基板搬送台車及びそれを用いた基板の受け取り、搬送、投入方法

【課題】装置払い出しポートでの基板搬送台車による基板の受け取り、搬送、投入を最小限の作業面積で効率よく行うための基板搬送台車及びそれを用いた基板の受け取り、搬送、投入方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも複数個の車輪６１を有する支持台１０と、前記支持台１０上に垂直に設けたスタンド２０と、基板を保持するハンドアーム３０と、ハンドアーム３０を保持するハンドアーム保持部４０と、ハンドアーム３０に設けられた吸着パッドにて基板を真空吸引するための真空吸引ユニット５０と、を備えている基板搬送台車であって、基板がハンドアーム３０に垂直に保持された状態の基板搬送台車で、基板の受け取り、搬送、投入を行う。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー液晶表示装置及びカラープラズマディスプレイ等に使用する大型のガラス基板及び工程途中のガラス基板を搬送するための基板搬送台車及びそれを用いた基板の受け取り、搬送、投入方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置及びカラープラズマディスプレイ等の表示パネル用のカラーフィルタ基板を作製する際、製造ラインの各工程は自動化されており、製造ラインの各工程では、搬送コンベア／搬送ロボット／基板搬送台車等でガラス基板及び工程途中のガラス基板が搬送されている。
【０００３】
従来は、生産ユニットをインラインで接合し、生産ユニット間を搬送コンベア、搬送ロボットでガラス基板（以下、基板と称す）の受け渡しを行っていた。
しかしながら、最近では、生産効率向上、生産コスト削減を図るため、基板の大型化が進んでいる。基板の大型化に伴い生産設備も大型化が進み、生産工場の必要面積が増大している。
【０００４】
基板の大型化により、生産ユニットをインラインで接合できなくなり、生産ユニットがいくつかに分断され、その間は、基板搬送台車で基板の受け取り、搬送、投入を行わなければならなくなっている。
【０００５】
金型を搬送する搬送台車が提案されている（例えば、特許文献１参照）。これは、平坦なシャシーと、シャシーに直立に設けた支柱と、前記支柱に沿って垂直方向に移動可能な枠部材と、前記枠部材を前記シャシーと平行に伸長する基板と前記基板を前記支柱に移動可能に取り付ける腕部と、から構成された金型搬送台車であり、成形機への金型交換、搬送を効率良く行おうというものである。
【０００６】
図１５（ａ）は、一般的な基板搬送台車の一例を示す基板搬送台車３００の模式構成図であり、図１５（ｂ）は、基板搬送台車３００を用いて、基板３６１をハンドアームに載置しようとしている状態を示す模式構成図である。
基板搬送台車３００は、支持台３１０と、支持台３１０上に垂直に設けたスタンド３２０と、基板を保持するハンドアーム３３０と、複数個の車輪３４１とから構成さており、ハンドアーム３３０はスタンド３２０に沿って上下に移動できるようになっている。
【０００７】
装置払い出しポートのステージ３５１の載荷ピン３５２上に載置された基板３６１を基板搬送台車３００のハンドアーム３３０に受け取り、搬送する事例について説明する。
まず、基板搬送台車３００のハンドアーム３３０がステージ３５１の載荷ピン３５２上の基板３６１の端部に達するまで基板搬送台車３００を移動し、ハンドアーム３３０を載荷ピン３５２より高く持ち上げることにより、ハンドアーム３３０上に基板３６１を載置する。
さらに、基板搬送台車３００をステージ３５１の手前まで戻すことにより、基板搬送台車３００のハンドアーム３３０に載置された基板３６１を基板搬送台車３００で搬送できる状態になる。
【０００８】
上記基板搬送台車３００のハンドアーム３３０の長さは、基板サイズの幅、もしくは長さと同じ長さになっているため、基板搬送台車３００のハンドアーム３３０が基板３６１の下まで行って、また戻るような動作で基板３６１の受け取り、搬送できる状態になるに
は、基板払い出しポート周辺の基板搬送台車３００の作業面積は、回転動作等を考慮すると、基板サイズの１．５から２倍前後のスペースが必要になってくる。
基板サイズが大型化している現状で、基板搬送台車３００で基板の受け取り、搬送、投入のために、上記のようなスペースを取られることは、生産工場での生産設備を有効に、効率よく配置する上では問題である。
