装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ
【課題】制御対象の一部が変更されても各制御処理の見直しや情報構造を変更することなく、類似システムへの転用や流用が可能なウエハ搬送コントローラを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送コントローラ１は、共有メモリ２を中心に、オンラインホスト通信処理部３、搬送シーケンス処理部４、ＧＵＩ処理部５、キャリア制御処理部６、搬送ロボット制御処理部７、Ｉ／Ｏ制御処理部８、キャリアコマンド変換テーブル９、ロボットコマンド変換テーブル１０、ティーチングポイント変換テーブル１１、およびＩ／Ｏマップ変換テーブル１２を配置し、各処理部３〜８は互いに独立し、共有メモリ２とのみ情報の受け渡しができる構造とした。さらに、半導体製造装置の搬送部分をモデル化し、そのモデルに基づいて汎用的な情報およびその情報構造を共有メモリ２上に構築した。
【解決手段】ウエハ搬送コントローラ１は、共有メモリ２を中心に、オンラインホスト通信処理部３、搬送シーケンス処理部４、ＧＵＩ処理部５、キャリア制御処理部６、搬送ロボット制御処理部７、Ｉ／Ｏ制御処理部８、キャリアコマンド変換テーブル９、ロボットコマンド変換テーブル１０、ティーチングポイント変換テーブル１１、およびＩ／Ｏマップ変換テーブル１２を配置し、各処理部３〜８は互いに独立し、共有メモリ２とのみ情報の受け渡しができる構造とした。さらに、半導体製造装置の搬送部分をモデル化し、そのモデルに基づいて汎用的な情報およびその情報構造を共有メモリ２上に構築した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハを半導体製造装置内で移送制御するウエハ搬送コントローラに関し、特に共有メモリを中心に各制御処理を配置し、半導体製造装置の搬送部分をモデル化した装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のウエハ搬送コントローラは、搬送ロボットなどの搬送機器機器の構成に応じて制御プログラムが構築されている。
図６は、従来技術のウエハ搬送コントローラを示すブロック図である。
図６において、６１はウエハ搬送コントローラ、６２は上位処理装置、６３はオンラインホスト通信処理部、６４はＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ Ｕｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）処理部、６５は搬送シーケンス処理部、６６は搬送ロボット制御処理部、６７はＩ／Ｏ制御処理部、６８は搬送機器群である。
以下、図６を用いて従来技術のウエハ搬送コントローラの構成を説明する。
ウエハ搬送コントローラ６１は、その内部にオンラインホスト通信処理部６３、ＧＵＩ処理部６４、搬送シーケンス処理部６５、搬送ロボット制御処理部６６、およびＩ／Ｏ制御処理部６７を配置し、上位処理装置６２からの指令に基づいて、搬送機器群６８を制御している。各処理部６３、６４、６５、６６、６７は、半導体製造装置の搬送仕様に応じてそれぞれ構築されている。
各処理部間では搬送制御を行なうための情報の受け渡しが行なわれ、共有メモリを介して情報を伝達し、効率よく搬送制御ができる様に構築されている。また、共有メモリの取り扱い方法に関しては、プロセッサ間で排他処理を行ない、共有メモリの効率的な共有を実現するように考えられてきた（例えば、特許文献１参照）。
このように、従来のウエハ搬送コントローラは、効率よく情報処理が行なえるようになっている。
【特許文献１】特公平６−４２２３１号公報（第４−６頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の共有メモリを使ったウエハ搬送コントローラなどのシステムにおいては、効率的な制御処理および情報処理を主眼に機能分割、情報の流れ、および排他を実現しているため、制御対象の一部が変更された場合、各制御処理の見直しや情報構造の見直しを余儀なくされ、類似システムへの転用や流用が困難であるという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、制御対象の一部が変更されても各制御処理の見直しや情報構造を変更することなく類似システムへの転用や流用が可能な装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記問題を解決するため、請求項１に記載の発明は、ウエハを挿入して搬送するためのキャリアと、前記キャリアを制御するためのキャリアコントローラと、前記キャリアからプロセスチェンバ内の指定ポイントへウエハを搬送するためのウエハ搬送ロボットと、 前記ウエハ搬送ロボットを制御するためのロボットコントローラと、ウエハの移送に関連するＩ／Ｏ機器と、前記キャリアコントローラ、前記ロボットコントローラおよび前記Ｉ／Ｏ機器を統括制御するウエハ搬送コントローラと、を備えたウエハ搬送装置において、前記ウエハ搬送コントローラは、ウエハ搬送制御に関する情報を格納するための共有メモリと、上位装置と通信制御を行ない、前記共有メモリに搬送要求を記録するためのオンライン通信手段と、前記共有メモリに記録された前記搬送要求をトリガとし、ロボットコマンドおよびキャリアコマンドを、前記共有メモリに書き込んで具体的なシーケンスを実行するための搬送シーケンス処理手段と、前記共有メモリに記録された前記ウエハ搬送コントローラの状態をモニタ表示するための搬送状態表示手段と、前記共有メモリより前記キャリアコマンドを取得し、前記キャリアコントローラへ送信すると共に、前記キャリアコントローラからのイベント通知を前記共有メモリに記録するためのキャリア制御手段と、前記共有メモリより前記ロボットコマンドを取得して前記ロボットコントローラへ送信すると共に、前記ロボットコントローラからのイベント通知を前記共有メモリに記録するためのウエハ搬送ロボット制御手段と、前記共有メモリから前記Ｉ／Ｏ機器のＩ／Ｏ接点情報を読み取り、前記Ｉ／Ｏ接点の更新情報を反映するためのＩ／Ｏ制御手段と、を有し、前記オンラインホスト通信手段、前記搬送シーケンス処理手段、前記搬送状態表示手段、前記キャリア制御手段、前記ウエハ搬送ロボット制御手段、および前記Ｉ／Ｏ制御手段、は、互いに独立し前記共有メモリに対してのみアクセスできるものであることを特徴としている。
また請求項２に記載の発明は、前記共有メモリは、ウエハを搬送する装置構造や機器の特徴を抽出したウエハ搬送機器モデルを定義し、このモデルから想定される搬送位置情報、ロボットコマンドやキャリア制御コマンドなどの駆動指令情報、ウエハの状態情報、Ｉ／Ｏ機器およびウエハ搬送機器の状態情報を仮想情報として有していることを特徴としている。
また請求項３に記載の発明は、前記オンラインホスト通信手段、前記搬送シーケンス処理手段、前記搬送状態表示手段、前記キャリア制御手段、前記ウエハ搬送ロボット制御手段、および前記Ｉ／Ｏ制御手段は、前記共有メモリに定義された前記仮想情報を使って、ウエハ搬送のためのシーケンス処理や情報管理を行なうものであることを特徴としている。
また請求項４に記載の発明は、前記ウエハ搬送コントローラは、前記共有メモリに定義されたロボットコマンドの仮想情報を、実際のウエハ搬送ロボットに指令するロボットコマンドに変換するための、該ロボットコマンドの差異を予め設定したロボットコマンド変換テーブルを備えていることを特徴としている。
