【課題】自己校正型のガス流量制御のための方法及び装置を提供する。
【解決手段】ガス流量は最初に、流量制限器の開口の量を高い精度に制御することによって設定される。なお、流量制限器を含む装置の設計は高い精度の達成に役立つ。その後、ガス流量は、流量制限器の上流における圧力降下率で測定され、必要なら、流量制限器の開口の量は、正確に所望の流量を得るように調整される。 （もっと読む）

【課題】熱交換ネットワークにおける熱回収を最大にする。
【解決手段】方法及びシステムは、多数の並列経路を有する熱交換器ネットワークからオンライン・プロセス・データを収集することを含む。オンライン・プロセス・データは、経路の低温プロセスストリーム出口温度から生成される。ストリームの流量目標値は、オンライン・プロセス・データに基づいて開発され、各々の低温プロセスストリーム出口温度の等化のために意図された各熱交換器を通る流量を含む。熱交換器ネットワークの１つ又はそれ以上の低温ストリーム流量制御バルブ及び熱交換器ネットワークの１つ又はそれ以上のプロセスストリーム流量制御バルブが、低温プロセスストリーム出口温度の等化をもたらすように流量目標値に基づいて制御される。 （もっと読む）

【課題】流量精度を向上させることができるコンパクトな流量制御装置を提供すること。
【解決手段】熱式流量計２の流量測定値に基づいて流体制御弁３のバルブ開度を制御して流量制御を行う流量制御装置１であって、流出ポート２３と入力ポート４２とを接続するようにセンサボディ１１とバルブボディ４１とを面接触させて、熱式流量計２と流体制御弁３とを一体化する。そして、流量を絞るオリフィス流路３３が設けられたオリフィス部材３１をセンサボディ１１の流出ポート２３に装着し、オリフィス部材３１を熱式流量計２に内蔵させる。 （もっと読む）

【課題】小型且つ軽量な構成で、カソード側電極に供給される酸化剤ガスの流量調整を行うとともに、消費電力を良好に低減させることを可能にする。
【解決手段】燃料電池システム１０は、燃料電池スタック１４から使用済みの前記酸化剤ガスを排出するオフガス供給配管４０に設けられ、前記燃料電池スタック１４に供給される前記酸化剤ガスの圧力を調整する圧力調整装置４２を備える。圧力調整装置４２は、油圧シリンダ４６と、前記油圧シリンダ４６の作用下に、オフガス供給配管４０の流れ方向と交差する方向に進退するとともに、前記オフガス供給配管４０を閉塞可能な弁部材４８と、前記弁部材４８を前記油圧シリンダ４６による押圧方向とは逆方向に押圧するリターンスプリング５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電磁弁からの放熱を適切に行うことのできるガス供給ユニット及びガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１は、内部に流路の設けられた流路ブロック２０と、流路を流通するガスの流通状態を変更する複数の電磁弁５０（５０Ａ）とを備えている。各電磁弁５０はコイル５２とコイル５２の外周に配置されたケース５３とを有している。流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、複数の電磁弁５０が搭載された上面２０ａを有している。複数の電磁弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。ガス供給ユニット１１は、複数の電磁弁５０の各ケース５３に跨るようにして上面２０ａの長手方向に沿って延びて各ケース５３に当接される平板部３１と、流路ブロック２０の上面２０ａに平板部３１を繋ぐ固定部３２とを有する伝熱プレート３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】添加ガスを一方のサブラインに供給する前後で、メインラインから第１及び第２サブラインへ分流されるメインガスの分流比を維持できる流体制御方法を提供すること。
【解決手段】メインライン１７から第１及び第２サブライン１９，２０にメインガスを分流させてチャンバ３１に供給するときに、第２サブライン２０に添加ガスを供給する場合に、第１及び第２サブライン１９，２０からチャンバ３１に供給されるメインガスの流量を第１及び第２サブライン１９，２０の圧力に基づいて制御する流体制御方法において、添加ガスを供給されない第１サブライン１９の圧力を一定にするように、第１サブライン１９の圧力を制御しながら、第２サブライン２０に添加ガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら大流量の流量制御弁を提供する。
【解決手段】弁座面４０１を有する弁座部材４と、弁座面４０１に着座する着座面６０１を有する弁体部材６と、を具備し、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流入口が形成され、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、入口が形成された部材の内部に、流入路及び流入口に連通する内部流入路４１が形成され、流出口が形成された部材の内部に、流出路及び流出口に連通する内部流出路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】流路を流通する流体の流量制御の安定化を図る。
【解決手段】流体が流通する流路の開度を調整可能なバルブ４１と、流体の流量を検出する流量検出部３４と、流量検出部３４の検出結果と流量に関する設定値とに基づいて、バルブ４１に供給される駆動電圧をパルス幅変調するバルブ駆動部５３と、前記駆動電圧の変動に応じて前記パルス幅変調のパルス幅を補正する制御部５７，７１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）