【特許文献１】特開平４−３３７３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、装置払い出しポートでの基板搬送台車による基板の受け取り、搬送、投入を最小限の作業面積で効率よく行うための基板搬送台車及びそれを用いた基板の受け取り、搬送、投入方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、少なくとも複数個の車輪６１を有する支持台１０と、前記支持台１０上に垂直に設けたスタンド２０と、基板を保持するハンドアーム３０と、ハンドアーム３０を保持するハンドアーム保持部４０と、ハンドアーム３０に設けられた吸着パッドにて基板を真空吸引するための真空吸引ユニット５０と、を備えていることを特徴とする基板搬送台車としたものである。
【００１１】
また、請求項２においては、前記ハンドアーム保持部４０は、前記ハンドアーム３０を垂直から水平、もしくは水平から垂直に９０度回転できる回転機構を有していることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送台車としたものである。
【００１２】
また、請求項３においては、前記スタンド２０は、前記ハンドアーム保持部４０を上下に移動できる上下移動機構を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送台車としたものである。
【００１３】
さらにまた、請求項４においては、請求項1乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送台車を用いて、少なくとも以下の工程を具備していることを特徴とする基板の受け取り、搬送、投入方法としたものである。
（ａ）ハンドアーム３０が垂直状態の基板搬送台車１００を装置払い出しポート２００ａの固定ガイドに接続、固定する工程。
（ｂ）スタンド２０の上下移動機構にてハンドアーム３０を上方向に移動して、ハンドアーム保持部４０が装置払い出しポート２００ａのステージ２１１とほぼ同じ高さの位置になったところで停止し、ハンドアーム保持部４０の回転機構にてハンドアーム３０を垂直状態から水平方向に９０度回転し、水平状態のハンドアーム３０を装置払い出しポート２００ａのステージ２１１上にセットする工程。
（ｃ）装置ロボット等にて基板７１を装置払い出しポート２００ａの載荷ピン２１２上に載置する工程。
（ｄ）装置払い出しポート２００ａの載荷ピン２１２を下降し、基板７１をハンドアーム３０に載置し、真空吸引ユニット５０をオンにすることにより、ハンドアーム３０に設けられた吸着パッドにて基板７１をハンドアーム３０に保持する工程。
（ｅ）ハンドアーム保持部４０の回転機構にて基板７１が保持されたハンドアーム３０を水平状態から垂直方向に９０度回転して、基板７１が保持されたハンドアーム３０を垂直状態にし、スタンド２０の上下移動機構にて、ハンドアーム保持部４０をスタンド３０の所定の位置に移動する工程。
（ｆ）基板７１がハンドアーム３０にて垂直に保持された状態の基板搬送台車１００と装置払い出しポート２００ａの固定ガイドとの接続、固定を解除し、基板７１がハンドアー
ム３０にて垂直に保持された状態の基板搬送台車１００ａで基板７１を搬送する工程。
（ｇ）基板７１がハンドアーム３０にて垂直に保持された状態の基板搬送台車１００ａを装置払い出しポート２００ｂの固定ガイドに接続、固定する工程。
（ｈ）スタンド２０の上下移動機構にてハンドアーム３０を上方向に移動して、ハンドアーム保持部４０が装置払い出しポート２００ｂのステージ２１１とほぼ同じ高さの位置になったところで停止し、ハンドアーム保持部４０の回転機構にてハンドアーム３０を垂直状態から水平方向に９０度回転し、水平状態のハンドアーム３０を装置払い出しポート２００ｂのステージ２１１上にセットする工程。
（ｉ）真空吸引ユニット５０をオフにすることにより、ハンドアーム３０上の基板７１の保持を解除して、装置払い出しポート２００ｂのステージ２１１に設けられた載荷ピン２１２を上昇させ、基板７１を載荷ピン２１２上に載置する工程。
（ｊ）装置払い出しポート２００ｂの載荷ピン２１２上に載置された基板７１を装置ロボット等にて処理工程に投入する工程。
（ｋ）ハンドアーム保持部４０の回転機構にてハンドアーム３０を水平状態から垂直方向に９０度回転し、ハンドアーム３０を垂直状態にした状態で、スタンド２０の上下移動機構にてハンドアーム３０を下方向に移動して、ハンドアーム保持部４０をスタンド２０の所定の位置に移動する工程。