また請求項５に記載の発明は、前記ウエハ搬送コントローラは、前記共有メモリに定義されたキャリア制御コマンドの仮想情報を実際のキャリアコントローラに指令するキャリア制御コマンドに変換するための、該キャリア制御コマンドの差異を予め設定したキャリアコマンド変換テーブルを備えていることを特徴としている。
また請求項６に記載の発明は、前記ウエハ搬送コントローラは、前記共有メモリに定義されたＩ／Ｏ情報の配置を実際のＩ／Ｏ情報の配置に変換するための、該Ｉ／Ｏ情報の配置の差異を予め設定したＩ／Ｏマップ変換テーブルを備えていることを特徴としている。
また請求項７に記載の発明は、前記ウエハ搬送コントローラは、前記共有メモリに書き込まれた搬送位置を、実際にウエハ搬送ロボットが認識できる搬送位置にティーチングポイントを変換するための、該搬送位置の差異を予め設定したティーチングポイント変換テーブルを備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００５】
請求項１記載の発明によれば、共有メモリを中心に各制御処理を配置した構造とし、各制御処理は共有メモリのみに対して情報の受け渡しを行なうようにしているので、ウエハ搬送コントローラの各機能の独立性が向上し、機能の追加や変更が他処理に影響することなく容易に実現できる。
また請求項２記載の発明によれば、ウエハ搬送装置の構造をモデル化し、そのモデルに基づいて共有メモリ内の情報およびその構造を定義するようにしているので、搬送機器の種類あるいは、搬送する位置や順番が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
また請求項３記載の発明によれば、共有メモリに定義された前記仮想情報を使って、ウエハ搬送のためのシーケンス処理や情報管理を行なうようにしているので、搬送シーケンスの追加や変更が他処理に影響することなく容易に実現できる。
また請求項４の発明によれば、共有メモリ上に定義された仮想の情報と実際にロボットと通信を行なう際の情報の差異を吸収するようにしているので、ロボットコントローラの機種が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
また請求項５の発明によれば、共有メモリ上に定義される仮想の情報と実際にキャリアコントローラと通信を行なう際の情報の差異を吸収するようにしているので、キャリアコントローラの機種が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
また請求項６の発明によれば、共有メモリ上に定義されたＩ／Ｏ情報配置と実際のＩ／Ｏ情報配置との差異を吸収するようにしているので、Ｉ／Ｏ機器の種類あるいは機種が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
また請求項７の発明によれば、共有メモリ上に定義された仮想の搬送位置と実際の搬送位置の差異を吸収するようにしているので、搬送する位置が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
以上述べたように、本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラによれば、制御対象の一部が変更されても各制御処理の見直しや情報構造を変更することなく類似システムへの転用や流用が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の具体的実施例について、図に基づいて説明する。
【実施例１】
【０００７】
図１は、本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラを示すブロック図である。
図１において、１はウエハ搬送コントローラ、２は共有メモリ、３はオンラインホスト通信処理部、４は搬送シーケンス処理部、５はＧＵＩ処理部、６はキャリア制御処理部、７は搬送ロボット制御処理部、８はＩ／Ｏ制御処理部、９はキャリアコマンド変換テーブル、１０はロボットコマンド変換テーブル、１１はティーチングポイント変換テーブル、１２はＩ／Ｏマップ変換テーブル、１３はキャリアコントローラ、１４はキャリア、１５はロボットコントローラ、１６は搬送ロボット、１７はＩ／Ｏ接点、１８はＩ／Ｏ機器である。
従来技術と本発明の相違する点は以下のとおりである。
すなわち、従来技術のウエハ搬送コントローラでは、オンラインホスト通信処理部６３、搬送シーケンス処理部６５、ＧＵＩ処理部６４、搬送ロボット制御処理部６６、Ｉ／Ｏ制御処理部６７、の各処理部間で搬送制御を行なうための情報の受け渡しが行なわれているのに対し、本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ１は、オンラインホスト通信処理部３、搬送シーケンス処理部４、ＧＵＩ処理部５、キャリア制御処理部６、搬送ロボット制御処理部７、Ｉ／Ｏ制御処理部８を共有メモリ２の周辺に配置し、各処理部３〜８は互いに独立し、共有メモリ２とのみ情報の受け渡しができる構成としている点であり、さらに、本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ１は、外部に配置されＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｌｄ Ｐｏｄ）等のキャリア１４を制御するキャリアコントローラ１３、ロボットコントローラ１５、およびＩ／Ｏ接点１７、と通信を行なう際に、共有メモリ２に定義されている情報名、位置情報と実際に送受信する情報名、および位置情報、との差異を吸収するための、キャリアコマンド変換テーブル９と、ロボットコマンド変換テーブル１０と、ティーチングポイント変換テーブル１１と、Ｉ／Ｏマップ変換テーブル１２と、を備える構成としている点である。
【０００８】
以下、図１を用いて本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラの各処理部３〜８の機能について説明する。
オンラインホスト通信処理部３は、ウエハ搬送コントローラ１の上位に位置するコンピュータ（不図示）と通信制御を行ない、上位コンピュータから指示される指令の内容により、搬送要求を共有メモリ２に記録する。また、ウエハ搬送コントローラ１の状態を共有メモリ２から読込み、上位コンピュータへ通知する。
搬送シーケンス処理部４は、共有メモリ２に記録された搬送要求をトリガとし、具体的なシーケンスを実行する。この具体的なシーケンスを実行する際は、例えばロボットコントローラ１５にロボットコマンドを送信する前に、搬送ロボット１６自身の状態や搬送ロボット１６の周辺の状態をチェックし、全ての条件が成立した段階でロボットへのコマンド送信要求を共有メモリ２に書き込む。また、搬送ロボット１６自身の状態や搬送ロボット１６の周辺の状態は、予め他の処理により共有メモリ２に記録されているため、共有メモリ２からその情報を得る。
ＧＵＩ処理部５は、ウエハ搬送コントローラ１の状態をモニタ表示したり、マニュアル操作を行なったりする際のユーザインターフェースの役割をする。
キャリア制御処理部６は、キャリアカセット等が設置された装置（例えばロードポート）を制御するキャリアコントローラ１３へキャリアコマンドを送信する役割を受け持つ。搬送シーケンス処理部４により書き込まれたキャリアコマンドを共有メモリ２より取得し、キャリアコマンド変換テーブル９を使って実際に送信するキャリアコマンドに変換したのちにキャリアコントローラ１３に送信する。また、キャリアコントローラ１３からイベント通知があった場合は、その内容を解釈し、共有メモリ２に記録する。
