成膜装置および成膜方法
【課題】筒状体の内周面に均一な膜厚で、かつ均一なドープ濃度で共蒸着膜を形成可能な成膜装置および成膜方法。
【解決手段】成膜装置３０は、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置であって、筒状体１を保持するための筒状体ホルダ２と、第１の蒸着材料１１を充填するための内部空間を有する第１の蒸着容器１２と、第２の蒸着材料１２を充填するための内部空間を有する第２の蒸着容器２２とを備えている。筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とは、筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動可能であり、筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として互いに相対的に回転可能である。
【解決手段】成膜装置３０は、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置であって、筒状体１を保持するための筒状体ホルダ２と、第１の蒸着材料１１を充填するための内部空間を有する第１の蒸着容器１２と、第２の蒸着材料１２を充填するための内部空間を有する第２の蒸着容器２２とを備えている。筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とは、筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動可能であり、筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として互いに相対的に回転可能である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置および成膜方法に関するものであり、より特定的には、筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置および成膜方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子において、発光輝度および発光寿命の向上のために、正孔および電子移動度の高いホスト材料と共に、発光輝度を上昇させるためのドーパント材料を蒸着し、共蒸着膜を形成することは周知の技術である。しかし、共蒸着膜の形成においては、膜厚の均一性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保しなければ、輝度ムラを生じるという問題点がある。
【０００３】
平面状の基板に共蒸着膜を形成するための成膜装置および成膜方法は、たとえば特開２０００−６８０５５号公報（特許文献１）、特開２０００−２２３２６９号公報（特許文献２）、および特開２００２−３４８６５９号公報（特許文献３）に開示されている。
【０００４】
また、円筒管の内周面に単一の材料を蒸着するための成膜装置および成膜方法は、たとえば特開２００２−１７３７６４号公報（特許文献４）および特開２００２−１４２２５２号公報（特許文献５）に開示されている。しかし、これらの成膜装置および成膜方法においては、共蒸着膜の形成への適用について何ら開示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−６８０５５号公報
【特許文献２】特開２０００−２２３２６９号公報
【特許文献３】特開２００２−３４８６５９号公報
【特許文献４】特開２００２−１７３７６４号公報
【特許文献５】特開２００２−１４２２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の特許文献１〜３に記載の技術は、平面状の基板に共蒸着膜を形成するものであるため、円筒管のような筒状体の内周面に共蒸着膜を均一な膜厚および均一なドープ濃度で形成することができない。
【０００７】
上記の特許文献４および５には、共蒸着膜に関する記載はない。このため上記の特許文献４および５に記載の技術によれば、円筒管のような筒状体の内周面に共蒸着膜を均一な膜厚および均一なドープ濃度で形成することができない。
【０００８】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、筒状体の内周面に均一な膜厚で、かつ均一なドープ濃度で共蒸着膜を形成可能な成膜装置および成膜方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に従った成膜装置は、筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置である。この成膜装置は、筒状体を保持するための筒状体ホルダと、第１の蒸着材料を充填するための内部空間を有する第１の蒸着容器と、第２の蒸着材料を充填するための内部空間を有する第２の蒸着容器とを備えている。筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とは、筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動することができるように構成されている。筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とは、筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転することができるように構成されている。
【００１０】
本発明の成膜装置によれば、第１および第２の蒸着容器の各々の内部空間に第１および第２の蒸着材料を充填できるため、第１および第２の蒸着材料を含む共蒸着膜を筒状体の内周面に形成することができる。また筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを、筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させることができるため、第１および第２の蒸着容器を筒状体の外部から内部へ挿入し、かつ内部から外部へ抜き出すことができる。また筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを、筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させることができるため、その回転をさせながら筒状体の内周面に共蒸着膜を形成することができる。これにより、筒状体の内表面に均一な膜厚で、かつ均一なドープ濃度の共蒸着膜を形成することができる。
【００１１】
上記の成膜装置において、成膜装置の第１の蒸着容器には、第１の蒸着材料を第１の蒸着容器の内部空間から外部へ放出するための第１の開口部が形成されている。第２の蒸着容器には、第２の蒸着材料を第２の蒸着容器の内部空間から外部へ放出するための第２の開口部が形成されている。第１の開口部は、第１の蒸着容器に対して第２の蒸着容器が配置された側とは反対側に配置されている。第２の開口部は、第２の蒸着容器に対して第１の蒸着容器が配置された側とは反対側に配置されている。
【００１２】
このように第１の開口部が第１の蒸着容器に対して第２の蒸着容器とは反対側に配置されているため、第１の開口部から放出された第１の蒸着材料が第２の蒸着容器に付着しにくくなる。また第２の開口部が第２の蒸着容器に対して第１の蒸着容器とは反対側に配置されているため、第２の開口部から放出された第２の蒸着材料が第１の蒸着容器に付着しにくくなる。
【００１３】
上記の成膜装置において、第１および第２の開口部の各々は、筒状体の延在する方向と直交する方向に細長く延びたスリット形状を有している。
【００１４】
これにより、第１および第２の蒸着材料を蒸発させた際に、第１および第２の蒸着材料が第１および第２の開口部にて詰まることを抑制することができる。
【００１５】
上記の成膜装置は、第１の蒸着材料の蒸着速度を測定するための第１の蒸着レートセンサと、第２の蒸着材料の蒸着速度を測定するための第２の蒸着レートセンサとをさらに備えている。第１の蒸着レートセンサは、第１の開口部と対向する位置に配置されている。第２の蒸着レートセンサは、第２の開口部と対向する位置に配置されている。
【００１６】
これにより、第１および第２の蒸着材料の蒸着速度を第１および第２の蒸着レートセンサにより測定することができる。
【００１７】
上記の成膜装置は、第１のヒータと、第２のヒータと、制御部とをさらに備えている。第１のヒータは、第１の蒸着材料を加熱するためのものである。第２のヒータは、第２の蒸着材料を加熱するためのものである。制御部は、第１の蒸着レートセンサにより測定された蒸着速度の情報に基づいて第１のヒータの出力を制御し、かつ第２の蒸着レートセンサにより測定された蒸着速度の情報に基づいて第２のヒータの出力を制御するためのものである。
【００１８】
これにより、第１および第２の蒸着材料の各々の蒸着速度の情報に基づいて、第１および第２の蒸着材料の各々の加熱温度を制御することができる。
【００１９】
上記の成膜装置において、制御部は、第１の蒸着レート調整器と、第１のヒータ出力調整器と、第２の蒸着レート調整器と、第２のヒータ出力調整器とを含んでいる。第１の蒸着レート調整器は、第１の蒸着レートセンサにより測定された蒸着速度を判定するためのものである。第１のヒータ出力調整器は、第１の蒸着レート調整器による判定に基づいて第１のヒータの出力を制御するためのものである。第２の蒸着レート調整器は、第２の蒸着レートセンサにより測定された蒸着速度を判定するためのものである。第２のヒータ出力調整器は、第２の蒸着レート調整器による判定に基づいて第２のヒータの出力を制御するためのものである。。
【００２０】
これにより、第１および第２の蒸着材料の加熱を、それぞれ個別に制御することができる。
【００２１】
上記の成膜装置は、第１の蒸着容器の温度を測定するための第１の温度測定子と、第２の蒸着容器の温度を測定するための第２の温度測定子とをさらに備えている。制御部は、第１の温度測定子により測定された第１の蒸着容器の温度を判定するための第１の蒸着容器温度調整器と、第２の温度測定子により測定された第２の蒸着容器の温度を判定するための第２の蒸着容器温度調整器とをさらに含んでいる。第１のヒータ出力調整器は、第１の蒸着容器温度調整器による判定に基づいて第１のヒータの出力を制御可能に構成されている。第２のヒータ出力調整器は、第２の蒸着容器温度調整器による判定に基づいて第２のヒータの出力を制御可能に構成されている。
【００２２】
これにより、第１および第２の蒸着容器の温度の情報に基づいて、第１および第２の蒸着材料の加熱を制御することができる。
【００２３】
本発明に従った成膜方法は、筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜方法であって以下の工程を備えている。
【００２４】
筒状体が筒状体ホルダに保持される。第１の蒸着材料が第１の蒸着容器の内部に充填され、第２の蒸着材料が第２の蒸着容器の内部に充填される。筒状体を保持した筒状体ホルダと第１および第２の蒸着材料のそれぞれが内部に充填された第１および第２の蒸着容器とを筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させることによって、第１および第２の蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入される。第１および第２の蒸着容器の双方を筒状体の内部に挿入した状態で筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させながら、第１および第２の蒸着材料を蒸発させて第１および第２の蒸着材料を含む共蒸着膜が筒状体の内周面に形成される。
【００２５】
本発明の成膜方法によれば、第１および第２の蒸着容器の各々の内部空間に第１および第２の蒸着材料を充填できるため、第１および第２の蒸着材料を含む共蒸着膜を筒状体の内周面に形成することができる。また筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを、筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させることができるため、第１および第２の蒸着容器を筒状体の外部から内部へ挿入し、かつ内部から外部へ抜き出すことができる。また、筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを、筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させることができるため、その回転をさせながら筒状体の内周面に共蒸着膜を形成することができる。これにより、筒状体の内周面に均一な膜厚で、かつ均一なドープ濃度の共蒸着膜を形成することができる。
【００２６】
上記の成膜方法において、共蒸着膜を筒状体の内周面に形成する工程は、筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させて実施される。
【００２７】
これにより、長い筒状体であっても、膜厚の均一性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保しつつ共蒸着膜を形成することができる。
【００２８】
上記の成膜方法においては、共蒸着膜を筒状体の内周面に形成する間において、第１の蒸着材料を加熱するための第１のヒータの出力が、第１および第２の蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入される直前の第１のヒータの出力に保持され、かつ第２の蒸着材料を加熱するための第２のヒータの出力が、第１および第２の蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入される直前の第２のヒータの出力に保持される。
【００２９】
これにより、蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入され、第１および第２の蒸着材料の各々の蒸着速度を測定できない状態においても、第１および第２のヒータの出力を保持することにより第１および第２の蒸着材料の加熱を制御することができる。
【００３０】
