【課題】Ｃｕ等の金属層の酸化が生じ難く、かつ、結晶性がよく、かつ、クラックの発生し難いＢａ及びＴｉ含有酸化物層の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂａ及びＴｉ含有酸化物のアモルファス層２０Ｂ，２０Ｃを金属層１４上に形成するアモルファス層形成工程と、Ｂａ及びＴｉ含有酸化物のアモルファス層２０Ｃを結晶化する結晶化工程と、を備える。アモルファス層形成工程では、Ｂａ及びＴｉ含有酸化物の前駆体層を形成すること、及び、Ｂａ及びＴｉ含有酸化物の前駆体層に１パルスあたり１〜１００ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線パルスレーザ光を照射することの組合わせを１回行う又は複数回繰り返し行うことにより厚みが３００〜６６０ｎｍのＢａ及びＴｉ含有酸化物のアモルファス層２０Ｂ，２０Ｃを形成する。また、結晶化工程では、酸化物のアモルファス層２０Ｃに１パルスあたり６０〜４００ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線パルスレーザ光を照射する。 （もっと読む）

【課題】実質的なクラスター生成効率を高めたクラスター生成装置を提供する。
【解決手段】エネルギー照射を受けてクラスター構成物質を放出する放出源を減圧室内に配置し、該放出されたクラスター構成物質のイオンを冷却ガスとの接触下でクラスター化させてイオンクラスターとし、生成した該イオンクラスターを該減圧室のクラスター出口から室外へ供給するクラスター生成装置において、
上記放出源から上記クラスター出口に至る軸線を取り巻く環状の電極、および
上記イオンクラスターの帯電極性と同じ極性の電位を上記電極に印加する直流電源
を備えたことを特徴とするクラスター生成装置。 （もっと読む）

【課題】耐エロージョン性と耐コロージョン性に優れた蒸気タービン翼およびその表面改質方法を提供する。
【解決手段】蒸気タービン翼１のエロージョンまたはコロージョンが発生する部位（２）に電子ビーム照射により表面改質処理を施して形成した高硬度層３を有し、この高硬度層３は平滑化した表面を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】工程の簡略化を図りながら撥油性被膜の密着性を向上させること。
【解決手段】排気流路バルブを構成するボディに形成された排気流路（シート部を含む。）及びシャフト孔の表面を所定の平滑面とし、排気流路等の表面にプラズマを照射して活性化処理した後、排気流路等の表面に撥油性被膜を施す。ボディは、アルミニウムを主材料として構成する。撥油性被膜の材料として、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を使用する。 （もっと読む）

【課題】色彩模様を安価に細やかに表現できるレーザによるカラーマーキング方法を提供する。
【解決手段】金属６の表面にレーザ５ｄを照射し、該表面の全域或いはその一部を変色させた後、該変色部分内に更にレーザ５ｄを照射して所定の色に変色させる金属のカラーマーキング方法である。本方法では、レーザ光を金属表面上に２回以上の複数回照射することにより、彩度が高く色階調の多い複雑な紋様を金属表面に描くことが可能になる。本方法において、レーザ照射を高出力で行ったのち、２回目以降のレーザ照射を同出力又は低出力で行うことにより、より彩度の高い紋様を得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】内部組織に影響を与えることなく、耐食性に優れたマグネシウム材を製造することのできるマグネシウム材の製造法を提供する。
【解決手段】マグネシウム基板（基質）１０の表面にアルカリ処理を施し（アルカリ処理工程）、このアルカリ処理がなされたマグネシウム基板の表面に２０ｍｍｓ^-1以上１００ｍｍｓ^-1以下の範囲の走査速度でレーザ光を照射する（レーザ照射工程）。レーザ平均出力は１１Ｗ以下、周波数を１５０ｋＨｚ以上２５０ｋＨｚ以下とする。マグネシウム基板１０の表面全体が均質なＭｇＯ膜１１が覆われ、高耐食性を示すようになる。 （もっと読む）

装置を通る移動経路に沿って移動する基板（２０）をコーティングする装置および方法。プラズマ源（３０）はプラズマジェット（３２）を放出し、そこにジェットの上流に配置された吐出オリフィス（１４４，１４６）から第１の試薬が注入される。第２の試薬は、ジェットの下流に配置された吐出オリフィス（２４４，２４６）からジェット内に注入される。制御装置（１６６）は、第１の組のパラメータに従って第１の試薬の流れを調整し、第２の組のパラメータに従って第２の試薬の流れを調整するように構成される。その結果、第１および第２の試薬が基板に塗布されて、基板上に少なくとも１つのコーティング層を形成する。
（もっと読む）

