転写システムおよび転写方法
【課題】シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写システムにおいて、転写を効率よく行う。
【解決手段】微細な転写パターンＭ１が形成されている平板状のシート状モールドＭＡを移送位置決めするシート状モールド移送位置決め装置３と、シート状モールドＭＡの移送方向で上流側に設けられ、微細な転写パターンＭ１を被成型品Ｗに転写する転写装置５と、シート状モールドＭＡの移送方向で下流側に設けられ、転写装置５による転写がされシート状モールド移送位置決め装置３による移送がされた後、お互いが貼り付いているシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを引き剥がす引き剥がし装置７とを有する転写システム１である。
【解決手段】微細な転写パターンＭ１が形成されている平板状のシート状モールドＭＡを移送位置決めするシート状モールド移送位置決め装置３と、シート状モールドＭＡの移送方向で上流側に設けられ、微細な転写パターンＭ１を被成型品Ｗに転写する転写装置５と、シート状モールドＭＡの移送方向で下流側に設けられ、転写装置５による転写がされシート状モールド移送位置決め装置３による移送がされた後、お互いが貼り付いているシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを引き剥がす引き剥がし装置７とを有する転写システム１である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写システムおよび転写方法に係り、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターンを形成して型（モールド）を作製し、被成型品に前記型を所定の圧力で押圧して、当該型に形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている（たとえば、非特許文献１参照）。
【０００３】
ナノオーダーの微細なパターン（転写パターン）を低コストで成型する方法としてリソグラフィ技術を用いたインプリント法が考案されている。この成型法は大別して熱インプリント法とＵＶインプリント法とに分類される。
【０００４】
熱インプリント法では、型を基板に押圧し、熱可塑性ポリマからなる樹脂（熱可塑性樹脂）が十分に流動可能となる温度になるまで加熱して微細パターンに樹脂を流入させたのち、型と樹脂をガラス転移温度以下になるまで冷却し、基板に転写された微細パターンを固化したのち型を引き離す。
【０００５】
ＵＶインプリント法では、光を透過できる透明な型を使用し、ＵＶ硬化性液に型を押しつけてＵＶ放射光を加える。適当な時間放射光を加えて液を硬化させ微細パターンを転写したのち型を引き離す。
【０００６】
また、上記転写をするときに、モールドとしてシート状のものを使用する方式が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特願２００９−１６４５６９
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25(2001) 192-199
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上記従来のシート状のモールドを用いた転写装置では、ロール状のモールド原反と転写後のロール状のモールドとの間に、転写装置を配し、この転写装置に付帯させて被成型品離型装置（転写後に被成型品と型とを分離する装置）を設けてある。
【００１０】
したがって、転写後にモールドからの被成型品の引き剥がしを行い、この引き剥がし後に次の転写をする必要があり、転写を効率よく行うことができないという問題がある。
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写システムにおいて、転写を効率よく行うことができるものを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、微細な転写パターンが形成されている平板状のシート状モールドを所定の方向に移送位置決めするシート状モールド移送位置決め装置と、前記シート状モールド移送位置決め装置の移送方向で上流側に設けられ、前記微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置と、前記シート状モールド移送位置決め装置の移送方向で下流側に設けられ、前記転写装置による転写がされ前記シート状モールド移送位置決め装置による移送がされた後、お互いが貼り付いている前記シート状モールドと前記被成型品とを引き剥がす引き剥がし装置とを有する転写システムである。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の転写システムにおいて、シート状の素材に微細な転写パターンを形成して前記シート状モールドを作成するシート状モールド作成装置を有し、１台の前記シート状モールド作成装置に対して、１台の前記シート状モールド移送位置決め装置と１台の前記転写装置と１台の前記引き剥がし装置とを備えて構成されている１組の移送・転写・引き剥がしユニットが、複数組設けられている転写システムである。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２の記載の転写システムにおいて、前記転写装置は、押圧体と前記被成型品を設置する被成型品設置体とにより前記被成型品と前記平板状のシート状モールドとを挟み込んで、前記転写をするように構成されており、前記押圧体は、緩衝材によって前記挟み込みをするように構成されている転写システムである。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の転写システムにおいて、前記押圧体は、剛性の高い材料で構成された基材と、この基材を覆うように層状に設けられた前記緩衝材と、前記シート状モールドに貼り付きにくい材料で構成され前記記緩衝材を覆うように層状に設けられたモールド接触材とを備えて構成されている転写システムである。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の転写システムにおいて、前記平板状のシート状モールドは、前記シート状モールドが巻かれているモールド原反から延出しているシート状モールドであり、前記微細な転写パターンは、前記シート状モールドの一部である転写パターン形成領域に形成されており、前記転写パターン形成領域以外の前記シート状モールドの部位には、ラミネートフィルムが設けられている転写システムである。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の転写システムを用いてさなれる前記被成型品への転写方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写システムにおいて、転写を効率よく行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る転写システムの概要を示す図である。
【図２】転写システムの概要を示す平面図である。
【図３】転写システムの概要を示す平面図である。
【図４】平板状のシート状モールドと各接触部材等の大きさや位置の関係を示す図である。
【図５】平板状のシート状モールドと各接触部材等の大きさや位置の関係を示す図である。
【図６】転写装置概略構成を示す斜視図である。
【図７】転写装置概略構成を示す斜視図である。
【図８】転写装置の断面矢視図である。
【図９】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１０】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１１】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１２】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１３】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１４】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１５】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１６】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図１７】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図１８】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図１９】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図２０】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図２１】図９（ａ）におけるＸＸＩ部の拡大図である。
【図２２】シート状モールド作成装置の概要を示す図である。
【図２３】変形例に係るシート状モールド作成装置の概要を示す図である。
【図２４】シート状モールドを示す図である。
【図２５】シート状モールド作成装置を含む転写システムの概要を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１は、本発明の実施形態に係る転写システム１の概要を示す図であり、図２、図３は、転写システム１の概要を示す平面図である。
【００２１】
転写システム１は、シート状のモールドＭに形成されている微細な転写パターンＭ１を被成型品Ｗに転写するシステムであり、シート状モールド移送位置決め装置３と転写装置５と引き剥がし装置７とを備えて構成されている。
【００２２】
図６、図７は、転写装置５の概略構成を示す斜視図であり、図８は、転写装置５の断面矢視図であって、図８（ａ）は、図６におけるＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＡ断面矢視図であり、図８（ｂ）は、図６におけるＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ断面矢視図であり、図８（ｃ）は、図８（ｂ）におけるＣ−Ｃ断面を示す図である。なお、図８（ａ）では、詳しくは後述するベローズ１０７、下側接触部材１０９の表示を省略してある。図９〜図１５は、転写装置５の概要と動作を示す図であり、図１６〜図２０は、引き剥がし装置７の概要と動作を示す図であり、図２１は、図９（ａ）におけるＸＸＩ部の拡大図である。
【００２３】
シート状モールド移送位置決め装置３は、シート状のモールドＭを所定の箇所（たとえばモールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間）で平板状にして、この平板状のシート状モールドＭＡを所定の方向（たとえばモールド原反設置装置９からモールド巻き取り装置１１で向かう水平方向）に移送位置決めする装置である。
【００２４】
なお、微細な転写パターンＭ１は、たとえば、多数の微細な凹凸で形成されており、高さやピッチが可視光線の波長程度かもしくは可視光線の波長よりも僅かに大きいか僅かに小さいパターンであり、シート状モールドＭの厚さ方向の一方の面に形成されている。すなわち、図１、図９〜図２０では、平板状のシート状モールドＭＡの下面に微細な転写パターンが形成されている。
【００２５】
転写装置５は、平板状のシート状モールドＭＡに形成されている微細な転写パターンＭ１を被成型品（被転写品）Ｗに、平板状のシート状モールドＭＡで被成型品Ｗを押圧して転写する装置であり、シート状モールド移送位置決め装置３によるシート状モールドＭの移送方向で上流側（図１、図９〜図２０等では左側）に設けられている。
【００２６】
引き剥がし装置（被成型品分離装置）７は、転写装置５による転写がされてお互いが貼り付いているシート状モールドＭＡと被成型品（転写後被成型品）Ｗとを、引き剥がす（シート状モールドＭＡから被成型品Ｗを引き剥がす；分離する）装置であり、シート状モールド移送位置決め装置３によるシート状モールドＭＡの移送方向で下流側（転写装置５から離れて転写装置５よりも下流側；図１、図９〜図２０等では右側）に設けられている。
【００２７】
なお、引き剥がし装置７による引き剥がしは、転写装置５による転写がされた後であってシート状モールド移送位置決め装置３によるシート状モールドＭＡとこのシート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品Ｗとの移送位置決めがされた後、転写装置５での次の別の転写がなされているときに行われるようになっている。また、シート状モールド移送位置決め装置３によるシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの移送位置決めは、平板状のシート状モールドＭＡをモールド巻き取り装置１１で巻き取ることによって行われるようになっている。
【００２８】
また、転写システム１には、転写前被成型品ストッカ（転写前基板ストッカ）１３と転写前被成型品搬送装置１５と転写後被成型品ストッカ（転写済み基板ストッカ）１７と転写後被成型品搬送装置１９とが設けられている。
【００２９】
転写前被成型品ストッカ１３は、転写装置５での転写がなされる前の複数の転写前被成型品Ｗを格納するストッカであり、転写前被成型品搬送装置１５は、転写前被成型品ストッカ１３に格納されている転写前被成型品Ｗを枚葉で（１枚ずつ）転写装置５に供給する装置である。
【００３０】
転写後被成型品ストッカ１７は、転写装置５での転写がなされた後の複数の転写後被成型品Ｗを格納するストッカであり、転写後被成型品搬送装置１９は、引き剥がし装置７でシート状モールドＭＡから引き剥がされた転写後被成型品Ｗを枚葉で転写後被成型品ストッカ１７に供給する装置である。
【００３１】
なお、転写前被成型品搬送装置１５は、ロボット２１とスライダ２３とを備えて構成されている。スライダ２３は、転写前被成型品ストッカ１３に格納されている転写前被成型品Ｗを枚葉で転写前被成型品ストッカ１３から取り出しロボット２１に引き渡す装置である。
【００３２】
また、転写後被成型品搬送装置１９は、ロボット２１とスライダ２５とを備えて構成されている。スライダ２５は、ロボット２１から受け取った転写後被成型品Ｗを、転写後被成型品ストッカ１７に枚葉で格納する装置である。
【００３３】
さらに、転写システム１には、シート状モールド作成装置２７が設けられている。
【００３４】
図２２は、シート状モールド作成装置２７の概要を示す図である。
【００３５】
