【課題】保護素子とガードリング領域との間のウィークスポットが破壊される危険性を軽減する。
【解決手段】半導体集積回路は、静電保護回路の保護素子Ｍｎ２を形成するために、第１導電型の半導体領域Ｐ−Ｗｅｌｌと第２導電型の第１不純物領域Ｎと第１導電型の第２不純物領域Ｐにより形成されたガードリングＧｒｄ＿Ｒｎｇを具備する。第１不純物領域Ｎは、長辺と短辺を有する長方形の平面構造として半導体領域の内部に形成される。ガードリングは、第１不純物領域Nの周辺を取り囲んで半導体領域の内部に形成される。第１不純物領域Nの長方形の平面構造の短辺には、ウィークスポットＷｋ＿ＳＰが形成される。長方形の長辺と対向するガードリングの第１部分では、複数の電気的コンタクトが形成される。長方形の短辺に形成されるウィークスポットと対向するガードリングの第２部分では、複数の電気的コンタクトの形成が省略される。 （もっと読む）

【課題】パワー半導体素子において、周辺の電界強度を緩和する構造を小さな面積で実現する。
【解決手段】周辺領域Ｑにおいては、半導体層との間に周辺層間絶縁層（絶縁層）を介して複数の多結晶シリコン層７０が、ソース電極３０から端部ドレイン電極４１の間にかけて設けられる。多結晶シリコン層７０には、その長手方向が水平方向から傾斜した（傾斜角θ、０＜θ＜９０°）傾斜部が設けられている。多結晶シリコン層７０の傾斜部においては、ｐ型領域７１と、ｎ型領域７２とが長手方向に交互に多数形成されている。 （もっと読む）

【課題】負電圧の変化に対して正常な論理回路動作を確保できる範囲である動作ウィンドウの幅の拡張を可能とし、回路動作の確実性、安定性の向上を図った正負電圧論理出力回路を提供する。
【解決手段】論理入力と負電圧との間に、ゲートに論理入力するエンハンスメント型Ｐ型電界効果トランジスタＥＰＦＥＴ１とブレークダウン保護用素子１３，１４とが直列に接続され、ブレークダウン保護用素子１４に並列に短絡する切替スイッチ８ａが接続される。切替スイッチ８ａをオン、オフ制御することで、ＶＳＳの変動に対して正常な回路動作を確保できる動作ウィンドウの拡張を可能とする。 （もっと読む）

【課題】半導体層を用いた素子を配線層間に形成し、かつ、ゲート電極の材料を、配線の材料以外の導電体にする。
【解決手段】第１配線層１５０の表層には、第１配線２１０が埋め込まれている。第１配線２１０上には、ゲート電極２１８が形成されている。ゲート電極２１８は、第１配線２１０に接続している。ゲート電極２１８は、第１配線２１０とは別工程で形成されている。このため、ゲート電極２１８を第１配線２１０とは別の材料で形成することができる。そしてゲート電極２１８上には、ゲート絶縁膜２１９及び半導体層２２０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】改良されたＥＳＤ保護デバイスおよび該動作方法が、必要とされる。
【解決手段】集積回路ＥＳＤ保護回路２７０は、ゲートダイオード２７１および出力バッファＭＯＳＦＥＴ２７２を含有する組合せデバイスとともに形成される。第１導電性タイプのボディタイフィンガ３０７は、基板３０１、３０２に形成され、複数のダイオードポリフィンガ２３１、２３２を用いて第２導電性タイプ３１０のドレイン領域から分離される。複数のダイオードポリフィンガ２３１、２３２は、出力バッファＭＯＳＦＥＴ２７２を形成する複数のポリゲートフィンガ２０４、２０５と交互配置される。 （もっと読む）

