提供される方法と装置は、ガス・フロー・コントローラを通過する流量を正確に測定するために、ガス・フロー・コントローラ（ＧＦＣ）の上流の圧力の低下率を用いる。今日、生産使用されている多くのガス・フロー・コントローラを通過するガス流の測定が、特殊で高機能な圧力調整器もしくはその他の特殊な構成要素を必要とすることなしに可能となる。提供される様々な施策等により、測定の最中もしくは後に生じる圧力変化により、テスト対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの一定の流れが乱されないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

材料放出システムの放出操作（例えば、実際の放出量）を測定し、確認するための放出確認メータ。この放出確認メータは好ましくは自動的にゼロオフセットドリフトを補正し、好ましくは十分に大きなサンプル率で放出された材料の流速をサンプルし、所望の放出操作がなされたか否かを確認する。 （もっと読む）

【課題】 腐食性ガスを含めて、あらゆるガス種を対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行うことが出来、しかも安価で且つ高流量制御精度を備えた圧力制御式流量基準器を提供する。
【解決手段】 校正用ガス供給源からの校正ガスの圧力を調整する圧力制御器と、圧力制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた被校正流量制御器の接続口と、被校正流量制御器の下流側の接続孔に接続した基準圧力式流量制御器と、基準圧力式流量制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた真空ポンプとから圧力制御式流量器準器を校正する。 （もっと読む）

【課題】操作者が直接開閉バルブを操作しなくても、自動で流体格納容器のバルブを操作可能にし、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の流量制御装置１００は、開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置であって、回転アクチュエータ６０と、回転アクチュエータ６０の回転軸の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニット７０と、回転アクチュエータ６０の回転軸に軸結合して回転し、流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アーム１０と、流体格納容器に残存する流体の量による感知信号を受信して基準回転角を算出し、回転角検出ユニット７０の信号を入力して実際回転角を検出し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように回転アクチュエータ６０を駆動させる制御ユニットと、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】流量の計測条件、及び計測条件の設定値の確認が容易な流量計を提供する。
【解決手段】気体又は液体等の流体が流れる流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路１１を流れる流体の流量を計測する流量計測部３０１と、流量の計測条件の表示の要求、及び流量の計測条件の設定値の入力を受け付けるインタフェース３５０と、表示の要求が受け付けられた場合、計測条件及び設定値を同時に表示し、設定値の入力が受け付けられた場合、計測条件の表示を消去し、入力された設定値を表示する表示装置３５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 非臨界膨張条件にある流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】 流量制御用のオリフィス４と、オリフィス４の上流側配管に設けられたコントロールバルブ２２と、オリフィス４とコントロールバルブ２２の間に設けて上流側圧力Ｐ_１を検出する上流側圧力センサ１０と、オリフィス４の下流側配管に設けて下流側圧力Ｐ_２を検出する下流側圧力センサ１２と、上流側圧力Ｐ_１と下流側圧力Ｐ_２によりオリフィス通過流量を流量式Ｑｃ＝ＫＰ_２^ｍ（Ｐ_１−Ｐ_２）^ｎによって演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置であって、上流側圧力センサ１０又は下流側圧力センサ１２は圧力を受けたときに電気抵抗が変化する抵抗素子から構成され、この圧力センサとしての抵抗素子を同時に温度センサとしても用いる。 （もっと読む）

【課題】 制御対象となるガスの種類や性状によらず、そのガス流量を高精度に制御できる質量流量制御装置および実ガスの質量流量制御方法を提供する。
【解決手段】 実ガスが流入する流入管部２と、実ガスの温度を検出する温度センサ７と、実ガスの圧力を検出する圧力センサ８と、実ガスの質量流量を検出する流量センサ５と、実ガスの流量を制御する流量制御弁６と、各センサの出力に基づいて流量制御弁６の開度を調整する制御回路９と、を有する質量流量制御装置１であり、制御回路９は、圧力と温度に依存し、校正ガスの流量に対する実ガスの流量の比率である環境補正係数により補正された流量設定値と流量センサ５からの流量信号を比較するディジタル演算回路１０を有する。 （もっと読む）

復帰部材と、バルブステム延長部と、エネルギー蓄積部材と、ロックアセンブリとを有するフェイルセーフ機構である。バルブステム延長部は、電気アクチュエータによって駆動されるとともに、復帰部材を第１の方向に駆動し、かつ復帰部材によって第２の方向に駆動されるように構成される。エネルギー蓄積部材は、電気アクチュエータがバルブステム延長部に復帰部材を第１の方向に駆動させるときにエネルギーを蓄積し、また電力の遮断により復帰部材がバルブステム延長部を第２の方向に駆動させるときに、蓄積されたエネルギーを解放するように構成されている。ロックアセンブリは、電気アクチュエータに電力が供給されている間、バルブステム延長部が復帰部材からは独立して、かつエネルギー蓄積部材からの影響もなくバルブとともに回転するように、復帰部材をコック位置に保持するように構成される。
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【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ１０が水平姿勢状態で本体ブロック１に設けられているマスフローコントローラ３と流体供給ラインＬの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路ｔ_２，ｔ_３，ｔ_７，ｔ_８を有する複数の基板９１〜９４とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ３の前記基板９１〜９４への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部１０においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板９１〜９４とは異なる繋ぎ流路Ｎ_１，Ｎ_２を有する取替基板８０を設ける。 （もっと読む）