上記の成膜方法においては、共蒸着膜を筒状体の内周面に形成する間において、第１の蒸着容器の温度を第１の温度測定子により測定し、第１の温度測定子により測定された第１の蒸着容器の温度に基づいて第１のヒータの出力を制御することで第１の蒸着材料の温度が一定に保持され、かつ第２の蒸着容器の温度を第２の温度測定子により測定し、第２の温度測定子により測定された第２の蒸着容器の温度に基づいて第２のヒータの出力を制御することで第２の蒸着材料の温度が一定に保持される。
【００３１】
これにより、蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入され、第１および第２の蒸着材料の各々の蒸着速度を測定できない状態においても、第１および第２の蒸着容器の温度情報に基づいて第１および第２の蒸着材料の加熱を制御することができる。
【発明の効果】
【００３２】
以上の説明から明らかなように、本発明の成膜装置および成膜方法によれば、筒状体の内周面への共蒸着膜の形成において、共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施の形態における成膜装置の構成を示す模式図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う概略断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態における成膜装置の蒸着容器に形成される開口部の形状を説明するための蒸着容器の概略断面図である。
【図４】本発明の一実施の形態における成膜装置の蒸着容器に形成された開口部の形状の一例を説明するための蒸着容器の構成を示す概略正面図（Ａ）と、概略側面図（Ｂ）である。
【図５】本発明の一実施の形態における成膜装置の蒸着容器に形成された開口部の形状の他の例を説明するための蒸着容器の構成を示す概略正面図（Ａ）と、概略側面図（Ｂ）である。
【図６】本発明の一実施の形態における成膜装置の機能ブロック図である。
【図７】本発明の一実施の形態における成膜装置の制御フローを示すフロー図である。
【図８】本発明の一実施の形態における成膜方法の成膜時の様子を示す模式図である。
【図９】本発明の一実施の形態における成膜方法を用いて製造された有機ＥＬ発光装置の一例を示す概略上面図（Ａ）と、概略側面図（Ｂ）である。
【図１０】図９（Ｂ）のＸ−Ｘ線に沿う有機ＥＬ発光装置の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００３５】
最初に、本発明の一実施の形態に係る成膜装置の構成について図１〜図６を用いて説明する。
【００３６】
図１を参照して、本発明の一実施の形態に係る成膜装置３０は、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置であって、被蒸着側の装置３０Ａと、蒸着側の装置３０Ｂと、検知・制御装置３０Ｃとを主に有している。
【００３７】
被蒸着側の装置３０Ａは、筒状体ホルダ２と、回転子３とを主に有している。筒状体ホルダ２は、たとえば筒状体１の外周端縁を保持することにより筒状体１を吊り下げて保持することができるよう構成されている。回転子３は、筒状体ホルダ２に接続されており、かつ筒状体１の延在する方向ＵＤの仮想の軸線Ａ−Ａを中心にして筒状体ホルダ２を回転できるように構成されている。なお筒状体１は、たとえばガラスよりなっている。また、筒状体１の内周面には透明導電膜などが形成されていてもよい。透明導電膜としては、たとえばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などを用いることができる。
【００３８】
蒸着側の装置３０Ｂは、蒸着源ホルダ４と、第１の蒸着容器１２と、第２の蒸着容器２２とを主に有している。第１の蒸着容器１２は、共蒸着膜を形成する材料である第１の蒸着材料を充填するための内部空間を有している。また第２の蒸着容器２２は、共蒸着膜を形成する材料である第２の蒸着材料を充填するための内部空間を有している。第１および第２の蒸着材料は、それぞれ共蒸着膜を形成するためのホスト材料およびドーパント材料に対応する。蒸着源ホルダ４は、第１の蒸着容器１２および第２の蒸着容器２２のそれぞれを保持している。
【００３９】
第１の蒸着容器１２には、第１の蒸着材料を第１の蒸着容器１２の内部空間から外部へ放出するための第１の開口部１３が形成されている。同様に、第２の蒸着容器２２には、第２の蒸着材料を第２の蒸着容器２２の内部空間から外部へ放出するための第２の開口部２３が形成されている。
【００４０】
これにより第１の蒸着容器１２の内部空間で蒸発した第１の蒸着材料は点線１１ａで示すように第１の開口部１３から第１の蒸着容器１２の外部へ放出され得る。また第２の蒸着容器２２の内部空間で蒸発した第２の蒸着材料は点線２１ａで示すように第２の開口部２３から第２の蒸着容器２２の外部へ放出され得る。
【００４１】
検知・制御装置３０Ｃは、たとえば第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０などを含んでいる。第１の蒸着レートセンサ１０は第１の蒸着容器１２から放出される第１の蒸着材料の蒸着速度を測定するためのものであり、第２の蒸着レートセンサ２０は第２の蒸着容器２２から放出される第２の蒸着材料の蒸着速度を測定するためのものである。第１の蒸着レートセンサ１０は第１の蒸着容器１２と離れて第１の開口部１３と対向する位置に配置されており、第２の蒸着レートセンサ２０は第２の蒸着容器２２と離れて第２の開口部２３と対向する位置に配置されている。
【００４２】
上記の筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とは、筒状体１の延在する方向ＵＤ（筒状体１の仮想の軸線Ａ−Ａ方向）に沿って互いに相対的に移動可能なように構成されている。つまり筒状体ホルダ２に対して第１および第２の蒸着容器１２、２２が筒状体１の延在する方向に沿って移動可能に、または第１および第２の蒸着容器１２、２２に対して筒状体ホルダ２が筒状体１の延在する方向に沿って移動可能に、または筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２との双方が筒状体１の延在する方向に沿って移動可能に構成されている。これにより第１および第２の蒸着容器１２、２２を、筒状体ホルダ２に保持された筒状体１の内部に挿入、抜き出し可能であり、また筒状体１の内部で筒状体１の延在する方向に沿って移動可能である。
【００４３】
筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とは、筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として互いに相対的に回転可能なように構成されている。つまり筒状体ホルダ２に対して第１および第２の蒸着容器１２、２２が軸線Ａ−Ａを中心として回転可能に、または第１および第２の蒸着容器１２、２２に対して筒状体ホルダ２が軸線Ａ−Ａを中心として回転可能に、または筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２との双方が軸線Ａ−Ａを中心として回転可能に構成されている。
【００４４】
本実施の形態では上述したように、たとえば回転子３により筒状体ホルダ２が第１および第２の蒸着容器１２、２２に対して図中時計回りＲ１または半時計回りＲ２のいずれかに回転可能である。
【００４５】
次に、第１および第２の開口部１３、２３の位置および形状について図１〜図６を用いて説明する。
【００４６】
図１および図２を参照して、第１の開口部１３は、第１の蒸着容器１２に対して第２の蒸着容器２２が配置された側とは反対側に配置されている。同様に、第２の開口部２３は、第２の蒸着容器２２に対して第１の蒸着容器１２が配置された側とは反対側に配置されている。このように、第１および第２の開口部１３、２３を配置することにより、第１の蒸着材料１１が第２の蒸着容器２２に付着することを抑制することができる。同様に、第２の蒸着材料２１が第１の蒸着容器１２に付着することを抑制することができる。
【００４７】
第１および第２の開口部１３、２３の大きさや形状は、共蒸着膜を形成するために用いるホスト材料やドーパント材料の種類により選択することが可能である。たとえば第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度が比較的速い場合には、図３および図４（Ａ）、（Ｂ）を参照して、第１および第２の開口部１３、２３の各々は、筒状体１の延在する方向と直交する方向に細長く延びたスリット形状を有していることが好ましい。具体的には、第１の蒸着容器１２が円筒形状を有する場合には、第１の開口部１３は、第１の蒸着容器１２の円周方向に沿って細長く延びたスリット形状を有していることが好ましい。同様に、第２の蒸着容器２２が円筒形状を有する場合には、第２の開口部２３は、第２の蒸着容器２２の円周方向に沿って細長く延びたスリット形状を有していることが好ましい。
【００４８】
また、図２および図３に示すように、第１の開口部１３は、第１の蒸着容器１２に対して第２の蒸着容器２２が配置された側とは正反対側において円周方向に１８０°の範囲で形成されていることが好ましい。これにより、第１の蒸着材料１１を蒸発させた際に、第１の蒸着材料１１が第２の蒸着容器２２に付着することを防止できるとともに、第１の開口部１３を広く確保できるため第１の開口部１３が蒸発した第１の蒸着材料１１の付着により詰まることが抑制される。
【００４９】
また第２の開口部２３は、第２の蒸着容器２２に対して第１の蒸着容器１２が配置された側とは正反対側において円周方向に１８０°の範囲で形成されていることが好ましい。これにより上記と同様、第２の蒸着材料２１を蒸発させた際に、第２の蒸着材料２１が第１の蒸着容器１２に付着することを防止できるとともに、第２の開口部２３において詰まることが抑制される。
【００５０】
また、たとえば第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度が比較的遅い場合には、図５（Ａ）、（Ｂ）を参照して、第１および第２の開口部１３、２３の各々は、円周方向に沿って配置された複数個の貫通孔から構成されていてもよい。この複数の貫通孔はたとえば５〜６個の丸形状であってもよい。ただし、円周方向に沿って配置される貫通孔の個数はこれに限定されるものではなく、１個以上であればよい。また複数の貫通孔の形状は丸（円）形状に限定されるものではなく、四角、三角などの多角形状や、それ以外の任意の形状であってもよい。
【００５１】
また、たとえば第１および第２の開口部１３、２３の一方が上記のスリット形状で他方が複数の貫通孔からなる形状であってもよい。これにより蒸着速度が第１および第２の蒸着材料１１、２１で異なる場合にも対応することができる。
【００５２】
次に、本実施の形態に係る成膜装置の検知・制御装置３０Ｃの構成について図６を用いて説明する。本実施の形態に係る成膜装置に用いられる検知・制御装置３０Ｃは、ヒータ出力を制御するためのものであり、第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０と、第１および第２の蒸着レートモニタ１４、２４と、制御部１５、２５と、第１および第２の温度測定子１８、２８と、第１および第２のヒータ１９、２９とを有している。
【００５３】
第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０のそれぞれは、上述したように第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を検出できるように配置されている。第１の蒸着レートモニタ１４は第１の蒸着レートセンサ１０に接続されており、第１の蒸着レートセンサ１０により測定された蒸着レートを信号変換処理した後に表示できるように構成されている。また第２の蒸着レートモニタ２４は第２の蒸着レートセンサ２０に接続されており、第２の蒸着レートセンサ２０により測定された蒸着レートを信号変換処理した後に表示できるように構成されている。これにより、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を目視により確認することができる。
【００５４】
第１のヒータ１９は、第１の蒸着容器１２の内部空間１２ａに充填された第１の蒸着材料１１を加熱できるように配置されている。また第２のヒータ２９は、第２の蒸着容器２２の内部空間２２ａに充填された第２の蒸着材料２１を加熱できるように配置されている。これにより、第１および第２の蒸着材料１１、２１を個別に加熱することができる。
【００５５】
第１の温度測定子１８は第１の蒸着容器１２の温度を測定できるように配置されており、第２の温度測定子２８は第２の蒸着容器２２の温度を測定できるように配置されている。これにより、第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度を個別に測定することができる。
【００５６】
制御部１５、２５は、第１の蒸着レートセンサ１０により測定された蒸着速度の情報に基づいて第１のヒータ１９の出力を制御し、かつ第２の蒸着レートセンサ２０により制御された蒸着速度の情報に基づいて第２のヒータ２９の出力を制御するよう構成されている。具体的には制御部１５、２５は、第１の蒸着レートセンサ１０により測定された蒸着速度の情報に基づいて第１のヒータ１９の出力を制御するための制御部１５と、第２の蒸着レートセンサ２０により制御された蒸着速度の情報に基づいて第２のヒータ２９の出力を制御する制御部２５とを有している。
【００５７】
制御部１５は、第１の蒸着レート調整器１５Ａと、第１の蒸着容器温度調整器１５Ｂと、第１のヒータ出力調整器１５Ｃとを有している。第１の蒸着レート調整器１５Ａは、第１の蒸着レートセンサ１０により測定された蒸着速度を判定するためのものである。第１の蒸着容器温度調整器１５Ｂは、第１の温度測定子１８により測定された第１の蒸着容器１２の温度を判定するためのものである。第１のヒータ出力調整器１５Ｃは、第１の蒸着レート調整器１５Ａによる判定または第１の蒸着容器温度調整器１５Ｂによる判定に基づいて第１のヒータ１９の出力を制御するためのものである。
【００５８】