シート状モールド作成装置２７は、シート状の素材Ｍ２の厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンＭ１をたとえば転写によって形成してシート状モールド（シート状の型）Ｍを作成する装置である。転写システム１では、１台のシート状モールド作成装置２７に対して、１台のシート状モールド移送位置決め装置３と１台の転写装置５と１台の引き剥がし装置７とを備えて構成されている１組の移送・転写・引き剥がしユニット２９が、複数組設けられている。
【００３６】
すなわち、図２５で示すように、１台のシート状モールド作成装置２７に対して、複数台の移送・転写・引き剥がしユニット２９が設けられている。そして、シート状モールド作成装置２７で作成されたシート状のモールドＭが各々の移送・転写・引き剥がしユニット２９に供給されるようになっている。シート状モールド作成装置２７と移送・転写・引き剥がしユニット２９との数の比は、シート状モールド作成装置２７のタクトタイムと移送・転写・引き剥がしユニット２９のタクトタイムとを参照して、シート状モールド作成装置２７や移送・転写・引き剥がしユニット２９のあそび時間（アイドリングタイム）が最小になり、最も効率良くシート状モールドＭから被成型品Ｗへの転写がなされるように決められている。
【００３７】
なお、移送・転写・引き剥がしユニット２９が、転写前被成型品ストッカ１３、転写前被成型品搬送装置１５、転写後被成型品ストッカ１７、転写後被成型品搬送装置１９を備えていてもよい。
【００３８】
転写装置５は、たとえば、図９（ａ）で示すように、押圧体３１と被成型品Ｗを設置する被成型品設置体３３とで被成型品Ｗと平板状のシート状モールドＭＡとを挟み込み、転写をするように構成されている。
【００３９】
押圧体３１は、平板状の緩衝材（たとえば、紫外線が透過する硬質ゴムもしくは柔らかい樹脂等の弾性材で構成された緩衝材）３５によって、被成型品Ｗと平板状のシート状モールドＭＡとの挟み込みを行うように構成されている。
【００４０】
被成型品設置体３３と押圧体３１とで、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを挟み込んでいる状態では、被成型品設置体３３に被成型品Ｗが接触し、被成型品Ｗにシート状モールドＭＡが接触し、シート状モールドＭＡに押圧体３１が接触している（たとえば、図１２（ａ）参照）。
【００４１】
転写装置５の押圧体３１は、図２１に示すように、紫外線が透過するガラス等の剛性の高い材料で構成された平板状の基材（たとえば、バックアップガラス）３７と、この基材３７を覆うように層状に設けられた緩衝材３５と、紫外線が透過しシート状モールドＭに貼り付きにくい（たとえば摩擦係数の小さい材料）材料（たとえば、ガラス、ＰＥＴ樹脂）で構成された平板状のモールド接触材３９とを備えて構成されている。モールド接触材３９は、緩衝材３５を覆うように層状（緩衝材３５の弾性変形に応じて弾性変形する程度の薄い層状）に設けられている。
【００４２】
なお、被成型品設置体３３と押圧体３１とで、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを挟み込んでいる状態では、モールド接触材３９がシート状モールドＭＡに接触している。
【００４３】
モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間でたとえば水平方向に延出している平板状のシート状モールドＭＡは、シート状モールドＭが巻かれているモールド原反ＭＢから延出しているシート状モールドである（図１等参照）。
【００４４】
図２１で示す微細な転写パターンＭ１は、シート状モールドＭの一部である転写パターン形成領域ＡＥ１に形成されており、転写パターン形成領域以外のシート状モールドＭの部位ＡＥ２の少なくとも一部には、スペーサ（ラミネートフィルム）Ｓ１が設けられている（図２４参照）。なお、図２４（ａ）は、平板状のシート状モールドＭＡの平面図であり、図２４（ｂ）は、図２４（ａ）におけるＢ−Ｂ断面を示す図である。
【００４５】
ラミネートフィルムＳ１は、図２４（ｃ）（モールド原反ＭＢの断面図）で示すように、モールド原反ＭＢになっているシート状モールドＭ（Ｍｘ）の微細な転写パターンＭ１；Ｍｘ１（転写パターン形成領域ＡＥ１）が、この微細な転写パターンＭ１（Ｍｘ１）に隣接して対向しているシート状モールドＭ（Ｍｙ）に押圧されることを防ぐ（たとえば、接触することを防ぐ）ための所定の厚さになっている。
【００４６】
シート状のモールドＭは、すでに理解されるように、所定の幅で長く形成されている。なお、図１、図９〜図２２の紙面に直交する方向がシート状のモールドＭの幅方向になっている。
【００４７】
微細な転写パターンＭ１は、図２４（ａ）で示すように、たとえば、矩形状の領域ＡＥ１に形成されている。この矩形状の転写パターン形成領域ＡＥ１はシート状のモールドＭの幅よりも小さくなっている。シート状のモールドＭの厚さ方向から見ると、転写パターン形成領域ＡＥ１は、この幅方向がシート状のモールドＭの幅方向と一致して、シート状のモールドＭの中程に位置している。シート状のモールドＭの長手方向では、転写パターン形成領域ＡＥ１が、所定の間隔をあけて（ピッチｐ１で）、シート状モールドＭの長手方向に並んでいる。
【００４８】
シート状モールド移送位置決め装置３は、モールド原反ＭＢを設置するモールド原反設置装置（繰り出しローラ）９と、このモールド原反設置装置９に設置されているモールド原反ＭＢから繰り出している（延出している）シート状のモールドＭＡを巻き取るモールド巻き取り装置（巻き取りローラ）１１とを備えて構成されている。そして、前述したように、モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で、シート状モールドＭＡが延出し、ほぼ平板状になっている（図１等参照）。なお、モールド原反設置装置９、モールド巻き取り装置１１は、ベッド４５に一体的に設けられている。
【００４９】
モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で、平板状になっているシート状モールド（平板状のシート状モールド）ＭＡには、この長手方向（モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１とをお互いにむすぶたとえば水平な方向）で所定の張力がかかっている。これによって、平板状の形態を保つようになっている。微細な転写パターンＭ１は、図９〜図２０では図示してはいないが、前述したように、平板状のシート状モールドＭＡの下面に形成されている（図２１参照）。
【００５０】
モールド原反（反物状のモールド）ＭＢは、転写装置５での転写に使用される前のロール状のモールドである。モールド原反ＭＢは、シート状のモールドＭを、円柱状の芯材の外周に、この外周の周方向とシート状のモールドＭの長手方向とがお互いに一致するようにして巻き重ね、円筒状もしくは円柱状に形成されている。
【００５１】
モールド巻き取り装置１１で巻き取られた巻き取り済みモールドＭＣは、転写装置５での転写に使用されたモールドであり、モールド原反ＭＢと同様にしてロール状になっている。
【００５２】
モールド原反設置装置９に設置されているモールド原反ＭＢは、この中心軸（たとえば水平方向に延びている軸；図１や図９（ａ）等の紙面に直交する方向に延出している軸）Ｃ１を回転中心にして回転するようになっている。モールド巻き取り装置１１で巻き取られる巻き取り済みモールドＭＣも、この中心軸（軸Ｃ１と平行で水平方向に延びている軸）Ｃ２を回転中心にして回転するようになっている。
【００５３】
モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間に存在している平板状のシート状モールドＭＡは、前述したように、たとえば、厚さ方向が上下方向になっており、長手方向が水平な１方向であってモールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１とをお互いにむすぶ方向になっており、幅方向が水平な他の１方向であって厚さ方向と長手方向とに直交する方向になっている。
【００５４】
平板状のシート状モールドＭＡは、この長手方向であって、モールド原反設置装置９からモールド巻き取り装置１１に向かう方向に、ほぼ平板状の形態を保ったまま、シート状モールド移送位置決め装置３で移送位置決めされるようになっている。
【００５５】
シート状モールド移送位置決め装置３による１回の移送距離は、たとえば、微細な転写パターンＭ１が形成されている領域ＡＥ１のピッチｐ１と等しくなっている。また、シート状モールド移送位置決め装置３による移送がされた後は、次の移送がされるまで、モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出しているシート状モールドＭＡは、所定の張力を保った状態でその位置がほぼ維持されるようになっている。
【００５６】
具体的には、モールド原反設置装置９に設置されているモールド原反ＭＢは、パウダークラッチ等のトルク制御クラッチを介してモータ等のアクチュエータの回転出力軸に連結されて、回転するようになっている。モールド巻き取り装置１１で巻き取られるシート状モールドＭ（巻き取り済みモールドＭＣ）は、サーボモータ等のアクチュエータの回転出力軸にされて、回転するようになっている。
【００５７】
そして、モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出している平板状のシート状モールドＭＡを移送する場合には、モールド原反設置装置９のモータを逆回転させておき（平板状のシート状モールドＭＡをモールド原反設置装置９で巻き取るようにモールド原反ＭＢのモータの回転出力軸を回転させておき）、パウダークラッチのトルクを所定の値Ｔ１にしておき、モールド巻き取り装置１１のサーボモータの回転出力軸を、平板状のシート状モールドＭＡを巻き取る方向に所定のトルクＴ２で所定の回転角度だけ回転する。この場合において、モールド原反設置装置９に設置されているモールド原反ＭＢの半径を「Ｒ１」とし、モールド巻き取り装置１１における巻き取り済みモールドＭＣの半径を「Ｒ２」とすると、「Ｔ１／Ｒ１＜Ｔ２／Ｒ２」になっている。これにより、所定の張力Ｆ１（Ｆ１＝Ｔ１／Ｒ２−Ｔ１／Ｒ１）を保って、モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出している平板状のシート状モールドＭＡが、モールド巻き取り装置１１側に移送されるようになっている。
【００５８】
シート状モールド移送位置決め装置３による平板状のシート状モールドＭＡの移送がされておらず、平板状のシート状モールドＭＡがその位置を維持している状態では、モールド巻き取り装置１１のサーボモータの回転出力軸は、所定の保持トルクで停止している。また、モールド原反設置装置９のモータとパウダークラッチとで、平板状のシート状モールドＭＡが所定の張力を得ている。
【００５９】
モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出している平板状のシート状モールドＭＡの移送距離の決定（移送位置決め）は、たとえば、センサを用いてなされるようになっている。
【００６０】
すなわち、光透過型センサの発光部を平板状のシート状モールドＭＡの下側に設置し、光透過型センサの受光部を平板状のシート状モールドＭＡの上側に設置してある。そして、光透過型センサの発光部と光透過型センサの受光部との間を、平板状のシート状モールドＭＡの転写パターン形成領域ＡＥ１と転写パターン非形成領域ＡＥ２とが、平板状のシート状モールドＭＡの移送によって通過するようになっている。そして、透過型センサの発光部と光透過型センサの受光部との間を移送される平板状のシート状モールドＭＡでの光の透過率の違いによって、平板状のシート状モールドＭＡの移送位置決めがなされるようになっている。
【００６１】
更に説明すると、図２４（ａ）の点Ｐ１の位置にセンサが設けられているとする。センサの光の透過率は、転写パターン形成領域ＡＥ１では低く、転写パターン形成領域ＡＥ２では高くなっているものとする。また、図２４（ａ）に示す状態では、予め平板状のシート状モールドＭＡが移送され位置決めがなされているものとする。
【００６２】
図２４（ａ）で示す状態から、センサに対して平板状のシート状モールドＭＡを右方向に所定の距離であるピッチｐ１だけ移送して位置決めするときには、センサによる光の透過率が始めに低く次に高くなり、この後低くなったときに、平板状のシート状モールドＭＡの移動を停止する。
【００６３】
なお、平板状のシート状モールドＭＡの移送距離（移送位置決め）を、光透過型センサの代わりに光反射型センサを用いて行ってもよいし、平板状のシート状モールドＭＡの所定の位置に、アライメントマークをシート状モールド作成装置２７で予めつけておいて、そのアライメントマークをカメラや画像処理装置で検出して行ってもよい。また、モールド巻き取り装置１１に設けられているサーボモータの回転出力軸の回転角度を検出可能なロータリエンコーダを設けるとともに、モールド巻き取り装置１１で巻き取っている巻き取り済みモールドＭＣの外径をセンサで測定することにより、平板状のシート状モールドＭＡの移送距離（移送位置決め）をするようにしてもよい。
【００６４】
さらに、モールド原反ＭＢを作成するときに生成されるエッジラインＬ１（図２４（ａ）参照；詳しくは後述）を光透過型センサ等で検出して、平板状のシート状モールドＭＡの移送距離の決定（移送位置決め）をするようにしてもよい。
【００６５】
ところで、平板状のシート状モールドＭＡの張力Ｆ１は、図９（ａ）等で示すように、テンショナ（張力検出装置）４１で検出されるようになっている。この検出結果に応じて、張力Ｆ１が所定の値になるように、パウダークラッチのトルクが制御されるようになっている。
【００６６】
テンショナ４１は、円柱状のローラ４３と、基台（図示せず）とを備えている。ローラ４３は、軸受け（図示せず）を介して基台（図１に示すベッド４５に一体的に設けられている基台）に設けられており、ローラ４３の中心軸（図９（ａ）等の紙面に直交する方向に延出している軸）Ｃ３を回転中心にして回転するようになっている。
【００６７】
また、基台と軸受けとの間には、ロードセル（図示せず）が設けられており、平板状のシート状モールドＭＡの張力に応じてローラ４３にかかる荷重を検出することができるようになっている。すなわち、ローラ４３には、平板状のシート状モールドＭＡが巻き掛けられている。この巻き掛けられているシート状のモールドＭＡが、ローラ４３の軸受けに荷重をかけるように構成されている。そして、ロードセルにかかる荷重を検出（測定）することによって、平板状のシート状モールドＭＡの張力を検出することができるようになっている。
【００６８】
転写装置５は、図６等で示すように、ベース部材４７と移動体４９と移動体支持体５１とを備えている。ベース部材４７は、下側部材５３と上側部材５５とタイバ（タイロッド）５７とを備えている。下側部材５３と上側部材５５と移動体４９とは、たとえば、矩形な平板状であってお互いがほぼ同形状に形成されている。
【００６９】