【課題】駆動用のスイッチ素子によって出力端子からの出力を制御する半導体装置において、端子に静電気が印加されたときに、スイッチ素子をより確実に保護し得る構成を、装置構成の大型化を抑えて実現する。
【解決手段】半導体装置１は、高電位側電源又は低電位側電源の一方からなる基準部にスイッチ素子の第１端子が接続され、出力端子Ｐ１にスイッチ素子の第２端子が接続されている。また、スイッチ素子と並列に第１保護素子が設けられている。また、基準部とは逆側の電源（他方部）と出力端子の間には第２保護素子が接続されている。そして、基準部とは逆側の電源（他方部）側には無効化手段が接続され、出力端子へのサージ電圧の印加によって駆動電圧が発生した場合に、当該駆動電圧の発生後の所定時間、制御入力端子への通電信号の入力を無効化し、所定時間の経過後に無効化を解除するように機能している。 （もっと読む）

【課題】シリコン内にダイオード構造を位置させた半導体製造方法を提供する。
【解決手段】トレンチポリシリコンダイオードを製造する方法は、Ｎ＋（Ｐ＋）型基板上にＮ−（Ｐ−）型エピタキシャル領域を形成すること、エピタキシャル領域内にトレンチを形成すること、さらに、前記トレンチ内に絶縁層を形成し、前記トレンチをポリシリコンで充填する。さらに、Ｐ＋（Ｎ＋）型ドーパントをインプラントして、前記トレンチ内に前記ポリシリコンのＰ＋（Ｎ＋）型領域を、Ｎ＋（Ｐ＋）型ドーパントをインプラントして、前記トレンチ内に前記ポリシリコンのＮ＋（Ｐ＋）型領域を形成しトレンチ内にポリシリコンダイオードを形成することを含み、ダイオードの一部は、トレンチの上面より低い。 （もっと読む）

【課題】素子特性を悪化させず、アクティブ領域を終端領域に対して、簡単な方法により電気的に独立させることができ、さらには素子サイズの小型化を図ることができる半導体装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】エピタキシャル層２３のアクティブ領域１２と終端領域１１との間に、エピタキシャル層２３の表面２４を形成するように、当該表面２４に沿って全体にわたって形成されたチャネル層２６を、ゲートトレンチ２８の深さＤ_１と同じ深さＤ_２を有するアイソレーショントレンチ３９で分断する。互いに同じ深さのゲートトレンチ２８およびアイソレーショントレンチ３９は、同一のエッチング工程で形成される。 （もっと読む）

【課題】実際に発生しているフライバックエネルギーを定量的に評価した上で保護動作を行うことができるスイッチング素子の制御装置を提供する。
【解決手段】ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ２を介してコイル１に供給される電流をセンスＭＯＳＦＥＴ６及び検出用抵抗素子２１により検出し、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ２をターンオフさせた際に発生し、ドレインに印加される逆起電圧をクランプ回路３によってクランプする。電流検出回路２４は、クランプ回路３に発生するクランプ電圧によりＮチャネルＭＯＳＦＥＴがターンオンした際に、検出用抵抗素子２１に流れる電流を複数の閾値と比較し、保護動作部２６は、電流検出回路２４の比較結果により、前記電流がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ２をターンオフさせた時点からの時間経過に対応する特定の閾値を超えていると判定されると、逆起電圧に基づくエネルギーを減少させるようにＮチャネルＭＯＳＦＥＴ２の制御状態を変更する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに厚みばらつきがある前提で、コストアップをすることなく高品質の半導体素子を提供すること。
【解決手段】第１導電型の活性層の下に第１導電型の埋込拡散層を有する半導体基板を準備するステップと、活性層と埋込拡散層の総厚を測定し、測定した総厚から前記活性層の厚さを求めるステップと、活性層に、埋込拡散層との間で電流が流れる第１導電型のコレクタ領域をイオン注入によって形成するステップと、活性層に、埋込拡散層との間で電流が流れる第２導電型のベース領域をイオン注入によって形成するステップと、ベース領域内に、ベース領域との間で電流が流れる第１導電型のエミッタ領域をイオン注入によって形成するステップとを備え、ベース領域を形成するステップは、活性層の厚さに応じてイオン加速エネルギーを変化させるステップであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＰＮ接合容量が小さい保護ダイオード及びこれを備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】
第１領域と当該第１領域を囲う第２領域と当該第２領域を囲う第３領域とを備える半導体基板と、当該第２領域と当該第３領域との間に設けられた第１絶縁層と、当該第３領域に設けられた第１導電型半導体と、当該第２領域に設けられた第２導電型半導体と、当該第１領域に設けられた容量緩和層と、を備えている保護ダイオード。当該保護ダイオードと、これに接続された第１のパッドと、当該容量緩和層を有しない構造の保護ダイオードと、これに接続された第２のパッドと、を備えている半導体装置。 （もっと読む）