（ｌ）基板搬送台車と装置払い出しポート（２００ｂ）の固定ガイドとの接続、固定を解除し、ハンドアーム３０が垂直に保持された初期状態の基板搬送台車１００とする工程。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の基板搬送台車は、ハンドアーム保持部の回転機構にて基板を保持するハンドアームを垂直状態と、水平状態にできるので、装置払い出しポートからの基板受け取りと投入は水平状態で行い、装置払い出しポートからの基板受け取りと投入が終了した後の基板搬送台車の搬送移動では、ハンドアームを垂直状態にして基板搬送台車を移動するので、装置払い出しポート周辺での基板搬送台車の作業スペースはほぼ基板搬送台車の面積があれば、基板の受け取り、搬送、投入が可能となり、生産工場での生産設備を有効に、効率よく配置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１（ａ）は、ハンドアームが垂直状態の本発明の基板搬送台車の一実施例を示す模式上面図を、図１（ｂ）は、ハンドアームが垂直状態の本発明の基板搬送台車の一実施例を示す模式側面図を、図２（ａ）は、ハンドアームが水平状態の本発明の基板搬送台車の一実施例を示す模式上面図を、図２（ｂ）は、ハンドアームが水平状態の本発明の基板搬送台車の一実施例を示す模式側面図を、それぞれ示す。
本発明の基板搬送台車は、複数個の車輪６１を有する支持台１０と、支持台１０上に垂直に設けたスタンド２０と、基板を保持するハンドアーム３０と、ハンドアーム３０を保持するハンドアーム保持部４０と、ハンドアーム３０に設けられた吸着パッドにて基板を真空吸引するための真空吸引ユニット５０と、から構成されている。
【００１６】
請求項２に係るハンドアーム保持部４０は、ハンドアーム３０を垂直から水平、もしくは水平から垂直に９０度回転できる回転機構（特に、図示せず）を有している。
回転機構としては、油圧、もしくは空圧シリンダー、ボールねじ等を用いた回転機構が使用できる。
【００１７】
請求項３に係るスタンド２０は、ハンドアーム保持部４０を上下に移動できる上下移動機構（特に、図示せず）を有しており、ハンドアーム３０の高さ調整するためのものである。
上下移動機構としては、油圧、もしくは空圧シリンダー、ボールねじ等を用いた上下移動
機構が使用できる。
【００１８】
ハンドアーム３０には、基板をハンドアーム３０に保持するための吸着パッドが設けられており、吸引ユニット５０をオン、オフすることにより、ハンドアーム３０への基板の保持と、保持の解除を容易に行うことができる。
【００１９】
以下、本発明の基板搬送台車１００を用いた基板の受け取り、搬送、投入方法について説明する。
図３（ａ）及び（ｂ）〜図１４（ａ）及び（ｂ）は、本発明の基板搬送台車１００を用いた基板の受け取り、搬送、投入方法を工程順に示す模式上面図及び模式側面図である。
まず、ハンドアーム３０が垂直状態の基板搬送台車１００を装置払い出しポート２００ａの固定ガイド（特に、図示せず）に接続、固定する（図３（ａ）及び（ｂ）参照）。
ここで、装置払い出しポート２００ａのステージ２２１には押し出された載荷ピン２１２が設けられている。
【００２０】
次に、スタンド２０の上下移動機構（特に、図示せず）にてハンドアーム３０を上方向に移動して、ハンドアーム保持部４０が装置払い出しポート２００ａのステージ２１１とほぼ同じ高さの位置になったところで停止し、ハンドアーム保持部４０の回転機構（特に、図示せず）にてハンドアーム３０を垂直状態から水平方向に９０度回転し、水平状態のハンドアーム３０を装置払い出しポート２００ａのステージ２１１上にセットする（図４（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００２１】
次に、装置ロボット等にて基板７１を装置払い出しポート２００ａの載荷ピン２１２上に載置する（図５（ａ）及び（ｂ）参照）。
ここで、基板７１は、未処理基板、処理工程中の基板のいずれでも良く、生産設備の処理工程によって適宜設定できる。
【００２２】
次に、装置払い出しポート２００ａの載荷ピン２１２を下降し、基板７１をハンドアーム３０に載置し、真空吸引ユニット５０をオンにすることにより、ハンドアーム３０に設けられた吸着パッド（特に、図示せず）にて基板７１をハンドアーム３０に保持する（図６（ａ）及び（ｂ）参照）。
ここで、真空吸引ユニット５０としては、ロータリーポンプ等が使用できる。
【００２３】