搬送ロボット制御処理部７は、ロボットコントローラ１５へロボットコマンドを送信する役割を受け持つ。搬送シーケンス処理部４により書き込まれたロボットコマンドを共有メモリ２より取得し、ロボットコマンド変換テーブル１０を使って実際に送信するロボットコマンドに変換すると同時に、共有メモリ２に記録されていた搬送位置を実際に搬送ロボット１６が認識できる位置にティーチングポイント変換テーブル１１を使って変換した後に、ロボットコントローラ１５にコマンドを送信する。また、ロボットコントローラ１５からイベント通知があった場合は、その内容を解釈し、共有メモリ２に記録する。
Ｉ／Ｏ制御処理部８は、ウエハ搬送コントローラ１に設置されたＩ／Ｏ接点１７を更新したり、Ｉ／Ｏ接点１７が更新された場合にその更新内容を共有メモリ２へ反映したりする役割を受け持つ。共有メモリ２に定義されるＩ／Ｏの配置はウエハ搬送コントローラ１内では固定となっているため、実際のＩ／Ｏ接点１７と配置（アドレス）が異なる。従って、予め定義されたＩ／Ｏマップ変換テーブル１２の内容に従って、その差異を吸収する。
【０００９】
図２は、本発明に適用した半導体製造装置モデルを示す説明図である。
図２において、１９は大気室、１９１、１９２、１９３、１９４はキャリア、１９５はウエハ搬送ロボットであり、大気室１９内でキャリアからウエハを取り出してゲートバルブを解してトランスチェンバへ搬送する大気ロボット、１９６はバッファ、１９７は位置アライナ、１９８はダミーカセット、２０はトランスチャンバ、２０１はゲートバルブ、２０２はウエハ搬送ロボットであり、トランスチェンバ２０内でウエハをプロセスチェンバへ搬送する真空ロボット、２０３、２０４はバッファ、２０５は位置アライナ、２１、２２、２３はプロセスチャンバ、２１１、２２１、２３１はゲートバルブ、２１２、２２２、２３２はポイントである。
以下、図２を用いて共有メモリ２の詳細について説明する。
共有メモリ２内の情報構造は、ウエハ搬送コントローラ１内で固定化されており、その情報種別や情報名も汎用的なもので構成されている。本実施例のモデルでは、４つのキャリア１９１〜１９４と大気室１９とトランスチャンバ２０と３つのプロセスチャンバ２１〜２３から構成され、更にその中にロボット１９５、２０２、位置アライナ１９７、２０５およびバッファ１９６、２０３、２０４などの搬送機器が設置されている。
図２に示す半導体製造装置モデル内の各制御機器や位置に汎用的な名称を定義し、この定義された名称（以下、仮想情報と称す）が共有メモリ２内にそのまま定義されている。
従って、ウエハ搬送コントローラ１においては、図２に示す半導体製造装置モデルで定義された仮想情報を使って各制御処理が行なわれ、このモデルによって定義された共有メモリ２と直接情報の受け渡しを行なう各制御処理部も、この仮想情報を前提として構築されている。
なお、図２は本発明を説明するための例であって、実際のウエハ搬送コントローラを構築する場合は、ほとんど全てのケースをカバーできるように、予め最大のモデルを定義しておくことは言うまでもない。
【００１０】
図３は、本発明の共有メモリ２の具体的な情報構造例を示す説明図である。
図３において、２は共有メモリ、３０１はシステム管理情報領域、３０２は搬送シーケンス処理要求領域、３０３はロボットコマンド情報領域である。
図３に示すように、情報構造には、システム管理情報領域３０１、搬送シーケンス情報領域３０２やロボットコマンド情報領域３０３などが記録されており、図２で示したモデルで定義された仮想情報が使用されている。また、本発明のウエハ搬送コントローラとして定義した、実際の搬送機器へのコマンド名称とは異なる「Ｃａｒｒｙ」や「ＭＯＶＥ」等の汎用的な名称の情報（仮想情報）が使用されている。
【００１１】
図４は、本発明の搬送シーケンス処理部４の処理例を示すフローチャートである。
以下、図４を用いて搬送シーケンス処理部４の処理について説明する。
先ず、共有メモリ２内の搬送要求の有無をチェックし（ステップＳＴ４１）、搬送要求が有った場合はその要求内容を読込む（ステップＳＴ４２）。この時、搬送シーケンス情報領域３０２に記録された「Ｃａｒｒｙ ＬＰ１ ｔｏ Ｐ２」が読込まれる。これは、図２におけるキャリア１９１からプロセスチャンバ２１内のポイント２１２にウエハを運ぶように指示された指令である。
次に、この「Ｃａｒｒｙ ＬＰ１ ｔｏ Ｐ２」指令を、ロボットコマンド「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＬＰ１ ｔｏ ＰＡ−１」、「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＰＡ−１ ｔｏ ＧＶ１」の様に順に分解し、ロボットへのコマンド送信が可能になった状態で、これらのロボットコマンド「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＬＰ１ ｔｏ ＰＡ−１」や「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＰＡ−１ ｔｏ ＧＶ１」を共有メモリ２のロボットコマンド情報領域３０３に書き込む（ステップＳＴ４３）。以下ステップＳＴ４１〜ＳＴ４３をシステム終了まで繰り返す（ステップＳＴ４４）。
【００１２】
図５は、本発明の搬送ロボット制御処理部７の処理例を示すフローチャートである。
図５において、１０はロボットコマンド変換テーブル、１１はティーチングポイント変換テーブルである。
以下、図５を用いて搬送ロボット制御処理部７の処理について説明する。
コマンド「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＬＰ１ ｔｏ ＰＡ−１」や「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＰＡ−１ ｔｏ ＧＶ１」が共有メモリ２に書き込まれたことを確認し（ステップＳＴ５１）、ロボットコマンド要求読込み処理により順次コマンド情報を読込む（ステップＳＴ５２）。
読込まれたロボットコマンド「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＬＰ１ ｔｏ ＰＡ−１」より、ロボットコマンド変換テーブル１０とティーチングポイント変換テーブル１１を使って、実際のロボットコマンド「ＷＴ ＴＰ１ ＴＰ６」を生成する（ステップＳＴ５３）。
その後、ロボットコマンド「ＷＴ ＴＰ１ ＴＰ６」がロボットコントローラ１５へ送信される（ステップＳＴ５４）。以下ステップＳＴ５１〜ＳＴ５４をシステム終了まで繰り返す（ステップＳＴ５５）。
【００１３】
以上述べたように、本発明の実施例に係る装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラは、共有メモリ２と各処理部３〜８と変換テーブル９〜１２を配置し、各処理部３〜８は互いに独立し、共有メモリ２とのみ情報の受け渡しができる構成とし、さらに、共有メモリ２は半導体製造装置の搬送部分をモデル化し、そのモデルに基づいて汎用的な情報およびその情報構造を共有メモリ２上に構築するようにしているので、例えば、ロボットコントローラ１５の機種が変更され、同時にティーチングポイントも変更された場合でも、ウエハ搬送コントローラ１は、ロボットコマンド変換テーブル１０とティーチングポイント変換テーブル１１の内容のみを変更すれば良く、搬送シーケンス処理部４や搬送ロボット制御処理部７および共有メモリ２の情報構造や情報種別を変更することなく対応することが可能である。
