【課題】被制御流体の流量値を設定値（制御目標流量）に短時間に制御することが可能な、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】制御手段２７には、コリオリ流量計２４の流量−差圧特性が予め記憶されている。制御手段２７は、流量制御の開始時或いは流量制御目標値を変更した場合に、差圧計測手段２６からの差圧信号と上記流量−差圧特性に基づき所望の流量に相当する差圧を制御目標値としてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。また、制御手段２７は、流量が所望の流量、若しくはこの近傍に制御された時点でコリオリ流量計２４からの流量信号を制御目標値に移行させてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。 （もっと読む）

【課題】見かけ上差圧の生じない、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】コリオリ流量計２４と，コリオリ流量計２４の上流位置に配置されコリオリ流量計２４へ流体を輸送するポンプ２５と，ポンプ２５の上流側近傍位置とコリオリ流量計２４の下流側近傍位置との差圧を計測する差圧計測手段２６と，コリオリ流量計２４、ポンプ２５及び差圧計測手段２６が電気的に接続され、且つ差圧がゼロ若しくはゼロに近づくようにポンプ２５の吐出量を制御する制御手段２７と，を備えて流量計測・流量制御装置２１を構成する。 （もっと読む）

【課題】バルブを駆動するネジ部に生ずる咬み込みの問題を解消するとともに、装置の小型化を図ること。
【解決手段】バルブに連結されたステッピングモータ５と、ステッピングモータ５を制御するモータ制御装置６とを備え、モータ制御装置６は、パルスモータへ駆動パルスを与えるモータ制御部６６と、パルスモータ５に与えられた駆動パルス数をカウントするカウント部６７と、モータ制御部６７の駆動電源６１の電圧低下を検出する電圧低下検出部６５と、電圧低下検出部６５により電圧低下が検出された場合に、カウント部６７のカウント値を不揮発性メモリ６４に書き込む書き込み部６８とを具備するバルブ制御装置を提供する。 （もっと読む）

１つの質量流量を複数Ｎ個の副次流に分割するシステムは、１つの質量流量を受けるように構成されている入口と、マスタＦＲＣ（流量比コントローラ）と、１つ以上のスレーブＦＲＣとを含む。各ＦＲＣは、入口に接続されており、少なくとも１つの副次流導管を含む。マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、組合せにおいて、Ｎ個の副次流導管を含む。各流導管ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）は、Ｎ個の副次流の内対応する１つを搬送するように接続されている。ホスト・コントローラから事前選択比率設定点に応答して、マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、個々の流量Ｑ_ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）と総流量Ｑ_Ｔとの間おける比率Ｑ_ｉ／Ｑ_Ｔ（ｉ＝１、．．．Ｎ）を、事前選択比率設定点に維持する。 （もっと読む）

【課題】 耐久性に優れたメタルダイアフラム弁を提供する。
【解決手段】 ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、
前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となすメタルダイアフラム弁であって、
前記金属製ダイアフラムは、ｄ３／ｄ１＝２〜７、ｒ／ｄ３＝４〜７の寸法関係を有することを特徴とするメタルダイアフラム弁を提供する。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、混合流体の連続的流動生成のためのシステム（１００、３００、５００）、および方法を提供する。該混合流体は、異なる流体の混合物、または温度等の異なる流入特性を有する、同一の流体の混合物を含み得る。さらに、本発明の実施形態は、アナログ設定点を多重化するためのシステム（９００、１１００）、および方法を提供する。第１の流体の流れを制御するための、第１の流量コントローラと、第２の流体の流れを制御するための、第２の流量コントローラと、第１の流量コントローラおよび第２の流量コントローラと流体連通し、かつそれらの下流にある第１のミキサであって、第１および第２の流体を混合し、第１の混合流体を生成する第１のミキサと、第１の混合流体の温度を測定するための、第１のミキサの下流にある、第１の温度センサとを備えた流体混合システムが提供される。
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【課題】目標流量に自動的に調整することができる流量制御システムを提供すること。また、流量が目標流量から外れたときに目標流量に自動的に復帰させることができる流量制御システムを提供すること。
【解決手段】流量制御システム１０は、流量センサ１０１と、流量センサ１０１で測定される測定値が目標値になるように、流量センサ１０１の出力に基づいて流量制御弁５０の開度を可変制御する制御回路１０２とを備える流量コントローラ１００と、流量コントローラ１００への流体供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する開閉弁１２と、開閉弁１２および流量コントローラ１００を制御するコントローラ１４とを有し、コントローラ１４から制御回路１０２に対して弁開度保持信号が入力されている間、制御回路１０２は、流量センサ１０１の出力に基づく流量制御弁５０の開度可変制御を停止し、弁開度保持信号が入力された時点における流量制御弁５０の開度を保持する。 （もっと読む）

