フィードバック制御利得を有する質量流量コントローラは、コントローラを通過する流体の流れを検知するように構成されているセンサと、コントローラを通過する流体の流れを調節するように配置されている弁と、センサが検知する流体の流れの関数として、弁を制御するように構成されているプロセッサとを備えている。センサおよび弁は、フィードバック系内に配置され、プロセッサは、少なくとも１つの較正気体パラメータの少なくとも１つの動作気体パラメータに対する比に基づいて、フィードバック・コントローラ利得をリアル・タイムで更新し、較正状態とは異なる動作状態において一定の制御挙動を有するように、フィードバック系の閉ループ伝達関数が、動作状態には関係なく、実質的に一定となるようにする。 （もっと読む）

【課題】 圧力変動を吸収することができて流量の制御性が高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 流体を流す流路６に、流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段８と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって流量を制御する流量制御弁機構１０とを設ける。そして、外部から入力される流量設定信号Ｓ０と流量信号Ｓ１とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段４４を設けてなる流量制御装置において、流路に流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４２を設ける。前記制御手段は流量検出手段から得られる流量信号に基づいて、圧力検出信号を用いることなく流量信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第１制御モードがある。そして、圧力検出信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第２制御モードとを選択的に切り替える。 （もっと読む）

【課題】 流量制御のオーバーシュート現象を解消し、且つ集積ユニット化を可能とするコンパクトな質量流量制御装置と、この質量流量制御装置を備えたコンパクトなガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】 質量流量を制御する流量制御弁機構１０と、前記流量制御弁機構に前記バルブ駆動信号を出力する流量制御弁制御手段１８と、を設けてなる質量流量制御装置５０において、前記流量制御弁機構１０の上流側及び／又は下流側に、遮断弁機構５２、５４を介設し、遮断弁機構５２、５４の給排気口をソレノイド弁機構１０２と直接連通させるように、弁ブロック体８０と一体として設け、且つ前記流量制御弁制御手段１８は、前記ソレノイド弁機構１０２を動作させるソレノイド弁駆動信号Ｓ３、Ｓ４を出力するとともに、前記バルブ駆動信号Ｓ２と、前記ソレノイド弁駆動信号Ｓ３、Ｓ４とを同期させる。 （もっと読む）

【課題】 バルブ等の他の構成部材と同じベース取付け部を有することでガス供給ラインを小型化できる集積タイプのマスフローコントローラを提供することである。
【解決手段】 本体ブロック１に流体入口８ａと流体出口８ｂを形成し、これら流体入口８ａと流体出口８ｂを接続する流体流路１１中に制御バルブ３１を設け、更に、流体入口８ａと制御バルブ３１との間に、流体Ｇをバイパスさせるバイパス素子７と、流体Ｇの流量測定を行う流量センサ部１０とを並列的に設け、前記流量センサ部１０からの流量測定信号と流量設定信号とを比較制御回路において比較し、この比較制御回路から出力される制御信号に基づいて制御バルブ３１の開度を制御するようにしたマスフローコントローラ３であって、前記本体ブロック１内に前記バイパス素子７を設けるとともに、前記本体ブロック１の側面ｎに前記流量センサ部１０を設ける一方、前記本体ブロック１の上面ｓに前記制御バルブ３１を設けている。 （もっと読む）

【課題】ガス供給源からガス流路を介してガスを安定供給するガスの供給制御装置において、ガス供給系内にバッファータンク等の緩衝装置を設置することなく、ガス供給系に悪影響を及ぼす急激な圧力上昇を防止することができるガスの供給制御装置を提供する。
【解決手段】ガス流路にステッピング・モータ４駆動方式の自動開閉弁５と、この自動開閉弁５の下流側に圧力計８を設け、この圧力計８の検出圧力値Ｐと時間の経過とともに増加する任意の目標圧力値との差分に基づいて自動開閉弁５を間欠的に開閉制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。
【解決手段】 質量流量制御装置の初期状態において、校正ガスを用いて流量設定信号に対する実流量を計測した校正ガス特性データを求め、この校正ガス特性データを制御手段に記憶し、一方、複数種類の実ガス毎に流量設定信号に対する実流量を計測した実ガス特性データを求め、この実ガス特性データを記憶媒体に保存し、その後、前記質量流量制御装置を稼働する前に、実使用ガスの実ガス特性データを前記記憶媒体からコンピュータを介して読み出し、また、前記制御手段に記憶した校正ガス特性データを読み出し、前記実ガス特性データを元に前記校正ガス特性データを制御流量補正データに変換し、制御流量補正データを制御手段に書き込み、この制御流量補正データを基に実ガス流量を補正する流量制御補正方法である。 （もっと読む）