また、実際の装置において、「ＰＡ−１」へウエハを搬送する際、途中に経由ポイントが追加された搬送仕様に変った場合でも、図２のモデルで定義されているバッファ１９６を活用し、搬送シーケンス処理部４の処理の一部を変更するとともに、ティーチングポイント変換テーブル１１にバッファ１９６に対する実際のティーチング番号を新たに追加定義するだけで、変更後の搬送仕様に容易に対応することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本発明では、半導体製造装置のウエハ搬送を例に説明しているが、搬送装置の構造や搬送パターンに特徴があって、図２に示すように装置をモデル化することができれば、他の分野の搬送装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラを示すブロック図
【図２】本発明に適用した半導体製造装置モデルを示す説明図
【図３】本発明の共有メモリ２の具体的な情報構造例を示す説明図
【図４】本発明の搬送シーケンス処理部４の処理例を示すフローチャート
【図５】本発明の搬送ロボット制御処理部７の処理例を示すフローチャート
【図６】従来技術のウエハ搬送コントローラを示すブロック図
【符号の説明】
【００１６】
１、６１ ウエハ搬送コントローラ
２ 共有メモリ
３、６３ オンラインホスト通信処理部
４、６５ 搬送シーケンス処理部
５、６４ ＧＵＩ処理部
６ キャリア制御処理部
７、６６ 搬送ロボット制御処理部
８、６７ Ｉ／Ｏ制御処理部
９ キャリアコマンド変換テーブル
１０ ロボットコマンド変換テーブル
１１ ティーチングポイント変換テーブル
１２ Ｉ／Ｏマップ変換テーブル
１３ キャリアコントローラ
１４ キャリア
１５ ロボットコントローラ
１６ 搬送ロボット
１７ Ｉ／Ｏ接点
１８ Ｉ／Ｏ機器
１９ 大気室
１９１、１９２、１９３、１９４ キャリア
１９５ 大気ロボット
１９６ バッファ
１９７ 位置アライナ
１９８ ダミーカセット
２０ トランスチャンバ
２０１ ゲートバルブ
２０２ 真空ロボット
２０３、２０４ バッファ
２０５ 位置アライナ
２１、２２、２３ プロセスチャンバ
２１１、２２１、２３１ ゲートバルブ
２１２、２２２、２３２ ポイント
３０１ システム管理情報領域
３０２ 搬送シーケンス処理要求領域
３０３ ロボットコマンド情報領域
６２ 上位処理装置
６８ 搬送機器群
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハを半導体製造装置内で移送制御するウエハ搬送コントローラに関し、特に共有メモリを中心に各制御処理を配置し、半導体製造装置の搬送部分をモデル化した装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のウエハ搬送コントローラは、搬送ロボットなどの搬送機器機器の構成に応じて制御プログラムが構築されている。
図６は、従来技術のウエハ搬送コントローラを示すブロック図である。
図６において、６１はウエハ搬送コントローラ、６２は上位処理装置、６３はオンラインホスト通信処理部、６４はＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ Ｕｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）処理部、６５は搬送シーケンス処理部、６６は搬送ロボット制御処理部、６７はＩ／Ｏ制御処理部、６８は搬送機器群である。
以下、図６を用いて従来技術のウエハ搬送コントローラの構成を説明する。
ウエハ搬送コントローラ６１は、その内部にオンラインホスト通信処理部６３、ＧＵＩ処理部６４、搬送シーケンス処理部６５、搬送ロボット制御処理部６６、およびＩ／Ｏ制御処理部６７を配置し、上位処理装置６２からの指令に基づいて、搬送機器群６８を制御している。各処理部６３、６４、６５、６６、６７は、半導体製造装置の搬送仕様に応じてそれぞれ構築されている。
各処理部間では搬送制御を行なうための情報の受け渡しが行なわれ、共有メモリを介して情報を伝達し、効率よく搬送制御ができる様に構築されている。また、共有メモリの取り扱い方法に関しては、プロセッサ間で排他処理を行ない、共有メモリの効率的な共有を実現するように考えられてきた（例えば、特許文献１参照）。
このように、従来のウエハ搬送コントローラは、効率よく情報処理が行なえるようになっている。
【特許文献１】特公平６−４２２３１号公報（第４−６頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の共有メモリを使ったウエハ搬送コントローラなどのシステムにおいては、効率的な制御処理および情報処理を主眼に機能分割、情報の流れ、および排他を実現しているため、制御対象の一部が変更された場合、各制御処理の見直しや情報構造の見直しを余儀なくされ、類似システムへの転用や流用が困難であるという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、制御対象の一部が変更されても各制御処理の見直しや情報構造を変更することなく類似システムへの転用や流用が可能な装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記問題を解決するため、請求項１に記載の発明は、ウエハを挿入して搬送するためのキャリアと、前記キャリアを制御するためのキャリアコントローラと、前記キャリアからプロセスチェンバ内の指定ポイントへウエハを搬送するためのウエハ搬送ロボットと、 前記ウエハ搬送ロボットを制御するためのロボットコントローラと、ウエハの移送に関連するＩ／Ｏ機器と、前記キャリアコントローラ、前記ロボットコントローラおよび前記Ｉ／Ｏ機器を統括制御するウエハ搬送コントローラと、を備えたウエハ搬送装置において、前記ウエハ搬送コントローラは、ウエハ搬送制御に関する情報を格納するための共有メモリと、上位装置と通信制御を行ない、前記共有メモリに搬送要求を記録するためのオンライン通信手段と、前記共有メモリに記録された前記搬送要求をトリガとし、ロボットコマンドおよびキャリアコマンドを、前記共有メモリに書き込んで具体的なシーケンスを実行するための搬送シーケンス処理手段と、前記共有メモリに記録された前記ウエハ搬送コントローラの状態をモニタ表示するための搬送状態表示手段と、前記共有メモリより前記キャリアコマンドを取得し、前記キャリアコントローラへ送信すると共に、前記キャリアコントローラからのイベント通知を前記共有メモリに記録するためのキャリア制御手段と、前記共有メモリより前記ロボットコマンドを取得して前記ロボットコントローラへ送信すると共に、前記ロボットコントローラからのイベント通知を前記共有メモリに記録するためのウエハ搬送ロボット制御手段と、前記共有メモリから前記Ｉ／Ｏ機器のＩ／Ｏ接点情報を読み取り、前記Ｉ／Ｏ接点の更新情報を反映するためのＩ／Ｏ制御手段と、を有し、前記オンラインホスト通信手段、前記搬送シーケンス処理手段、前記搬送状態表示手段、前記キャリア制御手段、前記ウエハ搬送ロボット制御手段、および前記Ｉ／Ｏ制御手段、は、互いに独立し前記共有メモリに対してのみアクセスできるものであることを特徴としている。
また請求項２に記載の発明は、前記共有メモリは、ウエハを搬送する装置構造や機器の特徴を抽出したウエハ搬送機器モデルを定義し、このモデルから想定される搬送位置情報、ロボットコマンドやキャリア制御コマンドなどの駆動指令情報、ウエハの状態情報、Ｉ／Ｏ機器およびウエハ搬送機器の状態情報を仮想情報として有していることを特徴としている。
