【課題】使用率を向上させ、Ｉｎ等の半田材の注入を容易にし、半田等の割れやクラック、剥離を著しく低減できる円筒形スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】ＩＴＯまたはＡＺＯ等のセラミックス焼結体からなる複数個の円筒形ターゲットの、少なくとも一方の端部に、内周に向かってテーパ状及び／又は段状の形状を形状とし、円筒形ターゲットと円筒形基材との間隙にＩｎ等の接合材（半田材）を容易にかつ円滑に注入して接合し、スパッタリングターゲットと成した後、使用効率が高く、割れやクラック、剥離のないことを特徴とする、円筒形スパッタリングターゲット。 （もっと読む）

坩堝引き上げ法において使用するための公知の溶融坩堝の場合には、坩堝内部空間に対向した、坩堝壁の内側は、少なくとも部分的に貴金属からなる保護層で被覆されている。公知の溶融坩堝は、実際に石英ガラス溶融液と比較して良好な耐蝕性を有するが、しかし、材料費は、高価な被覆材料のために高い。僅かな材料費で良好な耐蝕性を示す、石英ガラスのための坩堝引き上げ法において使用する溶融坩堝を提供するために、本発明によれば、保護層（２）が２０℃〜１８００℃の温度範囲内で相数変換を全く受けない、気密な酸化物材料からなり、坩堝内部空間（１７）が収容すべき石英ガラス材料（２７）の上方でガス空間（１７）を有し、および保護層（２）が専らガス空間（１７）との境に接する、溶融坩堝の内側の表面上に設けられていることが提案されている。
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【課題】耐食性に優れ、プラズマ環境で使用したときに発生するパーティクルを低減できる耐食性部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】耐食性部材は、基材と、基材上に溶射により形成され、５％以上２０％以下の気孔率を有する酸化ガドリニウム皮膜とを備える。耐食性部材の皮膜は、低気孔率の酸化ガドリニウムにより形成されているため、耐食性に優れ、プラズマ環境で使用したときに発生するパーティクルを低減できる。また、酸化ガドリニウム皮膜の気孔率が２０％以下であるため、皮膜の強度が向上し、カケや剥離等が発生しにくく、プラズマが皮膜を透過して基材を損傷する可能性も低い。一方、酸化ガドリニウム皮膜の気孔率は５％以上であり、皮膜が緻密すぎないため、クラックが発生しにくい。 （もっと読む）

本発明は、燃焼機関（１０）のシリンダーヘッド（１２）内部に配置されるシリンダー（１４）の少なくとも１つの排気口（２０）をコーティングする方法であって、該排気口（２０）が、該シリンダー（１４）と排気装置（４０）とを接続する。少なくとも１つの排気口（２０）を画定する前記リンダーヘッド（１２）の１つ以上の表面部分（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ）は、前記シリンダー側及び前記排気装置側の両方から材料を噴霧することにより、少なくとも部分的にコーティングされる。本発明は、前記方法を実施する装置にも言及している。 （もっと読む）

【課題】シリンダライナやオイルパンを加熱することによってエンジンのスタートを容易にできるエンジンなどの加熱方法を提供する。
【解決手段】金属製物品の表面にプラズマ溶射によって、電気絶縁性セラミックス層からなる第一セラミックス層と、この第一セラミックス層Ｃ1 の上面に導電性セラミックス層からなる第二セラミックス層Ｃ2 を形成し、更に前記第二セラミックス層Ｃ2 の両端に給電４を配置し、この両給電線４の間に通電して前記第二セラミックス層Ｃ2 を発熱体とし、前記第一セラミックス層Ｃ1 を、熱誘導層として前記シリンダライナ２やオイルパン３など）を加熱するセラミックス層を発熱体とする加熱方法。 （もっと読む）

本発明は、金属又は非金属基材における熱スプレーコーティングに関する。熱スプレーコーティングは、部分的又は完全に安定化されたセラミックコーティング、例えば、イットリア安定化ジルコニアコーティングを含み、基材に耐腐食性及び／又は耐浸食性を付与するのに十分に高い熱力学的相安定性を有する。本発明はまた、熱スプレーコーティングを適用することによって、金属又は非金属基材を保護する方法にも関する。コーティングは、例えば、集積回路製造装置や内部チャンバ構成要素の保護、及び静電チャックの製造に有用である。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン系腐食ガスおよびハロゲン系ガスプラズマでの使用により発生するパーティクルを低減する耐食性部材を提供すること
【解決手段】半導体製造装置内、フラットパネルディスプレイ製造装置内または太陽電池製造装置内の様なハロゲン系腐食ガスまたはハロゲン系ガスプラズマ等に曝される面が、溶射法によって形成された溶射皮膜と、溶射皮膜上にゾルゲル法によって形成された酸化ガドリニウムゾルゲル膜で形成された耐食性部材とする。 （もっと読む）