流体化された材料のフロー制御バルブ（１０）は、バルブシート（３０）付きのバルブ室（１８）を有するバルブハウジング（１２）と、フロー通路（２２，２４）を有するバルブプラグ（２０）とを備え、バルブプラグ（２０）は、フロー制御バルブ（１０）を通るフローを制御するため回転軸（Ａ）の周りで回転できるようにバルブシート（３０）の前方でバルブ室（１８）の内側に配置されている。フロー制御バルブはバルブプラグ（２０）を回転軸（Ａ）と垂直にバルブシート（３０）に対して付勢し、バルブシート（３０）とバルブプラグ（２０）との間に密封接触を実現するばね手段をさらに備える。本発明の重要な態様によれば、ばね手段は、バルブプラグ（２０）をバルブシート（３０）に対して付勢するように、バルブシート（３０）と対向する逃げ空間（４２）に配置された少なくとも１個の片持ちばね（４０）を備える。 （もっと読む）

【課題】機械的駆動装置を特に必要とすることなく遠隔操作が可能で、従って安価であり、しかも流路開放時の流体圧力損失が低い流量制御装置を得ることを目的とする。
【解決手段】ハウジング１内の空間２に、それぞれ第１の径を有する第１の円筒面４とこの第１の円筒面４と同軸で第１の径より小さい第２の径を有する第２の円筒面５、および所定の深さを有し第２の円筒面５に開口する環状溝６からなる開閉動作空間部３を形成し、この開閉動作空間部６内に、環状溝６の側面と気密に当接して配設され、環状溝６の底面から導入する制御流体の圧力変化によりその外径が変化する環状弾性体１０および環状弾性体１０内に配設された環状バネ１１を備えた。 （もっと読む）

【課題】流体の流量制御を簡単、かつ連続的に変動無く行う。
【解決手段】圧力流体の流路に連通した圧力室２にその圧力によりピストン作用するプランジャー６を設けて、プランジャーによりニードルバルブ状の弁体６を作動させる。プランジャーはコイルスプリング８の押圧力が圧力室の圧力、若しくは負圧と平衡する関係におかれ、弁の開度は調整ネジ9によって行う。
予め、調整ネジによる弁体の開度とそれに平衡する圧力との関係を確認しておき、流体入口３を導入すべき流体供給源、出口４を圧力流体の流路に接続して、調整ネジにより弁体の開度を設定する。
該流路の圧力とコイルスプリングの押圧力により開放された弁体から流体が供給されると、流路圧力が低下、若しくは上昇し、その圧力変化に応じて弁体の開度がコイルスプリングの押圧力に抗して調整されて連続的に平衡状態に至るまで、弁体の開度が制御される。 （もっと読む）

【課題】給水流量調整弁の弁体を進退制御して給水流路の開口を調整することにより、給水流量を設定流量に収斂させるフィードバック制御する給水流量調整装置において、給水圧の増減等に基づく供給流量の異常の増減が発生するフィードバック制御の長時間化を抑制する。
【解決手段】給水圧の増減等に基づいて供給流量の異常の増減が発生した場合には、弁体の進退動作時間を速遅することによって給水流路の開口の閉開を早くして、給水流量調整弁を流通する給水流量を増減し、フィードバック制御の長時間化を抑制する。 （もっと読む）

【課題】流量調整弁３０の弁本体３２を、モータ３４と一体回転する回転子３５ｃが正常領域に位置する状態で進退制御して的確な流量調整を行う流量調整装置において、正常領域を規定する各ホール素子に異常状態が発生して、回転子３５ｃが正常領域から異常領域に移行した場合、回転子３５ｃを正常領域への復帰と、異常状態にあるホール素子を容易に確認する。
【解決手段】流量調整装置は、流量調整弁３０、流量調整弁３０の弁本体３２の進退を制御する制御装置２０ａ、および、回転子３５ｃの回転位置表示装置２０ｂを備え、制御装置２０ａは回転子３５ｃを異常領域から正常領域へ復帰させる手動の駆動手段２２，２３を備え、回転位置表示装置２０ｂは回転子３５ｃと各ホール素子３６ｂ，３６ｃとの現在の位置関係を表示する。 （もっと読む）