また請求項３に記載の発明は、前記オンラインホスト通信手段、前記搬送シーケンス処理手段、前記搬送状態表示手段、前記キャリア制御手段、前記ウエハ搬送ロボット制御手段、および前記Ｉ／Ｏ制御手段は、前記共有メモリに定義された前記仮想情報を使って、ウエハ搬送のためのシーケンス処理や情報管理を行なうものであることを特徴としている。
また請求項４に記載の発明は、前記ウエハ搬送コントローラは、前記共有メモリに定義されたロボットコマンドの仮想情報を、実際のウエハ搬送ロボットに指令するロボットコマンドに変換するための、該ロボットコマンドの差異を予め設定したロボットコマンド変換テーブルを備えていることを特徴としている。
また請求項５に記載の発明は、前記ウエハ搬送コントローラは、前記共有メモリに定義されたキャリア制御コマンドの仮想情報を実際のキャリアコントローラに指令するキャリア制御コマンドに変換するための、該キャリア制御コマンドの差異を予め設定したキャリアコマンド変換テーブルを備えていることを特徴としている。
また請求項６に記載の発明は、前記ウエハ搬送コントローラは、前記共有メモリに定義されたＩ／Ｏ情報の配置を実際のＩ／Ｏ情報の配置に変換するための、該Ｉ／Ｏ情報の配置の差異を予め設定したＩ／Ｏマップ変換テーブルを備えていることを特徴としている。
また請求項７に記載の発明は、前記ウエハ搬送コントローラは、前記共有メモリに書き込まれた搬送位置を、実際にウエハ搬送ロボットが認識できる搬送位置にティーチングポイントを変換するための、該搬送位置の差異を予め設定したティーチングポイント変換テーブルを備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００５】
請求項１記載の発明によれば、共有メモリを中心に各制御処理を配置した構造とし、各制御処理は共有メモリのみに対して情報の受け渡しを行なうようにしているので、ウエハ搬送コントローラの各機能の独立性が向上し、機能の追加や変更が他処理に影響することなく容易に実現できる。
また請求項２記載の発明によれば、ウエハ搬送装置の構造をモデル化し、そのモデルに基づいて共有メモリ内の情報およびその構造を定義するようにしているので、搬送機器の種類あるいは、搬送する位置や順番が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
また請求項３記載の発明によれば、共有メモリに定義された前記仮想情報を使って、ウエハ搬送のためのシーケンス処理や情報管理を行なうようにしているので、搬送シーケンスの追加や変更が他処理に影響することなく容易に実現できる。
また請求項４の発明によれば、共有メモリ上に定義された仮想の情報と実際にロボットと通信を行なう際の情報の差異を吸収するようにしているので、ロボットコントローラの機種が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
また請求項５の発明によれば、共有メモリ上に定義される仮想の情報と実際にキャリアコントローラと通信を行なう際の情報の差異を吸収するようにしているので、キャリアコントローラの機種が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
また請求項６の発明によれば、共有メモリ上に定義されたＩ／Ｏ情報配置と実際のＩ／Ｏ情報配置との差異を吸収するようにしているので、Ｉ／Ｏ機器の種類あるいは機種が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
また請求項７の発明によれば、共有メモリ上に定義された仮想の搬送位置と実際の搬送位置の差異を吸収するようにしているので、搬送する位置が変更された場合においても、各制御処理および情報構造を変更することなく搬送仕様を実現することができる。
以上述べたように、本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラによれば、制御対象の一部が変更されても各制御処理の見直しや情報構造を変更することなく類似システムへの転用や流用が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の具体的実施例について、図に基づいて説明する。
【実施例１】
【０００７】
図１は、本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラを示すブロック図である。
図１において、１はウエハ搬送コントローラ、２は共有メモリ、３はオンラインホスト通信処理部、４は搬送シーケンス処理部、５はＧＵＩ処理部、６はキャリア制御処理部、７は搬送ロボット制御処理部、８はＩ／Ｏ制御処理部、９はキャリアコマンド変換テーブル、１０はロボットコマンド変換テーブル、１１はティーチングポイント変換テーブル、１２はＩ／Ｏマップ変換テーブル、１３はキャリアコントローラ、１４はキャリア、１５はロボットコントローラ、１６は搬送ロボット、１７はＩ／Ｏ接点、１８はＩ／Ｏ機器である。
従来技術と本発明の相違する点は以下のとおりである。
すなわち、従来技術のウエハ搬送コントローラでは、オンラインホスト通信処理部６３、搬送シーケンス処理部６５、ＧＵＩ処理部６４、搬送ロボット制御処理部６６、Ｉ／Ｏ制御処理部６７、の各処理部間で搬送制御を行なうための情報の受け渡しが行なわれているのに対し、本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ１は、オンラインホスト通信処理部３、搬送シーケンス処理部４、ＧＵＩ処理部５、キャリア制御処理部６、搬送ロボット制御処理部７、Ｉ／Ｏ制御処理部８を共有メモリ２の周辺に配置し、各処理部３〜８は互いに独立し、共有メモリ２とのみ情報の受け渡しができる構成としている点であり、さらに、本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ１は、外部に配置されＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｌｄ Ｐｏｄ）等のキャリア１４を制御するキャリアコントローラ１３、ロボットコントローラ１５、およびＩ／Ｏ接点１７、と通信を行なう際に、共有メモリ２に定義されている情報名、位置情報と実際に送受信する情報名、および位置情報、との差異を吸収するための、キャリアコマンド変換テーブル９と、ロボットコマンド変換テーブル１０と、ティーチングポイント変換テーブル１１と、Ｉ／Ｏマップ変換テーブル１２と、を備える構成としている点である。
【０００８】
以下、図１を用いて本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラの各処理部３〜８の機能について説明する。
オンラインホスト通信処理部３は、ウエハ搬送コントローラ１の上位に位置するコンピュータ（不図示）と通信制御を行ない、上位コンピュータから指示される指令の内容により、搬送要求を共有メモリ２に記録する。また、ウエハ搬送コントローラ１の状態を共有メモリ２から読込み、上位コンピュータへ通知する。
搬送シーケンス処理部４は、共有メモリ２に記録された搬送要求をトリガとし、具体的なシーケンスを実行する。この具体的なシーケンスを実行する際は、例えばロボットコントローラ１５にロボットコマンドを送信する前に、搬送ロボット１６自身の状態や搬送ロボット１６の周辺の状態をチェックし、全ての条件が成立した段階でロボットへのコマンド送信要求を共有メモリ２に書き込む。また、搬送ロボット１６自身の状態や搬送ロボット１６の周辺の状態は、予め他の処理により共有メモリ２に記録されているため、共有メモリ２からその情報を得る。