下側部材５３と上側部材５５とは、たとえば、厚さ方向が上下方向になるようにして、上下方向で所定の間隔をあけて設けられている。下側部材５３と上側部材５５とを平面視すると、お互いがほぼ重なっている。また、下側部材５３と上側部材５５とは、たとえば４本のタイバ５７によって連結されている。
【００７０】
タイバ５７は、たとえば円柱状に形成されており、中心軸の延伸方向が上下方向になるようにして、下側部材５３と上側部材５５との間で、下側部材５３と上側部材５５とに一体的に設けられている。平面視すると、４本のタイバ５７は、下側部材５３や上側部材５５の角部の近傍に設けられている。また、４本のタイバ５７は、下側部材５３や上側部材５５の中心に対して対称的に配置されている。すなわち、転写装置５での転写の際の押圧によって、タイバ５７に引っ張り応力が発生してごくわずかに弾性変形するのであるが、この引っ張り応力による４本のタイバ５７の僅かな延び量がお互いに等しくなるのである。
【００７１】
移動体支持体５１は、矩形な平板状の基部５９と「コ」字状の側部６１とをそなえてたとえば一体で形成されている。さらに説明すると、基部５９は、下側部材５３や上側部材５５と同様にして矩形な平板状に形成されており、側部６１は、基部５９の側面から基部５９の厚さ方向に起立している。そして、平面視すると（基部５９の厚さ方向から見ると）、側部６１は、「コ」字状になっており、基部５９の１つの辺と、この１つの辺に隣接している２つの辺のところに位置している。また、平面視した場合、「コ」字状の側部６１の一端部は、基部５９の１つの辺に隣接している一方の辺のほぼ中央部に位置しており、「コ」字状の側部６１の他端部は、基部５９の１つの辺に隣接している他方の辺のほぼ中央部に位置している（図８等参照）。
【００７２】
そして、移動体支持体５１は、基部５９の厚さ方向の一方の面（側部６１が延出している側の面）が、下側部材５３の下面に対向するようにして、下側部材５３に一体的に設けられている。また、平面視すると、移動体支持体５１の基部５９は、下側部材５３にほぼ重なっており、移動体支持体５１の側部６１は、下側部材５３から僅かに離れて下側部材５３の外周の半分を囲んでいる（下側部材５３の１つの辺とこの１つの辺に隣接している２つの辺のほぼ半分を囲んでいる）。また、側面視すると、側部６１の先端面（上面；図６参照）６３は、下側部材５３と上側部材５５との間に位置している。
【００７３】
移動体支持体５１と下側部材５３との接合は、下側部材５３や移動体支持体５１の基部５９の中心の近傍のみでなされている。たとえば、移動体支持体５１の基部５９の中心近傍には複数の座（基部５９の上側の面より僅かに突出しているとともに上面が平面になっている部位）６５が設けられている。座６５はたとえば４つ設けられている。平面視すると、４つの座６５は、移動体支持体５１の基部５９の中心（下側部材５３の中心）の近傍周辺に配置されている。また、基部５９の中心を中心とした小さな円を４等配する位置に、各座６５が設けられている。
【００７４】
移動体支持体５１の座６５の上面と下側部材５３の下面の一部とがお互いに面接触して（図８（ｃ）参照）、しかも、移動体支持体５１の他の部位が、下側部材５３等のベース部材４７とは一切接触せず支持されないように離れて、移動体支持体５１が下側部材５３にボルト６７等の締結具によって一体的に設けられている。
【００７５】
移動体４９は、厚さ方向が上下方向になるようにして、下側部材５３と上側部材５５との間に設けられている。平面視すると、移動体４９は下側部材５３や上側部材５５とほぼ重なっている。なお、移動体４９の角部には、切り欠き６９が設けられており、この切り欠き６９によって、移動体４９は、タイバ５７（ベース部材４７）から離れて、タイバ５７とは非接触になっている（図８（ａ）参照）。
【００７６】
また、移動体４９は、リニアガイドベアリング７１を介して、移動体支持体５１に支持されており、上下方向（下側部材５３と上側部材５５とをお互いにむすぶ方向；タイバ５７の中心軸の延伸方向）で移動するようになっている。
【００７７】
すなわち、移動体支持体５１の側部６１の一方の端部には、リニアガイドベアリング７１のレール７３が一体的に設けられている。このレール７３は上下方向に延伸している。移動体支持体５１の側部６１の他方の端部にも、リニアガイドベアリング７１のレール７３が上下方向に延伸して一体的に設けられている（たとえば、図８（ａ）、（ｂ）参照）。
【００７８】
移動体４９には、一対のレール７３と係合している一対のベアリング７５が一体的に設けられている。これによって、移動体４９が、リニアガイドベアリング７１のみで支持されて、下側部材５３と上側部材５５との間で、上下方向に移動自在になっている。また、平面視すると、一対のリニアガイドベアリング７１は、下側部材５３や上側部材５５や移動体４９の中心に対して対称的に（たとえば点対称の位置に）配置されている。
【００７９】
また、移動体４９は、たとえば、ボールねじ７７とサーボモータ７９等のアクチュエータによって、上下方向で移動位置決め自在になっている。
【００８０】
詳しく説明すると、図６〜図８で示すように、ボールねじ７７のねじ軸部８１の中心軸が下側部材５３の中心を通って上下方向に延伸して、ねじ軸部８１が下側部材５３に回転自在に設けられている。ボールねじ７７のねじ軸部８１は、下側部材５３に設置されている軸受け８３を介して、下側部材５３に回転自在に設けられており、下側部材５３から上方に延出している。ボールねじ７７のねじ軸部８１の上側の部位は、移動体４９に一体的に設けられたナット８５に係合している。
【００８１】
ボールねじ７７のねじ軸部８１の下側の部位は、カップリング８７を介してサーボモータ７９の回転出力軸に連結されている。サーボモータ７９の筐体は、筒状のスペーサ８９を介して、下側部材５３の下側で下側部材５３に一体的に設けられている。なお、サーボモータ７９やスペーサ８９と移動体支持体５１との干渉を避けるために、移動体支持体５１の基部５９の中心部には、貫通孔９１が設けられている。各座６５は、貫通孔９１の周辺近傍で、貫通孔９１のできるだけ近くに配置されている。
【００８２】
このように構成されていることによって、移動体４９が上下方向（上側部材５５に対して接近離反する方向）で移動位置決め自在になっている。また、微細な粉塵を発するおそれ（発塵のおそれ）がある部位（ナット８５や軸受け８３やサーボモータ７９）が、移動体４９の下側に配置されており、転写をする際に、被成型品Ｗに微細な異物が混入することを防止することができる。
【００８３】
なお、転写装置５とベッド４５（図１参照）との固定は、下側部材５３、移動体支持体５１の少なくともいずれかが、ベッド４５に係合することによりなされている。たとえば、下側部材５３をボルト等の締結具を用いて、ベッド４５に固定している。
【００８４】
上側部材５５の下面には、図９（ａ）等で示すように、押圧体３１が一体的に設けられている。押圧体３１は、上側部材５５の下面から下方に突出しており、押圧体３１の下面は水平な平面（たとえば、円形や矩形状の平面）になっており、転写をするときに、この平面がシート状のモールドＭＡに面接触するようになっている。
【００８５】
移動体４９の上面には、図９（ａ）等で示すように、ロードセル９５やスペーサ９７を間にして、被成型品設置体３３が一体的に設けられている。平板状のロードセル９５や平板状のスペーサ９７や被成型品設置体３３は、移動体４９の上面から上方に突出しており、被成型品設置体３３の上面は水平な平面（たとえば、円形状や矩形状の平面）になっている。
【００８６】
そして、被成型品Ｗの下面（平板状の被成型品Ｗの厚さ方向の一方の面；図２１で示す基材Ｗ１の下面）が、被成型品設置体３３の上面に面接触し、被成型品Ｗの厚さ方向が上下方向になるようにして、被成型品Ｗが被成型品設置体３３に載置されている。また、被成型品Ｗは、たとえば真空吸着で、被成型品設置体３３に一体的に設置されるようになっている。
【００８７】
上側部材５５の下面には、真空成型室９９（たとえば図１１（ａ）参照）を形成するための筒状のベローズ（上側ベローズ）１０１が下方に突出して設けられている。ベローズ１０１の基端（上端）は、上側部材５５に一体的に設けられており、ベローズ１０１の先端（下端）には、円環状の上側接触部材１０３が一体的に設けられている。上側接触部材１０３の下面は、たとえば水平な円環状の平面になっている。
【００８８】
上側接触部材１０３と上側部材５５とには、たとえば、図９（ａ）で示すように、エアーシリンダ１０５等のアクチュエータが設けられている。エアーシリンダ１０５は、上側部材５５に一体的に設けられており、エアーシリンダ１０５のロッド（ピストンロッド）は、上側接触部材１０３に一体的に設けられている。そして、エアーシリンダ１０５によって、ベローズ１０１が伸縮するようになっている。
【００８９】
エアーシンンダ１０５は、３ポジションタイプのものであり、ロッドのストロークの両端部に加えて、ロッドのストロークの中間部の所定の位置で、シリンダに対するロッドの位置を固定することができるようになっている。
【００９０】
そして、ロッドが最も引っ込んだ状態では、上側接触部材１０３の下面が押圧体３１の下面よりも上方に位置しており（たとえば、図９（ａ）参照）、ロッドが中間部の所定の位置に位置している状態では、上側接触部材１０３の下面が押圧体３１の下面と同じ高さに位置しており（たとえば、図１１（ｂ）参照）、ロッドが最も延出した状態では、上側接触部材１０３の下面が押圧体３１の下面よりも僅かに下方に位置するようになっている（たとえば、図１０（ａ）参照）。
【００９１】
平板状のスペーサ９７は、たとえば、図９（ａ）で示すように、この厚さ方向が上下方向になるようにして、ロードセル９５と被成型品設置体３３とに一体的に設けられている。ロードセル９５は、移動体４９に一体的に設けられている。
【００９２】
スペーサ９７の上面には、真空成型室９９を形成するための筒状のベローズ（上側ベローズと同形状に形成された下側ベローズ）１０７が上方に突出して設けられている。ベローズ１０７の基端（下端）は、スペーサ９７に一体的に設けられており、ベローズ１０７の先端（上端）には、円環状の下側接触部材（上側接触部材１０３と同形状に形成された下側接触部材）１０９が一体的に設けられている。下側接触部材１０９の上面は、たとえば、水平な円環状の平面になっている。
【００９３】
下側接触部材１０９とスペーサ９７とには、エアーシリンダ１１１等のアクチュエータが設けられている。エアーシリンダ１１１のシリンダは、スペーサ９７に一体的に設けられており、エアーシリンダ１１１のロッド（ピストンロッド）は、下側接触部材１０９に一体的に設けられている。そして、エアーシリンダ１１１によって、ベローズ１０７が伸縮するようになっている。
【００９４】
そして、ロッドが最も引っ込んだ状態では、下側接触部材１０９の上面が被成型品設置体３３の上面よりも下方に位置しており（たとえば、図９（ａ）参照）、ロッドが最も延出した状態では、下側接触部材１０９の上面が被成型品設置体３３の上よりも僅かに上方に位置するようになっている（たとえば、図１０（ａ）参照）。
【００９５】
なお、上側ベローズ１０１を伸縮させるエアーシリンダ１０５の推力は、下側ベローズ１０７を伸縮させるエアーシリンダ１１１の推力よりも大きくなっている。したがって、たとえば、下側接触部材１０９で上側接触部材１０３が押されても、上側ベローズ１０１を伸縮させるエアーシリンダ１０５のロッドは引っ込まない（上側ベローズ１０１が縮まず上側接触部材１０３が上方に移動しない）ようになっている。
【００９６】
図２１等で示すように、被成型品Ｗは、たとえば、円形状もしくは矩形状で平板状の基材（たとえばガラス板）Ｗ１と、このガラス板Ｗ１の厚さ方向の一方の面（たとえば全面）に設けられた薄膜状の紫外線硬化樹脂Ｗ２とで構成されている。転写前被成型品ストッカ１３に格納されている転写前被成型品Ｗには、前もって別の装置で、液体状で薄膜状の紫外線硬化樹脂Ｗ２が設けられているものとする。
【００９７】
転写装置５での転写は、薄膜状の紫外線硬化樹脂Ｗ２の微細な転写パターンＭ１を転写してなされるようになっている。なお、図２１等で示す参照符号１１３は、ロボット２１のハンドを示している。
【００９８】
転写装置５で転写がなされる前の状態（転写準備状態）では、移動体４９が下降端に位置している。硬化前の紫外線硬化樹脂Ｗ２が上になるようにして、被成型品Ｗが被成型品設置体３３に載置されている。各ベローズ１０１，１０７は縮んでいる。また、被成型品Ｗと押圧体３１（モールド接触材３９）とは所定の距離だけ離れている（図２１、図９（ｂ）等参照）。モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出している平板状のシート状モールドＭＡは、移送されることなく停止している。平板状のシート状モールドＭＡは、押圧体３１と被成型品設置体３３に載置されている被成型品Ｗとの間で、押圧体３１からごく僅かに離れて（図９（ａ）に示しように僅かな距離Ｌ２だけ離れて）水平方向に延びている。
【００９９】
転写装置５の転写準備状態や転写している状態で平面視すると、被成型品設置体３３の上面と被成型品Ｗとが同じ大きさになっていて被成型品設置体３３の上面の全面に被成型品Ｗが被さっている。なお、被成型品Ｗのほうが被成型品設置体３３の上面よりも僅かに大きくなっていて、被成型品設置体３３の上面が被成型品Ｗの内側に位置していてもよいし、被成型品Ｗのほうが被成型品設置体３３の上面よりも僅かに小さくなっていて、被成型品設置体３３の上面の内側に被成型品Ｗが位置していてもよい。
【０１００】
また、転写装置５の転写準備状態や転写している状態で平面視すると、押圧体３１の下面と被成型品Ｗとが同じ大きさになっていて押圧体３１の下面の全面に被成型品Ｗが被さっている。なお、被成型品Ｗのほうが押圧体３１の下面よりも僅かに大きくなっていて、押圧体３１の下面が被成型品Ｗの内側に位置していてもよいし、被成型品Ｗのほうが押圧体３１の下面よりも僅かに小さくなっていて、押圧体３１の下面の内側に被成型品Ｗが位置していてもよい。
【０１０１】
また、転写装置５の転写準備状態や転写している状態で平面視すると、平板状のシート状モールドＭＡの１つの転写パターン形成領域ＡＥ１と被成型品Ｗとが同じ大きさになっていて、被成型品Ｗの全体に１つの転写パターン形成領域ＡＥ１が被さっている。なお、転写パターン形成領域ＡＥ１のほうが被成型品Ｗよりも僅かに大きくなっていて、転写パターン形成領域ＡＥ１の内側に被成型品Ｗが位置していてもよいし、転写パターン形成領域ＡＥ１のほうが被成型品Ｗよりも僅かに小さくなっていて、被成型品Ｗの内側に転写パターン形成領域ＡＥ１が位置していてもよい。
【０１０２】
なお、前述したように、図２４（ａ）等で示すように、転写パターン形成領域ＡＥ１が矩形状に形成されていてもよいし、図４や図５で示すように、円形状に形成されていてもよい。さらに、転写パターン形成領域ＡＥ１が矩形や円形以外の所定の形状に形成されていてもよい。
【０１０３】
