形成する第二包囲体４３と、第二内部空間４５の雰囲気を吸引排気する第二排気系４７と、を備え、第二内部空間４５の雰囲気は、第一内部空間１１の雰囲気よりも低圧とされている。 （もっと読む）

【目的】高い硬度と優れた高温耐食性の双方を兼ね備えることにより耐摩耗性及び耐高温腐食性に対して優れた特性を有し、短時間で時効処理が可能な溶射用粉末合金を提供すること。
【解決手段】質量％で、Ｃｒ：３２％〜５０％、Ａｌ：０．５％〜１０％、Ｆｅ：０．１％〜２０％を含み、残部Ｎｉおよび不可避的不純物からなる溶射用粉末合金。必要に応じてさらに、質量％で、Ｓｉ：０．５％〜５％、Ｂ：０．００１％〜０．０１％、Ｃ：０．０１％〜０．１％、Ｃｕ：０．１％〜５％、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｖの１種又は２種以上をＴｉ：０．１％以下、Ｎｂ：０．１％以下、Ｔａ：０．１％以下、Ｖ：０．１％以下で、且つ、Ｔｉ＋Ｎｂ＋Ｔａ＋Ｖ：０．１％以下の範囲で添加してもよい。 （もっと読む）

本明細書において説明されるのは、一実施形態において、ガス分配シャワーヘッドアセンブリを製作するための例示的な方法及び装置である。一実施形態において、この方法は、半導体プロセスチャンバ内にプロセスガスを分配するための第１のセットの貫通孔を有するガス分配プレートを提供することを含む。この第1のセットの貫通孔は、プレート（例えば、アルミニウムの基板）の背面上に位置する。この方法は、ガス分配プレートの洗浄された表面上にコーティング材料（例えば、イットリアベースの材料）を噴霧（例えば、プラズマ噴霧）することを含む。この方法は、コーティング材料の厚さを低減するために、表面からコーティング材料の一部分を除去（例えば、表面研削）することを含む。この方法は、コーティング材料内に第２のセットの貫通孔を形成（例えば、ＵＶレーザー穿孔、加工）し、この第２のセットの貫通孔は第１のセットの貫通孔に合わせて配置されるようにすることを含む。
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基材のＣＭＡＳ浸透を低減するためのコーティングシステムは、少なくとも内側セラミック層と、外側アルミナ含有層とを含む。外側層は、最大で約５０重量％までのチタニアを含む。追加のセラミック層及びアルミナ含有層を設けることができる。コーティングは、ガスタービンエンジン構成要素に用いることができる。コーティング層の堆積法は、構成要素の最終用途に応じて決めることができる。コーティングされた製品は、基材と、基材上の任意選択のボンドコートと、記ボンドコートの上又は該ボンドコートがない場合には前記基材上にあるコーティングと、を含む。内側セラミック層が、溶射法、物理蒸着法、及びサスペンションプラズマ溶射法から選択された堆積法の徴候である微細構造を示し、外側アルミナ含有層が、サスペンションプラズマ溶射法、溶液プラズマ溶射法、及び高速酸素燃料溶射法から選択された堆積法の徴候である微細構造を示す。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成に消費される高周波の電界強度分布を制御することが可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマエッチング装置１０は、内部にて被処理体をプラズマ処理する処理容器１００と、処理容器１００の内部にて互いに対向し、その間に処理空間を形成する上部電極１０５及び下部電極１１０と、下部電極１１０に接続され、処理容器１００内に高周波電力を出力する第１の高周波電源１５０とを有する。上部電極１０５及び下部電極１１０の少なくともいずれかは、板状の金属から形成された基材と、内部に金属のプレート電極を埋設した状態で前記基材に嵌め込まれ、一部が前記基材から露出した誘電体と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高速フレーム溶射法によって溶射層を形成する際に溶射粒子の衝突時の衝撃によって多孔質基材が損傷するのを抑制することができる多孔質構造体の製造方法および多孔質構造体を提供すること。
【解決手段】多孔質構造体の製造方法は、脆性材料からなる多孔質基材の表面の少なくとも一部に、多孔質基材を補強する補強層を形成する補強層形成工程と、形成した補強層の表面の少なくとも一部に、高速フレーム溶射法により溶射層を形成する溶射層形成工程とを有する。 （もっと読む）