【課題】活性化することに起因する不純物の影響を受けず、静電チャックへの基板の吸着状態を検知できる検知センサを備えた、信頼性の向上した常温接合装置を提供する。
【解決手段】常温接合装置１は、上側基板ＳＡを吸着して保持する基板保持部４４と、基板保持部４４に吸着された上側基板ＳＡを浄化するイオンガン３２と、基板保持部４４に設けられる検知センサ５０と、検知センサ５０の検知結果によりイオンガン３２を制御する制御部４と、を備える。検知センサ５０は、基板保持部４４に吸着された上側基板ＳＡに接触して変位する可動部５３と、可動部５３を検知する検知部５４とからなる。基板保持部４４に上側基板ＳＡが吸着されると、上側基板ＳＡにより検知センサ５０が外部から遮蔽されるため、検知センサ５０は、イオンガン３２の照射に起因する不純物の影響を受けない。 （もっと読む）

【課題】接合面の全体を均一に接合でき、さらに好適な接合条件を容易に設定し得る接合方法および接合装置を提供する。
【解決手段】互いに接合される被接合部材１０，２０の接合面１０ａ，２０ａを対向させ、一対の被接合部材を相対的に摺動させつつ、被接合部材の一方から他方へ電極４２，４４を経由して電流を流して抵抗加熱する。接合面の高面圧部に摩耗、塑性流動を生じさせ、時々刻々と電流集中箇所を変化させつつ接合面同士を接合する。さらに、（ａ）被接合部材同士を相対的に押し付ける加圧力Ｐ１、（ｂ）摺動の変位Ｄ、（ｃ）電極を経由した通電Ｃ、および（ｄ）被接合部材と電極とを相対的に押し付ける電極加圧力Ｐ２のうち、時間とともに変化させるパラメータ同士を同期させて接合面同士を接合する。 （もっと読む）

【課題】導電材料からなる被接合部材を抵抗加熱するための電極の寿命を向上させ得る接合方法および接合装置を提供する。
【解決手段】第１、第２被接合部材１６０、１７０に電気的に接続される第１、第２電極１０２、１０４と、電流を、第１電極から、第１被接合部材、中間部材１８０、第２被接合部材を経由して第２電極に流すための電流供給手段１１０と、中間部材の第１、第２接触面１８２，１８４に対して第１、第２被接合部材を相対的に静止した状態で保持する保持手段１２０と、第１、第２接触面を第１、第２被接合部材に対して摺動させるための摺動手段１３０と、摺動手段および電流供給手段を制御し、第１、第２接触面を第１、第２被接合部材に対して摺動させつつ、電流を、第１電極から、第１被接合部材、中間部材、第２被接合部材を経由して、第２電極へ流して抵抗加熱することによって接合するための制御手段１５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】同一平面上にない接合面として、中空通路を形成するための割り面であって中空通路の軸線に沿って伸びる割り面を設定したときにおいても安定した接合強度を得ることが可能な接合方法および被接合部材を提供する。
【解決手段】導電材料からなり、同一平面上にない接合面を有する一対の被接合部材１０，２０を接合するための接合方法であって、互いに接合される被接合部材の接合面１０ａ，２０ａを対向させ、一対の被接合部材を相対的に摺動させつつ、被接合部材の一方から他方へ電流を流して抵抗加熱することによって、接合面同士を接合する接合工程を有している。そして、同一平面上にない接合面として、中空通路１１０，１１１を形成するための割り面１２０であって中空通路の軸線に沿って伸びる割り面が設定してある。 （もっと読む）