次に、ハンドアーム保持部４０の回転機構（特に、図示せず）にて基板７１が保持されたハンドアーム３０を水平状態から垂直方向に９０度回転して、基板７１が保持されたハンドアーム３０を垂直状態にし、スタンド２０の上下移動機構（特に、図示せず）にて、ハンドアーム保持部４０をスタンド２０の所定の位置に移動する（図７（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００２４】
次に、基板７１がハンドアーム３０にて垂直に保持された状態の基板搬送台車１００と装置払い出しポート２００ａの固定ガイド（特に、図示せず）との接続、固定を解除し、基板７１がハンドアーム３０にて垂直に保持された状態の基板搬送台車１００ａで基板７１を所定の場所まで搬送する（図８（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００２５】
次に、基板７１がハンドアーム３０にて垂直に保持された状態の基板搬送台車１００ａを別の装置払い出しポート２００ｂの固定ガイド（特に、図示せず）に接続、固定する（図９（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００２６】
次に、スタンド２０の上下移動機構（特に、図示せず）にてハンドアーム３０を上方向に移動して、ハンドアーム保持部４０が装置払い出しポート２００ｂのステージ２１１と
ほぼ同じ高さの位置になったところで停止し、ハンドアーム保持部４０の回転機構（特に、図示せず）にてハンドアーム３０を垂直状態から水平方向に９０度回転し、水平状態のハンドアーム３０を装置払い出しポート２００ｂのステージ２１１上にセットする（図１０（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００２７】
次に、真空吸引ユニット５０をオフにすることにより、ハンドアーム３０上の基板７１の保持を解除して、装置払い出しポート２００ｂのステージ２１１に設けられた載荷ピン２１２を上昇させ、基板７１を載荷ピン２１２上に載置する（図１１（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００２８】
次に、装置払い出しポート２００ｂの載荷ピン２１２上に載置された基板７１を装置ロボット等にて処理工程に投入する（図１２（ａ）及び（ｂ）参照）。
ここで、基板７１がハンドアーム３０にて垂直に保持された状態の基板搬送台車１００ａから装置払い出しポート２００ｂを介して基板７１は次の処理工程に投入される。
【００２９】
次に、ハンドアーム保持部４０の回転機構（特に、図示せず）にてハンドアーム３０を水平状態から垂直方向に９０度回転し、ハンドアーム３０を垂直状態にした状態で、スタンド２０の上下移動機構（特に、図示せず）にてハンドアーム３０を下方向に移動して、ハンドアーム保持部４０をスタンド２０の所定の位置に移動する（図１３（ａ）及び（ｂ）参照）
最後に、基板搬送台車と装置払い出しポート２００ｂの固定ガイドとの接続、固定を解除し、ハンドアーム３０が垂直に保持された初期状態の基板搬送台車１００とする（図１４（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００３０】
以上の工程で、本発明の基板搬送台車による最小の面積での装置払い出しポートからの基板の受け取り、搬送及び装置払い出しポートへの基板投入が可能とる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】（ａ）は、ハンドアームが垂直状態の本発明の基板搬送台車の一実施例を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアームが垂直状態の本発明の基板搬送台車の一実施例を示す模式側面図である。
【図２】（ａ）は、ハンドアームが水平状態の本発明の基板搬送台車の一実施例を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアームが水平状態の本発明の基板搬送台車の一実施例を示す模式側面図である。
【図３】（ａ）は、ハンドアームが垂直状態の本発明の基板搬送台車１００を装置払い出しポート２００ａに接続固定している状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアームが垂直状態の本発明の基板搬送台車１００を装置払い出しポート２００ａに接続固定している状態を示す模式側面図である。
