【課題】無線通信機能を有する半導体装置の低消費電力化、通信距離の拡大を図る。
【解決手段】メモリ部と、論理部と、メモリ部及び論理部間を電気的に接続する複数の信号線と、を備え、半導体装置及び通信装置間の転送レートをα［ｂｐｓ］、論理部で生成される第１のクロック周波数をＫα［Ｈｚ］（Ｋは１以上の整数）、複数の信号線のうち読み出し用信号線をｎ本（ｎは２以上の整数）、論理部で生成される第２のクロック周波数をＬα／ｎ［Ｈｚ］（Ｌは、Ｌ／ｎ＜Ｋを満たす任意の整数）とした場合、メモリ部に格納されたデータを論理部へ読み出す場合は、第２のクロック周波数Ｌα／ｎ［Ｈｚ］を用いて、ｎ本の読み出し用信号線を介して行う。 （もっと読む）

【課題】不揮発性メモリシステムを、プログラム妨害を低減又は防止するようにプログラムする。
【解決手段】１つの不揮発性メモリシステムに、複数のプログラム禁止スキームを採用している。プログラム禁止スキームは、プログラミング中のワードラインに基づいて選択される。特定のプログラム禁止スキームは、選択ワードラインにおいてプログラム妨害を好適に最小化又は排除する。プログラミング動作の前と最中に、メモリシステムの温度を検出する。プログラム禁止スキームは、システムの温度に基づいて選択できる。 （もっと読む）

【課題】動作の信頼性が高い不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置にメモリセルアレイ及び制御回路を設け、メモリセルアレイには、それぞれ複数の絶縁膜及び電極膜が交互に積層された積層体を設け、この積層体に積層方向に延びる貫通ホールを形成し、その内部にシリコンピラーを埋設し、電極膜とシリコンピラーとの間に電荷蓄積膜を設ける。これにより、電極膜とシリコンピラーとの交差部分毎にメモリセルが形成される。そして、制御回路は、フォーマット時に、全てのメモリセルに値「０」を書き込み、全てのメモリセルに対して値「０」を消去する動作を行い、積層体の最上段に形成されたメモリセルに記憶された値を読み出し、値「０」が読み出されたメモリセルについては、消去動作が不良であったと判定し、以後不使用とする。 （もっと読む）

【課題】 改善された三次元メモリ（例えば、ＲＲＡＭ）アーキテクチャを提供すること。
【解決手段】 メモリデバイスが、平面基板と、平面基板の上方の複数の水平な導電性平面と、複数の水平な導電性平面と交互に配置される複数の水平な絶縁層とを備える。複数の導電性平面および絶縁層と直角である垂直な導電性列のアレイが、複数の導電性平面および絶縁層における開口部を通過する。メモリデバイスは、複数のプログラム可能なメモリ素子を備え、それぞれのメモリ素子が、水平な導電性平面の１つをそれぞれの垂直な導電性列に連結する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の歩留まりを向上させること若しくは製造コストを低減すること又は集積回路の面積を低減する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置が有するメモリ素子１０のメモリ層１２及び抵抗素子２０の抵抗層２２が同一材料によって構成される。そのため、メモリ層１２と、抵抗層２２とを同一工程によって形成することで、半導体装置の作製工程数を低減することができる。結果として、半導体装置の歩留まりを向上させること又は製造コストを低減することができる。また、半導体装置は、抵抗値の高い抵抗成分を備えた抵抗素子２０を有する。そのため、半導体装置が有する集積回路の面積を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】ＭＩＳＦＥＴのソース／ドレイン間の寄生容量を減少させる電極および配線を有したメモリや、メモリ混載のロジック等の半導体集積回路を提供する。
【解決手段】ゲート電極５より上方に少なくともキャパシタ電極１４，１６または情報記憶部の一部を有する半導体集積回路装置において、ＭＩＳＦＥＴは、ソース・ドレイン拡散層７に接続する少なくとも１つずつの第１のプラグ９を有する。ソース・ドレイン拡散層７のどちらか一方に、第１のプラグ９を介して接続し、キャパシタまたは情報記憶部の一部の下部電極１４と同一工程またはそれより前工程の配線層から成る第１の配線２１を設け、一方のソース・ドレイン拡散層７の上方に第１の配線２１と他の配線２２を接続するプラグを設けず、また、ソース・ドレイン拡散層７の他方の領域の上方に第１の配線２１と同一工程の配線を設けないようにする。 （もっと読む）