制御部２５は、第２の蒸着レート調整器２５Ａと、第２の蒸着容器温度調整器２５Ｂと、第２のヒータ出力調整器２５Ｃとを有している。第２の蒸着レート調整器２５Ａは、第２の蒸着レートセンサ２０により測定された蒸着速度を判定するためのものである。第２の蒸着容器温度調整器２５Ｂは、第２の温度測定子２８により測定された第２の蒸着容器２２の温度を判定するためのものである。第２のヒータ出力調整器２５Ｃは、第２の蒸着レート調整器２５Ａによる判定または第２の蒸着容器温度調整器２５Ｂによる判定に基づいて第２のヒータ２９の出力を制御するためのものである。
【００５９】
上記の検知・制御装置３０Ｃによれば、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度の情報に基づいて、または第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度に基づいて、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を個別に制御することができる。その結果、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を個別に制御することができる。
【００６０】
次に、上記の検知・制御装置３０Ｃを用いた制御方法（制御フロー）について図６および図７を用いて説明する。
【００６１】
図６および図７を参照して、第１および第２の蒸着材料１１、２１が加熱されて蒸発を開始する。この状態で蒸着速度の制御が開始される（ステップＳ１）。この蒸着速度の制御においては、まず制御方法の選択が実施される（ステップＳ２）。上記の通り、制御方法としては、蒸着速度の情報に基づく制御、温度の情報に基づく制御およびヒータの出力を一定に保持する制御を選択することができる。
【００６２】
最初に、蒸着速度の情報に基づく制御方法について説明する。まず、第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０により蒸着速度が測定され、レート読込みが実施される（ステップＳ４１）。これにより、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度の情報が得られる。次に、得られた第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度の情報は信号変換され（ステップＳ４２）、第１および第２の蒸着レート調整器１５Ａ、２５Ａに入力される。次に、第１および第２の蒸着レート調整器１５Ａ、２５Ａにて、入力された蒸着速度の信号に基づいて、第１および第２のヒータ１９、２９の出力の制御が必要であるか否かについての判定が下される（ステップＳ４３）。次に、第１および第２の蒸着レート調整器１５Ａ、２５Ａの判定の情報が、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃに入力され、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃの各々でヒータ出力の調整が行われる（ステップＳ４４）。そして、第１および第２の蒸着レート調整器１５Ａ、２５Ａの判定に基づき、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃにより第１および第２のヒータ１９、２９の出力が制御される（ステップＳ４５）。最後に、制御を終了するか否かについての選択が実施される（ステップＳ４６）。制御を終了しない場合は、再び制御の選択が実施される（ステップＳ２）。制御を終了する場合は、その選択をもって制御は終了する（ステップＳ６）。
【００６３】
次に温度の情報に基づく制御方法について説明する。まず、第１および第２の温度測定子１８、２８により、第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度が測定され、その測定された温度の読込みが実施される（ステップＳ５１）。次に、読込まれた温度の情報が、第１および第２の蒸着容器温度調整器１５Ｂ、２５Ｂに入力される。次に、入力された温度の情報に基づいて、第１および第２の蒸着容器温度調整器１５Ｂ、２５Ｂにより、第１および第２のヒータ１９、２９の出力の制御が必要であるか否かについて判定が下される（ステップＳ５２）。次に、第１および第２の蒸着容器温度調整器１５Ｂ、２５Ｂの判定の情報が、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃに入力され、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃの各々でヒータ出力の調整が行われる（ステップＳ５３）。次に、第１および第２の蒸着容器温度調整器１５Ｂ、２５Ｂの判定に基づき、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃおよび２５Ｃにより第１および第２のヒータ１９、２９の出力が制御される（ステップＳ５４）。最後に、制御を終了するか否かについての選択が実施される（ステップＳ５５）。制御を終了しない場合は、再び制御の選択が実施される（ステップＳ２）。制御を終了する場合には、その選択をもって制御は終了する（ステップＳ６）。
【００６４】
最後に、ヒータ出力による制御方法について説明する。この制御方法においては、第１および第２のヒータ１９、２９の出力は、蒸着速度や温度などの外乱因子に影響されることなく、常に一定に保持される。即ち、始めに、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃにより、第１および第２のヒータ１９、２９の出力が設定される（ステップＳ３１）。そして、制御の実行中においては、第１および第２のヒータ１９、２９の出力は常に設定された値に保持される（ステップＳ３２）。最後に、制御を終了するか否かについての選択が実施される（ステップＳ３３）。制御を終了しない場合は、再び制御の選択が実施される（ステップＳ２）。制御を終了する場合は、その選択をもって制御は終了する（ステップＳ６）。
【００６５】
以下、本実施の形態に係る成膜方法について説明する。
まず図１を参照して、被蒸着物および蒸着物を準備する工程が実施される。具体的には、蒸着物である第１の蒸着材料１１が第１の蒸着容器１２の内部空間に充填され、第２の蒸着材料２１が第２の蒸着容器２２の内部空間に充填される。次に、被蒸着物である筒状体１が筒状体ホルダ２に保持される。この状態で第１および第２の蒸着材料１１、２１の各々が加熱されることで、第１および第２の蒸着材料１１、２１の各々の蒸着速度が第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０により測定される。この後、第１および第２の蒸着容器１２、２２と筒状体ホルダ２とが筒状体１の延在する方向ＵＤ（筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａ）に互いに相対的に移動される。
【００６６】
次に、図８を参照して、上記の移動により、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入される。この工程は、筒状体１または第１および第２の蒸着容器１２、２２の少なくとも一方を、筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動させることにより実施される。この際、第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０は移動しない。
【００６７】
次に、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方を筒状体１の内部に挿入した状態で筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とを筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として互いに相対的に回転させながら、第１および第２の蒸着材料１１、２１を蒸発させることにより第１および第２の蒸着材料１１、２１を含む共蒸着膜が筒状体１の内周面に形成される。この工程では、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２の少なくとも一方を、筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として回転させながら、第１および第２のヒータ１９、２９により第１および第２の蒸着材料１１、２１が加熱される。その結果、蒸発した第１および第２の蒸着材料１１、２１が第１および第２の蒸着容器１２、２２より放出され、筒状体１の内周面に付着することにより共蒸着膜が形成される。
【００６８】
また、共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する際に、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とが筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動されてもよい。これにより、筒状体１の延在する方向においても、形成される共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【００６９】
筒状体１の内周面への共蒸着膜の成膜が完了した後は、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とが筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動されて、第１および第２の蒸着容器１２、２２が筒状体１の外部へ取り出される。
【００７０】
上記のようにして本実施の形態においては筒状体１の内周面に共蒸着膜が形成される。
本実施の形態によれば、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入された状態において、第１および第２の蒸着材料１１、２１を加熱する工程が実施される。その結果、筒状体１の内周面において、第１および第２の蒸着材料１１、２１よりなる共蒸着膜を形成することができる。また、共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する工程は、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とを筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させながら実施される。そのため、筒状体１の円周方向において、形成される共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【００７１】
また共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する際に、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とが筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動される。これにより、長い筒状体１においても、筒状体１の延在する方向において共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【００７２】
次に、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程において、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を制御する工程について説明する。上記の通り、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程においては、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の延在する方向に移動して筒状体１の内部に挿入された状態において、第１および第２の蒸着材料１１、２１を加熱する工程が実施される。これに対して、図８に示すように、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を測定するための第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０は、固定された状態で移動することができない。そのため、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程においては、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を測定することができず、蒸着速度の情報に基づいた制御を実施することができない。したがって、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程においては、他の制御方法として、たとえば第１および第２のヒータ１９、２９の出力を一定に保持する制御、または第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度の情報に基づく制御を選択する必要がある。
【００７３】
まず、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を一定に保持する制御方法について説明する。この制御方法では、共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する間において、第１の蒸着材料１１を加熱するための第１のヒータ１９の出力が、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入される直前の第１のヒータ１９の出力に保持される。同様に、第２の蒸着材料２１を加熱するための第２のヒータ２９の出力が、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入される直前の第２のヒータ２９の出力に保持される。
【００７４】
この制御方法によれば、第１および第２のヒータ１９、２９の出力は、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入される直前の出力に保持される。そのため、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程においても、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を制御することができる。
