【課題】複雑なプロセスガスを供給することができ、床占有面積を小さくすることができるガス供給装置を提供すること。
【解決手段】第１ライン及び第２ラインを持つガス供給装置で、第１ラインは第１マスフローコントローラＭＢに接続されており、第２ラインは第２マスフローコントローラＭＣに接続されており、第１ラインは第１弁ＶＢ３及び第２弁ＶＢ２を有し、第２ラインは第３弁ＶＣ３及び第４弁ＶＣ２を有し、４種類のガスＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置において、ガスＡとガスＢは同じガスＧＡＳ６であること、第１弁ＶＢ３及び第３弁ＶＣ３はガスＧＡＳ６を供給する供給ポートと接続していること、第２弁ＶＢ２はガスＧＡＳ５を供給する供給ポートと接続していること、第４弁ＶＣ２はガスＧＡＳ８を供給する供給ポートと接続している。 （もっと読む）

【課題】制御系の相互干渉を低減するとともに、容易に制御系の調整を行うことができるプラントワイド多変数連携非干渉制御方法を提供する。
【解決手段】原料から目的物を生産するプロセスの制御を可能とする相互に干渉する要素を有する複数の操作弁と、プロセスの状態を表す変数を検知し、検知した値に応じた信号を操作弁に与える制御部とを備え、制御部からの信号を受けた各操作弁の弁開度操作により、プロセスの状態を制御するプラントの制御方法において、制御部は、操作弁の弁開度と、その弁開度に応じて変化するプロセスの状態を表す変数との関係を、定常状態での方程式で構築し、当該方程式により操作弁ごとに導出した解析解式に基づいて、操作弁の目標の弁開度であるＣＶ値を算出し、検知した値に応じた操作弁の現状の弁開度であるＣＶ値を算出するとともに、２つのＣＶ値の偏差ｅを算出し、偏差ｅに基づいてプロセスの状態をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】マスフローコントローラにおいて、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び流量設定値の少なくとも２つに基づいて変更させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流路面積が可変のオリフィス板及び当該オリフィス板を備えた流量制御装置を提供する。
【解決手段】オリフィス板１０１は、両面に形成された電極１１１，１１２及び圧電体１１０からなり、面内方向に伸縮する圧電素子から構成してある。オリフィス板１は、孔部１１３及び孔部１１３の周縁から放射状に径方向外側に向かって延びる複数の切欠部１１４，１１４，…からなる流路部１１５を備える。電極１１１，１１２に電圧を印加して圧電体１０を面内方向に伸長させた場合、流路部１１５の流路面積が減少する。電極１１１，１１２に印加する電圧を調整することにより、流路面積が可変となる。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】作動流体によって駆動されるアクチュエータストロークのフィードバック制御装置において、作動流体を制御する流量制御弁の経年変化等を補償し、簡易な手段によりストロークの正確な制御を実行する。
【解決手段】アクチュエータ１１０のストローク制御装置には、作動流体の供給及び排出を制御する単一の流量制御弁１が設置され、これを操作してストロークのフィードバック制御が実行される。流量制御弁１は、作動流体の供給及び排出を停止する中立位置を備えており、流量制御弁制御装置９には、この中立位置の変動を学習する学習装置９１が設けられる。フィードバック制御においては、ＰＩＤ演算部９４の出力するフィードバック操作量に、学習装置９１で得られた中立位置の学習値を加算して流量制御弁１を操作し、経年変化等による流量特性の変化を補償する。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガスフローメータの追加設置を行わずにシステムの小型化を図りつつ、ガス流量測定部に異常があった場合には、異常を検出して自己診断を行うこができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を供給する主配管１０と、
該主配管１０に並列に接続されたセンサ管２０と、
該センサ管２０を流れる前記流体の流量を独立して測定する第１の流量測定手段３０及び第２の流量測定手段４０と、
該第１の流量測定手段４０と該第２の流量測定手段４０の測定結果同士を比較し、該測定結果同士が等しいか否かを判定する比較回路５０と、
該測定結果同士が等しいときには、流量制御状態を維持し、該測定結果同士が等しくないときには、流量アラーム信号を出力する制御手段６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、連結部を通る１つ以上の流入流と１つ以上の流出流との間で、連結部を通るガス流量を制御する方法及び装置に関する。本方法は、流入質量流量測定値の総計を流出質量流量測定値の総計と比較して、バイアス成分を加算して、バイアス質量流量不均衡値を供給することにより得られるバイアス質量流量不均衡値を使用する。流入流及び流出流（１２、１４、１６、１８、２０）のうちの少なくとも１つの流量は、バイアス質量流量不均衡値をゼロに向けて移動させるように調整される。更に、連結部圧力測定値（ＰＣ）が供給され、連結部圧力測定値（ＰＣ）は、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化に応答して、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化を軽減するようにバイアス成分を調整するために使用される。 （もっと読む）