【課題】半導体装置のパターン構造物及び半導体装置のパターン構造物の形成方法を提供すること。
【解決手段】半導体装置のパターン構造物は、延長ラインと延長ラインの端部に連結されるパッドとを具備する。パッドは、延長ラインの幅より広い幅を有することができる。パッドは、パッドの側部から延長する突出部を含むことができる。パターン構造物は、単純化された工程を通じて製造されることができ、微細パターンとパッドを含む多様な半導体装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】センスアンプ接地電位の変動で発生するノイズによる誤動作を防いだ半導体装置を提供する。
【解決手段】センスアンプに接地電位を供給するための電極パッドであるセンスアンプ接地電位用パッドと、センスアンプ接地電位用パッドに接続された第１の導電線と、パッド列に含まれる複数の電極パッドのうち、センスアンプ接地電位用パッドとの距離が最も近い電極パッドに接続された第２の導電線と、を有し、第２の導電線がパッド列を基準にして第１の導電線とは反対側に延びている構成である。 （もっと読む）

【課題】基準電圧を調整する回路を構成する抵抗素子を有するフラッシュ記憶素子である半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】フラッシュ記憶素子である半導体装置の製造方法は、半導体基板上にトレンチを定義する鋳型パターンＭＬＤＰを形成し、鋳型パターンＭＬＤＰ上にトレンチを横切る抵抗パターンＲＰを形成し、抵抗パターンＲＰ上に互いに離隔された第１及び第２導電パターン２１０、２２０を形成し、第１及び第２導電パターン２１０、２２０に各々接続する第１及び第２配線ＵＬ１，ＵＬ２を形成する段階を有し、第１及び第２導電パターンＵＬ１，ＵＬ２は鋳型パターンＭＬＤＰの上部に各々形成される。 （もっと読む）

【課題】ロジック回路を構成する第１トランジスタのオン電流を高くしたまま、ＤＲＡＭのメモリセル、又はＤＲＡＭに対して書き込み及び消去を行う周辺回路の一部である第２トランジスタのリーク電流を低くする半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】第１トランジスタ１００は、第１ゲート絶縁膜１１０、第１ゲート電極１２０、及び第１サイドウォール１５０を備えている。第２トランジスタ２００は、第２ゲート絶縁膜２１０、第２ゲート電極２２０、及び第２サイドウォール２５０を備えている。容量素子３００は、第２トランジスタ２００のソース・ドレイン領域２４０の一方に接続している。第１ゲート絶縁膜１１０は第２ゲート絶縁膜２１０と厚さが等しく、第１ゲート電極１２０は第２ゲート電極２２０と厚さが等しい。そして第２サイドウォール２５０の幅は、第１サイドウォール１５０の幅より広い。 （もっと読む）

【課題】集積度が高まった場合においても、読み出し電流の低下を抑制する３次元構造の半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】メモリストリングＭＳの各々は、２本の柱状部ＣＬｍｎ、及びそれらの下端を連結する連結部ＪＰｍｎを有するボディ半導体層ＳＣｍｎを有する。ビット線ＢＬ、ソース線ＳＬは、カラム方向を長手方向として交互に形成され、連結部ＪＰｍｎは、カラム方向を長手方向として形成される。メモリストリングＭＳは、基板上においてジグザグ状に形成され、１本の柱状部ＣＬｍｎに沿って形成される４個のメモリトランジスタＭＴｒに接続されるワード線ＷＬを共有する。 （もっと読む）

