【課題】感度、ラフネス特性及び露光ラチチュードに優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、この組成物を用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂と、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物であって、下記一般式（１−１）により表される化合物とを含有している。
【化１】

【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂と、
（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物であって、下記一般式（１−１）により表される化合物と
を含有した感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【化１】

式中、
Ａは、硫黄原子又はヨウ素原子を表す。
Ｒ_１は、ｍ＝２の場合には各々独立に、アルキル基、アルケニル基、環式脂肪族基、芳香族炭化水素基、又は複素環式炭化水素基を表す。ｍ＝２の場合、２つのＲ_１が互いに結合して、環を形成していてもよい。
Ａｒは、ｎ≧２の場合には各々独立に、芳香環基を表す。
Ｘは、ｏ≧２及び／又はｎ≧２の場合には各々独立に、前記Ａｒとの結合部が炭素原子である連結基を表す。
Ａ_Ｎは、ｏ≧２及び／又はｎ≧２の場合には各々独立に、窒素原子を含んだ塩基性部位を表す。
前記Ａが硫黄原子である場合、ｎは、１〜３の整数であり、ｍは、ｍ＋ｎ＝３なる関係を満たす整数である。
前記Ａがヨウ素原子である場合、ｎは、１又は２の整数であり、ｍは、ｍ＋ｎ＝２なる関係を満たす整数である。
ｏは、１〜１０の整数を表す。
Ｙ⁻は、アニオンを表す。
【請求項２】
（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物（前記一般式（１−１）により表される化合物を除く）を更に含有した請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記Ｘの少なくとも１つは下記一般式（１−２）により表される請求項１又は２に記載の組成物。
【化２】

式中、
Ｒ_２及びＲ_３は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、環式脂肪族基、芳香族炭化水素基、又は複素環式炭化水素基を表す。Ｒ_２とＲ_３とは、互いに結合して、環を形成していてもよい。Ｒ_２及びＲ_３の少なくとも一方は、Ｅと互いに結合して、環を形成していてもよい。
Ｅは、連結基又は単結合を表す。
【請求項４】
前記Ｘの少なくとも１つは下記一般式（１−３）により表される請求項１又は２に記載の組成物。
【化３】

式中、
Ｊは、酸素原子、又は、硫黄原子を表す。
Ｅは、連結基又は単結合を表す。
【請求項５】
前記Ｅはアルキレン結合である請求項３又は４に記載の組成物。
【請求項６】
前記Ｅは、エステル結合及びエーテル結合からなる群より選択される少なくとも１つを含んでいる請求項３又は４に記載の組成物。
【請求項７】
前記Ａは硫黄原子を表す請求項１乃至６の何れか１項に記載の組成物。
【請求項８】
前記Ｒ_１は、各々独立に、芳香族炭化水素基を表す請求項１乃至７の何れか１項に記載の組成物。
【請求項９】
前記Ｙ⁻は有機酸アニオンを表す請求項１乃至８の何れか１項に記載の組成物。
【請求項１０】
前記Ｙ⁻は、スルホン酸アニオン、イミド酸アニオン、又はメチド酸アニオンを表す請求項１乃至９の何れか１項に記載の組成物。
【請求項１１】
請求項１乃至１０の何れか１項に記載の組成物を用いて形成された感活性光線性又は感放射線性膜。
【請求項１２】
請求項１乃至１０の何れか１項に記載の組成物を用いて膜を形成することと、
前記膜を露光することと、
前記露光された膜を現像することと
を含んだパターン形成方法。
【請求項１３】
前記露光は液浸液を介して行われる請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
請求項１２又は１３に記載のパターン形成方法を含む、半導体デバイスの製造方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の半導体デバイスの製造方法により製造された半導体デバイス。

【公開番号】特開２０１３−６４９７０（Ｐ２０１３−６４９７０Ａ）
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２８１８５６（Ｐ２０１１−２８１８５６）
【出願日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】