【００７５】
次に、第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度の情報に基づいた制御方法について説明する。この制御方法では、共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する間において、第１の蒸着容器１２の温度を第１の温度測定子１８により測定し、第１の温度測定子１８により測定された第１の蒸着容器１２の温度に基づいて第１のヒータ１９の出力を制御することで第１の蒸着材料１１の温度が一定に保持される。同様に、第２の蒸着容器２２の温度を第２の温度測定子２８により測定し、第２の温度測定子２８により測定された第２の蒸着容器２２の温度に基づいて第２のヒータ２９の出力を制御することで第２の蒸着材料２１の温度が一定に保持される。この制御方法によれば、第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度の情報に基づいて、第１および第２のヒータ１９、２９の出力が制御される。したがって、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程において、蒸着速度を測定することができない状態においても、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を制御することができる。
【００７６】
以下、本発明の実施の形態に係る成膜方法を用いて発光層３４を形成した有機ＥＬ発光装置７について説明する。始めに、有機ＥＬ発光装置７の全体の構造について説明する。図９（Ａ）、（Ｂ）および図１０を参照して、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ発光装置７は、筒状体１と、筒状体１の両端に固定された封止部４０と、電極５０、５１と、配線５２、５３と、乾燥剤４５、４６とを備えている。封止部４０は、封止部材４１、４２と、Ｏリング４３、４４とを有している。
【００７７】
筒状体１の筒状体１の延在する方向（図１０中のＬＤ方向）の両端側の領域は、陰極層３７が形成されていない領域であるショート防止用スペースＳＰとなっている。ショート防止用スペースＳＰが設けられていることにより、陰極層３７と透明陽極層３２とが筒状体１の筒状体１の延在する方向の両端側の領域において短絡することが防止されている。また、封止部４０は、筒状体１の内部空間を気密に防止している。これにより、透明陽極層３２と有機物層ＯＬと陰極層３７とを含む領域が気密に封止されている。気密に封止された筒状体１の内部には、不活性ガスＩＧとして、たとえば窒素ガスが封入されている。
【００７８】
図１０を参照して、筒状体１の内周面上には順に、保護層３１と、透明陽極層３２と、有機物層ＯＬと、陰極層３７とが形成されている。有機物層ＯＬは、正孔輸送層３３と、発光層３４と、電子輸送層３６とを含んでいる。保護層３１と、透明陽極層３２と、有機物層ＯＬと、陰極層３７とは、筒状体１の中心線（図１０中のＬＤ方向）から同心円状に配置されている。本実施の形態に係る成膜方法は、たとえば有機物層ＯＬ中の発光層３４の形成に用いられる。発光層３４は複数層形成されていてもよい。
【００７９】
保護層３１は、アルカリ金属イオンの移動を防止する機能を有している。よって、筒状体１の材質にソーダ石灰ガラスなどのアルカリ金属イオンを含む材質が用いられていても、筒状体１から透明陽極層３２へアルカリ金属イオンが移動することを防止することができる。透明陽極層３２は、透光性を有しており、且つ有機ＥＬ発光装置７の陽極としての機能を有している。透明陽極層３２は、導電性の酸化物層であり、たとえばＩＴＯにより形成されている。有機物層ＯＬの正孔輸送層３３は、たとえば下記の式に示す有機材料（α−ＮＰＤ）が用いられる。
【００８０】
【化１】
【００８１】
陰極層３７は、たとえばアルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）よりなっている。電子輸送層３６は、たとえば下記の式に示す有機材料（Ａｌｑ３、ＢＡｌｑ）が用いられる。
【００８２】
【化２】
【００８３】
【化３】
【００８４】
以下、本実施の形態に係る成膜方法による有機物層ＯＬの発光層３４の形成する工程について説明する。まず、内周面上に保護層３１、透明陽極層３２および正孔輸送層３３が形成された筒状体１を筒状体ホルダ２により保持する工程が実施される。次に、ホスト材料である第１の蒸着材料１１と、ドーパント材料である第２の蒸着材料１２とを、第１および第２の蒸着容器１２、２２の内部に充填する工程が実施される。第１の蒸着材料１１にはホスト材料として下記の式に示す、ＣＢＰ、ｍＣＰおよびＴＣＴＡのいずれかを、第２の蒸着材料２１にはドーパント材料として下記の式に示す、Ｉｒ（ｐｐｙ）３、Ｉｒ（ｐｉｑ）２ａｃａｃおよびＦＩｒｐｉｃのいずれかを選択することができる。
【００８５】
【化４】
【００８６】
【化５】
【００８７】
【化６】
【００８８】
【化７】
【００８９】
【化８】
【００９０】
【化９】
【００９１】
これらのホスト材料とドーパント材料との組み合わせは、発光輝度や発光寿命への効果を考慮して、任意に選択することができる。また、ドーパント材料のドープ濃度は、各ドーパント材料により異なっている。たとえば、Ｉｒ（ｐｐｙ）３のドープ濃度は１０％以下、Ｉｒ（ｐｉｑ）２ａｃａｃのドープ濃度は２％以下、ＦＩｒｐｉｃのドープ濃度は１５％以下程度である。
【００９２】
次に、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方を筒状体１の内部に挿入した状態で筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とを筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として互いに相対的に回転させながら、また、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とを筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動させながら、筒状体１の内周面において共蒸着膜を形成する工程が実施される。これにより、筒状体１の円周方向または延在する方向において、上記のホスト材料およびドーパント材料を含む共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性および上記のドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【００９３】
なお正孔輸送層３３および電子輸送層３６が共蒸着膜で形成される場合には、これらの正孔輸送層３３および電子輸送層３６が本実施の形態の共蒸着膜の成膜方法に形成されてもよい。
【００９４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明の成膜装置および成膜方法は、筒状体の内周面へ膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性が確保された共蒸着膜を形成する成膜装置および成膜方法において、特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００９６】
１ 筒状体、２ 筒状体ホルダ、３ 回転子、４ 蒸着源ホルダ、７ 有機ＥＬ発光装置、１０ 第１の蒸着レートセンサ、１１ 第１の蒸着材料、１１ａ，２１ａ 点線、１２ 第１の蒸着容器、１２ａ 内部空間、１３ 第１の開口部、１４ 第１の蒸着レートモニタ、１５ 制御部、１５Ａ 第１の蒸着レート調整器、１５Ｂ 第１の蒸着容器温度調整器、１５Ｃ 第１のヒータ出力調整器、１８ 第１の温度測定子、１９ 第１のヒータ、２０ 第２の蒸着レートセンサ、２１ 第２の蒸着材料、２２ａ 内部空間、２２ 第２の蒸着容器、２３ 第２の開口部、２４ 第２の蒸着レートモニタ、２５ 制御部、２５Ａ 第２の蒸着レート調整器、２５Ｂ 第２の蒸着容器温度調整器、２５Ｃ 第２のヒータ出力調整器、２８ 第２の温度測定子、２９ 第２のヒータ、３０ 成膜装置、３０Ａ 被蒸着側の装置、３０Ｂ 蒸着側の装置、３０Ｃ 検知・制御装置、３１ 保護層、３２ 透明陽極層、３３ 正孔輸送層、３４ 発光層、３６ 電子輸送層、３７ 陰極層、４０ 封止部、４１，４２ 封止部材、４３，４４ Ｏリング、４５，４６ 乾燥剤、５０，５１ 電極、５２，５３ 配線、ＯＬ 有機物層、ＳＰ ショート防止用スペース、ＩＧ 不活性ガス。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置および成膜方法に関するものであり、より特定的には、筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置および成膜方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子において、発光輝度および発光寿命の向上のために、正孔および電子移動度の高いホスト材料と共に、発光輝度を上昇させるためのドーパント材料を蒸着し、共蒸着膜を形成することは周知の技術である。しかし、共蒸着膜の形成においては、膜厚の均一性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保しなければ、輝度ムラを生じるという問題点がある。
【０００３】
平面状の基板に共蒸着膜を形成するための成膜装置および成膜方法は、たとえば特開２０００−６８０５５号公報（特許文献１）、特開２０００−２２３２６９号公報（特許文献２）、および特開２００２−３４８６５９号公報（特許文献３）に開示されている。
【０００４】
また、円筒管の内周面に単一の材料を蒸着するための成膜装置および成膜方法は、たとえば特開２００２−１７３７６４号公報（特許文献４）および特開２００２−１４２２５２号公報（特許文献５）に開示されている。しかし、これらの成膜装置および成膜方法においては、共蒸着膜の形成への適用について何ら開示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−６８０５５号公報
【特許文献２】特開２０００−２２３２６９号公報
【特許文献３】特開２００２−３４８６５９号公報
【特許文献４】特開２００２−１７３７６４号公報
【特許文献５】特開２００２−１４２２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の特許文献１〜３に記載の技術は、平面状の基板に共蒸着膜を形成するものであるため、円筒管のような筒状体の内周面に共蒸着膜を均一な膜厚および均一なドープ濃度で形成することができない。
【０００７】
上記の特許文献４および５には、共蒸着膜に関する記載はない。このため上記の特許文献４および５に記載の技術によれば、円筒管のような筒状体の内周面に共蒸着膜を均一な膜厚および均一なドープ濃度で形成することができない。
【０００８】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、筒状体の内周面に均一な膜厚で、かつ均一なドープ濃度で共蒸着膜を形成可能な成膜装置および成膜方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に従った成膜装置は、筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置である。この成膜装置は、筒状体を保持するための筒状体ホルダと、第１の蒸着材料を充填するための内部空間を有する第１の蒸着容器と、第２の蒸着材料を充填するための内部空間を有する第２の蒸着容器とを備えている。筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とは、筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動することができるように構成されている。筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とは、筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転することができるように構成されている。
【００１０】
本発明の成膜装置によれば、第１および第２の蒸着容器の各々の内部空間に第１および第２の蒸着材料を充填できるため、第１および第２の蒸着材料を含む共蒸着膜を筒状体の内周面に形成することができる。また筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを、筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させることができるため、第１および第２の蒸着容器を筒状体の外部から内部へ挿入し、かつ内部から外部へ抜き出すことができる。また筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを、筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させることができるため、その回転をさせながら筒状体の内周面に共蒸着膜を形成することができる。これにより、筒状体の内表面に均一な膜厚で、かつ均一なドープ濃度の共蒸着膜を形成することができる。
【００１１】
上記の成膜装置において、成膜装置の第１の蒸着容器には、第１の蒸着材料を第１の蒸着容器の内部空間から外部へ放出するための第１の開口部が形成されている。第２の蒸着容器には、第２の蒸着材料を第２の蒸着容器の内部空間から外部へ放出するための第２の開口部が形成されている。第１の開口部は、第１の蒸着容器に対して第２の蒸着容器が配置された側とは反対側に配置されている。第２の開口部は、第２の蒸着容器に対して第１の蒸着容器が配置された側とは反対側に配置されている。
【００１２】
このように第１の開口部が第１の蒸着容器に対して第２の蒸着容器とは反対側に配置されているため、第１の開口部から放出された第１の蒸着材料が第２の蒸着容器に付着しにくくなる。また第２の開口部が第２の蒸着容器に対して第１の蒸着容器とは反対側に配置されているため、第２の開口部から放出された第２の蒸着材料が第１の蒸着容器に付着しにくくなる。
【００１３】