【課題】階段部に欠陥を生じさせることなく歩留まりを向上させた不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、メモリ領域ＡＲ１及び周辺領域ＡＲ２に亘って積層されたワード線導電層４１ａ〜４１ｄと、メモリ領域ＡＲ１にてワード線導電層４１ａ〜４１ｄに取り囲まれ、基板に対して垂直方向に延びる柱状部４５Ａを含むＵ字状半導体層４５と、柱状部４５Ａの側面とワード線導電層４１ａ〜４１ｄとの間に形成されたメモリゲート絶縁層４４とを備える。ワード線導電層４１ａ〜４１ｄは、メモリ領域ＡＲ１にてカラム方向に第１ピッチＰ１をもって配列されて、ロウ方向を長手方向とするストライプ状に形成された溝Ｔ１Ｂ、周辺領域ＡＲ２にてカラムに第２ピッチＰ２をもって配列されて、ロウ方向を長手方向とするストライプ状に形成された溝Ｔ２を備える。 （もっと読む）

【課題】安定した動作を実行可能な不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】メモリストリングＭＳは、基板上に積層方向に延びる柱状部４５Ａを含むＵ字状半導体層４５と、柱状部４５Ａを取り囲むように形成された電荷蓄積層４４ｂと、電荷蓄積層４４ｂを取り囲むように積層されたワード線導電層４１ａ〜４１ｄとを備える。ドレイン側選択トランジスタＳＤＴｒは、柱状部４５Ａの上面に接して積層方向に延びるドレイン側柱状半導体層５７と、ドレイン側柱状半導体層５７を取り囲むように形成された電荷蓄積層５５ｂと、電荷蓄積層５５ｂを取り囲むように形成されたドレイン側導電層５１とを備える。電荷蓄積層５５ｂは、ドレイン側導電層５１の下層からドレイン側導電層５１の上端近傍まで形成され、且つその上端近傍よりも上層には形成されていない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、配線層の平坦性を保つためのダミーパターンを有する半導体装置とその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体装置の機能を実現するうえで必要な機能パターンと、半導体装置の所定の層に、前記機能パターンと共に複数のダミーパターンとを備え、第一の大きさの複数のダミーパターンが配置され、前記第一の大きさの複数のダミーパターンが配置されない領域に、第二の大きさの複数のダミーパターンが配置され、前記第一の大きさの複数のダミーパターンと前記機能パターンとの間に前記第二の大きさの複数のダミーパターンが配置され、第一所定方向に配置された前記第一の大きさの複数のダミーパターンと、第二所定方向に配置された前記第二の大きさの複数のダミーパターンとは隣り合い、前記第一の大きさのダミーパターン間の幅は、前記第二の大きさのダミーパターン間の幅よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】セルトランジスタの微細化に適した構造の選択トランジスタを有するＮＡＮＤ型不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、基板１０１と、基板内に形成された拡散層１２１により互いに直列接続されている複数のセルトランジスタ１４１と、複数のセルトランジスタ１４１と直列接続されている選択トランジスタ１４２とを備え、選択トランジスタ１４２は、第１の絶縁膜１６１と、第１の電極層１６２Ａ、Ｂ、第２の絶縁膜１６３Ａ，Ｂ、及び第２の電極層１６４Ａ，Ｂを含む第１及び第２の積層体１７１Ａ，Ｂと、第１の積層体と第２の積層体との間に形成され、第１の積層体１７１Ａの第１及び第２の電極層と第２の積層体１７１Ｂの第１及び第２の電極層とを電気的に接続する第３の電極層１８１とを備え、第３の電極層１８１は、第１及び第２の積層体１７１Ａ，Ｂの上面よりも上方に突出した突出部１９１を有する。 （もっと読む）