ＧＵＩ処理部５は、ウエハ搬送コントローラ１の状態をモニタ表示したり、マニュアル操作を行なったりする際のユーザインターフェースの役割をする。
キャリア制御処理部６は、キャリアカセット等が設置された装置（例えばロードポート）を制御するキャリアコントローラ１３へキャリアコマンドを送信する役割を受け持つ。搬送シーケンス処理部４により書き込まれたキャリアコマンドを共有メモリ２より取得し、キャリアコマンド変換テーブル９を使って実際に送信するキャリアコマンドに変換したのちにキャリアコントローラ１３に送信する。また、キャリアコントローラ１３からイベント通知があった場合は、その内容を解釈し、共有メモリ２に記録する。
搬送ロボット制御処理部７は、ロボットコントローラ１５へロボットコマンドを送信する役割を受け持つ。搬送シーケンス処理部４により書き込まれたロボットコマンドを共有メモリ２より取得し、ロボットコマンド変換テーブル１０を使って実際に送信するロボットコマンドに変換すると同時に、共有メモリ２に記録されていた搬送位置を実際に搬送ロボット１６が認識できる位置にティーチングポイント変換テーブル１１を使って変換した後に、ロボットコントローラ１５にコマンドを送信する。また、ロボットコントローラ１５からイベント通知があった場合は、その内容を解釈し、共有メモリ２に記録する。
Ｉ／Ｏ制御処理部８は、ウエハ搬送コントローラ１に設置されたＩ／Ｏ接点１７を更新したり、Ｉ／Ｏ接点１７が更新された場合にその更新内容を共有メモリ２へ反映したりする役割を受け持つ。共有メモリ２に定義されるＩ／Ｏの配置はウエハ搬送コントローラ１内では固定となっているため、実際のＩ／Ｏ接点１７と配置（アドレス）が異なる。従って、予め定義されたＩ／Ｏマップ変換テーブル１２の内容に従って、その差異を吸収する。
【０００９】
図２は、本発明に適用した半導体製造装置モデルを示す説明図である。
図２において、１９は大気室、１９１、１９２、１９３、１９４はキャリア、１９５はウエハ搬送ロボットであり、大気室１９内でキャリアからウエハを取り出してゲートバルブを解してトランスチェンバへ搬送する大気ロボット、１９６はバッファ、１９７は位置アライナ、１９８はダミーカセット、２０はトランスチャンバ、２０１はゲートバルブ、２０２はウエハ搬送ロボットであり、トランスチェンバ２０内でウエハをプロセスチェンバへ搬送する真空ロボット、２０３、２０４はバッファ、２０５は位置アライナ、２１、２２、２３はプロセスチャンバ、２１１、２２１、２３１はゲートバルブ、２１２、２２２、２３２はポイントである。
以下、図２を用いて共有メモリ２の詳細について説明する。
共有メモリ２内の情報構造は、ウエハ搬送コントローラ１内で固定化されており、その情報種別や情報名も汎用的なもので構成されている。本実施例のモデルでは、４つのキャリア１９１〜１９４と大気室１９とトランスチャンバ２０と３つのプロセスチャンバ２１〜２３から構成され、更にその中にロボット１９５、２０２、位置アライナ１９７、２０５およびバッファ１９６、２０３、２０４などの搬送機器が設置されている。
図２に示す半導体製造装置モデル内の各制御機器や位置に汎用的な名称を定義し、この定義された名称（以下、仮想情報と称す）が共有メモリ２内にそのまま定義されている。
従って、ウエハ搬送コントローラ１においては、図２に示す半導体製造装置モデルで定義された仮想情報を使って各制御処理が行なわれ、このモデルによって定義された共有メモリ２と直接情報の受け渡しを行なう各制御処理部も、この仮想情報を前提として構築されている。
なお、図２は本発明を説明するための例であって、実際のウエハ搬送コントローラを構築する場合は、ほとんど全てのケースをカバーできるように、予め最大のモデルを定義しておくことは言うまでもない。
【００１０】
図３は、本発明の共有メモリ２の具体的な情報構造例を示す説明図である。
図３において、２は共有メモリ、３０１はシステム管理情報領域、３０２は搬送シーケンス処理要求領域、３０３はロボットコマンド情報領域である。
図３に示すように、情報構造には、システム管理情報領域３０１、搬送シーケンス情報領域３０２やロボットコマンド情報領域３０３などが記録されており、図２で示したモデルで定義された仮想情報が使用されている。また、本発明のウエハ搬送コントローラとして定義した、実際の搬送機器へのコマンド名称とは異なる「Ｃａｒｒｙ」や「ＭＯＶＥ」等の汎用的な名称の情報（仮想情報）が使用されている。
【００１１】
図４は、本発明の搬送シーケンス処理部４の処理例を示すフローチャートである。
以下、図４を用いて搬送シーケンス処理部４の処理について説明する。
先ず、共有メモリ２内の搬送要求の有無をチェックし（ステップＳＴ４１）、搬送要求が有った場合はその要求内容を読込む（ステップＳＴ４２）。この時、搬送シーケンス情報領域３０２に記録された「Ｃａｒｒｙ ＬＰ１ ｔｏ Ｐ２」が読込まれる。これは、図２におけるキャリア１９１からプロセスチャンバ２１内のポイント２１２にウエハを運ぶように指示された指令である。
次に、この「Ｃａｒｒｙ ＬＰ１ ｔｏ Ｐ２」指令を、ロボットコマンド「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＬＰ１ ｔｏ ＰＡ−１」、「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＰＡ−１ ｔｏ ＧＶ１」の様に順に分解し、ロボットへのコマンド送信が可能になった状態で、これらのロボットコマンド「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＬＰ１ ｔｏ ＰＡ−１」や「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＰＡ−１ ｔｏ ＧＶ１」を共有メモリ２のロボットコマンド情報領域３０３に書き込む（ステップＳＴ４３）。以下ステップＳＴ４１〜ＳＴ４３をシステム終了まで繰り返す（ステップＳＴ４４）。
【００１２】
図５は、本発明の搬送ロボット制御処理部７の処理例を示すフローチャートである。
図５において、１０はロボットコマンド変換テーブル、１１はティーチングポイント変換テーブルである。
以下、図５を用いて搬送ロボット制御処理部７の処理について説明する。
コマンド「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＬＰ１ ｔｏ ＰＡ−１」や「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＰＡ−１ ｔｏ ＧＶ１」が共有メモリ２に書き込まれたことを確認し（ステップＳＴ５１）、ロボットコマンド要求読込み処理により順次コマンド情報を読込む（ステップＳＴ５２）。
読込まれたロボットコマンド「ＭＯＶＥ ｆｒｏｍ ＬＰ１ ｔｏ ＰＡ−１」より、ロボットコマンド変換テーブル１０とティーチングポイント変換テーブル１１を使って、実際のロボットコマンド「ＷＴ ＴＰ１ ＴＰ６」を生成する（ステップＳＴ５３）。
その後、ロボットコマンド「ＷＴ ＴＰ１ ＴＰ６」がロボットコントローラ１５へ送信される（ステップＳＴ５４）。以下ステップＳＴ５１〜ＳＴ５４をシステム終了まで繰り返す（ステップＳＴ５５）。
【００１３】