【課題】 従前の圧力式流量制御装置では、その機構上流量出力信号の存在でもって絞り機構下流側バルブの開動作を判定することが出来ないので不都合である。そのため、圧力式流量制御装置の作動時の流量出力信号の変動状態から絞り機構下流側バルブの開放を簡単に判定できるようにする
【課題解決の手段】 圧力式流量制御装置に於いて、その絞り機構下流側バルブを開放すると共に圧力式流量制御装置へ入力する流量設定値Ｑｅを変動させ、当該流量設定値Ｑｅの変動中の圧力式制御装置からの流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶを検出し、当該流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶが規定値以上の場合には、絞り機構下流側バルブの開放作動が正常であると判断し、また、前記変動の大きさΔＶが規定値以下の場合には開放作動が異常であると判断する。 （もっと読む）

【課題】流量比可変型ガス分流供給装置を小型化低コスト化すると共に、流量比の調整を簡単且つ高精度で出来るようにする。
【解決手段】流量制御装置６から供給された流量Ｑのガスを第１分流管路１及び第２分流管路２へ所定の流量Ｑで分流させ、両分流管路１、２から流量Ｑのガスをチャンバ内へ供給するように、前記第１分流管路１に第１オリフィス３を介設し、また、前記第２分流管路２を複数の分岐管路２ａ〜２ｎを並列状に直結した管路としてオリフィス４ａ〜４ｎ介設すると共に、前記分岐回路の全部又は一部に開閉バルブＶｂ〜Ｖｎを介設し、当該開閉バルブＶｂ〜Ｖｎの開又は閉により第２分流管路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ２ｏを調整することにより、前記第１分流回路１の第１オリフィス３と前記第２分流路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積との比に等しい流量比でもって、各分流管路１、２へ流量Ｑのガス流を分流させる。 （もっと読む）

多重モード制御アルゴリズムを使用して、流体の流量を制御するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、閉ループモードから開ループモードに多重モード制御アルゴリズムを変化させるための方法を含む。本方法は、センサによって生成される少なくとも１つのセンサ指標を受信するステップを含む。多重モード制御アルゴリズムは、少なくとも１つのセンサ指標に基づいて、閾値条件が充足される場合に、閉ループモードから開ループモードに修正される。多重モード制御アルゴリズムは、設定値に従って流体の流量を制御するために、流量制御器によって使用される。 （もっと読む）

流体送達プロファイルに基づいて流れ制御器を使用することにより、流体の特定量を送達するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、送達時間ウィンドウ内の時間における特定の瞬間とそれぞれ対応する複数の設定値を有する、送達時間ウィンドウを含む流体送達プロファイルを含む。この方法はまた、流れ制御器と、流れセンサからのフィードバック信号とを使用して、可変弁を介して流体送達プロファイルに従って流体を送達するステップを含む。
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１つの質量流量を複数Ｎ個の副次流に分割するシステムは、１つの質量流量を受けるように構成されている入口と、マスタＦＲＣ（流量比コントローラ）と、１つ以上のスレーブＦＲＣとを含む。各ＦＲＣは、入口に接続されており、少なくとも１つの副次流導管を含む。マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、組合せにおいて、Ｎ個の副次流導管を含む。各流導管ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）は、Ｎ個の副次流の内対応する１つを搬送するように接続されている。ホスト・コントローラから事前選択比率設定点に応答して、マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、個々の流量Ｑ_ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）と総流量Ｑ_Ｔとの間おける比率Ｑ_ｉ／Ｑ_Ｔ（ｉ＝１、．．．Ｎ）を、事前選択比率設定点に維持する。 （もっと読む）

【課題】通路を流通する流体の流量を高精度で且つ安定して制御することにある。
【解決手段】圧力流体入力ポート１２、圧力流体出力ポート１４、及び圧力センサポート１６を有し、複数の金属板の積層体からなるベース部１８と、前記ベース部１８内の第１通路３０を流通する圧力流体（ガス）の圧力を調圧する圧力制御部２０と、第２通路３４を流通する圧力流体の圧力を検出する圧力センサ７８と、前記圧力制御部２０によって調圧された圧力流体を所定量に絞る第１〜第３オリフィス４８ａ〜４８ｃを含むと共に、前記圧力流体出力ポート１４に向かって圧力流体が導出される第４〜第６通路３８、４０、４２をそれぞれ切り換える第１〜第３オン／オフ弁４６ａ〜４６ｃを有する流路切換部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 耐久性に優れたメタルダイアフラム弁を提供する。
【解決手段】 ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、
前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となすメタルダイアフラム弁であって、
前記金属製ダイアフラムは、ｄ３／ｄ１＝２〜７、ｒ／ｄ３＝４〜７の寸法関係を有することを特徴とするメタルダイアフラム弁を提供する。 （もっと読む）