上記の成膜装置において、第１および第２の開口部の各々は、筒状体の延在する方向と直交する方向に細長く延びたスリット形状を有している。
【００１４】
これにより、第１および第２の蒸着材料を蒸発させた際に、第１および第２の蒸着材料が第１および第２の開口部にて詰まることを抑制することができる。
【００１５】
上記の成膜装置は、第１の蒸着材料の蒸着速度を測定するための第１の蒸着レートセンサと、第２の蒸着材料の蒸着速度を測定するための第２の蒸着レートセンサとをさらに備えている。第１の蒸着レートセンサは、第１の開口部と対向する位置に配置されている。第２の蒸着レートセンサは、第２の開口部と対向する位置に配置されている。
【００１６】
これにより、第１および第２の蒸着材料の蒸着速度を第１および第２の蒸着レートセンサにより測定することができる。
【００１７】
上記の成膜装置は、第１のヒータと、第２のヒータと、制御部とをさらに備えている。第１のヒータは、第１の蒸着材料を加熱するためのものである。第２のヒータは、第２の蒸着材料を加熱するためのものである。制御部は、第１の蒸着レートセンサにより測定された蒸着速度の情報に基づいて第１のヒータの出力を制御し、かつ第２の蒸着レートセンサにより測定された蒸着速度の情報に基づいて第２のヒータの出力を制御するためのものである。
【００１８】
これにより、第１および第２の蒸着材料の各々の蒸着速度の情報に基づいて、第１および第２の蒸着材料の各々の加熱温度を制御することができる。
【００１９】
上記の成膜装置において、制御部は、第１の蒸着レート調整器と、第１のヒータ出力調整器と、第２の蒸着レート調整器と、第２のヒータ出力調整器とを含んでいる。第１の蒸着レート調整器は、第１の蒸着レートセンサにより測定された蒸着速度を判定するためのものである。第１のヒータ出力調整器は、第１の蒸着レート調整器による判定に基づいて第１のヒータの出力を制御するためのものである。第２の蒸着レート調整器は、第２の蒸着レートセンサにより測定された蒸着速度を判定するためのものである。第２のヒータ出力調整器は、第２の蒸着レート調整器による判定に基づいて第２のヒータの出力を制御するためのものである。。
【００２０】
これにより、第１および第２の蒸着材料の加熱を、それぞれ個別に制御することができる。
【００２１】
上記の成膜装置は、第１の蒸着容器の温度を測定するための第１の温度測定子と、第２の蒸着容器の温度を測定するための第２の温度測定子とをさらに備えている。制御部は、第１の温度測定子により測定された第１の蒸着容器の温度を判定するための第１の蒸着容器温度調整器と、第２の温度測定子により測定された第２の蒸着容器の温度を判定するための第２の蒸着容器温度調整器とをさらに含んでいる。第１のヒータ出力調整器は、第１の蒸着容器温度調整器による判定に基づいて第１のヒータの出力を制御可能に構成されている。第２のヒータ出力調整器は、第２の蒸着容器温度調整器による判定に基づいて第２のヒータの出力を制御可能に構成されている。
【００２２】
これにより、第１および第２の蒸着容器の温度の情報に基づいて、第１および第２の蒸着材料の加熱を制御することができる。
【００２３】
本発明に従った成膜方法は、筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜方法であって以下の工程を備えている。
【００２４】
筒状体が筒状体ホルダに保持される。第１の蒸着材料が第１の蒸着容器の内部に充填され、第２の蒸着材料が第２の蒸着容器の内部に充填される。筒状体を保持した筒状体ホルダと第１および第２の蒸着材料のそれぞれが内部に充填された第１および第２の蒸着容器とを筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させることによって、第１および第２の蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入される。第１および第２の蒸着容器の双方を筒状体の内部に挿入した状態で筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させながら、第１および第２の蒸着材料を蒸発させて第１および第２の蒸着材料を含む共蒸着膜が筒状体の内周面に形成される。
【００２５】
本発明の成膜方法によれば、第１および第２の蒸着容器の各々の内部空間に第１および第２の蒸着材料を充填できるため、第１および第２の蒸着材料を含む共蒸着膜を筒状体の内周面に形成することができる。また筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを、筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させることができるため、第１および第２の蒸着容器を筒状体の外部から内部へ挿入し、かつ内部から外部へ抜き出すことができる。また、筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを、筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させることができるため、その回転をさせながら筒状体の内周面に共蒸着膜を形成することができる。これにより、筒状体の内周面に均一な膜厚で、かつ均一なドープ濃度の共蒸着膜を形成することができる。
【００２６】
上記の成膜方法において、共蒸着膜を筒状体の内周面に形成する工程は、筒状体ホルダと第１および第２の蒸着容器とを筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させて実施される。
【００２７】
これにより、長い筒状体であっても、膜厚の均一性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保しつつ共蒸着膜を形成することができる。
【００２８】
上記の成膜方法においては、共蒸着膜を筒状体の内周面に形成する間において、第１の蒸着材料を加熱するための第１のヒータの出力が、第１および第２の蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入される直前の第１のヒータの出力に保持され、かつ第２の蒸着材料を加熱するための第２のヒータの出力が、第１および第２の蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入される直前の第２のヒータの出力に保持される。
【００２９】
これにより、蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入され、第１および第２の蒸着材料の各々の蒸着速度を測定できない状態においても、第１および第２のヒータの出力を保持することにより第１および第２の蒸着材料の加熱を制御することができる。
【００３０】
上記の成膜方法においては、共蒸着膜を筒状体の内周面に形成する間において、第１の蒸着容器の温度を第１の温度測定子により測定し、第１の温度測定子により測定された第１の蒸着容器の温度に基づいて第１のヒータの出力を制御することで第１の蒸着材料の温度が一定に保持され、かつ第２の蒸着容器の温度を第２の温度測定子により測定し、第２の温度測定子により測定された第２の蒸着容器の温度に基づいて第２のヒータの出力を制御することで第２の蒸着材料の温度が一定に保持される。
【００３１】
これにより、蒸着容器の双方が筒状体の内部に挿入され、第１および第２の蒸着材料の各々の蒸着速度を測定できない状態においても、第１および第２の蒸着容器の温度情報に基づいて第１および第２の蒸着材料の加熱を制御することができる。
【発明の効果】
【００３２】
以上の説明から明らかなように、本発明の成膜装置および成膜方法によれば、筒状体の内周面への共蒸着膜の形成において、共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施の形態における成膜装置の構成を示す模式図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う概略断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態における成膜装置の蒸着容器に形成される開口部の形状を説明するための蒸着容器の概略断面図である。
【図４】本発明の一実施の形態における成膜装置の蒸着容器に形成された開口部の形状の一例を説明するための蒸着容器の構成を示す概略正面図（Ａ）と、概略側面図（Ｂ）である。
【図５】本発明の一実施の形態における成膜装置の蒸着容器に形成された開口部の形状の他の例を説明するための蒸着容器の構成を示す概略正面図（Ａ）と、概略側面図（Ｂ）である。
【図６】本発明の一実施の形態における成膜装置の機能ブロック図である。
【図７】本発明の一実施の形態における成膜装置の制御フローを示すフロー図である。
【図８】本発明の一実施の形態における成膜方法の成膜時の様子を示す模式図である。
【図９】本発明の一実施の形態における成膜方法を用いて製造された有機ＥＬ発光装置の一例を示す概略上面図（Ａ）と、概略側面図（Ｂ）である。
【図１０】図９（Ｂ）のＸ−Ｘ線に沿う有機ＥＬ発光装置の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００３５】
最初に、本発明の一実施の形態に係る成膜装置の構成について図１〜図６を用いて説明する。
【００３６】
図１を参照して、本発明の一実施の形態に係る成膜装置３０は、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置であって、被蒸着側の装置３０Ａと、蒸着側の装置３０Ｂと、検知・制御装置３０Ｃとを主に有している。
【００３７】
被蒸着側の装置３０Ａは、筒状体ホルダ２と、回転子３とを主に有している。筒状体ホルダ２は、たとえば筒状体１の外周端縁を保持することにより筒状体１を吊り下げて保持することができるよう構成されている。回転子３は、筒状体ホルダ２に接続されており、かつ筒状体１の延在する方向ＵＤの仮想の軸線Ａ−Ａを中心にして筒状体ホルダ２を回転できるように構成されている。なお筒状体１は、たとえばガラスよりなっている。また、筒状体１の内周面には透明導電膜などが形成されていてもよい。透明導電膜としては、たとえばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などを用いることができる。
【００３８】
蒸着側の装置３０Ｂは、蒸着源ホルダ４と、第１の蒸着容器１２と、第２の蒸着容器２２とを主に有している。第１の蒸着容器１２は、共蒸着膜を形成する材料である第１の蒸着材料を充填するための内部空間を有している。また第２の蒸着容器２２は、共蒸着膜を形成する材料である第２の蒸着材料を充填するための内部空間を有している。第１および第２の蒸着材料は、それぞれ共蒸着膜を形成するためのホスト材料およびドーパント材料に対応する。蒸着源ホルダ４は、第１の蒸着容器１２および第２の蒸着容器２２のそれぞれを保持している。
【００３９】
第１の蒸着容器１２には、第１の蒸着材料を第１の蒸着容器１２の内部空間から外部へ放出するための第１の開口部１３が形成されている。同様に、第２の蒸着容器２２には、第２の蒸着材料を第２の蒸着容器２２の内部空間から外部へ放出するための第２の開口部２３が形成されている。
【００４０】
これにより第１の蒸着容器１２の内部空間で蒸発した第１の蒸着材料は点線１１ａで示すように第１の開口部１３から第１の蒸着容器１２の外部へ放出され得る。また第２の蒸着容器２２の内部空間で蒸発した第２の蒸着材料は点線２１ａで示すように第２の開口部２３から第２の蒸着容器２２の外部へ放出され得る。
【００４１】
検知・制御装置３０Ｃは、たとえば第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０などを含んでいる。第１の蒸着レートセンサ１０は第１の蒸着容器１２から放出される第１の蒸着材料の蒸着速度を測定するためのものであり、第２の蒸着レートセンサ２０は第２の蒸着容器２２から放出される第２の蒸着材料の蒸着速度を測定するためのものである。第１の蒸着レートセンサ１０は第１の蒸着容器１２と離れて第１の開口部１３と対向する位置に配置されており、第２の蒸着レートセンサ２０は第２の蒸着容器２２と離れて第２の開口部２３と対向する位置に配置されている。
【００４２】
上記の筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とは、筒状体１の延在する方向ＵＤ（筒状体１の仮想の軸線Ａ−Ａ方向）に沿って互いに相対的に移動可能なように構成されている。つまり筒状体ホルダ２に対して第１および第２の蒸着容器１２、２２が筒状体１の延在する方向に沿って移動可能に、または第１および第２の蒸着容器１２、２２に対して筒状体ホルダ２が筒状体１の延在する方向に沿って移動可能に、または筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２との双方が筒状体１の延在する方向に沿って移動可能に構成されている。これにより第１および第２の蒸着容器１２、２２を、筒状体ホルダ２に保持された筒状体１の内部に挿入、抜き出し可能であり、また筒状体１の内部で筒状体１の延在する方向に沿って移動可能である。
【００４３】
筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とは、筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として互いに相対的に回転可能なように構成されている。つまり筒状体ホルダ２に対して第１および第２の蒸着容器１２、２２が軸線Ａ−Ａを中心として回転可能に、または第１および第２の蒸着容器１２、２２に対して筒状体ホルダ２が軸線Ａ−Ａを中心として回転可能に、または筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２との双方が軸線Ａ−Ａを中心として回転可能に構成されている。
【００４４】
本実施の形態では上述したように、たとえば回転子３により筒状体ホルダ２が第１および第２の蒸着容器１２、２２に対して図中時計回りＲ１または半時計回りＲ２のいずれかに回転可能である。
【００４５】
次に、第１および第２の開口部１３、２３の位置および形状について図１〜図６を用いて説明する。
【００４６】