【図４】（ａ）は、ハンドアーム保持部４０にてハンドアーム３０を垂直から水平状態にしている状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアーム保持部４０にてハンドアーム３０を垂直から水平状態にしている状態を示す模式側面図である。
【図５】（ａ）は、装置ロボットにて基板７１をステージ２１１の載荷ピン２１２に載置している状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、装置ロボットにて基板７１をステージ２１１の載荷ピン２１２に載置している状態を示す模式側面図である。
【図６】（ａ）は、ハンドアーム３０に基板７１を保持している状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアーム３０に基板７１を保持している状態を示す模式側面図である。
【図７】（ａ）は、ハンドアーム保持部４０にて基板７１が保持されたハンドアーム３０を水平から垂直状態にしている状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアーム保持部４０にて基板７１が保持されたハンドアーム３０を水平から垂直状態にしている状態を示す模式側面図である。
【図８】（ａ）は、基板７１が保持されたハンドアーム３０が垂直状態になっている基板搬送台車１００ａを示す模式上面図である。（ｂ）は、基板７１が保持されたハンドアーム３０が垂直状態になっている基板搬送台車１００ａを示す模式側面図である。
【図９】（ａ）は、基板７１が保持されたハンドアーム３０が垂直状態の基板搬送台車１００ａを装置払い出しポート２００ｂに接続固定している状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、基板７１が保持されたハンドアーム３０が垂直状態の基板搬送台車１００ａを装置払い出しポート２００ｂに接続固定している状態を示す模式側面図である。
【図１０】（ａ）は、ハンドアーム保持部４０にて基板７１が保持されたハンドアーム３０を垂直から水平状態にしている状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアーム保持部４０にて基板７１が保持されたハンドアーム３０を垂直から水平状態にしている状態を示す模式側面図である。
【図１１】（ａ）は、ハンドアーム３０上の基板７１をステージ２１１の載荷ピン２１２に載置している状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアーム３０上の基板７１をステージ２１１の載荷ピン２１２に載置している状態を示す模式側面図である。
【図１２】（ａ）は、装置ロボットにてステージ２１１の載荷ピン２１２上の基板７１を処理工程に投入している状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、装置ロボットにてステージ２１１の載荷ピン２１２上の基板７１を処理工程に投入している状態を示す模式側面図である。
【図１３】（ａ）は、ハンドアーム保持部４０にてハンドアーム３０を水平から垂直状態にしている状態を示す模式上面図である。（ｂ）は、ハンドアーム保持部４０にてハンドアーム３０を水平から垂直状態にしている状態を示す模式側面図である。
【図１４】（ａ）は、基板搬送台車と装置払い出しポート２００ｂの固定ガイドとの接続、固定を解除し、ハンドアーム３０が垂直に保持された初期状態の基板搬送台車１００を示す模式上面図である。（ｂ）は、基板搬送台車と装置払い出しポート２００ｂの固定ガイドとの接続、固定を解除し、ハンドアーム３０が垂直に保持された初期状態の基板搬送台車１００を示す模式側面図である。
【図１５】（ａ）は、従来の基板搬送台車の一例を示す模式上面図である。（ｂ）は、従来の基板搬送台車を用いて装置払い出しポートの基板３６１を受け取りにいっている状態を示す模式側面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１０、３１０……支持台
２０、３２０……スタンド
３０、３３０……ハンドアーム
４０……ハンドアーム保持部
５０……真空吸引ユニット
６１、３４１……車輪
７１、３６１……基板
１００、１００ａ、３００……基板搬送台車
２００ａ、２００ｂ……装置払い出しポート
２１１、３５１……ステージ
２１２、３５２……載荷ピン