【課題】流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】圧力式流量制御装置に於いて、圧力センサ及び温度センサを、受圧面に形成した４個の抵抗を４辺とするブリッジ回路の入力端子間に定電流電源を接続してその出力端子間の電圧変化で流体圧力を検出すると共に、入力端子間の電圧変化で流体温度を検出する構成の温度と圧力を同時に検出する一つの圧力温度センサ１０とし、流体温度Ｔに対応した補正を行ってこれを流体圧力Ｐ_１に変換すると共に、温度変換手段からの流体温度Ｔに対応して流量演算式の比例定数Ｋの温度補正を行うガス温度補正手段と，補正後の後の演算流量Ｑ_Ｃと設定流量Ｑ_Ｓとの差を制御信号としてコントロールバルブへ出力する比較回路と，から構成する。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動部により吐出される流量を目標流量通りに確保することが可能な流量制御装置を提供すること。
【解決手段】制御部１４は、温度計９にて測定されたプロセスポンプ８に吸引される液体燃料の温度及び温度計１０にて測定されたプロセスポンプ８の周囲温度に基づいてプロセスポンプ８の温度変化を算出し、当該温度変化に基づいて、液体燃料供給ラインＬ２における液体燃料の流量が実際の目標流量となるようにプロセスポンプ８の吐出流量を補正している。また、制御部１４は、温度計１２にて測定されたバーナポンプ１１に吸引される液体燃料の温度及び温度計１３にて測定されたバーナポンプ１１の周囲温度に基づいてバーナポンプ１１の温度変化を算出し、当該温度変化に基づいて、バーナ用燃料供給ラインＬ３における液体燃料の流量が実際の目標流量となるようにバーナポンプ１１の吐出流量を補正している。 （もっと読む）

【課題】常に安定で再現性のよい流量制御装置及び前記制御装置を備えたプロセス装置を提供する。
【解決手段】反応容器に反応ガスを供給する配管に流量制限器３６を備え、配管の流量制限器３６の上流側に可変コンダクタンスバルブ３２、配管の流量制限器３６の下流側に可変コンダクタンスバルブ３３を備える。流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３２間の圧力と流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３３間の圧力に基づいて、可変コンダクタンスバルブ３２と可変コンダクタンスバルブ３３を制御するバルブ制御装置３８を備える。バルブ制御装置３８は、流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３３間の圧力が一定となるように、可変コンダクタンスバルブ３３を制御し、配管に予め設定した流量の反応ガスが流れるように可変コンダクタンスバルブ３２を制御する。 （もっと読む）

【課題】 コストを減少するとともに、スペースの減少も可能とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置1は、流体制御部2と流体導入部3とを有している。流体導入部3は、３つに分けられており、入口側に配置されてそれぞれ２×Ｎ／２個の開閉弁23からなる第１および第２入口側遮断開放部5,6と、４×Ｍ個の開閉弁23からなり、第１および第２入口側遮断開放部5,6と流体制御部2との間に配置された流体制御部側遮断開放部7とからなる。 （もっと読む）