図１および図２を参照して、第１の開口部１３は、第１の蒸着容器１２に対して第２の蒸着容器２２が配置された側とは反対側に配置されている。同様に、第２の開口部２３は、第２の蒸着容器２２に対して第１の蒸着容器１２が配置された側とは反対側に配置されている。このように、第１および第２の開口部１３、２３を配置することにより、第１の蒸着材料１１が第２の蒸着容器２２に付着することを抑制することができる。同様に、第２の蒸着材料２１が第１の蒸着容器１２に付着することを抑制することができる。
【００４７】
第１および第２の開口部１３、２３の大きさや形状は、共蒸着膜を形成するために用いるホスト材料やドーパント材料の種類により選択することが可能である。たとえば第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度が比較的速い場合には、図３および図４（Ａ）、（Ｂ）を参照して、第１および第２の開口部１３、２３の各々は、筒状体１の延在する方向と直交する方向に細長く延びたスリット形状を有していることが好ましい。具体的には、第１の蒸着容器１２が円筒形状を有する場合には、第１の開口部１３は、第１の蒸着容器１２の円周方向に沿って細長く延びたスリット形状を有していることが好ましい。同様に、第２の蒸着容器２２が円筒形状を有する場合には、第２の開口部２３は、第２の蒸着容器２２の円周方向に沿って細長く延びたスリット形状を有していることが好ましい。
【００４８】
また、図２および図３に示すように、第１の開口部１３は、第１の蒸着容器１２に対して第２の蒸着容器２２が配置された側とは正反対側において円周方向に１８０°の範囲で形成されていることが好ましい。これにより、第１の蒸着材料１１を蒸発させた際に、第１の蒸着材料１１が第２の蒸着容器２２に付着することを防止できるとともに、第１の開口部１３を広く確保できるため第１の開口部１３が蒸発した第１の蒸着材料１１の付着により詰まることが抑制される。
【００４９】
また第２の開口部２３は、第２の蒸着容器２２に対して第１の蒸着容器１２が配置された側とは正反対側において円周方向に１８０°の範囲で形成されていることが好ましい。これにより上記と同様、第２の蒸着材料２１を蒸発させた際に、第２の蒸着材料２１が第１の蒸着容器１２に付着することを防止できるとともに、第２の開口部２３において詰まることが抑制される。
【００５０】
また、たとえば第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度が比較的遅い場合には、図５（Ａ）、（Ｂ）を参照して、第１および第２の開口部１３、２３の各々は、円周方向に沿って配置された複数個の貫通孔から構成されていてもよい。この複数の貫通孔はたとえば５〜６個の丸形状であってもよい。ただし、円周方向に沿って配置される貫通孔の個数はこれに限定されるものではなく、１個以上であればよい。また複数の貫通孔の形状は丸（円）形状に限定されるものではなく、四角、三角などの多角形状や、それ以外の任意の形状であってもよい。
【００５１】
また、たとえば第１および第２の開口部１３、２３の一方が上記のスリット形状で他方が複数の貫通孔からなる形状であってもよい。これにより蒸着速度が第１および第２の蒸着材料１１、２１で異なる場合にも対応することができる。
【００５２】
次に、本実施の形態に係る成膜装置の検知・制御装置３０Ｃの構成について図６を用いて説明する。本実施の形態に係る成膜装置に用いられる検知・制御装置３０Ｃは、ヒータ出力を制御するためのものであり、第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０と、第１および第２の蒸着レートモニタ１４、２４と、制御部１５、２５と、第１および第２の温度測定子１８、２８と、第１および第２のヒータ１９、２９とを有している。
【００５３】
第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０のそれぞれは、上述したように第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を検出できるように配置されている。第１の蒸着レートモニタ１４は第１の蒸着レートセンサ１０に接続されており、第１の蒸着レートセンサ１０により測定された蒸着レートを信号変換処理した後に表示できるように構成されている。また第２の蒸着レートモニタ２４は第２の蒸着レートセンサ２０に接続されており、第２の蒸着レートセンサ２０により測定された蒸着レートを信号変換処理した後に表示できるように構成されている。これにより、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を目視により確認することができる。
【００５４】
第１のヒータ１９は、第１の蒸着容器１２の内部空間１２ａに充填された第１の蒸着材料１１を加熱できるように配置されている。また第２のヒータ２９は、第２の蒸着容器２２の内部空間２２ａに充填された第２の蒸着材料２１を加熱できるように配置されている。これにより、第１および第２の蒸着材料１１、２１を個別に加熱することができる。
【００５５】
第１の温度測定子１８は第１の蒸着容器１２の温度を測定できるように配置されており、第２の温度測定子２８は第２の蒸着容器２２の温度を測定できるように配置されている。これにより、第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度を個別に測定することができる。
【００５６】
制御部１５、２５は、第１の蒸着レートセンサ１０により測定された蒸着速度の情報に基づいて第１のヒータ１９の出力を制御し、かつ第２の蒸着レートセンサ２０により制御された蒸着速度の情報に基づいて第２のヒータ２９の出力を制御するよう構成されている。具体的には制御部１５、２５は、第１の蒸着レートセンサ１０により測定された蒸着速度の情報に基づいて第１のヒータ１９の出力を制御するための制御部１５と、第２の蒸着レートセンサ２０により制御された蒸着速度の情報に基づいて第２のヒータ２９の出力を制御する制御部２５とを有している。
【００５７】
制御部１５は、第１の蒸着レート調整器１５Ａと、第１の蒸着容器温度調整器１５Ｂと、第１のヒータ出力調整器１５Ｃとを有している。第１の蒸着レート調整器１５Ａは、第１の蒸着レートセンサ１０により測定された蒸着速度を判定するためのものである。第１の蒸着容器温度調整器１５Ｂは、第１の温度測定子１８により測定された第１の蒸着容器１２の温度を判定するためのものである。第１のヒータ出力調整器１５Ｃは、第１の蒸着レート調整器１５Ａによる判定または第１の蒸着容器温度調整器１５Ｂによる判定に基づいて第１のヒータ１９の出力を制御するためのものである。
【００５８】
制御部２５は、第２の蒸着レート調整器２５Ａと、第２の蒸着容器温度調整器２５Ｂと、第２のヒータ出力調整器２５Ｃとを有している。第２の蒸着レート調整器２５Ａは、第２の蒸着レートセンサ２０により測定された蒸着速度を判定するためのものである。第２の蒸着容器温度調整器２５Ｂは、第２の温度測定子２８により測定された第２の蒸着容器２２の温度を判定するためのものである。第２のヒータ出力調整器２５Ｃは、第２の蒸着レート調整器２５Ａによる判定または第２の蒸着容器温度調整器２５Ｂによる判定に基づいて第２のヒータ２９の出力を制御するためのものである。
【００５９】
上記の検知・制御装置３０Ｃによれば、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度の情報に基づいて、または第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度に基づいて、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を個別に制御することができる。その結果、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を個別に制御することができる。
【００６０】
次に、上記の検知・制御装置３０Ｃを用いた制御方法（制御フロー）について図６および図７を用いて説明する。
【００６１】
図６および図７を参照して、第１および第２の蒸着材料１１、２１が加熱されて蒸発を開始する。この状態で蒸着速度の制御が開始される（ステップＳ１）。この蒸着速度の制御においては、まず制御方法の選択が実施される（ステップＳ２）。上記の通り、制御方法としては、蒸着速度の情報に基づく制御、温度の情報に基づく制御およびヒータの出力を一定に保持する制御を選択することができる。
【００６２】
最初に、蒸着速度の情報に基づく制御方法について説明する。まず、第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０により蒸着速度が測定され、レート読込みが実施される（ステップＳ４１）。これにより、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度の情報が得られる。次に、得られた第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度の情報は信号変換され（ステップＳ４２）、第１および第２の蒸着レート調整器１５Ａ、２５Ａに入力される。次に、第１および第２の蒸着レート調整器１５Ａ、２５Ａにて、入力された蒸着速度の信号に基づいて、第１および第２のヒータ１９、２９の出力の制御が必要であるか否かについての判定が下される（ステップＳ４３）。次に、第１および第２の蒸着レート調整器１５Ａ、２５Ａの判定の情報が、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃに入力され、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃの各々でヒータ出力の調整が行われる（ステップＳ４４）。そして、第１および第２の蒸着レート調整器１５Ａ、２５Ａの判定に基づき、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃにより第１および第２のヒータ１９、２９の出力が制御される（ステップＳ４５）。最後に、制御を終了するか否かについての選択が実施される（ステップＳ４６）。制御を終了しない場合は、再び制御の選択が実施される（ステップＳ２）。制御を終了する場合は、その選択をもって制御は終了する（ステップＳ６）。
【００６３】
次に温度の情報に基づく制御方法について説明する。まず、第１および第２の温度測定子１８、２８により、第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度が測定され、その測定された温度の読込みが実施される（ステップＳ５１）。次に、読込まれた温度の情報が、第１および第２の蒸着容器温度調整器１５Ｂ、２５Ｂに入力される。次に、入力された温度の情報に基づいて、第１および第２の蒸着容器温度調整器１５Ｂ、２５Ｂにより、第１および第２のヒータ１９、２９の出力の制御が必要であるか否かについて判定が下される（ステップＳ５２）。次に、第１および第２の蒸着容器温度調整器１５Ｂ、２５Ｂの判定の情報が、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃに入力され、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃの各々でヒータ出力の調整が行われる（ステップＳ５３）。次に、第１および第２の蒸着容器温度調整器１５Ｂ、２５Ｂの判定に基づき、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃおよび２５Ｃにより第１および第２のヒータ１９、２９の出力が制御される（ステップＳ５４）。最後に、制御を終了するか否かについての選択が実施される（ステップＳ５５）。制御を終了しない場合は、再び制御の選択が実施される（ステップＳ２）。制御を終了する場合には、その選択をもって制御は終了する（ステップＳ６）。
【００６４】
最後に、ヒータ出力による制御方法について説明する。この制御方法においては、第１および第２のヒータ１９、２９の出力は、蒸着速度や温度などの外乱因子に影響されることなく、常に一定に保持される。即ち、始めに、第１および第２のヒータ出力調整器１５Ｃ、２５Ｃにより、第１および第２のヒータ１９、２９の出力が設定される（ステップＳ３１）。そして、制御の実行中においては、第１および第２のヒータ１９、２９の出力は常に設定された値に保持される（ステップＳ３２）。最後に、制御を終了するか否かについての選択が実施される（ステップＳ３３）。制御を終了しない場合は、再び制御の選択が実施される（ステップＳ２）。制御を終了する場合は、その選択をもって制御は終了する（ステップＳ６）。
【００６５】
以下、本実施の形態に係る成膜方法について説明する。
まず図１を参照して、被蒸着物および蒸着物を準備する工程が実施される。具体的には、蒸着物である第１の蒸着材料１１が第１の蒸着容器１２の内部空間に充填され、第２の蒸着材料２１が第２の蒸着容器２２の内部空間に充填される。次に、被蒸着物である筒状体１が筒状体ホルダ２に保持される。この状態で第１および第２の蒸着材料１１、２１の各々が加熱されることで、第１および第２の蒸着材料１１、２１の各々の蒸着速度が第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０により測定される。この後、第１および第２の蒸着容器１２、２２と筒状体ホルダ２とが筒状体１の延在する方向ＵＤ（筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａ）に互いに相対的に移動される。
【００６６】
次に、図８を参照して、上記の移動により、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入される。この工程は、筒状体１または第１および第２の蒸着容器１２、２２の少なくとも一方を、筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動させることにより実施される。この際、第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０は移動しない。
【００６７】