【課題】ガス供給量を安定させることができるガス供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローコントローラ１４と、前記マスフローコントローラ１４に接続する第１流体制御弁１５と、前記第１流体制御弁と並列に接続された第２流体制御弁１７と、前記第２流体制御弁の二次側に配置された第３流体制御弁と、を有し、前記第３流体制御弁は、前記第１流体制御弁の二次側圧力と前記第２流体制御弁の二次側圧力との差圧に基づいて弁開度を調整されるものであるガス供給ユニット１である。 （もっと読む）

【課題】プロセス流体の流れを受け取る流体入口および複数の流体出口を含む流体流れ制御システム。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置が記載される。一実施形態は、別個の温度センサに頼ることなく、ガスの温度情報を質量流量コントローラの質量流量センサから引き出す。この実施形態は、実質的に一定の電流を質量流量コントローラの熱式質量流量センサに供給し、熱式質量流量センサは、ガスの質量流量レートを測定するように設計されており、現在の入力電圧を取得するために、熱式質量流量センサの入力電圧を測定する。入力電圧は、熱式質量流量センサの一対の感知要素の間の温度差によって変化する。ガスの質量流量レートに依存する現在の入力電圧の成分を計上することによって、調整入力電圧を計算し、調整入力電圧に基づいてガスの温度を計算する。 （もっと読む）

流動体流動調節装置が開示される。この装置は、弁座（１６８）へ力を配する変形可能な弁部材（１６４）を含み、当該弁部材が害されることを防いでいる。 （もっと読む）

本開示は、フローレギュレータを用いて、冷却板などの複数のヒートシンクを通して冷却流体を調節し分配するシステムおよび方法を提供し、フローレギュレータはオリフィス上流の流量のばらつきに関係なく個々の冷却板によって必要とされる流量をさらに分配し得る１つまたは複数の個々のオリフィスとともに総流量を設定する。オリフィスはオリフィスを支持する本体を含むオリフィスホルダーに結合することができ、冷却板の入口に結合（直接的または間接的に）されてもよい。一般に、フローレギュレータは、冷却流体が流れる複数のオリフィスおよび管路と結合される。関係するシステム構成部品は、モジュールとして組み立てられて、ポンプ、コンプレッサ、またはその他の冷却流体用圧力源など、他のシステム構成部品を含む冷却システムの中に設置され得る。
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【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ及びバルブが設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】正確な量の１つまたは複数の流体を提供する。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

【課題】強制遮断機能を使用したいたずらを防止する。
【解決手段】再入力判定部１３が、強制遮断入力手段５からの強制遮断信号を受け取り、第１のカウンタが所定時間を経過したのち作動を開始する第２のカウンタの計時動作中に再度、強制遮断入力手段５からの強制遮断信号を受け取ったとき強制閉栓信号を出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】圧力及び質量流量の両方を反映させるとともにタンク容積の変化も考慮した高精度の検定を行う質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路6の最上流に設けられた検定用バルブ42と、質量流量制御バルブ機構10と、質量流量制御バルブ機構10より上流側の流路6に設けられたタンク44と、質量流量検出手段8と、圧力検出手段46と、質量流量制御バルブ機構10を制御する手段18と、質量流量検定制御手段48とを有する質量流量制御装置を検定する方法であって、(1) 流路6に設定質量流量の流体を流し、(2) 流体の質量流量が設定質量流量と一致するように質量流量制御バルブ機構10の開度を保持し、(3) 検定用バルブ42を閉じ、(4) タンク44から流出する流体の流れが安定化した後で流体の圧力及び質量流量を測定し、(5) 初期状態において同じ手順で測定しておいた基準の圧力及び質量流量に対する圧力及び質量流量の変化率を求め、(6) 変化率に応じて検定を行う方法。 （もっと読む）

【課題】ＨＦガス等の温度に依存して重合する処理ガスの供給量（実流量）を精度良く、且つ安定して制御することが可能な処理ガスの供給方法を提供する。
【解決手段】被処理体Ｗに対して減圧雰囲気中で所定の処理を施す処理装置４に向けて温度に依存して重合する処理ガスを流量制御しつつ供給する処理ガスの供給方法において、大気圧よりも低い供給圧力が適正動作範囲となっているダイヤフラムを有する低差圧型の質量流量制御装置３４を用いて前記処理ガスの流量を制御する。これにより、ＨＦガス等の温度に依存して重合する処理ガスの供給量（実流量）を精度良く、且つ安定して制御する。 （もっと読む）