流量制御装置は、筐体アセンブリ、流入管アセンブリ、およびバイアス機構を備える。筐体アセンブリは、主筐体、弁座本体、排出オリフィスを形成する先端側プレートを備える。流入管アセンブリは、基端部、内腔を形成するチューブ、およびフランジを備えるとともに、主筐体内にスライド可能に配置され、バイアス機構によって開状態へ付勢される。フランジは、筐体アセンブリ内の中間チャンバと定圧チャンバとを分離する。流入管アセンブリが定圧チャンバ内の圧力に応じて閉状態へ移動可能であることにより、排出オリフィスを経由して装置から比較的一定な空気の流れが生じる。
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【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

デバイスの出力に応じてヒステリシスを特徴付ける方法が、第１の入力信号範囲にわたる入力信号をデバイスに適用すること（ステップ）を含み、その入力信号は、第１の入力信号範囲に依拠する第１の出力値範囲を伴う第１の出力を有するデバイスの機能を誘発する。その入力信号を第２の入力信号範囲にわたってそのデバイスにさらに適用し、その入力信号は、（ｉ）第２の入力信号範囲および（ｉｉ）デバイスのヒステリシスに依拠する第２の出力値範囲を伴う第２の出力を有するようにデバイスの機能を誘発する。次いで、第１の出力値範囲および第２の出力値範囲にわたり、第２の入力信号範囲と第１の入力信号範囲との差を測定する。質量流量コントローラバルブおよび質量流量コントローラを動作させる方法も意図されている。 （もっと読む）

【課題】共通出口を有する同心チャネルを通る流れを制御するための環状二系統流れ逆止弁を提供する。
【解決手段】環状二系統流れ逆止弁（１０）は、同心チャネルを形成した外側本体（１２）及び内側本体（１４）と、外側チャネル（１６）内に位置しかつ軸方向の可動域を有するバネ（２２）作動環状ポペット弁（２４）と、内側本体（１４）を貫通して外側チャネル（１６）を内側チャネル（１８）に連結した開口部（４４）とを含み、環状ポペット弁（２４）の軸方向移動は、外側チャネル（１６）内の該環状ポペット弁（２４）の上流の流れの圧力によって制御され、また環状ポペット弁（２４）の軸方向可動域は、少なくとも２つの軸方向位置、すなわち該環状ポペット弁（２４）が開口部（４４）を実質的に覆う閉鎖位置及び開口部（４４）の少なくとも一部分が該環状ポペット弁（２４）によって覆われてない開放位置を含む。 （もっと読む）

【課題】一次側圧力センサを設けることなく、従来のマスフローコントローラの機械構成を用いてＰＩ性能を発揮するマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路１内を流れる流体Ｆの流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ２と、流量センサ２の上流側に設けた流量制御バルブ３と、流量制御バルブ３の駆動電圧Ｖを検出する電圧検出部４と、少なくとも流量測定値（ＯＵＴ）、流量設定値（ＳＥＴ）及び駆動電圧をパラメータとして所定の演算式から流量制御バルブ３の開度制御信号を算出して出力する制御部５と、を具備する。 （もっと読む）

システムは流体のマスフロー送給を遂行し、また、流体のマスフロー確証を遂行する。システムは室内への流体の流れを制御する入口弁と、室からの流体の流れを制御する出口弁と、室内の流体の圧力を測定する圧力トランスデューサと、室内の流体の温度を測定する温度センサと、コントローラとを含む。コントローラは、第１のモードにある場合には、装置による流体の流量の測定を確証し、第２のモードにある場合には、室から処理設備へ所望量の流体を送給するように、室内の圧力及び温度の変化の測定値を使用して、入口弁及び出口弁の開閉を制御するように形状づけられる。 （もっと読む）

【課題】装置の損傷程度を検知し、損傷部位を特定する装置を提供する。
【解決手段】圧力調整器１０は流体流路に配置されて、流路内を移動可能な絞り要素２２を有している。軸３０が絞り要素２２に取りつけられている。その装置は、絞り要素の上流圧力を測定するための第一圧力センサ３４、絞り要素２２の下流圧力を測定するための第二圧力センサ３５および絞り要素２２の位置を検知するための作動センサ４４とを有している。測定された圧力と作動距離に基づいて流量を定めるためのアルゴリズムを備えたプロセッサ５２が提供される。 （もっと読む）