次に、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方を筒状体１の内部に挿入した状態で筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とを筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として互いに相対的に回転させながら、第１および第２の蒸着材料１１、２１を蒸発させることにより第１および第２の蒸着材料１１、２１を含む共蒸着膜が筒状体１の内周面に形成される。この工程では、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２の少なくとも一方を、筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として回転させながら、第１および第２のヒータ１９、２９により第１および第２の蒸着材料１１、２１が加熱される。その結果、蒸発した第１および第２の蒸着材料１１、２１が第１および第２の蒸着容器１２、２２より放出され、筒状体１の内周面に付着することにより共蒸着膜が形成される。
【００６８】
また、共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する際に、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とが筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動されてもよい。これにより、筒状体１の延在する方向においても、形成される共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【００６９】
筒状体１の内周面への共蒸着膜の成膜が完了した後は、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とが筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動されて、第１および第２の蒸着容器１２、２２が筒状体１の外部へ取り出される。
【００７０】
上記のようにして本実施の形態においては筒状体１の内周面に共蒸着膜が形成される。
本実施の形態によれば、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入された状態において、第１および第２の蒸着材料１１、２１を加熱する工程が実施される。その結果、筒状体１の内周面において、第１および第２の蒸着材料１１、２１よりなる共蒸着膜を形成することができる。また、共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する工程は、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とを筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させながら実施される。そのため、筒状体１の円周方向において、形成される共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【００７１】
また共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する際に、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とが筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動される。これにより、長い筒状体１においても、筒状体１の延在する方向において共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【００７２】
次に、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程において、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を制御する工程について説明する。上記の通り、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程においては、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の延在する方向に移動して筒状体１の内部に挿入された状態において、第１および第２の蒸着材料１１、２１を加熱する工程が実施される。これに対して、図８に示すように、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を測定するための第１および第２の蒸着レートセンサ１０、２０は、固定された状態で移動することができない。そのため、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程においては、第１および第２の蒸着材料１１、２１の蒸着速度を測定することができず、蒸着速度の情報に基づいた制御を実施することができない。したがって、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程においては、他の制御方法として、たとえば第１および第２のヒータ１９、２９の出力を一定に保持する制御、または第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度の情報に基づく制御を選択する必要がある。
【００７３】
まず、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を一定に保持する制御方法について説明する。この制御方法では、共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する間において、第１の蒸着材料１１を加熱するための第１のヒータ１９の出力が、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入される直前の第１のヒータ１９の出力に保持される。同様に、第２の蒸着材料２１を加熱するための第２のヒータ２９の出力が、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入される直前の第２のヒータ２９の出力に保持される。
【００７４】
この制御方法によれば、第１および第２のヒータ１９、２９の出力は、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方が筒状体１の内部に挿入される直前の出力に保持される。そのため、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程においても、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を制御することができる。
【００７５】
次に、第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度の情報に基づいた制御方法について説明する。この制御方法では、共蒸着膜を筒状体１の内周面に形成する間において、第１の蒸着容器１２の温度を第１の温度測定子１８により測定し、第１の温度測定子１８により測定された第１の蒸着容器１２の温度に基づいて第１のヒータ１９の出力を制御することで第１の蒸着材料１１の温度が一定に保持される。同様に、第２の蒸着容器２２の温度を第２の温度測定子２８により測定し、第２の温度測定子２８により測定された第２の蒸着容器２２の温度に基づいて第２のヒータ２９の出力を制御することで第２の蒸着材料２１の温度が一定に保持される。この制御方法によれば、第１および第２の蒸着容器１２、２２の温度の情報に基づいて、第１および第２のヒータ１９、２９の出力が制御される。したがって、筒状体１の内周面に共蒸着膜を形成する工程において、蒸着速度を測定することができない状態においても、第１および第２のヒータ１９、２９の出力を制御することができる。
【００７６】
以下、本発明の実施の形態に係る成膜方法を用いて発光層３４を形成した有機ＥＬ発光装置７について説明する。始めに、有機ＥＬ発光装置７の全体の構造について説明する。図９（Ａ）、（Ｂ）および図１０を参照して、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ発光装置７は、筒状体１と、筒状体１の両端に固定された封止部４０と、電極５０、５１と、配線５２、５３と、乾燥剤４５、４６とを備えている。封止部４０は、封止部材４１、４２と、Ｏリング４３、４４とを有している。
【００７７】
筒状体１の筒状体１の延在する方向（図１０中のＬＤ方向）の両端側の領域は、陰極層３７が形成されていない領域であるショート防止用スペースＳＰとなっている。ショート防止用スペースＳＰが設けられていることにより、陰極層３７と透明陽極層３２とが筒状体１の筒状体１の延在する方向の両端側の領域において短絡することが防止されている。また、封止部４０は、筒状体１の内部空間を気密に防止している。これにより、透明陽極層３２と有機物層ＯＬと陰極層３７とを含む領域が気密に封止されている。気密に封止された筒状体１の内部には、不活性ガスＩＧとして、たとえば窒素ガスが封入されている。
【００７８】
図１０を参照して、筒状体１の内周面上には順に、保護層３１と、透明陽極層３２と、有機物層ＯＬと、陰極層３７とが形成されている。有機物層ＯＬは、正孔輸送層３３と、発光層３４と、電子輸送層３６とを含んでいる。保護層３１と、透明陽極層３２と、有機物層ＯＬと、陰極層３７とは、筒状体１の中心線（図１０中のＬＤ方向）から同心円状に配置されている。本実施の形態に係る成膜方法は、たとえば有機物層ＯＬ中の発光層３４の形成に用いられる。発光層３４は複数層形成されていてもよい。
【００７９】
保護層３１は、アルカリ金属イオンの移動を防止する機能を有している。よって、筒状体１の材質にソーダ石灰ガラスなどのアルカリ金属イオンを含む材質が用いられていても、筒状体１から透明陽極層３２へアルカリ金属イオンが移動することを防止することができる。透明陽極層３２は、透光性を有しており、且つ有機ＥＬ発光装置７の陽極としての機能を有している。透明陽極層３２は、導電性の酸化物層であり、たとえばＩＴＯにより形成されている。有機物層ＯＬの正孔輸送層３３は、たとえば下記の式に示す有機材料（α−ＮＰＤ）が用いられる。
【００８０】
【化１】
【００８１】
陰極層３７は、たとえばアルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）よりなっている。電子輸送層３６は、たとえば下記の式に示す有機材料（Ａｌｑ３、ＢＡｌｑ）が用いられる。
【００８２】
【化２】
【００８３】
【化３】
【００８４】
以下、本実施の形態に係る成膜方法による有機物層ＯＬの発光層３４の形成する工程について説明する。まず、内周面上に保護層３１、透明陽極層３２および正孔輸送層３３が形成された筒状体１を筒状体ホルダ２により保持する工程が実施される。次に、ホスト材料である第１の蒸着材料１１と、ドーパント材料である第２の蒸着材料１２とを、第１および第２の蒸着容器１２、２２の内部に充填する工程が実施される。第１の蒸着材料１１にはホスト材料として下記の式に示す、ＣＢＰ、ｍＣＰおよびＴＣＴＡのいずれかを、第２の蒸着材料２１にはドーパント材料として下記の式に示す、Ｉｒ（ｐｐｙ）３、Ｉｒ（ｐｉｑ）２ａｃａｃおよびＦＩｒｐｉｃのいずれかを選択することができる。
【００８５】
【化４】
【００８６】
【化５】
【００８７】
【化６】
【００８８】
【化７】
【００８９】
【化８】
【００９０】
【化９】
【００９１】
これらのホスト材料とドーパント材料との組み合わせは、発光輝度や発光寿命への効果を考慮して、任意に選択することができる。また、ドーパント材料のドープ濃度は、各ドーパント材料により異なっている。たとえば、Ｉｒ（ｐｐｙ）３のドープ濃度は１０％以下、Ｉｒ（ｐｉｑ）２ａｃａｃのドープ濃度は２％以下、ＦＩｒｐｉｃのドープ濃度は１５％以下程度である。
【００９２】
次に、第１および第２の蒸着容器１２、２２の双方を筒状体１の内部に挿入した状態で筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とを筒状体１の延在する方向に延びる仮想の軸線Ａ−Ａを中心として互いに相対的に回転させながら、また、筒状体ホルダ２と第１および第２の蒸着容器１２、２２とを筒状体１の延在する方向に互いに相対的に移動させながら、筒状体１の内周面において共蒸着膜を形成する工程が実施される。これにより、筒状体１の円周方向または延在する方向において、上記のホスト材料およびドーパント材料を含む共蒸着膜の膜厚の均一性、再現性および上記のドーパント材料のドープ濃度の均一性を確保することができる。
【００９３】
なお正孔輸送層３３および電子輸送層３６が共蒸着膜で形成される場合には、これらの正孔輸送層３３および電子輸送層３６が本実施の形態の共蒸着膜の成膜方法に形成されてもよい。
【００９４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明の成膜装置および成膜方法は、筒状体の内周面へ膜厚の均一性、再現性およびドーパント材料のドープ濃度の均一性が確保された共蒸着膜を形成する成膜装置および成膜方法において、特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００９６】
１ 筒状体、２ 筒状体ホルダ、３ 回転子、４ 蒸着源ホルダ、７ 有機ＥＬ発光装置、１０ 第１の蒸着レートセンサ、１１ 第１の蒸着材料、１１ａ，２１ａ 点線、１２ 第１の蒸着容器、１２ａ 内部空間、１３ 第１の開口部、１４ 第１の蒸着レートモニタ、１５ 制御部、１５Ａ 第１の蒸着レート調整器、１５Ｂ 第１の蒸着容器温度調整器、１５Ｃ 第１のヒータ出力調整器、１８ 第１の温度測定子、１９ 第１のヒータ、２０ 第２の蒸着レートセンサ、２１ 第２の蒸着材料、２２ａ 内部空間、２２ 第２の蒸着容器、２３ 第２の開口部、２４ 第２の蒸着レートモニタ、２５ 制御部、２５Ａ 第２の蒸着レート調整器、２５Ｂ 第２の蒸着容器温度調整器、２５Ｃ 第２のヒータ出力調整器、２８ 第２の温度測定子、２９ 第２のヒータ、３０ 成膜装置、３０Ａ 被蒸着側の装置、３０Ｂ 蒸着側の装置、３０Ｃ 検知・制御装置、３１ 保護層、３２ 透明陽極層、３３ 正孔輸送層、３４ 発光層、３６ 電子輸送層、３７ 陰極層、４０ 封止部、４１，４２ 封止部材、４３，４４ Ｏリング、４５，４６ 乾燥剤、５０，５１ 電極、５２，５３ 配線、ＯＬ 有機物層、ＳＰ ショート防止用スペース、ＩＧ 不活性ガス。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置であって、