また、転写準備状態や転写している状態で平面視すると、円形状になっている各ベローズ１０１，１０７がお互いに重なっており、円環状の各接触部材１０３，１０９もお互いに重なっている。さらに、各ベローズ１０１，１０７と各接触部材１０３，１０９の内側に、被成型品設置体３３、被成型品Ｗ、押圧体３１が存在している。また、円環状の各接触部材１０３，１０９の直径よりも平板状のシート状モールドＭＡの幅が大きくなっており、平板状のシート状モールドＭＡの内側に各接触部材１０３，１０９が位置している（図５（ａ）参照）。なお、図５（ａ）は、平板状のシート状モールドＭＡと各接触部材１０３，１０９等の大きさや位置の関係を示す平面図であり、図５（ｂ）は、平板状のシート状モールドＭＡと各接触部材１０３，１０９等の大きさや位置の関係を示す側面図である。
【０１０４】
すなわち、図４（ａ）で示すように、平板状のシート状モールドＭＡの幅が円環状の各接触部材１０３，１０９の直径よりも小さいと、図４（ａ）に示す部位ＡＥ３で、僅かな隙間（シート状モールドＭＡの厚みに起因する隙間）が生じてしまい、真空成型室９９の気密性が悪化する。しかし、図５（ａ）で示すように、円環状の各接触部材１０３，１０９の直径よりも平板状のシート状モールドＭＡの幅が大きくすることで、真空成型室９９の気密性を高めることができる。なお、図４（ａ）は、幅の狭い平板状のシート状モールドＭＡと各接触部材１０３，１０９等の大きさや位置の関係を示す平面図であり、図４（ｂ）は、幅の狭い平板状のシート状モールドＭＡと各接触部材１０３，１０９等の大きさや位置の関係を示す側面図である。
【０１０５】
円環状の各接触部材１０３，１０９の直径よりも平板状のシート状モールドＭＡの幅を大きくすることで、転写をする直前や転写をするときに、各ベローズ１０１，１０７等によって真空成型室９９が形成されるが、シート状モールドＭＡで仕切られることによって、真空成型室９９は、上側真空成型室１１５と、下側真空成型室１１７とが形成されるようになっている（たとえば、図１１（ｂ）参照）。
【０１０６】
上側真空成型室１１５は、内部に押圧体３１が位置する閉空間であり、上側部材５５とベローズ１０１とシート状モールドＭＡとで閉空間が形成される。下側真空成型室１１７は、内部に被成型品設置体３３と被成型品Ｗとが位置する閉空間であり、スペーサ９７とベローズ１０７とシート状モールドＭＡとで閉空間が形成されている。
【０１０７】
下側真空成型室１１７と上側真空成型室１１５とは、これらの各真空成型室１１５，１１７の外部に延出している配管１１９によってお互いにつながっている。そして、図１に示す真空ポンプ１２１を用い、配管１１９によって各真空成型室１１５，１１７を同時に真空引きすることができるようになっている。真空引きをしたときには、各真空成型室１１５，１１７が等しい気圧を保って減圧されるようになっている。これにより、シート状モールドＭＡの撓みを無くすことができる。
【０１０８】
なお、平面視において、各ベローズ１０１，１０７の中心と各接触部材１０３，１０９の中心と被成型品Ｗの中心と押圧体３１の中心と転写パターン形成領域ＡＥ１の中心とは、たとえば、お互いが一致している。
【０１０９】
押圧体３１は、前述したように、また、図２１に示すように、基材３７と緩衝材３５とモールド接触材３９とを備えて構成されており、また、押圧体３１は、押圧体支持体１２３の下側に設けられており、押圧体支持体１２３を介してベース部材４７の上側部材５５に一体的に設けられている。なお、モールド接触材３９を削除した構成であってもよい。
【０１１０】
基材３７と緩衝材３５とモールド接触材３９とは、たとえば、矩形な平板状に形成されており、それぞれの厚さ方向がお互いに一致するようにして基材３７、緩衝材３５、モールド接触材３９の順に重ね合わされている。また、押圧体支持体１２３の上部には、被成型品Ｗの紫外線硬化樹脂Ｗ２を硬化する紫外線を発生する紫外線発生装置１２５が設けられている（たとえば、図１２（ａ）参照）。
【０１１１】
また、転写装置５には、転写をする場合等に平板状のシート状モールド（移送されずに停止しているシート状モールド）ＭＡの位置ずれが発生することを防止すべく、シート状モールドＭＡを一時的に保持するモールド保持機構１２７が設けられている（たとえば、図１３（ｂ）参照）。
【０１１２】
モールド保持機構１２７は、たとえば、ベース部材４７に一体的に設けられている吸着パッド１２９によって構成されており、吸着パッド１２９でシート状モールドＭＡの上面（微細な転写パターンＭ１が形成されている面とは反対側の面）を真空吸着して、シート状モールドＭＡを保持するようになっている。
【０１１３】
吸着パッド１２９は、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向の上流側と下流側とで、転写装置５（各接触部材１０３，１０９）の近傍に設けられている。また、吸着パッド１２９は、前述したように、ベース部材４７に一体的に設けられているが、ベース部材４７に対して移動するようになっていてもよい。そして、平板状のシート状モールドＭＡが停止しているときには、平板状のシート状モールドＭＡに接触し、平板状のシート状モールドＭＡが移送されるときには、平板状のシート状モールドＭＡから離れるようになっていてもよい。
【０１１４】
また、モールド保持機構１２７による平板状のシート状モールドＭＡの保持は、たとえば、転写が終わって真空成型室９９を無くすときになされるようになっている。なお、モールド保持機構１２７は、図１３（ｂ）、図１４、図１５で描いてあり、他の図では、図示を省略してある。
【０１１５】
シート状モールド作成装置２７は、図２２で示すように、ロール・ツー・ロール方式（ロールｔｏロール方式）でモールド原反ＭＢを作成する装置であり、軸Ｃ７を中心にして回転する転写ロール１３１と軸Ｃ６を中心にして回転するバックアップロール１３３とシート状の素材（素材原反）Ｍ２を設置する素材原反設置装置１３５とシート状のモールドＭを巻き取るモールド巻き取り装置１３７とを有する。
【０１１６】
シート状の素材Ｍ２は、厚さ方向の両面が平面状になっており、モールド原反ＭＢと同様にロール状に形成されており、円柱状の芯材にＰＥＴ樹脂等の樹脂材料で構成されたシート状の素材Ｍ２を巻き付けた素材原反になっている。
【０１１７】
素材原反設置装置１３５に設置された素材原反から繰り出したシート状の素材Ｍ２に、微細な転写パターンを転写して設け、この転写がされたシート状の素材をモールド巻き取り装置１３７で巻き取ると、モールド原反ＭＢが生成されるようになっている。
【０１１８】
なお、素材原反設置装置１３５に設置された素材原反は、軸Ｃ５を中心にして回転し、モールド巻き取り装置で巻き取られるモールド原反ＭＢは、軸Ｃ９を中心にして回転するようになっている。転写ロール１３１とモールド巻き取り装置１３７との間には、軸Ｃ８を中心にして回転するテンションローラ１３９が設けられている。
【０１１９】
さらに説明すると、素材原反設置装置１３５とモールド巻き取り装置１３７との間で、素材原反から繰り出しているシート状の素材Ｍ２の一方の面に、塗工ノズル１４１によって液体状の紫外線硬化樹脂Ｗ２を膜状に塗布するようになっている。続いて、液体状の紫外線硬化樹脂Ｗ２が塗布されたシート状の素材Ｍ２を、転写ロール１３１に巻き掛けるとともに、転写ロール１３１とバックアップロール１３３とで挟み込み、紫外線発生装置１４３が発する紫外線を紫外線硬化樹脂Ｗ２に照射して紫外線硬化樹脂Ｗ２を硬化させ、転写ロール１３１から紫外線硬化樹脂Ｗ２に、転写ロール１３１の円柱側面状の外周面に予め形成されていた微細な転写パターンが転写されるようになっている。そして、図２１（ａ）で示すような、転写パターンＭ１が形成されるようになっている。
【０１２０】
また、図２１（ａ）で示してあるエッジラインＬ１は、転写ロール１３１の外周の継ぎ目（図２２で示す点Ｐ２の箇所で図２２の紙面に直交する方向に直線状に延びている継ぎ目）によって形成されているものである。継ぎ目は、厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている矩形な薄い平板状の原型を、転写ロール１３１の外周に一体的に設置したときに、前記原型の各端部の突合せ部によって形成されるものである。
【０１２１】
なお、図２２で示すシート状モールド作成装置２７において、ラミネートフィルムＳ１を設置するようにしてもよい（図２３参照）。図２３で示したシート状モールド作成装置２７ａでは、微細な転写パターンが転写されたシート状の素材Ｍ２にラミネートフィルムＳ１を供給するようになっている。そして、モールド巻き取り装置１３７で巻き取られて生成されるモールド原反ＭＢには、シート状のモールドＭの間にラミネートフィルムＳ１が入り込むようになっている。
【０１２２】
すなわち、軸Ｃ１０を中心にして回転するラミネート原反１４５からラミネートフィルムＳ１が供給されるようになっている。そして、モールド巻き取り装置１３７で巻き取られて生成されるモールド原反ＭＢでは、シート状のモールドＭの厚さ方向、ラミネートフィルムＳ１の厚さ方向が、モールド原反ＭＢの径方向と一致しているとともに、シート状のモールドＭとラミネートフィルムＳ１とが交互に重なっている（図２４（ｃ）参照）。これによって、モールド原反ＭＢにおけるシート状のモールドＭ同士の貼り付きを防止することができ、モールド原反ＭＢからのシート状のモールドＭの繰り出しがしやすくなっている。
【０１２３】
ところで、ラミネートフィルムＳ１を、シート状のモールドＭと同じ幅にして、シート状のモールドＭの全面を覆うように設けられていてもよいが、本実施形態では、シート状のモールドＭの一部にラミネートフィルムＳ１を設けてある。
【０１２４】
たとえば、ラミネートフィルムＳ１の幅を細くして、ラミネートフィルムＳ１をシート状のモールドＭの幅方向の両端部（転写パターン非形成領域ＡＥ２の一部）にのみ設けてある（図２４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）参照）。これにより、前述したように、モールド原反ＭＢにおいて、図２４（ｃ）で示すように、シート状モールドＭの微細な転写パターンＭ１が、これに対向しているシート状モールドＭの背面（微細な転写パターンＭ１が形成されている面とは反対側の面）に接触しないか接触しにくくなっており、微細な転写パターンＭ１の傷付きを防止することができる。
【０１２５】
なお、ラミネートフィルムＳ１の形状を適宜変更してもよい。図２４（ａ）に二点鎖線Ｌ３で示す部位を付加し、ラミネートフィルムＳ１をはしご状（転写パターン形成領域ＡＥ１に相当する部分に、矩形な貫通孔を所定の間隔をあけて設けた形状）に形成し、転写パターン形成領域ＡＥ１を囲むようにしてもよい。
【０１２６】
モールド原反ＭＢにラミネートフィルムＳ１を設けた場合には、図９（ａ）に二点鎖線で示すラミネートフィルム剥離装置１４５でラミネートフィルムＳ１を剥離して巻き取るようになっている。
【０１２７】
引き剥がし装置７は、図１６（ａ）等で示すように、ベース部材１４７と被成型品保持部１４９とモールド保持部１５１とモールド挟持部１５３と離型部１５５とを備えて構成されている。
【０１２８】
被成型品保持部１４９は、平面状の上面を備えた被成型品保持体１５７を備えており、この被成型品保持体１５７が、上下方向で移動位置決め自在なようにベース部材１４７に設けられている。すなわち、被成型品保持体１５７がリニアガイドベアリング１５９を介してベース部材１４７に設けられており、図示しないエアーシリンダ等のアクチュエータで上下方向に移動するようになっている。また、転写装置５での転写後に平板状のシート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品Ｗの下面に、被成型品保持体１５７の上面が面接触し、たとえば真空吸着によって被成型品Ｗ（基材Ｗ１）を保持することができるようになっている。
【０１２９】
モールド保持部１５１は、平面状の下面を備えたモールド保持体１６１を備えている。また、モールド保持体１６１は、被成型品保持体１５７の上方でベース部材１４７に設けられている。モールド保持体１６１の下面は、被成型品保持体１５７の上方で被成型品保持体１５７の上面と対向している。そして、転写後に被成型品Ｗが貼り付いている平板状のシート状モールドＭＡの上面に、モールド保持体１６１の下面が面接触し、たとえば真空吸着によって平板状のシート状モールドＭＡを保持するようになっている。
【０１３０】
なお、これらのお互いが対向している被成型品保持体１５７の上面とモールド保持体１６１の下面との間を、転写後にお互いが貼り付いている平板状のシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとが位置するように、シート状モールドＭＡがシート状モールド移送位置決め装置３で移送位置決めされるようになっている。また、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの厚さ方向が被成型品保持体１５７の上面やモールド保持体１６１の下面と直交している。
【０１３１】
転写装置５で転写がされた被成型品Ｗが、シート状モールドＭＡに貼り付いたまま転写装置５から引き剥がし装置７に移送されるのであるが、転写装置５と引き剥がし装置７との間に、所定の間隔（図２４（ａ）で示すピッチｐ１）をあけて、単数もしくは複数の被成型品（シート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品）Ｗが存在していてもよい（たとえば、図５参照）。これによって、転写装置５と引き剥がし装置７との距離を大きくとることができる。
【０１３２】
また、すでに理解されるように、被成型品保持体１５７が上昇端に位置しているときには、被成型品保持体１５７の上面が平板状のシート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品Ｗに接触するようになっている。一方、被成型品保持体１５７が下昇端に位置しているときには、被成型品保持体１５７の上面が平板状のシート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品Ｗの下方で被成型品保持体１５７から所定の距離だけ離れている。
【０１３３】
モールド保持体１６１は、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向の上流側（図１６（ａ）の左側）で平板状のシート状モールドＭＡの幅方向に延伸している軸Ｃ１２を回動中心にして回動するように、ベース部材１４７に設けられている。そして、常態では、モールド保持体１６１の下面が、図示しないストッパによって水平になっており、シート状モールドＭＡの水平な上面に接触している。また、モールド保持体１６１が回動することにより、モールド保持体１６１の下流側が持ち上がり、モールド保持体１６１の下面が僅かに斜めになるようになっている（図１８（ａ）等を参照）。
【０１３４】