本発明は、流体の圧力及び／又は流量を制御する方法に関する。この方法のため、パイプライン（１５）を流れる流体から流れエネルギーが引き出される。このエネルギーは、そのうちの少なくとも一部が電気エネルギーに変換され、流体の流量及び／又は圧力の電気制御（６５）に使用される。パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を制御する装置は、流れる流体から流れエネルギーを引き出し、このエネルギーのうちの少なくとも一部を電気エネルギーに変換するように構成された、少なくとも１つの発電機（３５）を備える。本装置は、パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を、発電機（３５）によって給電される電気駆動機構をもって制御する手段（６５）を備える。 （もっと読む）

【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 （もっと読む）

流体の流量を制御するマスフローコントローラのための弁システムが開示される。弁システムは流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間を移動できる弁と、弁コントローラとを含む。弁コントローラは、流体の実際の測定された流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するように弁を通る弁電流を送る。弁コントローラは、弁電流、及び、弁が閉位置へ移動しているときの流量を監視し、流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定し、更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、次の運転のための弁クラッキング電流を更新する。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】流量自己診断時における弁の閉止時間遅れを少なくすることによって、高精度な診断結果が得られるようにする。
【解決手段】予め測定して記憶した初期圧力降下特性データと，前記初期圧力降下特性の測定と同じ条件下で測定した流量診断時の圧力降下特性データとを対比し、両特性データの差異から流量制御の異常を検出するようにした流量自己診断機能を備えた圧力制御装置の圧力制御弁用ピエゾ素子駆動回路に於いて、ピエゾ素子への駆動用電圧の供給回路と並列に、圧力式流量制御装置の中央処理装置からの降圧指令信号によりピエゾ駆動素子に印加したピエゾ駆動電圧を降圧指令回路を通して緩慢に放電下降させる第１放電回路と、前記中央処理装置からの高速降圧指令信号により前記ピエゾ駆動素子に印加したピエゾ駆動電圧を高速降圧指令回路を通して急速に放電下降させる第２放電回路とを設ける。 （もっと読む）

【課題】無駄な待ち時間を減らしつつ、流量制御の精度を向上させることができる流体分流供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローメータ８の二次側に第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを接続する。第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを流量特性に照合して、動作周期ｔのうちで弁開するパルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を決定する。そして、第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの動作周期ｔを一定にして、決定したパルスＯＮ時間に従って第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを開閉させて流量制御を行う。このとき、マスフローメータ８が測定するユニット総流量Ｑを平均したユニット平均流量Ｑｍと、第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを合計した指令総流量Ｑａ＋Ｑｂとの偏差ＱＰをゼロにするように、パルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を補正する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れるプロセスガスの流量制御の検定処理を行なうことができる流量制御装置及びその検定方法を提供する。
【解決手段】 流路４の流量を流量設定値になるように流量を制御しているときに、プロセスガスの流量検出値と、圧力検出値と、流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報とから構成される検定サンプリング情報の所定数を収集してこの流量設定値と関連付けて記憶する。そして、検定サンプリング情報として記憶された所定数の流量検出値とバルブ駆動制御情報について、その関連を示す関連係数（Ａ）を順次求め、この関連係数（Ａ）の値が予め設定した閾値の範囲を超えていると、新たに入力した流量検出値に基づいて求めてバルブ駆動制御情報と、予め検定処理用に登録したバルブ特性情報テーブルＫ１を参照して求めた基準となるバルブ駆動制御情報との差異量を求め、この差異量を検定情報としている。 （もっと読む）

低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器（ＨＡＭＦＶ）が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。ＨＡＭＦＶは、上流バルブを有する複数Ｎの流入口を画定するチャンバ、１つの下流バルブを有する１つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Ｎの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。ＨＡＭＦＶは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Ｎの臨界流ノズルの１つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Ｎの臨界流ノズルの少なくとも２つは、異なる断面積を有する。 （もっと読む）

【課題】比熱が変動するガスの流量を正確に測定し制御する。
【解決手段】導管を通るガスの流量を調節するための弁手段５、この弁手段を駆動するための駆動手段９、導管を通るガスの流量を測定するための体積流量計７を有し、この流量計が、設定点信号１７との比較のためにフィードバック信号２９を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段１９により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター２１と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器２５及びキャパシタ２７からなるスローダウン回路２３を含む。ポテンショメーターはディジタルポテンショメーターであって、その電圧は回転エンコーダーの独立した操作により変えることができる。 （もっと読む）

【課題】 流体制御弁を高温の圧力流体を供給する流体供給源と接続する場合に、外部に熱交換器を設けなくても、部材の熱膨張による影響がなく、圧力や流量を精度よく制御できる流体制御弁を提供することである。
【解決手段】 ボディ１に、弁部材１１，１３を組み込むとともに、この弁部材１１，１３に対して圧力流体を導く流入ポート７と、弁部材１１，１３によって圧力もしくは流量を制御された流体を流出させる流出ポート８と、流体供給源からの圧力流体を導く導入ポート６とを設け、上記導入ポート６と流入ポート７とを接続する冷却用迂回路９を、上記弁部材よりも外側におけるボディ１内に設ける。そして、この冷却用迂回路９を通過する過程で、高温の圧力流体がボディ１外の空気と熱交換して冷却されるようにした。 （もっと読む）