【課題】被処理物の表面に梨地形状（凹凸形状）に加工する表面処理加工において、マスク形成、除去およびクリーニング工程を不要にすること、さらに梨地領域の表面に任意の粗さ分布をもたせることができる表面処理方法及び表面処理装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを被処理物の表面に照射して被処理物Ｗの表面に凹凸を形成する表面処理装置１において、被処理物Ｗの表面に電子ビームを照射する処理対象領域、処理対象領域において電子ビームを照射する照射点及び被処理物の表面の形状情報並びに電子ビームのビーム電流または収束電流の設定値を記憶する記憶手段１９と、記憶手段１９に記憶されている処理対象領域、照射点及び形状情報並びに設定値に基づいて照射点を無作為に選択して電子ビーム照射するように制御する制御装置９とを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】基体をレーザクラッディングする方法を開示する。
【解決手段】本方法は、基体を準備する段階と、基体上にツールパスに沿って材料の第１の決定可変ビード幅を堆積させる段階と、堆積材料の第１の決定可変ビード幅とオーバラップした材料の第２の隣接する決定可変ビード幅をツールパスに沿って堆積させる段階と、第１の材料層が完成するまで、材料の複数のオーバラップした所定の隣接する可変ビード幅を堆積させ続ける段階と、第１の材料層の上に材料の複数のオーバラップした所定の可変ビード幅を堆積させることによって第２の材料層を形成する段階と、クラッディングが完了するまで、堆積材料層の上に材料層を堆積させ続ける段階とを含み、複数の入力パラメータを有するコンピュータによって堆積材料の可変ビード幅を制御して、ほぼ一定のビード幅オーバラップの比率を維持するようにする。 （もっと読む）

複合体の製造方法及び樹脂をベースとする複合材料に金属コーティングを固定する方法であって、金属電気めっきプリフォーム上に定着用構造を提供し、この複合材料と定着用構造とを連結させるための条件下でこの定着用構造と複合材料とを一緒にすることから成る前記方法。本発明はまた、樹脂をベースとする複合材料（１２）の表面又は一部の表面（１６）の上に金属コーティング（１４）を含む複合体（１０）をも提供する。この金属コーティング（１４）は、外側電気めっきプリフォーム（１８）及び内側定着用構造（２０）を含み、この定着用構造（２０）は一般的に前記電気めっきプリフォーム（１８）と複合材料（１２）との間に配置されて、複合材料（１２）上への電気めっきプリフォーム（１８）の付着を提供する。
（もっと読む）

【課題】 本願発明は、特にアルミニウム、マグネシウム、チタン、それらの合金及び混合物のようなバリヤ層形成金属の素材上に耐摩耗層を形成し、上述した従来技術の不具合を解消又は少なくとも緩和する方法及びその方法によって製造された素材を提供する。
【解決手段】 本願発明の方法は、特にアルミニウム、マグネシウム、チタン、それらの合金及び混合物、好ましくはアルミニウム又はその合金のようなバリヤ層形成金属の素材上に、レーザ処理によって耐摩耗層を形成し、素材表面が酸素含有環境でレーザ照射され、素材表面の上部又は外側層が、酸素含有環境の酸素と反応又は転化され、素材を構成する金属の酸化物を形成すると共に、その下方にある素材層が酸素と反応することなしに再溶解されることである。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークの密着力を大きくすることができるようにした薄膜担持体基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】図２の（ｃ）の様にポリイミド層２を有する基板３上に位置決め用パターンのフッ素化処理部６を成膜した後、図２の（ｄ）の様にフッ素化処理部６の表面及びポリイミド層２の露出面にＡｌ薄膜７を成膜し、図２の（ｅ），（ｆ）の様にＡｌ薄膜７に位置決め用パターン用及び転写用パターン用のエッチングを施し、フッ素化処理部６上に転写用パターン１１を形成し、フッ素化処理部６が無い領域に位置決め用パターン１０を形成する。これにより、位置決め用パターン１０は、転写用パターン１１よりも大きな密着力を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】事前の表面処理工程を伴わずに、レーザーの照射によって金属表面にめっき膜の形成を可能とするめっき方法の構成を提供すること。
【解決手段】窒素雰囲気中において、金属表面に対し、１ピコ秒ないし６００ピコ秒のパルス幅を有している近赤外領域のレーザーパルスを照射することによって、当該金属表面に窒化膜を形成した後に当該窒化膜形成表面に金属をめっきすることに基づき、事前の表面処理に伴わずにめっき膜の形成を可能とするめっき方法及び当該めっき方法を実現するための窒素ガスボンベ５と連通し、かつ窒素ガスを収容する容器１０を備えたことによるめっき前処理装置。 （もっと読む）