前記筒状体を保持するための筒状体ホルダと、
第１の蒸着材料を充填するための内部空間を有する第１の蒸着容器と、
第２の蒸着材料を充填するための内部空間を有する第２の蒸着容器とを備え、
前記筒状体ホルダと前記第１および第２の蒸着容器とは、前記筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動することができるように構成されており、
前記筒状体ホルダと前記第１および第２の蒸着容器とは、前記筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転することができるように構成されている、成膜装置。
【請求項２】
前記第１の蒸着容器には、前記第１の蒸着材料を前記第１の蒸着容器の前記内部空間から外部へ放出するための第１の開口部が形成されており、
前記第２の蒸着容器には、前記第２の蒸着材料を前記第２の蒸着容器の前記内部空間から外部へ放出するための第２の開口部が形成されており、
前記第１の開口部は、前記第１の蒸着容器に対して前記第２の蒸着容器が配置された側とは反対側に配置されており、
前記第２の開口部は、前記第２の蒸着容器に対して前記第１の蒸着容器が配置された側とは反対側に配置されている、請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記第１および第２の開口部の各々は、前記筒状体の延在する方向と直交する方向に細長く延びたスリット形状を有している、請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記第１の蒸着材料の蒸着速度を測定するための第１の蒸着レートセンサと、
前記第２の蒸着材料の蒸着速度を測定するための第２の蒸着レートセンサとをさらに備え、
前記第１の蒸着レートセンサは、前記第１の開口部と対向する位置に配置され、
前記第２の蒸着レートセンサは、前記第２の開口部と対向する位置に配置されている、請求項２または３に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記第１の蒸着材料を加熱するための第１のヒータと、
前記第２の蒸着材料を加熱するための第２のヒータと、
前記第１の蒸着レートセンサにより測定された前記蒸着速度の情報に基づいて前記第１のヒータの出力を制御し、かつ前記第２の蒸着レートセンサにより測定された前記蒸着速度の情報に基づいて前記第２のヒータの出力を制御するための制御部とをさらに備えた、請求項４に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記第１の蒸着レートセンサにより測定された前記蒸着速度を判定するための第１の蒸着レート調整器と、
前記第１の蒸着レート調整器による判定に基づいて前記第１のヒータの出力を制御するための第１のヒータ出力調整器と、
前記第２の蒸着レートセンサにより測定された前記蒸着速度を判定するための第２の蒸着レート調整器と、
前記第２の蒸着レート調整器による判定に基づいて前記第２のヒータの出力を制御するための第２のヒータ出力調整器とを含む、請求項５に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記第１の蒸着容器の温度を測定するための第１の温度測定子と、
前記第２の蒸着容器の温度を測定するための第２の温度測定子とをさらに備え、
前記制御部は、
前記第１の温度測定子により測定された前記第１の蒸着容器の前記温度を判定するための第１の蒸着容器温度調整器と、
前記第２の温度測定子により測定された前記第２の蒸着容器の前記温度を判定するための第２の蒸着容器温度調整器とをさらに含み、
前記第１のヒータ出力調整器は、前記第１の蒸着容器温度調整器による判定に基づいて前記第１のヒータの出力を制御可能に構成されており、かつ前記第２のヒータ出力調整器は、前記第２の蒸着容器温度調整器による判定に基づいて前記第２のヒータの出力を制御可能に構成されている、請求項６に記載の成膜装置。
【請求項８】
筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜方法であって、
前記筒状体を筒状体ホルダに保持する工程と、
第１の蒸着材料を第１の蒸着容器の内部に充填し、第２の蒸着材料を第２の蒸着容器の内部に充填する工程と、
前記筒状体を保持した前記筒状体ホルダと前記第１および第２の蒸着材料のそれぞれが内部に充填された前記第１および第２の蒸着容器とを前記筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させることによって、前記第１および第２の蒸着容器の双方を前記筒状体の内部に挿入する工程と、
前記第１および第２の蒸着容器の双方を前記筒状体の内部に挿入した状態で前記筒状体ホルダと前記第１および前記第２の蒸着容器とを前記筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させながら、前記第１および第２の蒸着材料を蒸発させて前記第１および第２の蒸着材料を含む前記共蒸着膜を前記筒状体の内周面に形成する工程とを備えた、成膜方法。
【請求項９】
前記共蒸着膜を前記筒状体の内周面に形成する工程は、前記筒状体ホルダと前記第１および第２の蒸着容器とを前記筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させて実施される、請求項８に記載の成膜方法。
【請求項１０】
前記共蒸着膜を前記筒状体の内周面に形成する間において、前記第１の蒸着材料を加熱するための第１のヒータの出力が、前記第１および第２の蒸着容器の双方が前記筒状体の内部に挿入される直前の前記第１のヒータの出力に保持され、かつ前記第２の蒸着材料を加熱するための第２のヒータの出力が、前記第１および第２の蒸着容器の双方が前記筒状体の内部に挿入される直前の前記第２のヒータの出力に保持される、請求項８または９に記載の成膜方法。
【請求項１１】
前記共蒸着膜を前記筒状体の内周面に形成する間において、前記第１の蒸着容器の温度を第１の温度測定子により測定し、前記第１の温度測定子により測定された前記第１の蒸着容器の温度に基づいて第１のヒータの出力を制御することで前記第１の蒸着材料の温度が一定に保持され、かつ前記第２の蒸着容器の温度を第２の温度測定子により測定し、前記第２の温度測定子により測定された前記第２の蒸着容器の温度に基づいて第２のヒータの出力を制御することで前記第２の蒸着材料の温度が一定に保持される、請求項８または９に記載の成膜方法。
【請求項１】
筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜装置であって、
前記筒状体を保持するための筒状体ホルダと、
第１の蒸着材料を充填するための内部空間を有する第１の蒸着容器と、
第２の蒸着材料を充填するための内部空間を有する第２の蒸着容器とを備え、
前記筒状体ホルダと前記第１および第２の蒸着容器とは、前記筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動することができるように構成されており、
前記筒状体ホルダと前記第１および第２の蒸着容器とは、前記筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転することができるように構成されている、成膜装置。
【請求項２】
前記第１の蒸着容器には、前記第１の蒸着材料を前記第１の蒸着容器の前記内部空間から外部へ放出するための第１の開口部が形成されており、
前記第２の蒸着容器には、前記第２の蒸着材料を前記第２の蒸着容器の前記内部空間から外部へ放出するための第２の開口部が形成されており、
前記第１の開口部は、前記第１の蒸着容器に対して前記第２の蒸着容器が配置された側とは反対側に配置されており、
前記第２の開口部は、前記第２の蒸着容器に対して前記第１の蒸着容器が配置された側とは反対側に配置されている、請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記第１および第２の開口部の各々は、前記筒状体の延在する方向と直交する方向に細長く延びたスリット形状を有している、請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記第１の蒸着材料の蒸着速度を測定するための第１の蒸着レートセンサと、
前記第２の蒸着材料の蒸着速度を測定するための第２の蒸着レートセンサとをさらに備え、
前記第１の蒸着レートセンサは、前記第１の開口部と対向する位置に配置され、
前記第２の蒸着レートセンサは、前記第２の開口部と対向する位置に配置されている、請求項２または３に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記第１の蒸着材料を加熱するための第１のヒータと、
前記第２の蒸着材料を加熱するための第２のヒータと、
前記第１の蒸着レートセンサにより測定された前記蒸着速度の情報に基づいて前記第１のヒータの出力を制御し、かつ前記第２の蒸着レートセンサにより測定された前記蒸着速度の情報に基づいて前記第２のヒータの出力を制御するための制御部とをさらに備えた、請求項４に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記第１の蒸着レートセンサにより測定された前記蒸着速度を判定するための第１の蒸着レート調整器と、
前記第１の蒸着レート調整器による判定に基づいて前記第１のヒータの出力を制御するための第１のヒータ出力調整器と、
前記第２の蒸着レートセンサにより測定された前記蒸着速度を判定するための第２の蒸着レート調整器と、
前記第２の蒸着レート調整器による判定に基づいて前記第２のヒータの出力を制御するための第２のヒータ出力調整器とを含む、請求項５に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記第１の蒸着容器の温度を測定するための第１の温度測定子と、
前記第２の蒸着容器の温度を測定するための第２の温度測定子とをさらに備え、
前記制御部は、
前記第１の温度測定子により測定された前記第１の蒸着容器の前記温度を判定するための第１の蒸着容器温度調整器と、
前記第２の温度測定子により測定された前記第２の蒸着容器の前記温度を判定するための第２の蒸着容器温度調整器とをさらに含み、
前記第１のヒータ出力調整器は、前記第１の蒸着容器温度調整器による判定に基づいて前記第１のヒータの出力を制御可能に構成されており、かつ前記第２のヒータ出力調整器は、前記第２の蒸着容器温度調整器による判定に基づいて前記第２のヒータの出力を制御可能に構成されている、請求項６に記載の成膜装置。
【請求項８】
筒状体の内周面に共蒸着膜を形成するための成膜方法であって、
前記筒状体を筒状体ホルダに保持する工程と、
第１の蒸着材料を第１の蒸着容器の内部に充填し、第２の蒸着材料を第２の蒸着容器の内部に充填する工程と、
前記筒状体を保持した前記筒状体ホルダと前記第１および第２の蒸着材料のそれぞれが内部に充填された前記第１および第２の蒸着容器とを前記筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させることによって、前記第１および第２の蒸着容器の双方を前記筒状体の内部に挿入する工程と、
前記第１および第２の蒸着容器の双方を前記筒状体の内部に挿入した状態で前記筒状体ホルダと前記第１および前記第２の蒸着容器とを前記筒状体の延在する方向に延びる仮想の軸線を中心として互いに相対的に回転させながら、前記第１および第２の蒸着材料を蒸発させて前記第１および第２の蒸着材料を含む前記共蒸着膜を前記筒状体の内周面に形成する工程とを備えた、成膜方法。
【請求項９】
前記共蒸着膜を前記筒状体の内周面に形成する工程は、前記筒状体ホルダと前記第１および第２の蒸着容器とを前記筒状体の延在する方向に互いに相対的に移動させて実施される、請求項８に記載の成膜方法。
【請求項１０】
前記共蒸着膜を前記筒状体の内周面に形成する間において、前記第１の蒸着材料を加熱するための第１のヒータの出力が、前記第１および第２の蒸着容器の双方が前記筒状体の内部に挿入される直前の前記第１のヒータの出力に保持され、かつ前記第２の蒸着材料を加熱するための第２のヒータの出力が、前記第１および第２の蒸着容器の双方が前記筒状体の内部に挿入される直前の前記第２のヒータの出力に保持される、請求項８または９に記載の成膜方法。
【請求項１１】
前記共蒸着膜を前記筒状体の内周面に形成する間において、前記第１の蒸着容器の温度を第１の温度測定子により測定し、前記第１の温度測定子により測定された前記第１の蒸着容器の温度に基づいて第１のヒータの出力を制御することで前記第１の蒸着材料の温度が一定に保持され、かつ前記第２の蒸着容器の温度を第２の温度測定子により測定し、前記第２の温度測定子により測定された前記第２の蒸着容器の温度に基づいて第２のヒータの出力を制御することで前記第２の蒸着材料の温度が一定に保持される、請求項８または９に記載の成膜方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１２−２２１５７９（Ｐ２０１２−２２１５７９Ａ）
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８２８１５（Ｐ２０１１−８２８１５）
【出願日】平成２３年４月４日（２０１１．４．４）
【特許番号】特許第４８１３６２５号（Ｐ４８１３６２５）
【特許公報発行日】平成２３年１１月９日（２０１１．１１．９）
【出願人】（５０８０１６６６４）フジテック・インターナショナル株式会社 (7)
【出願人】（５９９０４８６６１）有限会社マイクロシステム (9)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月４日（２０１１．４．４）
【特許番号】特許第４８１３６２５号（Ｐ４８１３６２５）
【特許公報発行日】平成２３年１１月９日（２０１１．１１．９）
【出願人】（５０８０１６６６４）フジテック・インターナショナル株式会社 (7)
【出願人】（５９９０４８６６１）有限会社マイクロシステム (9)
【Ｆターム（参考）】
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