モールド挟持部１５３は、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向の下流側で、モールド保持体１６１に設けられている。モールド挟持部１５３は、棒状のモールド挟持体１６３を備えており、モールド挟持体１６３は、細長い平面状の上面を備えている。この上面はモールド保持体１６１の下面と対向しているとともに、上面の長手方向が平板状のシート状モールドＭＡの幅方向と一致しており、モールド挟持体１６３の上面の幅方向が、平板状のシート状モールドＭＡの長手方向（図１６（ａ）の左右方向）と一致している。
【０１３５】
また、モールド挟持体１６３は、モールド保持体１６１に対して接近離反する方向で移動自在なように、図示しないリニアガイドベアリングを介してモールド保持体１６１に設けられている。
【０１３６】
そして、エアーシンリンダ１６５等のアクチュエータでモールド挟持体１６３がモールド保持体１６１側に移動することによって、モールド挟持体１６３とモールド保持体１６１とが協働してシート状のモールドＭＡを挟み込むようになっている（たとえば、図１７（ｂ）参照）。一方、モールド挟持体１６３がモールド保持体１６１から離れる側に移動することによって、シート状モールドＭＡの挟持が解除されるようになっている。
【０１３７】
なお、モールド挟持体１６３は、被成型品保持体１５７とは干渉しない位置に設けられており、また、モールド挟持体１６３とモールド保持体１６１とで、被成型品Ｗを挟み込むことが無いようになっている。
【０１３８】
離型部１５５は、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向の下流側でベース部材１４７に設けられている。離型部１５５は、離型体１６７を備えており、この離型体１６７をエアーシンダ１６９等のアクチュエータで上昇させることにより、離型体１６７でモールド保持体１６１（モールド挟持体１６３）を押し上げ、モールド保持体１６１を回動させ、前述したように、モールド保持体１６１の下面を斜めにすることができるようになっている。なお、離型体１６７でモールド保持体１６１を押し上げていない状態では、離型体１６７が下方に位置してモールド保持体１６１（モールド挟持体１６３）から離れている。
【０１３９】
また、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向における引き剥がし装置７の下流には、モールド長調整装置１７１が設けられている。モールド長調整装置１７１は、ベース部材１４７に一体的に支持されているガイドレール１７３と、ガイドレール１７３に係合して上下方向に移動自在になっている軸受け部材１７５と、この軸受け部材１７５に軸（軸Ｃ１２や図９（ａ）で示す軸Ｃ３に平行な軸）Ｃ４を回転中心にして回転自在に設けられているローラ１７７とを備えて構成されている。ローラ１７７の下方側には、シート状のモールドＭが巻き掛けられている。
【０１４０】
さらに、軸受け部材１７５は、図示しない付勢手段によって、たとえば、シート状モールドＭＡを下方に一定の力で付勢している。具体的には、図示しない空気圧シリンダによって、軸受け部材１７５が付勢されている。この空気圧シリンダに供給される圧縮空気の配管部には、図示しないレギュレータとリリーフバルブとが接続されており、空気圧シリンダからのロッドの延出量にかかわらず、常に一定の付勢力を軸受け部材１７５に与えることができるようになっている。
【０１４１】
シート状モールド移送位置決め装置７での平板状のシート状モールドＭＡを移送するときには、図１６（ａ）等で示すように、被成型品保持体１５７の上面はシート状モールドＭＡや被成型品Ｗの下方でシート状モールドＭＡや被成型品Ｗから離れており、モールド保持体１６１の下面は、水平になってシート状モールドＭＡの上面に接触しているがもしくはごく僅かに離れている。また、離型体１６７は、下方に位置しており、モールド挟持体１６３も下方に位置してモールドを挟んでいない。
【０１４２】
シート状モールド移送位置決め装置７での平板状のシート状モールドＭＡの移送が終了して、シート状モールドＭＡから被成型品Ｗを引き剥がすときには、たとえば、図１７（ａ）で示すように、被成型品保持体１５７が上昇して、真空吸着により被成型品Ｗを保持し、真空吸着によりモールド保持体１６１でシート状モールドＭＡを保持するようになっている。
【０１４３】
そして、図１８（ａ）等で示すように、モールド挟持体１６３とモールド保持体１６１とで、シート状モールドＭＡを挟持し、離型体１６７を上昇してモールド保持体１６１（モールド挟持体１６３）を回動し、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの分離をするようになっている。このときに、モールド原反設置装置９（転写装置５）とモールド巻き取り装置１１との間で延びている平板状のシート状モールドＭＡの長さに変化が生じるので、この変化をモールド長調整装置１７１で吸収し、シート状モールドＭＡにやたらな張力を発生させることなく（張力をほぼ一定にしておいて）、モールド保持体１６１（モールド挟持体１６３）の回動を可能にしている。
【０１４４】
なお、モールド引き剥がし装置７のベース部材１４７は、ベッド４５に一体的に設けられている。また、モールド引き剥がし装置７でのシート状モールドＭＡからの被成型品Ｗの引き剥がしは、転写装置５による転写がされているとき（より具体的には、押圧体３１と被成型品設置体３３とで、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの挟み込みをしているとき）になされるようになっている。
【０１４５】
次に、転写システム１の動作を説明する。
【０１４６】
初期状態では、図９（ａ）で示すように、モールド原反設置装置９にモールド原反ＭＢが設置されており、モールド巻き取り装置１１とモールド原反設置装置９との間に、平板状のシート状モールドＭＡが適宜の張力で存在している。また、シート状モールドＭＡの転写パターン形成領域ＡＥ１が、転写装置５での転写がなされる位置に位置している。
【０１４７】
転写装置５の真空成型室９９は開放されており（各ベローズ１０１，１０７が縮んでおり）、移動体４９は下降しており、紫外線発生装置１２５は、停止して紫外線を発生していない。なお、図９（ａ）で示す距離（押圧体３１の下面と平板状のシート状モールドＭＡの上面との間の距離）Ｌ２は、実際には、ごく僅かな距離になっている。
【０１４８】
また、上記初期状態では、図１６（ａ）で示すように、引き剥がし装置７の被成型品保持体１５７は下降しており、モールド保持体１６１は回動しておらず、モールド保持体１６１の下面は水平になっている。モールド挟持体１６３は下方に位置して、シート状モールドＭＡを挟持しておらず、離型体１６７は下方に位置しており、被成型品保持体１５７の押し上げをしていない。さらに、被成型品Ｗが貼り付いているシート状モールドＭＡが、引き剥がし装置７での引き剥がしに適した適宜の位置に位置している。
【０１４９】
まず、転写装置５の動作について説明する。
【０１５０】
上記初期状態において、制御装置１７９の制御の下、転写前被成型品搬送装置１５によって転写前の被成型品Ｗを、転写装置５の被成型品設置体３３に設置する（図９（ｂ）参照）。
【０１５１】
続いて、各エアーシリンダ１０５，１１１で上下の各ベローズ１０１，１０７を延ばし（図１０（ａ）参照）。移動体４９を上昇して真空成型室９９を形成し（図１０（ｂ）参照）、真空成型室９９内を真空ポンプ（図２等参照）１２１によって減圧してほぼ真空の状態にする（図１１（ａ）参照）。
【０１５２】
続いて、真空成型室９９を維持したまま、上側のエアーシリンダ１０５を中間位置にし、移動体４９をごく僅かにさらに上昇させ、平板状のシート状モールドＭＡを押圧体３１（モールド接触材３９）に接触させ（図１１（ｂ）等参照）、移動体４９を僅かにさらに上昇し、押圧体３１と被成型品設置体３３とで被成型品Ｗとシート状モールドＭＡとを挟み込んで押圧し、紫外線発生装置１２５が発する紫外線を被成型品Ｗの紫外線硬化樹脂Ｗ２に照射して、紫外線硬化樹脂Ｗ２を硬化させる（図１２（ａ）参照）。
【０１５３】
続いて、真空成型室９９を大気圧に戻し（図１２（ｂ）参照）、上側のエアーシリンダ１０５で上側接触部材１０３を下降させるとともに移動体４９をごくわすかに下降して、お互いが貼り付いているシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを、押圧体３１と被成型品設置体３３から離す（図１３（ａ）参照）。
【０１５４】
続いて、モールド保持機構１２７でシート状モールドＭＡを保持し（図１３（ｂ）参照）、各エアーシリンダ１０５，１１１で上下の各ベローズ１０１，１０７を縮めて、真空成型室９９を開放し（無くし、図１４（ａ）参照）、移動体４９をさらに下降する（図１４（ｂ）参照）。
【０１５５】
続いて、モールド保持機構１２７でのシート状モールドＭＡの保持を止めて、シート状モールド移送位置決め装置３で、シート状モールドＭＡを被成型品Ｗが貼り付いたまま引き剥がし装置７に移送し（図１５参照）、次の転写にそなえる。
【０１５６】
次に、引き剥がし装置７の動作について説明する。
【０１５７】
上記初期状態において、制御装置１７９の制御の下、被成型品保持体１５７を上昇して、被成型品保持体１５７とモールド保持体１６１とでシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを挟み込み（図１６（ｂ）参照）、真空吸着によって被成型品保持体１５７で被成型品Ｗを保持し、真空吸着によってモールド保持体１６１でシート状モールドＭＡを保持する（図１７（ａ）参照）。
【０１５８】
続いて、モールド挟持体１６３を上昇して、モールド挟持体１６３とモールド保持体１６１とでシート状モールドＭＡを挟み込み（図１７（ｂ）参照）、離型体１６７を上昇してモールド保持体１６１を回動し、被成型品（転写後被成型品）Ｗからシート状モールドＭＡを引き剥がし（図１８（ａ）参照）、被成型品保持体１５７を下降する（図１８（ｂ）参照）。
【０１５９】
続いて、被成型品保持体１５７での真空吸着を停止し（図１９（ａ）参照）、転写後被成型品搬送装置１９によって、被成型品Ｗを搬出をし（図１９（ｂ）参照）、離型体１６７を下降してモールド保持体１６１の下面を水平にし、モールド挟持体１６３を下降してシート状モールドＭＡの挟持を止め、モールド保持体１６１での真空吸着を止め（図２０（ａ）参照）、シート状モールド移送位置決め装置７でシート状モールドＭＡを移送し、上述した初期状態になる（図２０（ｂ）参照）。
【０１６０】
転写システム１によれば、転写装置５で転写を行い、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとがお互いにくっついている状態でシート状モールドＭＡを移送し、転写装置５から離れて別個に設けられている引き剥がし装置７でシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの引き剥がし行うので、換言すれば、転写と引き剥がしとを別の箇所の別工程で行うので、転写と引き剥がしとを並行して行うことができ、シート状のモールドＭＡに形成されている微細な転写パターンＭ１を被成型品Ｗに転写するに際し、転写がされた被成型品Ｗを効率よく得ることができる（転写のスループットを短縮することがきる）。
【０１６１】
また、引き剥がし装置７を転写装置５から離して設けることができるので、引き剥がし装置７の設置スペースに余裕が生じ、無理の無い設計思想で転写装置５や引き剥がし装置７を作成することができる。また、転写前被成型品搬送装置１５や転写後被成型品搬送装置１９の設置がしやすくなる。
【０１６２】
また、転写システム１によれば、処理の能力の高い（タクトタイムの短い）１台のシート状モールド作成装置２７に対して、シート状モールド作成装置２７よりも処理能力が低い（タクトタイムの長い）転写装置５等を複数台設けてあるので（図２５参照）、シート状モールド作成装置２７の台数を少なくすることができ、転写システム１を簡素化し安価にすることができる。
【０１６３】
また、転写システム１によれば、転写装置５に緩衝材３５を設けているので、転写の際に均一な圧力でシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを挟み込むことができ、転写抜けの発生を抑制することができる。
【０１６４】
さらに、転写システム１によれば、転写装置５の緩衝材３５にモールド接触材３９を設けてあるので、転写の際におけるシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの挟み込みをして転写をし、この転写後に押圧体３１をシート状モールドＭＡから離すときに、押圧体３１がシート状モールドＭＡに貼り付きにくくなっており、転写後の挟み込みの開放を確実に行うことができる。
【０１６５】
また、転写システム１によれば、ラミネートフィルムＳ１が設けられているので、モールド原反ＭＢにおける微細な転写パターンＭ１の傷付きを回避することができる。
【０１６６】
なお、上記説明では、シート状モールド作成装置２７、転写装置５において、ＵＶインプリント法をすることを例に掲げて説明したが、シート状モールド作成装置２７、転写装置５において、熱インプリント法をするようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１６７】
１ 転写システム
３ シート状モールド移送位置決め装置
５ 転写装置
７ 引き剥がし装置
２７、２７ａ シート状モールド作成装置
２９ 移送・転写・引き剥がしユニット
３１ 押圧体
３３ 被成型品設置体
３５ 緩衝材
３７ 基材
３９ モールド接触材
ＡＥ１ 転写パターン形成領域
ＡＥ２ 転写パターン非形成領域
Ｍ，ＭＡ シート状モールド
Ｍ１ 微細な転写パターン
ＭＢ モールド原反
Ｓ１ ラミネートフィルム
Ｗ 被成型品
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写システムおよび転写方法に係り、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターンを形成して型（モールド）を作製し、被成型品に前記型を所定の圧力で押圧して、当該型に形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている（たとえば、非特許文献１参照）。
【０００３】
ナノオーダーの微細なパターン（転写パターン）を低コストで成型する方法としてリソグラフィ技術を用いたインプリント法が考案されている。この成型法は大別して熱インプリント法とＵＶインプリント法とに分類される。
【０００４】
熱インプリント法では、型を基板に押圧し、熱可塑性ポリマからなる樹脂（熱可塑性樹脂）が十分に流動可能となる温度になるまで加熱して微細パターンに樹脂を流入させたのち、型と樹脂をガラス転移温度以下になるまで冷却し、基板に転写された微細パターンを固化したのち型を引き離す。
【０００５】
ＵＶインプリント法では、光を透過できる透明な型を使用し、ＵＶ硬化性液に型を押しつけてＵＶ放射光を加える。適当な時間放射光を加えて液を硬化させ微細パターンを転写したのち型を引き離す。