【課題】基材から皮膜が剥離するのを防止するとともに、表面層が消失した場合でも高い耐食性を維持できる耐食性部材を提供する。
【解決手段】耐食性部材１は、基材２と、表面に形成される表面層４と、基材２上、かつ基材２と表面層４との中間に形成され、実質的に酸化ガドリニウムからなる中間層３と、を備えることを特徴としている。基材２上に中間層３として酸化ガドリニウム皮膜を設けることにより、中間層３の基材２からの剥離を防止することができる。さらに、表面層４が消失した場合であっても酸化ガドリニウムからなる中間層３が高い耐食性を有するため、消失部分からパーティクルが発生しにくい。その結果、長期間の使用が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ハロゲン系腐食ガスおよびハロゲン系ガスプラズマでの使用により発生するパーティクルを低減する耐食性部材を提供する。
【解決手段】 半導体製造装置内、フラットパネルディスプレイ製造装置内または太陽電池製造装置内の様なハロゲン系腐食ガスまたはハロゲン系ガスプラズマ等に曝される面が、ゾルゲル法によって形成された酸化ガドリニウムゾルゲル膜と、酸化ガドリニウムゾルゲル膜上に溶射法によって形成された溶射皮膜で形成された耐食性部材とする。 （もっと読む）

【課題】付着性が良好で、かつ優れた皮膜特性（耐食性・耐摩耗性・密着性）が得られる溶射用粉末の製造方法、およびこの溶射粉末を成膜することで耐食・耐摩耗性を付与したボイラ用部材を提供すること。
【解決手段】単一の相からなる一次粉末を適当な温度域で加熱することによって得られる複合溶射粉末の製造方法および、この粉末を溶射して得られるボイラ用耐食・耐摩耗部材であり、前記溶射粉末の原料は、Ｆｅをベースに重量比で１８％から２２％までのＳｉを含み、粒子が主としてＦｅ₂Ｓｉ化合物のみによって構成されていることが望ましい。この粉末粒子の内部にＦｅ−Ｓｉ系化合物であるＦｅ₃Ｓｉ化合物、ＦｅＳｉ化合物、Ｆｅ₅Ｓｉ₃化合物およびＦｅ₂Ｓｉ化合物の少なくとも一以上が微細に析出した組織を設けた溶射用粉末とその作製方法である。 （もっと読む）

第１材料を準備する段階、第２材料を準備する段階、プラズマ源を準備する段階、プラズマスプレーを生成するために、プラズマ源内部に第１及び第２材料を導入する段階、を含み、第２材料はプラズマ中で少なくとも部分的に溶融し第１材料に結合する、プラズマスプレー法。そのような方法によって形成される物の組成。そのような方法によって改質される基板。 （もっと読む）

【課題】生体内のような暗所においても十分な抗菌性を発揮することの可能な酸化チタンを用いた抗菌製品及びその製造方法並びに生体インプラントを提供すること。
【解決手段】本発明の抗菌製品は、金属、セラミックス又はプラスチックからなる基体上の少なくとも一部に、ブルッカイト型酸化チタンを主成分とする粉末を高速フレーム溶射してなる溶射被膜を有する。また、本発明の抗菌製品の製造方法は、金属、セラミックス又はプラスチックからなる基体上の少なくとも一部に、ブルッカイト型酸化チタンを主成分とする粉末を高速フレーム溶射する。また、本発明の生体インプラントは、金属、セラミックス又はプラスチックからなる基体上の少なくとも一部に、ブルッカイト型酸化チタンを主成分とする粉末を高速フレーム溶射してなる溶射被膜を有する。 （もっと読む）

【課題】特に、金属溶射皮膜を形成する際に粗面形成剤として好適に使用できる水系粗面形成剤を提供する。
【解決手段】成分として、（１）水溶性アミン樹脂硬化剤及び疎水性液状エポキシ樹脂からなるバインダー樹脂、及び（２）平均粒子径３０〜１５０μｍの不溶性固体粒子、を含有する。 （もっと読む）

【課題】半導体等のプラズマ処理装置や成膜装置に用いられる真空装置用の部品では、その使用中に部品自体の剥離、部品表面に付着する膜状物質の剥離が発生し、部品の短寿命化及び頻繁な部品交換による生産性の低下という問題があった。
【解決手段】 実質的にＴｉおよびＴｉの窒化物（ＴｉＮ_Ｘ）から構成される溶射膜を形成した真空装置用部品であって、該溶射膜のＴｉ（１０１）とＴｉＮ_Ｘ（１１２）（Ｘ＝０．６１）のＸ線回折強度の比（Ｉ＝Ｉ_ＴｉＮ／Ｉ_Ｔｉ）が０．０５〜０．３の範囲にあることを特徴とする真空装置用部品においては、堆積する膜状物質の付着性が従来よりも更に優れ膜状物質の付着性が高く、しかも異常粒成長による粒子の脱落がないため、長時間の連続使用が可能である。 （もっと読む）