【課題】シリコンをエピタキシャル成長させて得られた単結晶シリコン層の結晶欠陥の部分にメモリセルを形成することなくメモリセルの積層を実現する不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】層間絶縁膜１６上にシリコンをエピタキシャル成長させて得られた単結晶シリコン層２００、２０４の結晶欠陥２６ｂの部分にソース線コンタクトホールを形成する。これによって、結晶欠陥２６ｂの部分に、接合リークにより特性の劣化したメモリセルを形成することなく、メモリセルを二層以上積層することができる。 （もっと読む）

【課題】高集積化されたスプリットゲート型不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１の表面に第１の柱状凸部２ａと第２の柱状凸部２ｂが離間して形成され、第１、第２の柱状凸部２ａ，２ｂは、周辺部と先端部とにソースドレイン３，８の一方と他方とが形成され、周辺部と先端部との間の側壁の表面に、電荷蓄積膜４とメモリゲート線５とが積層された第１積層構造と、ゲート酸化膜６と制御ゲート線７とが積層された第２積層構造と、が形成されたスプリットゲート型の不揮発性メモリセルを、それぞれ含み、第１積層構造が第１、第２の柱状凸部２ａ，２ｂの間にも形成され、それによって、第１の柱状凸部２ａと第２の柱状凸部２ｂとで、メモリゲート線５が共通に接続されている （もっと読む）

【課題】チャネル界面付近の浅いエネルギー準位に捕獲された電荷を予め除去し、データ保持特性の良好な不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】メモリ部ＭＵと、制御部ＣＴＵと、を備える不揮発性半導体記憶装置において、メモリ部は、第１方向に交互に積層された複数の電極膜ＷＬと複数の電極間絶縁膜１４とを有する積層構造体ＭＬと、積層構造体ＭＬを第１方向に貫通する半導体ピラーＳＰと、電極膜ＷＬと半導体ピラーＳＰとの間に設けられた、内側絶縁膜４２、記憶層及び外側絶縁膜と、半導体ピラーＳＰの一端と電気的に接続された配線と、を有す。制御部ＣＴＵは、消去動作の際に、配線を第１電位に設定しつつ、電極膜ＷＬを第１電位よりも低い第２電位に設定する第１動作の後に、配線を第３電位に設定しつつ、電極膜ＷＬを第３電位よりも高い第４電位に設定する第２動作を実施する。 （もっと読む）

【課題】コントロールゲートとフローティングゲートとの間の電極間絶縁膜に発生するリーク電流を低減させ、メモリセルの微細化に伴うリーク耐性の劣化を抑制する半導体不揮発性記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１上に複数の不揮発性メモリセルを集積した不揮発性半導体記憶装置であって、メモリセルは、半導体基板１上に形成されたトンネル絶縁膜２ａと、トンネル絶縁膜２ａ上に形成されたフローティングゲート電極３ａと、フローティングゲート電極３ａの上面に形成された第１の電極間絶縁膜４ａと、フローティングゲート電極３ａの側面及び第１の電極間絶縁膜４ａを覆うように形成された第２の電極間絶縁膜５ａと、電極間絶縁膜５ａ上に形成されたコントロール電極６ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】回路を形成する領域を確保しつつ、十分な耐圧、容量を備えた容量素子を備える半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、ＤＲＡＭセルのキャパシタ上部電極１９と、上部電極１９の下方に形成されたキャパシタ下部電極１７とを含む情報記憶部と、情報記憶部へのアクセスを制御するアクセストランジスタとを有するメモリセルと、アクセストランジスタに接続され、情報記憶部にデータの書き込み又は読み出しを行うビット線１６と、アクセストランジスタのゲート電極に接続され、アクセストランジスタを制御するワード線と、キャパシタ上部電極１９の上方に形成された第１金属配線２１と同一層からなる上部電極２３と、キャパシタ上部電極１９と同一層の下部電極２２とを有し、メモリセルが形成された領域外に形成された容量素子とを備える。 （もっと読む）