以上述べたように、本発明の実施例に係る装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラは、共有メモリ２と各処理部３〜８と変換テーブル９〜１２を配置し、各処理部３〜８は互いに独立し、共有メモリ２とのみ情報の受け渡しができる構成とし、さらに、共有メモリ２は半導体製造装置の搬送部分をモデル化し、そのモデルに基づいて汎用的な情報およびその情報構造を共有メモリ２上に構築するようにしているので、例えば、ロボットコントローラ１５の機種が変更され、同時にティーチングポイントも変更された場合でも、ウエハ搬送コントローラ１は、ロボットコマンド変換テーブル１０とティーチングポイント変換テーブル１１の内容のみを変更すれば良く、搬送シーケンス処理部４や搬送ロボット制御処理部７および共有メモリ２の情報構造や情報種別を変更することなく対応することが可能である。
また、実際の装置において、「ＰＡ−１」へウエハを搬送する際、途中に経由ポイントが追加された搬送仕様に変った場合でも、図２のモデルで定義されているバッファ１９６を活用し、搬送シーケンス処理部４の処理の一部を変更するとともに、ティーチングポイント変換テーブル１１にバッファ１９６に対する実際のティーチング番号を新たに追加定義するだけで、変更後の搬送仕様に容易に対応することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本発明では、半導体製造装置のウエハ搬送を例に説明しているが、搬送装置の構造や搬送パターンに特徴があって、図２に示すように装置をモデル化することができれば、他の分野の搬送装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラを示すブロック図
【図２】本発明に適用した半導体製造装置モデルを示す説明図
【図３】本発明の共有メモリ２の具体的な情報構造例を示す説明図
【図４】本発明の搬送シーケンス処理部４の処理例を示すフローチャート
【図５】本発明の搬送ロボット制御処理部７の処理例を示すフローチャート
【図６】従来技術のウエハ搬送コントローラを示すブロック図
【符号の説明】
【００１６】
１、６１ ウエハ搬送コントローラ
２ 共有メモリ
３、６３ オンラインホスト通信処理部
４、６５ 搬送シーケンス処理部
５、６４ ＧＵＩ処理部
６ キャリア制御処理部
７、６６ 搬送ロボット制御処理部
８、６７ Ｉ／Ｏ制御処理部
９ キャリアコマンド変換テーブル
１０ ロボットコマンド変換テーブル
１１ ティーチングポイント変換テーブル
１２ Ｉ／Ｏマップ変換テーブル
１３ キャリアコントローラ
１４ キャリア
１５ ロボットコントローラ
１６ 搬送ロボット
１７ Ｉ／Ｏ接点
１８ Ｉ／Ｏ機器
１９ 大気室
１９１、１９２、１９３、１９４ キャリア
１９５ 大気ロボット
１９６ バッファ
１９７ 位置アライナ
１９８ ダミーカセット
２０ トランスチャンバ
２０１ ゲートバルブ
２０２ 真空ロボット
２０３、２０４ バッファ
２０５ 位置アライナ
２１、２２、２３ プロセスチャンバ
２１１、２２１、２３１ ゲートバルブ
２１２、２２２、２３２ ポイント
３０１ システム管理情報領域
３０２ 搬送シーケンス処理要求領域
３０３ ロボットコマンド情報領域
６２ 上位処理装置
６８ 搬送機器群
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを挿入して搬送するためのキャリア（１４）と、
前記キャリア（１４）を制御するためのキャリアコントローラ（１３）と、
前記キャリア（１４）からプロセスチェンバ（２１、２２、２３）内の指定ポイントへウエハを搬送するためのウエハ搬送ロボット（１６）と、
前記ウエハ搬送ロボット（１６）を制御するためのロボットコントローラ（１５）と、
ウエハの移送に関連するＩ／Ｏ機器（１８）と、
前記キャリアコントローラ（１３）、前記ロボットコントローラ（１５）および前記Ｉ／Ｏ機器（１８）を統括制御するウエハ搬送コントローラ（１）と、を備えたウエハ搬送装置において、
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
ウエハ搬送制御に関する情報を格納するための共有メモリ（２）と、
上位装置と通信制御を行ない、前記共有メモリ（２）に搬送要求を記録するためのオンライン通信手段（３）と、
前記共有メモリ（２）に記録された前記搬送要求をトリガとし、ロボットコマンドおよびキャリアコマンドを、前記共有メモリ（２）に書き込んで具体的なシーケンスを実行するための搬送シーケンス処理手段（４）と、
前記共有メモリ（２）に記録された前記ウエハ搬送コントローラ（１）の状態をモニタ表示するための搬送状態表示手段（５）と、
前記共有メモリ（２）より前記キャリアコマンドを取得し、前記キャリアコントローラ（１３）へ送信すると共に、前記キャリアコントローラ（１３）からのイベント通知を前記共有メモリ（２）に記録するためのキャリア制御手段（６）と、
前記共有メモリ（２）より前記ロボットコマンドを取得して前記ロボットコントローラ（１５）へ送信すると共に、前記ロボットコントローラ（１５）からのイベント通知を前記共有メモリ（２）に記録するためのウエハ搬送ロボット制御手段（７）と、
前記共有メモリ（２）から前記Ｉ／Ｏ機器（１８）のＩ／Ｏ接点（１７）情報を読み取り、前記Ｉ／Ｏ接点（１７）の更新情報を反映するためのＩ／Ｏ制御手段（８）と、を有し、
前記オンラインホスト通信手段（３）、前記搬送シーケンス処理手段（４）、前記搬送状態表示手段（５）、前記キャリア制御手段（６）、前記ウエハ搬送ロボット制御手段（７）、および前記Ｉ／Ｏ制御手段（８）、は、互いに独立し前記共有メモリ（２）に対してのみアクセスできるものであることを特徴とする装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項２】
前記共有メモリ（２）は、
ウエハを搬送する装置構造や機器の特徴を抽出したウエハ搬送機器モデルを定義し、このモデルから想定される搬送位置情報、ロボットコマンドやキャリア制御コマンドなどの駆動指令情報、ウエハの状態情報、Ｉ／Ｏ機器およびウエハ搬送機器の状態情報を仮想情報として有していることを特徴とする請求項１記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項３】
前記オンラインホスト通信手段（３）、前記搬送シーケンス処理手段（４）、前記搬送状態表示手段（５）、前記キャリア制御手段（６）、前記ウエハ搬送ロボット制御手段（７）、および前記Ｉ／Ｏ制御手段（８）は、
前記共有メモリ（２）に定義された前記仮想情報を使って、ウエハ搬送のためのシーケンス処理や情報管理を行なうものであることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項４】
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
前記共有メモリ（２）に定義されたロボットコマンドの仮想情報を、実際のウエハ搬送ロボット（１６）に指令するロボットコマンドに変換するための、該ロボットコマンドの差異を予め設定したロボットコマンド変換テーブル（１０）を備えていることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項５】
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
前記共有メモリ（２）に定義されたキャリア制御コマンドの仮想情報を実際のキャリアコントローラ（１３）に指令するキャリア制御コマンドに変換するための、該キャリア制御コマンドの差異を予め設定したキャリアコマンド変換テーブル（９）を備えていることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項６】