【０００６】
また、上記転写をするときに、モールドとしてシート状のものを使用する方式が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特願２００９−１６４５６９
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25(2001) 192-199
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上記従来のシート状のモールドを用いた転写装置では、ロール状のモールド原反と転写後のロール状のモールドとの間に、転写装置を配し、この転写装置に付帯させて被成型品離型装置（転写後に被成型品と型とを分離する装置）を設けてある。
【００１０】
したがって、転写後にモールドからの被成型品の引き剥がしを行い、この引き剥がし後に次の転写をする必要があり、転写を効率よく行うことができないという問題がある。
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写システムにおいて、転写を効率よく行うことができるものを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、微細な転写パターンが形成されている平板状のシート状モールドを所定の方向に移送位置決めするシート状モールド移送位置決め装置と、前記シート状モールド移送位置決め装置の移送方向で上流側に設けられ、前記微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置と、前記シート状モールド移送位置決め装置の移送方向で下流側に設けられ、前記転写装置による転写がされ前記シート状モールド移送位置決め装置による移送がされた後、お互いが貼り付いている前記シート状モールドと前記被成型品とを引き剥がす引き剥がし装置とを有する転写システムである。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の転写システムにおいて、シート状の素材に微細な転写パターンを形成して前記シート状モールドを作成するシート状モールド作成装置を有し、１台の前記シート状モールド作成装置に対して、１台の前記シート状モールド移送位置決め装置と１台の前記転写装置と１台の前記引き剥がし装置とを備えて構成されている１組の移送・転写・引き剥がしユニットが、複数組設けられている転写システムである。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２の記載の転写システムにおいて、前記転写装置は、押圧体と前記被成型品を設置する被成型品設置体とにより前記被成型品と前記平板状のシート状モールドとを挟み込んで、前記転写をするように構成されており、前記押圧体は、緩衝材によって前記挟み込みをするように構成されている転写システムである。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の転写システムにおいて、前記押圧体は、剛性の高い材料で構成された基材と、この基材を覆うように層状に設けられた前記緩衝材と、前記シート状モールドに貼り付きにくい材料で構成され前記記緩衝材を覆うように層状に設けられたモールド接触材とを備えて構成されている転写システムである。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の転写システムにおいて、前記平板状のシート状モールドは、前記シート状モールドが巻かれているモールド原反から延出しているシート状モールドであり、前記微細な転写パターンは、前記シート状モールドの一部である転写パターン形成領域に形成されており、前記転写パターン形成領域以外の前記シート状モールドの部位には、ラミネートフィルムが設けられている転写システムである。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の転写システムを用いてさなれる前記被成型品への転写方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写システムにおいて、転写を効率よく行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る転写システムの概要を示す図である。
【図２】転写システムの概要を示す平面図である。
【図３】転写システムの概要を示す平面図である。
【図４】平板状のシート状モールドと各接触部材等の大きさや位置の関係を示す図である。
【図５】平板状のシート状モールドと各接触部材等の大きさや位置の関係を示す図である。
【図６】転写装置概略構成を示す斜視図である。
【図７】転写装置概略構成を示す斜視図である。
【図８】転写装置の断面矢視図である。
【図９】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１０】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１１】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１２】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１３】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１４】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１５】転写装置の概要と動作を示す図である。
【図１６】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図１７】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図１８】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図１９】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図２０】引き剥がし装置の概要と動作を示す図である。
【図２１】図９（ａ）におけるＸＸＩ部の拡大図である。
【図２２】シート状モールド作成装置の概要を示す図である。
【図２３】変形例に係るシート状モールド作成装置の概要を示す図である。
【図２４】シート状モールドを示す図である。
【図２５】シート状モールド作成装置を含む転写システムの概要を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１は、本発明の実施形態に係る転写システム１の概要を示す図であり、図２、図３は、転写システム１の概要を示す平面図である。
【００２１】
転写システム１は、シート状のモールドＭに形成されている微細な転写パターンＭ１を被成型品Ｗに転写するシステムであり、シート状モールド移送位置決め装置３と転写装置５と引き剥がし装置７とを備えて構成されている。
【００２２】
図６、図７は、転写装置５の概略構成を示す斜視図であり、図８は、転写装置５の断面矢視図であって、図８（ａ）は、図６におけるＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＡ断面矢視図であり、図８（ｂ）は、図６におけるＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ断面矢視図であり、図８（ｃ）は、図８（ｂ）におけるＣ−Ｃ断面を示す図である。なお、図８（ａ）では、詳しくは後述するベローズ１０７、下側接触部材１０９の表示を省略してある。図９〜図１５は、転写装置５の概要と動作を示す図であり、図１６〜図２０は、引き剥がし装置７の概要と動作を示す図であり、図２１は、図９（ａ）におけるＸＸＩ部の拡大図である。
【００２３】
シート状モールド移送位置決め装置３は、シート状のモールドＭを所定の箇所（たとえばモールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間）で平板状にして、この平板状のシート状モールドＭＡを所定の方向（たとえばモールド原反設置装置９からモールド巻き取り装置１１で向かう水平方向）に移送位置決めする装置である。
【００２４】
なお、微細な転写パターンＭ１は、たとえば、多数の微細な凹凸で形成されており、高さやピッチが可視光線の波長程度かもしくは可視光線の波長よりも僅かに大きいか僅かに小さいパターンであり、シート状モールドＭの厚さ方向の一方の面に形成されている。すなわち、図１、図９〜図２０では、平板状のシート状モールドＭＡの下面に微細な転写パターンが形成されている。
【００２５】
転写装置５は、平板状のシート状モールドＭＡに形成されている微細な転写パターンＭ１を被成型品（被転写品）Ｗに、平板状のシート状モールドＭＡで被成型品Ｗを押圧して転写する装置であり、シート状モールド移送位置決め装置３によるシート状モールドＭの移送方向で上流側（図１、図９〜図２０等では左側）に設けられている。
【００２６】
引き剥がし装置（被成型品分離装置）７は、転写装置５による転写がされてお互いが貼り付いているシート状モールドＭＡと被成型品（転写後被成型品）Ｗとを、引き剥がす（シート状モールドＭＡから被成型品Ｗを引き剥がす；分離する）装置であり、シート状モールド移送位置決め装置３によるシート状モールドＭＡの移送方向で下流側（転写装置５から離れて転写装置５よりも下流側；図１、図９〜図２０等では右側）に設けられている。
【００２７】
なお、引き剥がし装置７による引き剥がしは、転写装置５による転写がされた後であってシート状モールド移送位置決め装置３によるシート状モールドＭＡとこのシート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品Ｗとの移送位置決めがされた後、転写装置５での次の別の転写がなされているときに行われるようになっている。また、シート状モールド移送位置決め装置３によるシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの移送位置決めは、平板状のシート状モールドＭＡをモールド巻き取り装置１１で巻き取ることによって行われるようになっている。
【００２８】
また、転写システム１には、転写前被成型品ストッカ（転写前基板ストッカ）１３と転写前被成型品搬送装置１５と転写後被成型品ストッカ（転写済み基板ストッカ）１７と転写後被成型品搬送装置１９とが設けられている。
【００２９】
転写前被成型品ストッカ１３は、転写装置５での転写がなされる前の複数の転写前被成型品Ｗを格納するストッカであり、転写前被成型品搬送装置１５は、転写前被成型品ストッカ１３に格納されている転写前被成型品Ｗを枚葉で（１枚ずつ）転写装置５に供給する装置である。
【００３０】
転写後被成型品ストッカ１７は、転写装置５での転写がなされた後の複数の転写後被成型品Ｗを格納するストッカであり、転写後被成型品搬送装置１９は、引き剥がし装置７でシート状モールドＭＡから引き剥がされた転写後被成型品Ｗを枚葉で転写後被成型品ストッカ１７に供給する装置である。
【００３１】
なお、転写前被成型品搬送装置１５は、ロボット２１とスライダ２３とを備えて構成されている。スライダ２３は、転写前被成型品ストッカ１３に格納されている転写前被成型品Ｗを枚葉で転写前被成型品ストッカ１３から取り出しロボット２１に引き渡す装置である。
【００３２】
また、転写後被成型品搬送装置１９は、ロボット２１とスライダ２５とを備えて構成されている。スライダ２５は、ロボット２１から受け取った転写後被成型品Ｗを、転写後被成型品ストッカ１７に枚葉で格納する装置である。
【００３３】
さらに、転写システム１には、シート状モールド作成装置２７が設けられている。
【００３４】
図２２は、シート状モールド作成装置２７の概要を示す図である。
【００３５】
シート状モールド作成装置２７は、シート状の素材Ｍ２の厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンＭ１をたとえば転写によって形成してシート状モールド（シート状の型）Ｍを作成する装置である。転写システム１では、１台のシート状モールド作成装置２７に対して、１台のシート状モールド移送位置決め装置３と１台の転写装置５と１台の引き剥がし装置７とを備えて構成されている１組の移送・転写・引き剥がしユニット２９が、複数組設けられている。
【００３６】
すなわち、図２５で示すように、１台のシート状モールド作成装置２７に対して、複数台の移送・転写・引き剥がしユニット２９が設けられている。そして、シート状モールド作成装置２７で作成されたシート状のモールドＭが各々の移送・転写・引き剥がしユニット２９に供給されるようになっている。シート状モールド作成装置２７と移送・転写・引き剥がしユニット２９との数の比は、シート状モールド作成装置２７のタクトタイムと移送・転写・引き剥がしユニット２９のタクトタイムとを参照して、シート状モールド作成装置２７や移送・転写・引き剥がしユニット２９のあそび時間（アイドリングタイム）が最小になり、最も効率良くシート状モールドＭから被成型品Ｗへの転写がなされるように決められている。
【００３７】
なお、移送・転写・引き剥がしユニット２９が、転写前被成型品ストッカ１３、転写前被成型品搬送装置１５、転写後被成型品ストッカ１７、転写後被成型品搬送装置１９を備えていてもよい。
【００３８】
転写装置５は、たとえば、図９（ａ）で示すように、押圧体３１と被成型品Ｗを設置する被成型品設置体３３とで被成型品Ｗと平板状のシート状モールドＭＡとを挟み込み、転写をするように構成されている。
【００３９】
押圧体３１は、平板状の緩衝材（たとえば、紫外線が透過する硬質ゴムもしくは柔らかい樹脂等の弾性材で構成された緩衝材）３５によって、被成型品Ｗと平板状のシート状モールドＭＡとの挟み込みを行うように構成されている。
【００４０】
被成型品設置体３３と押圧体３１とで、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを挟み込んでいる状態では、被成型品設置体３３に被成型品Ｗが接触し、被成型品Ｗにシート状モールドＭＡが接触し、シート状モールドＭＡに押圧体３１が接触している（たとえば、図１２（ａ）参照）。
【００４１】
転写装置５の押圧体３１は、図２１に示すように、紫外線が透過するガラス等の剛性の高い材料で構成された平板状の基材（たとえば、バックアップガラス）３７と、この基材３７を覆うように層状に設けられた緩衝材３５と、紫外線が透過しシート状モールドＭに貼り付きにくい（たとえば摩擦係数の小さい材料）材料（たとえば、ガラス、ＰＥＴ樹脂）で構成された平板状のモールド接触材３９とを備えて構成されている。モールド接触材３９は、緩衝材３５を覆うように層状（緩衝材３５の弾性変形に応じて弾性変形する程度の薄い層状）に設けられている。
【００４２】