【課題】窒化物ＦＥＴを高速スイッチング動作させることができ、且つ、サージ電圧から窒化物ＦＥＴを保護することができるスイッチング素子の保護回路。
【解決手段】直列に接続された高圧側素子Ｍ１及び低圧側素子Ｍ２と、高圧側素子をオンオフさせる信号を出力するハイサイドプリドライバ１１と、高圧側素子と逆のオンオフ状態になるように低圧素子をオンオフさせる信号を出力するローサイドプリドライバ１２と、高圧側素子と低圧側素子の接続点に制御端子が接続されたスイッチング素子Ｔｒ１と、スイッチング素子の一方の端子にカソードが接続されたダイオードＤ１と、ダイオードのアノードに入力端子が接続され、ダイオードのブレーク時にスイッチング素子の制御端子に電流を供給するとともに、低圧側素子のオフを指示する信号をローサイドプリドライバに供給する制御器２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ダイオード等の保護素子の外付けによる部品点数の増加及び占有面積の増大を抑えた、双方向に高いアバランシュエネルギー耐量を有する窒化物半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１０は、第１のｎ型領域１２Ａ、第２のｎ型領域１２Ｂとともにトランジスタ１１を構成する。半導体基板１０の裏面には、裏面電極１３が接合され、また、半導体基板１０の上には、ＨＦＥＴ２１が形成されている。ＨＦＥＴ２１は、ＡｌＧａＮ層２３Ａ及びＧａＮ層２３Ｂを備える半導体層積層体２３と、第１のオーミック電極２４Ａ、第２のオーミック電極２４Ｂ、第１のゲート電極２５Ａ、第２のゲート電極２５Ｂにより構成されている。第１のオーミック電極２４Ａと第１のｎ型領域１２Ａ、第２のオーミック電極２４Ｂと第２のｎ型領域１２Ｂはそれぞれ電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ＧａＮ系トランジスタを簡便な構造で適切に保護することができる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ゲート電極１１０ｇと保護ダイオード用電極１１５ｐとが互いに接続されている。絶縁膜１１３は、所定値以上の電圧がゲート電極１１０ｇに印加された場合にリーク電流を保護ダイオード用電極１１５ｐと電子走行層１０４及び電子供給層１０３との間に流し、所定値は、ＨＥＭＴがオン動作する電圧より高く、ゲート絶縁膜１０９ｇの耐圧よりも低い。 （もっと読む）

【課題】 寄生バイポーラの生成を抑制しつつ、開発遅延を効果的に防止できるＥＳＤ保護検証装置を提供する。
【解決手段】 回路図データを受け付ける回路図データ取得手段１１ａと、回路図データから外部端子を抽出する外部端子抽出手段１１ｂと、回路図データからＥＳＤ保護素子を抽出するＥＳＤ保護素子抽出手段１１ｃと、寄生バイポーラの発生する可能性のある２つの素子間の関係を規定した第１判定条件に基づき、第１判定条件を満たすＥＳＤ保護素子を対象素子として設定する第１判定手段１１ｄと、配置配線処理において、寄生バイポーラの発生しないように設定されたレイアウト条件を満たすように対象素子の配置処理を実行して、レイアウトデータを作成するレイアウト作成手段１１ｅと、レイアウトデータを出力するレイアウトデータ出力手段１１ｆと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ゲート電流を抑制し且つ高速動作が可能なスイッチング回路を提供する。
【解決手段】窒化物半導体層の主面上に互いに離間して配置された第１及び第２の主電極、及び前記第１の主電極と前記第２の主電極間で前記主面上に配置された制御電極を有するスイッチング素子Ｔ_ＳＷと、コレクタ端子とエミッタ端子と制御端子とを有する第１の駆動素子Ｔ_Ｄ１及び入力端子を含む駆動回路１０と、を備え、前記第１の駆動素子の前記コレクタ端子は前記スイッチング素子の前記第１の主電極に接続され、前記第１の駆動素子の前記エミッタ端子は前記スイッチング素子の前記制御電極に接続され、前記第１の駆動素子の前記制御端子は前記入力端子及び前記エミッタ端子に接続される。 （もっと読む）