【課題】気流によって目的部位に輸送される粉末を所望濃度に保持しつつ、輸送される粉末の総量管理が容易な粉末濃度調節装置を提供する。
【解決手段】送気系統61及び濃度コントローラ59を備える。補給される粉末を輸送気体で吹飛ばす噴射ノズル52を噴射部51に設ける。吹飛ばされた粉が混じった含粉気流を一端から受入れ他端に出口53ａを有した調節筒53に、この筒内に希釈気体を混入させる希釈ノズル55,56と、含粉気流の粉末濃度を測定する濃度センサ54とを設ける。系統61は、気体源に接続された流量調節弁65、流量調節弁68を有して弁65とノズル52を接続した送気経路66、及び流量調節弁73を有して弁65とノズル55,56を接続した送気経路71を備える。コントローラ59は、輸送気体の流量と希釈気体の流量とを合計した総流量が一定に保持されるように弁65を制御し、センサ54の測定結果に基づき弁69,73を制御することで輸送気体の流量と希釈気体の流量との割合を調節して、粉末濃度を目標濃度とする。 （もっと読む）

【課題】 主観的要因を排除し、客観的な事象に基づくデータにより、制御ループ健全でない場合の要因の特定を可能とする、制御ループ診断装置を実現する。
【解決手段】 測定流体が流れる管路に調節弁が挿入され、前記測定流体の流量の測定信号を用いて制御演算を行い、演算で求めた制御信号で前記調節弁を制御する制御ループの健全性を診断する制御ループ診断装置において、
前記測定信号、前記制御信号及び前記調節弁の開度信号を監視データとして取得して保持する入力処理手段と、
この入力処理手段より前記監視データを読み出し、各監視データの変化傾向のパターンの組み合わせを監視する変化傾向監視手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 流体の種別等に応じた各種の変更設定操作を簡単に行うことのできる取り扱い性に優れた汎用性の高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 熱式流量センサを備え、流量制御弁の開度を比例制御して流体の流量を制御する流量制御装置であって、流体の種別に対応付けて熱式流量センサにて計測可能な最大流量を登録したテーブルと、流量制御弁を介して制御する流体の種別を設定する種別設定手段と、設定された流体の種別に応じて前記テーブルを参照して求められる最大流量に従って最大制御レンジを自動設定するレンジ設定手段と、設定された最大制御レンジに対する相対値に従って運用制御レンジをマニュアル設定するレンジ変更手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図りつつ、ロータ周面に対向した磁気受渡部の設定範囲を広げることができる空気流量制御弁を提供する。
【解決手段】 トルクモータ１４を、ロータ４１を有するシャフト１５とロータ４１の外周部に配設された円筒状のコイル４２と、コイル４２で励磁されるステータ４３で構成する。ステータ４３の第１構成部材６１を、コイル４２とロータ４１間に配置される第１磁極部７１と、コイル４２の外周部に配置される第１磁気通路部７２と、第１磁気通路部７２の先端部を第１磁極部７１に連設する第１連設部７３で構成する。ステータ４３の第２構成部材６２を、コイル４２とロータ４１間に配置される第２磁極部８１と、コイル４２の外周部に配置される第２磁気通路部８２と、第２磁気通路部８２の基端部を第２磁極部８１に連設する第２連設部８３で構成する。 （もっと読む）

【課題】 混合比を一定に保ちながら各流体の流量を可変制御可能な流体混合器と、この流体混合器に用いるに好適な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流量制御装置に、デジタル指令値（流量設定値）をアナログ電圧値またはアナログ電流値に変換して出力するアナログ出力回路、入力されたアナログ電圧またはアナログ電流値をデジタル指令値に変換して取り込むアナログ入力回路、通信インターフェースを介して与えられたデジタル指令値、またはアナログ入力回路を介してアナログ電圧またはアナログ電流値を変換して入力したデジタル指令値に応じて流量制御弁の弁開度を比例制御する制御弁駆動回路、およびデジタル指令値とアナログ入出力電圧値との対応関係を可変設定するアナログスケーリング手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内を排気し、その後ガスを導入して一定の流量とガス圧に制御するような場合に、容易に制御出来る圧力・流量コントロールシステムを提供する。
【解決手段】圧力と流量の両方をセンシングできるセンサチップと、センサチップからの信号を設定値と比較して設定圧力・流量に制御するためのコントローラと、コントローラからの制御信号により圧力・流量を制御するコンダクタンスバルブとニードルバルブとで圧力・流量自動制御システムを構成した。
センサチップは、シリコン基板を用いて製作される。基板から熱分離された薄膜上に、薄膜ヒータと１個以上の温度センサを集積化させる。温度センサを用いて圧力または流量変化による温度差を検出できる。時分割で測定すれば、圧力・流量を１個のセンサチップで測定出来る。 （もっと読む）

【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
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【課題】流量設定値の変化に対する追随速度を犠牲にすることなく、圧力変動が生じても流量変動を抑制でき、クロストークが生じ得るようなシステムにも採用できるコントローラの提供。
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。 （もっと読む）