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
前記共有メモリ（２）に定義されたＩ／Ｏ情報の配置を実際のＩ／Ｏ情報の配置に変換するための、該Ｉ／Ｏ情報の配置の差異を予め設定したＩ／Ｏマップ変換テーブル（１２）を備えていることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項７】
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
前記共有メモリ（２）に書き込まれた搬送位置を、実際にウエハ搬送ロボット（１６）が認識できる搬送位置にティーチングポイントを変換するための、該搬送位置の差異を予め設定したティーチングポイント変換テーブル（１１）を備えていることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項１】
ウエハを挿入して搬送するためのキャリア（１４）と、
前記キャリア（１４）を制御するためのキャリアコントローラ（１３）と、
前記キャリア（１４）からプロセスチェンバ（２１、２２、２３）内の指定ポイントへウエハを搬送するためのウエハ搬送ロボット（１６）と、
前記ウエハ搬送ロボット（１６）を制御するためのロボットコントローラ（１５）と、
ウエハの移送に関連するＩ／Ｏ機器（１８）と、
前記キャリアコントローラ（１３）、前記ロボットコントローラ（１５）および前記Ｉ／Ｏ機器（１８）を統括制御するウエハ搬送コントローラ（１）と、を備えたウエハ搬送装置において、
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
ウエハ搬送制御に関する情報を格納するための共有メモリ（２）と、
上位装置と通信制御を行ない、前記共有メモリ（２）に搬送要求を記録するためのオンライン通信手段（３）と、
前記共有メモリ（２）に記録された前記搬送要求をトリガとし、ロボットコマンドおよびキャリアコマンドを、前記共有メモリ（２）に書き込んで具体的なシーケンスを実行するための搬送シーケンス処理手段（４）と、
前記共有メモリ（２）に記録された前記ウエハ搬送コントローラ（１）の状態をモニタ表示するための搬送状態表示手段（５）と、
前記共有メモリ（２）より前記キャリアコマンドを取得し、前記キャリアコントローラ（１３）へ送信すると共に、前記キャリアコントローラ（１３）からのイベント通知を前記共有メモリ（２）に記録するためのキャリア制御手段（６）と、
前記共有メモリ（２）より前記ロボットコマンドを取得して前記ロボットコントローラ（１５）へ送信すると共に、前記ロボットコントローラ（１５）からのイベント通知を前記共有メモリ（２）に記録するためのウエハ搬送ロボット制御手段（７）と、
前記共有メモリ（２）から前記Ｉ／Ｏ機器（１８）のＩ／Ｏ接点（１７）情報を読み取り、前記Ｉ／Ｏ接点（１７）の更新情報を反映するためのＩ／Ｏ制御手段（８）と、を有し、
前記オンラインホスト通信手段（３）、前記搬送シーケンス処理手段（４）、前記搬送状態表示手段（５）、前記キャリア制御手段（６）、前記ウエハ搬送ロボット制御手段（７）、および前記Ｉ／Ｏ制御手段（８）、は、互いに独立し前記共有メモリ（２）に対してのみアクセスできるものであることを特徴とする装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項２】
前記共有メモリ（２）は、
ウエハを搬送する装置構造や機器の特徴を抽出したウエハ搬送機器モデルを定義し、このモデルから想定される搬送位置情報、ロボットコマンドやキャリア制御コマンドなどの駆動指令情報、ウエハの状態情報、Ｉ／Ｏ機器およびウエハ搬送機器の状態情報を仮想情報として有していることを特徴とする請求項１記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項３】
前記オンラインホスト通信手段（３）、前記搬送シーケンス処理手段（４）、前記搬送状態表示手段（５）、前記キャリア制御手段（６）、前記ウエハ搬送ロボット制御手段（７）、および前記Ｉ／Ｏ制御手段（８）は、
前記共有メモリ（２）に定義された前記仮想情報を使って、ウエハ搬送のためのシーケンス処理や情報管理を行なうものであることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項４】
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
前記共有メモリ（２）に定義されたロボットコマンドの仮想情報を、実際のウエハ搬送ロボット（１６）に指令するロボットコマンドに変換するための、該ロボットコマンドの差異を予め設定したロボットコマンド変換テーブル（１０）を備えていることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項５】
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
前記共有メモリ（２）に定義されたキャリア制御コマンドの仮想情報を実際のキャリアコントローラ（１３）に指令するキャリア制御コマンドに変換するための、該キャリア制御コマンドの差異を予め設定したキャリアコマンド変換テーブル（９）を備えていることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項６】
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
前記共有メモリ（２）に定義されたＩ／Ｏ情報の配置を実際のＩ／Ｏ情報の配置に変換するための、該Ｉ／Ｏ情報の配置の差異を予め設定したＩ／Ｏマップ変換テーブル（１２）を備えていることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【請求項７】
前記ウエハ搬送コントローラ（１）は、
前記共有メモリ（２）に書き込まれた搬送位置を、実際にウエハ搬送ロボット（１６）が認識できる搬送位置にティーチングポイントを変換するための、該搬送位置の差異を予め設定したティーチングポイント変換テーブル（１１）を備えていることを特徴とする請求項２記載の装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００６−１３０４０（Ｐ２００６−１３０４０Ａ）
【公開日】平成１８年１月１２日（２００６．１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−１８６３１６（Ｐ２００４−１８６３１６）
【出願日】平成１６年６月２４日（２００４．６．２４）
【出願人】（０００００６６２２）株式会社安川電機 (2,482)
【出願人】（３９９０７６３１２）安川情報システム株式会社 (77)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１月１２日（２００６．１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年６月２４日（２００４．６．２４）
【出願人】（０００００６６２２）株式会社安川電機 (2,482)
【出願人】（３９９０７６３１２）安川情報システム株式会社 (77)
【Ｆターム（参考）】
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