変形可能なルーメンを用いた流れ制限器の中を流れる流れを制御するための新規な装置及び関連した方法である。ルーメンは、流れ制限器の前後の圧力差の関数として変形する。流量はルーメンの直径の４乗に比例するので、圧力差の小さな変化が、在来の流れ制限器システムの流量よりも大きな変化を可能にし、流量の、実時間の微調整を提供する。
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【課題】機械的駆動装置を特に必要とすることなく遠隔操作が可能で、従って安価であり、しかも流路開放時の流体圧力損失が低い流量制御装置を得ることを目的とする。
【解決手段】ハウジング１内の空間２に、それぞれ第１の径を有する第１の円筒面４とこの第１の円筒面４と同軸で第１の径より小さい第２の径を有する第２の円筒面５、および所定の深さを有し第２の円筒面５に開口する環状溝６からなる開閉動作空間部３を形成し、この開閉動作空間部６内に、環状溝６の側面と気密に当接して配設され、環状溝６の底面から導入する制御流体の圧力変化によりその外径が変化する環状弾性体１０および環状弾性体１０内に配設された環状バネ１１を備えた。 （もっと読む）

【課題】平面実装時に従来方式のように位置出しを必要とせず、流量制御装置を締結ボルトで取付けることにより、同時にかつ均一にシール接続を可能とし、殊に、構成部品が簡単であると共に流量制御機器の着脱作業が容易となり、もって、コンパクトな流量制御機器を提供すること。
【解決手段】流量制御機器３を平面実装方式で取付ける取付構造において、流量制御機器３のボデー１１に流体の入口１２と出口１３を設け、この入口１２と出口１３が位置する外側方のボデー１１両端部に平面実装用の締結ボルト１７を取付け、この締結ボルト１７で被取付体２０に流量制御機器３を固定した流量制御機器の取付構造である。 （もっと読む）

【目的】 流体の微小流量を正確に制御し、流体流動の不安定を誘起することなく所望の弁特性を実現し、前記流体流量を制御する絞り溝が簡単な形状を有する微小流量制御装置の設計方法を提供することである。
【構成】 流体を導入する流入路１２と、導入された流体を始端から終端に向けて流動させるメイン絞り溝６が形成された弁体２と、流量調整部材により任意断面で開口される流体流出口２０と、この流体流出口２０から流出する流体を導出する流出路１４から構成される微小流量制御装置において、前記メイン絞り溝６の始端位置に連通的に先行するエントランス絞り溝８を設け、前記エントランス絞り溝８及びメイン絞り溝６を流動する流体の運動量方程式から導出された関係式に基づいて所望の流動抵抗を発揮するようにエントランス絞り溝８の寸法を決定するエントランス絞り溝付微小流量制御装置の設計方法である。 （もっと読む）

【課題】 流量制御装置を用いた流体供給系に組み込みされている複数のバルブの動作不良やシートリーク等の異常を、流体供給系の配管路からバルブを取り外しすることなしに、圧力センサを保有する流量制御装置の機能を用いて簡単且つ迅速、正確にチェックできるようにする。
【解決手段】 流量の設定機構と流量及び圧力の表示機構及び又は流量自己診断機構を備える圧力センサを保有する流量制御装置を備えた流体供給系において、前記流量制御装置並にその上流側又は下流側に設けた制御バルブの異常を、前記流量制御装置の前記圧力の表示値及び又は流量自己診断機構の診断値を用いて検出する。 （もっと読む）

【課題】 主観的要因を排除し、客観的な事象に基づくデータにより、制御ループ健全でない場合の要因の特定を可能とする、制御ループ診断装置を実現する。
【解決手段】 測定流体が流れる管路に調節弁が挿入され、前記測定流体の流量の測定信号を用いて制御演算を行い、演算で求めた制御信号で前記調節弁を制御する制御ループの健全性を診断する制御ループ診断装置において、
前記測定信号、前記制御信号及び前記調節弁の開度信号を監視データとして取得して保持する入力処理手段と、
この入力処理手段より前記監視データを読み出し、各監視データの変化傾向のパターンの組み合わせを監視する変化傾向監視手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 流体の種別等に応じた各種の変更設定操作を簡単に行うことのできる取り扱い性に優れた汎用性の高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 熱式流量センサを備え、流量制御弁の開度を比例制御して流体の流量を制御する流量制御装置であって、流体の種別に対応付けて熱式流量センサにて計測可能な最大流量を登録したテーブルと、流量制御弁を介して制御する流体の種別を設定する種別設定手段と、設定された流体の種別に応じて前記テーブルを参照して求められる最大流量に従って最大制御レンジを自動設定するレンジ設定手段と、設定された最大制御レンジに対する相対値に従って運用制御レンジをマニュアル設定するレンジ変更手段とを備える。 （もっと読む）