【課題】安定性の改善された酸化皮膜を有する弁作用金属体及びその形成方法を提供し、これにより、固体電解コンデンサの誘電体として機能する酸化皮膜の安定性を増加させ、漏れ電流特性の悪化を防ぎ、収率及び信頼性を改善する。
【解決手段】微細孔を有する弁作用金属材料の表面が化成処理され、所定寸法に裁断された該材料の裁断部端部の少なくとも一部にエネルギー線を照射し、予め化成処理されていた酸化皮膜の膜厚の５倍〜２００倍の酸化皮膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】エンジン部品の表面に耐磨耗性に優れた合金層をコーティングし、部品寿命を向上させる表面硬化方法と、該方法を用いて耐磨耗性を向上させたピストン等の製造方法を提案する。
【解決手段】金属粉末、バインダー及び溶剤を混合し、その混合物を金属母材表面に均一に塗布して塗膜を形成し、該塗膜を乾燥させてレーザあるいは電子ビームを照射し焼結及び拡散させることにより、前記金属母材表面に合金層を生成するとともに、その合金層を金属母材に接合する。 （もっと読む）

【課題】 ボンドコート表面の微細構造を改良することにより耐久性を向上させたサーマルバリアコーティングおよびその適用方法を提供する。
【解決手段】 物品上にコーティングを適用する方法が、物品を用意し（ステップ１０）、この物品の少なくとも一つの表面上にボンドコート層を適用し（ステップ１２）、このボンドコート層上で少なくとも一つの金属を酸化させて（ステップ１４）、ボンドコート層の露出表面上に熱成長酸化物層を形成させ（ステップ１６）、このボンドコート層の上にサーマルバリアコーティング層を適用する（ステップ１８）ステップを備える。これにより熱膨張係数などの基体特性が改善され、優れた耐久性を持つコーティングが提供される。 （もっと読む）

【課題】ビーム７を処理槽の内部に伝達する光学素子である連接窓９で、処理槽の内側に有する窓面９ａの光学面の清潔さをより効果的に維持し、ビーム偏向を極力回避できる。
【解決手段】連接窓９の周囲壁部１２にあって、連接窓の一方の側に設けられ、第１ガス１８が連接窓の窓面９ａ上で実質的に接線方向に流れ込むように策定された第１注入口１６と、第２ガス２５が第１ガスの流れと実質的に同一方向で前記窓面から距離を隔てて流れ込むように策定されて設けられた第２注入口２３とを備え、二つのガス流を形成することで、窓面付近での汚染物を吹き飛ばすと共に、ビーム経路の温度勾配を形成させない。 （もっと読む）

【課題】強い腐食性環境下で、プラズマエッチング加工が行われる半導体加工用装置などの容器内配設部材の耐久性の向上を図ること。
【解決手段】金属製または非金属製基材の表面に、直接またはアンダーコート層を介して、周期律表ＩＩＩａ族酸化物の溶射皮膜からなる多孔質層を有し、その層上には、電子ビームやレーザービームなどの高エネルギーを照射処理によって形成される二次再結晶層が形成されてなるセラミック被覆部材。 （もっと読む）

【課題】 ガスタービンエンジンコンポーネントなどの物品におけるサーマルバリアコーティングの熱疲労による剥離耐性を向上させる高密度サーマルバリアコーティングおよびその方法を提供する。
【解決手段】 本発明による物品のコーティング方法が、概ね、物品の少なくとも一つの外表面上にボンディングコート層を適用し（ステップ１０）、このボンディングコート層の上にサーマルバリアコーティング組成物の層を適用し（ステップ１２）、このサーマルバリアコーティング組成物の層を熱処理し（ステップ１４）、サーマルバリアコーティングを形成させる（ステップ１６）ステップを備えてなる。本発明の方法により、剥離を低下させるために十分な密度と、亀裂密度と、空隙率と、を備えた高密度サーマルバリアコーティングが提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、摺動材の摺動面全体に微細周期構造の形成及び表面改質を行うことで優れたトライボロジー特性を有する摺動材及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】摺動材の基材１の摺動面に成膜されたＤＬＣ膜２に、低フルーエンスのパルスレーザ（フェムト秒レーザ等）を照射することで、照射領域をガラス状炭素に改質された改質領域３とするとともに微細周期構造４を形成する。こうして表面加工された領域を被覆するように潤滑層５を形成することで、摩擦係数等のトライボロジー特性が大幅に改善された摺動材を得ることができる。 （もっと読む）