【課題】装置面積を増大させることなく、保護素子を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型のIII族窒化物半導体からなる第１Ｐ型層２００と、第１Ｐ型層２００の一部上には、ゲート絶縁膜４２０およびゲート電極４４０とが設けられている。第１Ｐ型層２００内のうち、ゲート電極４４０の両脇には、Ｎ型のソース領域３４０およびドレイン領域３２０が設けられている。また、第１Ｐ型層２００の下には、Ｎ型のIII族窒化物半導体からなる第１Ｎ型層１００が設けられている。基板内には、Ｎ型のIII族窒化物半導体とオーミック接続する材料からなるオーミック接続部（たとえばＮ型ＧａＮ層５２０）が、ソース領域３４０および第１Ｎ型層１００と接するように設けられている。また、ドレイン電極６００は、ドレイン領域３２０および第１Ｐ型層２００と接するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】横型ＩＧＢＴのコレクタ領域側にＰＮ接合によりアバランシェダイオードをさらに設けることにより、ＥＳＤ保護回路の面積および製造コストを減少させ、かつ、直流電流が重畳した場合にも素子破壊を防止するＥＳＤ保護回路を含む半導体装置を提供する。
【解決手段】外部電圧を受ける第１のノードと、接地電圧を受ける第２のノードと、第１および第２のノードの間に並列に接続される保護回路および被保護素子を備え、保護回路は、エミッタが第２のノードに接続される横型ＩＧＢＴと、アノードが横型ＩＧＢＴのコレクタに接続され、カソードが第１のノードに接続されるアバランシェダイオードと、第１および第２のノードの間に接続され、横型ＩＧＢＴのゲートに接続されるクランプ駆動回路とを含む。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物半導体（ＭＯＳ）出力回路とその形成方法の提供。
【解決手段】第一パッド６１と、ゲート、第一の供給電圧に電気的接続のソース、ドレインを含む基板で第一型の第一ＭＯＳトランジスタ６２と、ゲート、制御信号を受信する構成のソース、第一ＭＯＳトランジスタのゲートに電気的接続のドレイン、本体を含む基板で第一型と反対の第二型の第二ＭＯＳトランジスタ６５と、バイアス信号を受信する構成のゲート、第二供給電圧に電気的接続のドレイン、第二ＭＯＳトランジスタのソースに電気的接続のソース、第一参照電圧に電気的接続の本体を含む基板で第一型の第三ＭＯＳトランジスタ６６とを含み、第二ＭＯＳトランジスタの本体は第三ＭＯＳトランジスタのソースに電気的接続、一時的な信号イベントの第一パッド上の受信の場合、第二ＭＯＳトランジスタのドレインから第二供給電圧まで第二ＭＯＳトランジスタの本体を流れる電流を妨げる集積回路。 （もっと読む）

【課題】配線層中の配線をゲート電極として使用し、かつ拡散防止膜と同一層にゲート絶縁膜を有している半導体素子を有する半導体装置において、拡散防止膜の機能を損なうことなく、半導体素子のオン抵抗を低くする。
【解決手段】第１配線層１５０を構成する絶縁層の表層には、第１配線１５４及びゲート電極２１０が埋め込まれている。第１配線層１５０と第２配線層１７０の間には、拡散防止膜１６０が形成されている。ゲート絶縁膜２３０は、拡散防止膜１６０のうちゲート電極２１０と重なる領域及びその周囲の上面に凹部を形成し、この部分を薄くすることにより、形成されている。 （もっと読む）