【課題】加工時の被接合部材の変形を抑制可能な接合方法および接合装置を提供する。
【解決手段】導電性を備えた一対の被接合部材１０１ａ，１０１ｂの互いに接合される接合面１０２ａ，１０２ｂ同士を対向させ、前記被接合部材を加圧することで対向する前記接合面の間に加圧力を作用させて、一対の前記被接合部材を相対的に摺動させつつ、前記被接合部材の一方から他方へ電流を流して抵抗加熱により前記接合面同士を接合する接合方法であり、前記被接合部材の前記接合面側に当該接合面を延長するフランジ部１０４ａ，１０４ｂを介して、（ａ）被接合部材同士を相対的に押し付ける加圧力、（ｂ）摺動の変位、（ｃ）電極を経由した通電のうち、少なくとも（ａ）加圧力を、前記被接合部材に作用させる。 （もっと読む）

【課題】接合面の全体を均一に接合でき、さらに接合によって生じる不要物に対する後処理の簡素化を図り得る接合方法および被接合部材を提供する。
【解決手段】互いに接合される被接合部材１０，２０の接合面１０ａ，２０ａを対向させ、一対の被接合部材を相対的に摺動させつつ、被接合部材の一方から他方へ電流を流して抵抗加熱する。接合面の高面圧部に摩耗、塑性流動を生じさせ、時々刻々と電流集中箇所を変化させつつ接合面同士を接合する。さらに、接合工程において、接合によって生じる不要物を接合面に隣接して設けた収納凹所１００に溜めつつ接合面同士を接合する。 （もっと読む）

【課題】接合面の全体を均一に接合でき、安定した接合強度を得ることを可能にする接合方法、接合装置、および被接合部材を提供する。
【解決手段】互いに接合される一対の被接合部材１０，２０の接合面１０ａ，２０ａを対向させ、一対の被接合部材を相対的に摺動させつつ、一対の被接合部材の一方から他方へ電流を流して抵抗加熱する。さらに、一方の被接合部材に設けられた空間部１１の内壁面１３を補強部材１００によって支持させながら接合する。 （もっと読む）

【課題】１３族窒化物からなる第１の基板と、セラミックスからなる第２の基板とを貼り合わせた複合基板につき、放熱性をよくすると共に製造時の製造時のプロセスを簡単にする。
【解決手段】セラミックスからなる第２の基板１２の表面１２ａに金属膜２３を形成し（ｃ）、この金属膜２３を介して１３族窒化物からなる第１の基板２１と第２の基板１２とを接合する（ｄ）。金属膜２３は一般に酸化膜と比べて熱伝導率が高いため、こうすることで酸化膜を介して第１の基板２１と第２の基板１２とを接合した場合と比べて放熱性のよい複合基板１０を得ることができる。また、酸化膜を用いないため外方拡散の工程が不要となり、プロセスが簡単になる。 （もっと読む）

【課題】容易に製造できるとともに、高い熱交換性能を有する熱交換器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】熱交換器の製造方法は、Ｍｇが０．３〜２．０ｍａｓｓ％と、Ｓｉが１．５〜３．５ｍａｓｓ％、または、Ｃｕが１．５〜１４ｍａｓｓ％とを含有し、残部Ａｌ及び不可避不純物からなるアルミニウム合金板をその板の厚さ方向に複数枚積層する積層工程と、積層されたアルミニウム合金板を加熱して接合する接合工程と、を備えている。積層工程では、その表面に微細な溝が形成された前記アルミニウム合金板を少なくとも１枚配置する。接合工程では、積層されたアルミニウム合金板の全質量に対するアルミニウム合金板内に生成する液相の質量の比が５％を超え３５％以下となる温度で接合する。 （もっと読む）

【課題】より大きな接合強度の接合体を得ることにより、高強度に接合された切削工具等を提供する。
【解決手段】超硬合金焼結体を第１の被接合材１とし、ｃＢＮ焼結体を第２の被接合材２とする接合体であって、第１の被接合材および第２の被接合材は、両者の間に設置されたチタン（Ｔｉ）を含有する接合材３を介して、少なくとも、第２の被接合材の背面と底面からなる２面で接合されており、第２の被接合材と接合材との界面に、厚み１０〜３００ｎｍの窒化チタン（ＴｉＮ）化合物層が形成されていると共に、背面の接合層の厚みが、底面の接合層の厚みよりも薄い接合体 （もっと読む）