【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも複数個の車輪（６１）を有する支持台（１０）と、前記支持台（１０）上に垂直に設けたスタンド（２０）と、基板を載置するハンドアーム（３０）と、ハンドアーム（３０）を保持するハンドアーム保持部（４０）と、ハンドアーム（３０）に設けられた吸着パッドにて基板を真空吸引するための真空吸引ユニット（５０）と、を備えていることを特徴とする基板搬送台車。
【請求項２】
前記ハンドアーム保持部（４０）は、前記ハンドアーム（３０）を垂直から水平、もしくは水平から垂直に９０度回転できる回転機構を有していることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送台車。
【請求項３】
前記スタンド（２０）は、前記ハンドアーム保持部（４０）を上下に移動できる上下移動機構を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送台車。
【請求項４】
請求項1乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送台車を用いて、少なくとも以下の工程を具備していることを特徴とする基板の受け取り、搬送、投入方法。
（ａ）ハンドアーム（３０）が垂直状態の基板搬送台車（１００）を装置払い出しポート（２００ａ）の固定ガイドに接続、固定する工程。
（ｂ）スタンド（２０）の上下移動機構にてハンドアーム（３０）を上方向に移動して、ハンドアーム保持部（４０）が装置払い出しポート（２００ａ）のステージ（２１１）とほぼ同じ高さの位置になったところで停止し、ハンドアーム保持部（４０）の回転機構にてハンドアーム（３０）を垂直状態から水平方向に９０度回転し、水平状態のハンドアーム（３０）を装置払い出しポート（２００ａ）のステージ（２１１）上にセットする工程。
（ｃ）装置ロボット等にて基板（７１）を装置払い出しポート（２００ａ）の載荷ピン（２１２）上に載置する工程。
（ｄ）装置払い出しポート（２００ａ）のステージ（２１１）の載荷ピン（２１２）を下降して基板（７１）をハンドアーム（３０）に載置し、真空吸引ユニット（５０）をオンにすることにより、ハンドアーム（３０）に設けられた吸着パッドにて基板（７１）をハンドアーム（３０）に保持する工程。
（ｅ）ハンドアーム保持部（４０）の回転機構にて基板（７１）が保持されたハンドアーム（３０）を水平状態から垂直方向に９０度回転して、基板（７１）が保持されたハンドアーム（３０）を垂直状態にし、スタンド（２０）の上下移動機構にて、ハンドアーム保持部（４０）をスタンド（２０）の所定の位置に移動する工程。
（ｆ）基板（７１）がハンドアーム（３０）にて垂直に保持された状態の基板搬送台車（１００）と装置払い出しポート（２００ａ）の固定ガイドとの接続、固定を解除し、基板（７１）がハンドアーム（３０）にて垂直に保持された状態の基板搬送台車（１００ａ）で基板（７１）を搬送する工程。
（ｇ）基板（７１）がハンドアーム（３０）にて垂直に保持された状態の基板搬送台車（１００ａ）を装置払い出しポート（２００ｂ）の固定ガイドに接続、固定する工程。
（ｈ）スタンド（２０）の上下移動機構にてハンドアーム（３０）を上方向に移動して、ハンドアーム保持部（４０）が装置払い出しポート（２００ｂ）のステージ（２１１）とほぼ同じ高さの位置になったところで停止し、ハンドアーム保持部（４０）の回転機構にてハンドアーム（３０）を垂直状態から水平方向に９０度回転し、水平状態のハンドアーム（３０）を装置払い出しポート（２００ｂ）のステージ（２１１）上にセットする工程。
（ｉ）真空吸引ユニット（５０）をオフにすることにより、ハンドアーム（３０）の基板（７１）の保持を解除して、装置払い出しポート（２００ｂ）のステージ（２１１）に設けられた載荷ピン（２１２）を上昇させ、基板（７１）を載荷ピン（２１２）上に載置す
る工程。
（ｊ）装置払い出しポート（２００ｂ）の載荷ピン（２１２）上に載置された基板（７１）を装置ロボット等にて処理工程に投入する工程。
（ｋ）ハンドアーム保持部（４０）の回転機構にてハンドアーム（３０）を水平状態から垂直方向に９０度回転し、ハンドアーム（３０）を垂直状態にした状態で、スタンド（２０）の上下移動機構にてハンドアーム（３０）を下方向に移動して、ハンドアーム保持部（４０）をスタンド（２０）の所定の位置に移動する工程。
（ｌ）基板搬送台車（１００）と装置払い出しポート（２００ｂ）の固定ガイドとの接続、固定を解除し、ハンドアーム（３０）が垂直に保持された初期状態の基板搬送台車（１００）とする工程。

【図１】