【課題】 優れた耐食性と硬度・低摩擦性を備え、またはさらに溶射による形成能をも備える、工業的利用性の高い高耐食性アモルファス合金を提供する。
【解決手段】 式−１；ａ・Ｆｅ−ｂ・Ｃｒ−ｃ・Ｍｏ−ｄ・Ｎｉ−ｅ・Ｐ−ｆ・Ｃ
と表すときの各元素の含有比率（原子％）を示す係数ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆについて、
条件−１；ａ＝１００−ｂ−ｃ−ｄ−ｅ−ｆで１６％≦ａ≦７４％、１０％≦ｂ≦４５％、０％≦ｃ≦１０％、０％≦ｄ≦３０％、１１％≦ｅ≦１５％、５％≦ｆ≦９％
を満たし、３０Ｋ以上の過冷却液体領域があり、体積百分率で９０％以上非晶質を含むよう非晶質形成されているとよい。 （もっと読む）

【課題】基材の表面に亜鉛溶射を行うに際し、溶射材料を低減しても確実に亜鉛付着量を確保できる熱交換器用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる基材と溶射ガンと相対的に移動させながら、前記基材の表面に亜鉛または亜鉛含有合金をアーク溶射することにより、連続的に亜鉛付着層を形成する熱交換器用部材の製造方法であって、亜鉛付着量に対応する溶射電流値を逐次計測し、計測した溶射電流値のばらつきの程度に応じて溶射電流の設定値を変化させて溶射を続行する。 （もっと読む）

航空機や宇宙航行機に用いられる繊維複合部材１をコーティングするための方法において、自身を保護するために、繊維複合部材１を構成する繊維３から表面層が離れるようにして、繊維複合部材１の表面層８の少なくとも一部が前処理されることで下地層１３を形成し、形成された下地層１３に対し、少なくとも１層の機能層１７，１８が施工される。繊維複合部材１は、下地層１３に形成された少なくとも１つの機能層１７，１８を含む。 （もっと読む）

【課題】半導体等の製造における静電チャック、ヒーター、プラズマ処理チャンバーなどの部材やパワーデバイスの放熱絶縁基板に使用する部材に優れた熱伝導率と絶縁性持つ窒化アルミニウムの溶射膜を形成することが望まれているため、気孔率が低く、窒化アルミニウムの含有量の高い溶射膜を提供する。
【解決手段】基材上の少なくとも一部が溶射膜を形成してなり、当該溶射膜を構成する粒子は平均的な直径が１μｍ以上１０μｍ以下の略球状をした窒化アルミニウム微粒子から構成されており、また、窒化アルミニウム粒子の隙間がＩＩＩＡ族及び／又はＩＩＡ族化合物で埋められて、気孔率が１５％以下であることを特徴とする窒化アルミニウム溶射部材に関し、このような部材は平均粒径が１〜１０μｍの窒化アルミニウム粉末、または同様の窒化アルミニウム粉末にＩＩＩＡ族及び／又はＩＩＡ族化合物を含有させた混合粉末を用いて溶射を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】導電体層とこれを挟み込む絶縁体層とで構成される積層構造を有する静電チャックの周囲に形成されたセラミックス溶射膜と基材との密着性がよく、かつハンドリングの際に外部衝撃力が作用しても、容易に溶射膜が破損しない静電チャックを提供する。
【解決手段】絶縁体層に挟み込まれた金属層を含む積層構造の静電チャックであって、前記金属層の周縁の露出部分に形成された凹部が絶縁性の溶射膜によって被覆されている。この静電チャックの溶射膜は、少なくとも前記凹部の内側に露出する前記金属層を被覆し、かつ前記凹部より突出しないよう被覆されていることが好適である。これにより、金属層からの漏電や、金属層の腐食を防止できるとともに、ハンドリングの際に溶射膜に外部衝撃力が作用しても、溶射膜の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】高い遮熱効果を有し、熱サイクル耐久性に優れる遮熱コーティング材及びこれを備えたガスタービン、並びに遮熱コーティング材の製造方法を提供する。
【解決手段】耐熱基材上に形成されたセラミックス層を備える遮熱コーティング材であって、前記セラミックス層が気孔を含有し、前記セラミックス層に対する前記気孔の気孔占有率が１１％以上３２％以下であり、前記気孔が、気孔径３０μｍ以上１５０μｍ以下の大径気孔を含むことを特徴とする遮熱コーティング材。耐熱基材上に溶射法によりセラミックス層を形成する遮熱コーティング材の製造方法であって、樹脂粉末とセラミックス粉末とを混合して混合粉末を作製する工程と、前記混合粉末を前記耐熱基材上に溶射する工程と、前記混合粉末を溶射した前記耐熱基材を熱処理して、前記セラミックス層中に気孔を形成する工程とを備えることを特徴とする遮熱コーティング材の製造方法。 （もっと読む）