なお、被成型品設置体３３と押圧体３１とで、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを挟み込んでいる状態では、モールド接触材３９がシート状モールドＭＡに接触している。
【００４３】
モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間でたとえば水平方向に延出している平板状のシート状モールドＭＡは、シート状モールドＭが巻かれているモールド原反ＭＢから延出しているシート状モールドである（図１等参照）。
【００４４】
図２１で示す微細な転写パターンＭ１は、シート状モールドＭの一部である転写パターン形成領域ＡＥ１に形成されており、転写パターン形成領域以外のシート状モールドＭの部位ＡＥ２の少なくとも一部には、スペーサ（ラミネートフィルム）Ｓ１が設けられている（図２４参照）。なお、図２４（ａ）は、平板状のシート状モールドＭＡの平面図であり、図２４（ｂ）は、図２４（ａ）におけるＢ−Ｂ断面を示す図である。
【００４５】
ラミネートフィルムＳ１は、図２４（ｃ）（モールド原反ＭＢの断面図）で示すように、モールド原反ＭＢになっているシート状モールドＭ（Ｍｘ）の微細な転写パターンＭ１；Ｍｘ１（転写パターン形成領域ＡＥ１）が、この微細な転写パターンＭ１（Ｍｘ１）に隣接して対向しているシート状モールドＭ（Ｍｙ）に押圧されることを防ぐ（たとえば、接触することを防ぐ）ための所定の厚さになっている。
【００４６】
シート状のモールドＭは、すでに理解されるように、所定の幅で長く形成されている。なお、図１、図９〜図２２の紙面に直交する方向がシート状のモールドＭの幅方向になっている。
【００４７】
微細な転写パターンＭ１は、図２４（ａ）で示すように、たとえば、矩形状の領域ＡＥ１に形成されている。この矩形状の転写パターン形成領域ＡＥ１はシート状のモールドＭの幅よりも小さくなっている。シート状のモールドＭの厚さ方向から見ると、転写パターン形成領域ＡＥ１は、この幅方向がシート状のモールドＭの幅方向と一致して、シート状のモールドＭの中程に位置している。シート状のモールドＭの長手方向では、転写パターン形成領域ＡＥ１が、所定の間隔をあけて（ピッチｐ１で）、シート状モールドＭの長手方向に並んでいる。
【００４８】
シート状モールド移送位置決め装置３は、モールド原反ＭＢを設置するモールド原反設置装置（繰り出しローラ）９と、このモールド原反設置装置９に設置されているモールド原反ＭＢから繰り出している（延出している）シート状のモールドＭＡを巻き取るモールド巻き取り装置（巻き取りローラ）１１とを備えて構成されている。そして、前述したように、モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で、シート状モールドＭＡが延出し、ほぼ平板状になっている（図１等参照）。なお、モールド原反設置装置９、モールド巻き取り装置１１は、ベッド４５に一体的に設けられている。
【００４９】
モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で、平板状になっているシート状モールド（平板状のシート状モールド）ＭＡには、この長手方向（モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１とをお互いにむすぶたとえば水平な方向）で所定の張力がかかっている。これによって、平板状の形態を保つようになっている。微細な転写パターンＭ１は、図９〜図２０では図示してはいないが、前述したように、平板状のシート状モールドＭＡの下面に形成されている（図２１参照）。
【００５０】
モールド原反（反物状のモールド）ＭＢは、転写装置５での転写に使用される前のロール状のモールドである。モールド原反ＭＢは、シート状のモールドＭを、円柱状の芯材の外周に、この外周の周方向とシート状のモールドＭの長手方向とがお互いに一致するようにして巻き重ね、円筒状もしくは円柱状に形成されている。
【００５１】
モールド巻き取り装置１１で巻き取られた巻き取り済みモールドＭＣは、転写装置５での転写に使用されたモールドであり、モールド原反ＭＢと同様にしてロール状になっている。
【００５２】
モールド原反設置装置９に設置されているモールド原反ＭＢは、この中心軸（たとえば水平方向に延びている軸；図１や図９（ａ）等の紙面に直交する方向に延出している軸）Ｃ１を回転中心にして回転するようになっている。モールド巻き取り装置１１で巻き取られる巻き取り済みモールドＭＣも、この中心軸（軸Ｃ１と平行で水平方向に延びている軸）Ｃ２を回転中心にして回転するようになっている。
【００５３】
モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間に存在している平板状のシート状モールドＭＡは、前述したように、たとえば、厚さ方向が上下方向になっており、長手方向が水平な１方向であってモールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１とをお互いにむすぶ方向になっており、幅方向が水平な他の１方向であって厚さ方向と長手方向とに直交する方向になっている。
【００５４】
平板状のシート状モールドＭＡは、この長手方向であって、モールド原反設置装置９からモールド巻き取り装置１１に向かう方向に、ほぼ平板状の形態を保ったまま、シート状モールド移送位置決め装置３で移送位置決めされるようになっている。
【００５５】
シート状モールド移送位置決め装置３による１回の移送距離は、たとえば、微細な転写パターンＭ１が形成されている領域ＡＥ１のピッチｐ１と等しくなっている。また、シート状モールド移送位置決め装置３による移送がされた後は、次の移送がされるまで、モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出しているシート状モールドＭＡは、所定の張力を保った状態でその位置がほぼ維持されるようになっている。
【００５６】
具体的には、モールド原反設置装置９に設置されているモールド原反ＭＢは、パウダークラッチ等のトルク制御クラッチを介してモータ等のアクチュエータの回転出力軸に連結されて、回転するようになっている。モールド巻き取り装置１１で巻き取られるシート状モールドＭ（巻き取り済みモールドＭＣ）は、サーボモータ等のアクチュエータの回転出力軸にされて、回転するようになっている。
【００５７】
そして、モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出している平板状のシート状モールドＭＡを移送する場合には、モールド原反設置装置９のモータを逆回転させておき（平板状のシート状モールドＭＡをモールド原反設置装置９で巻き取るようにモールド原反ＭＢのモータの回転出力軸を回転させておき）、パウダークラッチのトルクを所定の値Ｔ１にしておき、モールド巻き取り装置１１のサーボモータの回転出力軸を、平板状のシート状モールドＭＡを巻き取る方向に所定のトルクＴ２で所定の回転角度だけ回転する。この場合において、モールド原反設置装置９に設置されているモールド原反ＭＢの半径を「Ｒ１」とし、モールド巻き取り装置１１における巻き取り済みモールドＭＣの半径を「Ｒ２」とすると、「Ｔ１／Ｒ１＜Ｔ２／Ｒ２」になっている。これにより、所定の張力Ｆ１（Ｆ１＝Ｔ１／Ｒ２−Ｔ１／Ｒ１）を保って、モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出している平板状のシート状モールドＭＡが、モールド巻き取り装置１１側に移送されるようになっている。
【００５８】
シート状モールド移送位置決め装置３による平板状のシート状モールドＭＡの移送がされておらず、平板状のシート状モールドＭＡがその位置を維持している状態では、モールド巻き取り装置１１のサーボモータの回転出力軸は、所定の保持トルクで停止している。また、モールド原反設置装置９のモータとパウダークラッチとで、平板状のシート状モールドＭＡが所定の張力を得ている。
【００５９】
モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出している平板状のシート状モールドＭＡの移送距離の決定（移送位置決め）は、たとえば、センサを用いてなされるようになっている。
【００６０】
すなわち、光透過型センサの発光部を平板状のシート状モールドＭＡの下側に設置し、光透過型センサの受光部を平板状のシート状モールドＭＡの上側に設置してある。そして、光透過型センサの発光部と光透過型センサの受光部との間を、平板状のシート状モールドＭＡの転写パターン形成領域ＡＥ１と転写パターン非形成領域ＡＥ２とが、平板状のシート状モールドＭＡの移送によって通過するようになっている。そして、透過型センサの発光部と光透過型センサの受光部との間を移送される平板状のシート状モールドＭＡでの光の透過率の違いによって、平板状のシート状モールドＭＡの移送位置決めがなされるようになっている。
【００６１】
更に説明すると、図２４（ａ）の点Ｐ１の位置にセンサが設けられているとする。センサの光の透過率は、転写パターン形成領域ＡＥ１では低く、転写パターン形成領域ＡＥ２では高くなっているものとする。また、図２４（ａ）に示す状態では、予め平板状のシート状モールドＭＡが移送され位置決めがなされているものとする。
【００６２】
図２４（ａ）で示す状態から、センサに対して平板状のシート状モールドＭＡを右方向に所定の距離であるピッチｐ１だけ移送して位置決めするときには、センサによる光の透過率が始めに低く次に高くなり、この後低くなったときに、平板状のシート状モールドＭＡの移動を停止する。
【００６３】
なお、平板状のシート状モールドＭＡの移送距離（移送位置決め）を、光透過型センサの代わりに光反射型センサを用いて行ってもよいし、平板状のシート状モールドＭＡの所定の位置に、アライメントマークをシート状モールド作成装置２７で予めつけておいて、そのアライメントマークをカメラや画像処理装置で検出して行ってもよい。また、モールド巻き取り装置１１に設けられているサーボモータの回転出力軸の回転角度を検出可能なロータリエンコーダを設けるとともに、モールド巻き取り装置１１で巻き取っている巻き取り済みモールドＭＣの外径をセンサで測定することにより、平板状のシート状モールドＭＡの移送距離（移送位置決め）をするようにしてもよい。
【００６４】
さらに、モールド原反ＭＢを作成するときに生成されるエッジラインＬ１（図２４（ａ）参照；詳しくは後述）を光透過型センサ等で検出して、平板状のシート状モールドＭＡの移送距離の決定（移送位置決め）をするようにしてもよい。
【００６５】
ところで、平板状のシート状モールドＭＡの張力Ｆ１は、図９（ａ）等で示すように、テンショナ（張力検出装置）４１で検出されるようになっている。この検出結果に応じて、張力Ｆ１が所定の値になるように、パウダークラッチのトルクが制御されるようになっている。
【００６６】
テンショナ４１は、円柱状のローラ４３と、基台（図示せず）とを備えている。ローラ４３は、軸受け（図示せず）を介して基台（図１に示すベッド４５に一体的に設けられている基台）に設けられており、ローラ４３の中心軸（図９（ａ）等の紙面に直交する方向に延出している軸）Ｃ３を回転中心にして回転するようになっている。
【００６７】
また、基台と軸受けとの間には、ロードセル（図示せず）が設けられており、平板状のシート状モールドＭＡの張力に応じてローラ４３にかかる荷重を検出することができるようになっている。すなわち、ローラ４３には、平板状のシート状モールドＭＡが巻き掛けられている。この巻き掛けられているシート状のモールドＭＡが、ローラ４３の軸受けに荷重をかけるように構成されている。そして、ロードセルにかかる荷重を検出（測定）することによって、平板状のシート状モールドＭＡの張力を検出することができるようになっている。
【００６８】
転写装置５は、図６等で示すように、ベース部材４７と移動体４９と移動体支持体５１とを備えている。ベース部材４７は、下側部材５３と上側部材５５とタイバ（タイロッド）５７とを備えている。下側部材５３と上側部材５５と移動体４９とは、たとえば、矩形な平板状であってお互いがほぼ同形状に形成されている。
【００６９】
下側部材５３と上側部材５５とは、たとえば、厚さ方向が上下方向になるようにして、上下方向で所定の間隔をあけて設けられている。下側部材５３と上側部材５５とを平面視すると、お互いがほぼ重なっている。また、下側部材５３と上側部材５５とは、たとえば４本のタイバ５７によって連結されている。
【００７０】
タイバ５７は、たとえば円柱状に形成されており、中心軸の延伸方向が上下方向になるようにして、下側部材５３と上側部材５５との間で、下側部材５３と上側部材５５とに一体的に設けられている。平面視すると、４本のタイバ５７は、下側部材５３や上側部材５５の角部の近傍に設けられている。また、４本のタイバ５７は、下側部材５３や上側部材５５の中心に対して対称的に配置されている。すなわち、転写装置５での転写の際の押圧によって、タイバ５７に引っ張り応力が発生してごくわずかに弾性変形するのであるが、この引っ張り応力による４本のタイバ５７の僅かな延び量がお互いに等しくなるのである。
【００７１】
移動体支持体５１は、矩形な平板状の基部５９と「コ」字状の側部６１とをそなえてたとえば一体で形成されている。さらに説明すると、基部５９は、下側部材５３や上側部材５５と同様にして矩形な平板状に形成されており、側部６１は、基部５９の側面から基部５９の厚さ方向に起立している。そして、平面視すると（基部５９の厚さ方向から見ると）、側部６１は、「コ」字状になっており、基部５９の１つの辺と、この１つの辺に隣接している２つの辺のところに位置している。また、平面視した場合、「コ」字状の側部６１の一端部は、基部５９の１つの辺に隣接している一方の辺のほぼ中央部に位置しており、「コ」字状の側部６１の他端部は、基部５９の１つの辺に隣接している他方の辺のほぼ中央部に位置している（図８等参照）。
【００７２】
そして、移動体支持体５１は、基部５９の厚さ方向の一方の面（側部６１が延出している側の面）が、下側部材５３の下面に対向するようにして、下側部材５３に一体的に設けられている。また、平面視すると、移動体支持体５１の基部５９は、下側部材５３にほぼ重なっており、移動体支持体５１の側部６１は、下側部材５３から僅かに離れて下側部材５３の外周の半分を囲んでいる（下側部材５３の１つの辺とこの１つの辺に隣接している２つの辺のほぼ半分を囲んでいる）。また、側面視すると、側部６１の先端面（上面；図６参照）６３は、下側部材５３と上側部材５５との間に位置している。
【００７３】
移動体支持体５１と下側部材５３との接合は、下側部材５３や移動体支持体５１の基部５９の中心の近傍のみでなされている。たとえば、移動体支持体５１の基部５９の中心近傍には複数の座（基部５９の上側の面より僅かに突出しているとともに上面が平面になっている部位）６５が設けられている。座６５はたとえば４つ設けられている。平面視すると、４つの座６５は、移動体支持体５１の基部５９の中心（下側部材５３の中心）の近傍周辺に配置されている。また、基部５９の中心を中心とした小さな円を４等配する位置に、各座６５が設けられている。
【００７４】
移動体支持体５１の座６５の上面と下側部材５３の下面の一部とがお互いに面接触して（図８（ｃ）参照）、しかも、移動体支持体５１の他の部位が、下側部材５３等のベース部材４７とは一切接触せず支持されないように離れて、移動体支持体５１が下側部材５３にボルト６７等の締結具によって一体的に設けられている。
【００７５】
移動体４９は、厚さ方向が上下方向になるようにして、下側部材５３と上側部材５５との間に設けられている。平面視すると、移動体４９は下側部材５３や上側部材５５とほぼ重なっている。なお、移動体４９の角部には、切り欠き６９が設けられており、この切り欠き６９によって、移動体４９は、タイバ５７（ベース部材４７）から離れて、タイバ５７とは非接触になっている（図８（ａ）参照）。
【００７６】
また、移動体４９は、リニアガイドベアリング７１を介して、移動体支持体５１に支持されており、上下方向（下側部材５３と上側部材５５とをお互いにむすぶ方向；タイバ５７の中心軸の延伸方向）で移動するようになっている。
【００７７】
すなわち、移動体支持体５１の側部６１の一方の端部には、リニアガイドベアリング７１のレール７３が一体的に設けられている。このレール７３は上下方向に延伸している。移動体支持体５１の側部６１の他方の端部にも、リニアガイドベアリング７１のレール７３が上下方向に延伸して一体的に設けられている（たとえば、図８（ａ）、（ｂ）参照）。
【００７８】
移動体４９には、一対のレール７３と係合している一対のベアリング７５が一体的に設けられている。これによって、移動体４９が、リニアガイドベアリング７１のみで支持されて、下側部材５３と上側部材５５との間で、上下方向に移動自在になっている。また、平面視すると、一対のリニアガイドベアリング７１は、下側部材５３や上側部材５５や移動体４９の中心に対して対称的に（たとえば点対称の位置に）配置されている。
【００７９】
また、移動体４９は、たとえば、ボールねじ７７とサーボモータ７９等のアクチュエータによって、上下方向で移動位置決め自在になっている。
【００８０】
詳しく説明すると、図６〜図８で示すように、ボールねじ７７のねじ軸部８１の中心軸が下側部材５３の中心を通って上下方向に延伸して、ねじ軸部８１が下側部材５３に回転自在に設けられている。ボールねじ７７のねじ軸部８１は、下側部材５３に設置されている軸受け８３を介して、下側部材５３に回転自在に設けられており、下側部材５３から上方に延出している。ボールねじ７７のねじ軸部８１の上側の部位は、移動体４９に一体的に設けられたナット８５に係合している。
【００８１】
ボールねじ７７のねじ軸部８１の下側の部位は、カップリング８７を介してサーボモータ７９の回転出力軸に連結されている。サーボモータ７９の筐体は、筒状のスペーサ８９を介して、下側部材５３の下側で下側部材５３に一体的に設けられている。なお、サーボモータ７９やスペーサ８９と移動体支持体５１との干渉を避けるために、移動体支持体５１の基部５９の中心部には、貫通孔９１が設けられている。各座６５は、貫通孔９１の周辺近傍で、貫通孔９１のできるだけ近くに配置されている。
【００８２】
このように構成されていることによって、移動体４９が上下方向（上側部材５５に対して接近離反する方向）で移動位置決め自在になっている。また、微細な粉塵を発するおそれ（発塵のおそれ）がある部位（ナット８５や軸受け８３やサーボモータ７９）が、移動体４９の下側に配置されており、転写をする際に、被成型品Ｗに微細な異物が混入することを防止することができる。
【００８３】
なお、転写装置５とベッド４５（図１参照）との固定は、下側部材５３、移動体支持体５１の少なくともいずれかが、ベッド４５に係合することによりなされている。たとえば、下側部材５３をボルト等の締結具を用いて、ベッド４５に固定している。
【００８４】
上側部材５５の下面には、図９（ａ）等で示すように、押圧体３１が一体的に設けられている。押圧体３１は、上側部材５５の下面から下方に突出しており、押圧体３１の下面は水平な平面（たとえば、円形や矩形状の平面）になっており、転写をするときに、この平面がシート状のモールドＭＡに面接触するようになっている。
【００８５】
移動体４９の上面には、図９（ａ）等で示すように、ロードセル９５やスペーサ９７を間にして、被成型品設置体３３が一体的に設けられている。平板状のロードセル９５や平板状のスペーサ９７や被成型品設置体３３は、移動体４９の上面から上方に突出しており、被成型品設置体３３の上面は水平な平面（たとえば、円形状や矩形状の平面）になっている。
【００８６】
そして、被成型品Ｗの下面（平板状の被成型品Ｗの厚さ方向の一方の面；図２１で示す基材Ｗ１の下面）が、被成型品設置体３３の上面に面接触し、被成型品Ｗの厚さ方向が上下方向になるようにして、被成型品Ｗが被成型品設置体３３に載置されている。また、被成型品Ｗは、たとえば真空吸着で、被成型品設置体３３に一体的に設置されるようになっている。
【００８７】
上側部材５５の下面には、真空成型室９９（たとえば図１１（ａ）参照）を形成するための筒状のベローズ（上側ベローズ）１０１が下方に突出して設けられている。ベローズ１０１の基端（上端）は、上側部材５５に一体的に設けられており、ベローズ１０１の先端（下端）には、円環状の上側接触部材１０３が一体的に設けられている。上側接触部材１０３の下面は、たとえば水平な円環状の平面になっている。
【００８８】
上側接触部材１０３と上側部材５５とには、たとえば、図９（ａ）で示すように、エアーシリンダ１０５等のアクチュエータが設けられている。エアーシリンダ１０５は、上側部材５５に一体的に設けられており、エアーシリンダ１０５のロッド（ピストンロッド）は、上側接触部材１０３に一体的に設けられている。そして、エアーシリンダ１０５によって、ベローズ１０１が伸縮するようになっている。
【００８９】
エアーシンンダ１０５は、３ポジションタイプのものであり、ロッドのストロークの両端部に加えて、ロッドのストロークの中間部の所定の位置で、シリンダに対するロッドの位置を固定することができるようになっている。
【００９０】
そして、ロッドが最も引っ込んだ状態では、上側接触部材１０３の下面が押圧体３１の下面よりも上方に位置しており（たとえば、図９（ａ）参照）、ロッドが中間部の所定の位置に位置している状態では、上側接触部材１０３の下面が押圧体３１の下面と同じ高さに位置しており（たとえば、図１１（ｂ）参照）、ロッドが最も延出した状態では、上側接触部材１０３の下面が押圧体３１の下面よりも僅かに下方に位置するようになっている（たとえば、図１０（ａ）参照）。
【００９１】
平板状のスペーサ９７は、たとえば、図９（ａ）で示すように、この厚さ方向が上下方向になるようにして、ロードセル９５と被成型品設置体３３とに一体的に設けられている。ロードセル９５は、移動体４９に一体的に設けられている。
【００９２】
スペーサ９７の上面には、真空成型室９９を形成するための筒状のベローズ（上側ベローズと同形状に形成された下側ベローズ）１０７が上方に突出して設けられている。ベローズ１０７の基端（下端）は、スペーサ９７に一体的に設けられており、ベローズ１０７の先端（上端）には、円環状の下側接触部材（上側接触部材１０３と同形状に形成された下側接触部材）１０９が一体的に設けられている。下側接触部材１０９の上面は、たとえば、水平な円環状の平面になっている。
【００９３】
下側接触部材１０９とスペーサ９７とには、エアーシリンダ１１１等のアクチュエータが設けられている。エアーシリンダ１１１のシリンダは、スペーサ９７に一体的に設けられており、エアーシリンダ１１１のロッド（ピストンロッド）は、下側接触部材１０９に一体的に設けられている。そして、エアーシリンダ１１１によって、ベローズ１０７が伸縮するようになっている。
【００９４】
そして、ロッドが最も引っ込んだ状態では、下側接触部材１０９の上面が被成型品設置体３３の上面よりも下方に位置しており（たとえば、図９（ａ）参照）、ロッドが最も延出した状態では、下側接触部材１０９の上面が被成型品設置体３３の上よりも僅かに上方に位置するようになっている（たとえば、図１０（ａ）参照）。
【００９５】
なお、上側ベローズ１０１を伸縮させるエアーシリンダ１０５の推力は、下側ベローズ１０７を伸縮させるエアーシリンダ１１１の推力よりも大きくなっている。したがって、たとえば、下側接触部材１０９で上側接触部材１０３が押されても、上側ベローズ１０１を伸縮させるエアーシリンダ１０５のロッドは引っ込まない（上側ベローズ１０１が縮まず上側接触部材１０３が上方に移動しない）ようになっている。
【００９６】
図２１等で示すように、被成型品Ｗは、たとえば、円形状もしくは矩形状で平板状の基材（たとえばガラス板）Ｗ１と、このガラス板Ｗ１の厚さ方向の一方の面（たとえば全面）に設けられた薄膜状の紫外線硬化樹脂Ｗ２とで構成されている。転写前被成型品ストッカ１３に格納されている転写前被成型品Ｗには、前もって別の装置で、液体状で薄膜状の紫外線硬化樹脂Ｗ２が設けられているものとする。
【００９７】
転写装置５での転写は、薄膜状の紫外線硬化樹脂Ｗ２の微細な転写パターンＭ１を転写してなされるようになっている。なお、図２１等で示す参照符号１１３は、ロボット２１のハンドを示している。
【００９８】
転写装置５で転写がなされる前の状態（転写準備状態）では、移動体４９が下降端に位置している。硬化前の紫外線硬化樹脂Ｗ２が上になるようにして、被成型品Ｗが被成型品設置体３３に載置されている。各ベローズ１０１，１０７は縮んでいる。また、被成型品Ｗと押圧体３１（モールド接触材３９）とは所定の距離だけ離れている（図２１、図９（ｂ）等参照）。モールド原反設置装置９とモールド巻き取り装置１１との間で延出している平板状のシート状モールドＭＡは、移送されることなく停止している。平板状のシート状モールドＭＡは、押圧体３１と被成型品設置体３３に載置されている被成型品Ｗとの間で、押圧体３１からごく僅かに離れて（図９（ａ）に示しように僅かな距離Ｌ２だけ離れて）水平方向に延びている。
【００９９】
転写装置５の転写準備状態や転写している状態で平面視すると、被成型品設置体３３の上面と被成型品Ｗとが同じ大きさになっていて被成型品設置体３３の上面の全面に被成型品Ｗが被さっている。なお、被成型品Ｗのほうが被成型品設置体３３の上面よりも僅かに大きくなっていて、被成型品設置体３３の上面が被成型品Ｗの内側に位置していてもよいし、被成型品Ｗのほうが被成型品設置体３３の上面よりも僅かに小さくなっていて、被成型品設置体３３の上面の内側に被成型品Ｗが位置していてもよい。
【０１００】
また、転写装置５の転写準備状態や転写している状態で平面視すると、押圧体３１の下面と被成型品Ｗとが同じ大きさになっていて押圧体３１の下面の全面に被成型品Ｗが被さっている。なお、被成型品Ｗのほうが押圧体３１の下面よりも僅かに大きくなっていて、押圧体３１の下面が被成型品Ｗの内側に位置していてもよいし、被成型品Ｗのほうが押圧体３１の下面よりも僅かに小さくなっていて、押圧体３１の下面の内側に被成型品Ｗが位置していてもよい。
【０１０１】
また、転写装置５の転写準備状態や転写している状態で平面視すると、平板状のシート状モールドＭＡの１つの転写パターン形成領域ＡＥ１と被成型品Ｗとが同じ大きさになっていて、被成型品Ｗの全体に１つの転写パターン形成領域ＡＥ１が被さっている。なお、転写パターン形成領域ＡＥ１のほうが被成型品Ｗよりも僅かに大きくなっていて、転写パターン形成領域ＡＥ１の内側に被成型品Ｗが位置していてもよいし、転写パターン形成領域ＡＥ１のほうが被成型品Ｗよりも僅かに小さくなっていて、被成型品Ｗの内側に転写パターン形成領域ＡＥ１が位置していてもよい。
【０１０２】
なお、前述したように、図２４（ａ）等で示すように、転写パターン形成領域ＡＥ１が矩形状に形成されていてもよいし、図４や図５で示すように、円形状に形成されていてもよい。さらに、転写パターン形成領域ＡＥ１が矩形や円形以外の所定の形状に形成されていてもよい。
【０１０３】
また、転写準備状態や転写している状態で平面視すると、円形状になっている各ベローズ１０１，１０７がお互いに重なっており、円環状の各接触部材１０３，１０９もお互いに重なっている。さらに、各ベローズ１０１，１０７と各接触部材１０３，１０９の内側に、被成型品設置体３３、被成型品Ｗ、押圧体３１が存在している。また、円環状の各接触部材１０３，１０９の直径よりも平板状のシート状モールドＭＡの幅が大きくなっており、平板状のシート状モールドＭＡの内側に各接触部材１０３，１０９が位置している（図５（ａ）参照）。なお、図５（ａ）は、平板状のシート状モールドＭＡと各接触部材１０３，１０９等の大きさや位置の関係を示す平面図であり、図５（ｂ）は、平板状のシート状モールドＭＡと各接触部材１０３，１０９等の大きさや位置の関係を示す側面図である。
【０１０４】
すなわち、図４（ａ）で示すように、平板状のシート状モールドＭＡの幅が円環状の各接触部材１０３，１０９の直径よりも小さいと、図４（ａ）に示す部位ＡＥ３で、僅かな隙間（シート状モールドＭＡの厚みに起因する隙間）が生じてしまい、真空成型室９９の気密性が悪化する。しかし、図５（ａ）で示すように、円環状の各接触部材１０３，１０９の直径よりも平板状のシート状モールドＭＡの幅が大きくすることで、真空成型室９９の気密性を高めることができる。なお、図４（ａ）は、幅の狭い平板状のシート状モールドＭＡと各接触部材１０３，１０９等の大きさや位置の関係を示す平面図であり、図４（ｂ）は、幅の狭い平板状のシート状モールドＭＡと各接触部材１０３，１０９等の大きさや位置の関係を示す側面図である。
【０１０５】
円環状の各接触部材１０３，１０９の直径よりも平板状のシート状モールドＭＡの幅を大きくすることで、転写をする直前や転写をするときに、各ベローズ１０１，１０７等によって真空成型室９９が形成されるが、シート状モールドＭＡで仕切られることによって、真空成型室９９は、上側真空成型室１１５と、下側真空成型室１１７とが形成されるようになっている（たとえば、図１１（ｂ）参照）。
【０１０６】
上側真空成型室１１５は、内部に押圧体３１が位置する閉空間であり、上側部材５５とベローズ１０１とシート状モールドＭＡとで閉空間が形成される。下側真空成型室１１７は、内部に被成型品設置体３３と被成型品Ｗとが位置する閉空間であり、スペーサ９７とベローズ１０７とシート状モールドＭＡとで閉空間が形成されている。
【０１０７】
下側真空成型室１１７と上側真空成型室１１５とは、これらの各真空成型室１１５，１１７の外部に延出している配管１１９によってお互いにつながっている。そして、図１に示す真空ポンプ１２１を用い、配管１１９によって各真空成型室１１５，１１７を同時に真空引きすることができるようになっている。真空引きをしたときには、各真空成型室１１５，１１７が等しい気圧を保って減圧されるようになっている。これにより、シート状モールドＭＡの撓みを無くすことができる。
【０１０８】
なお、平面視において、各ベローズ１０１，１０７の中心と各接触部材１０３，１０９の中心と被成型品Ｗの中心と押圧体３１の中心と転写パターン形成領域ＡＥ１の中心とは、たとえば、お互いが一致している。
【０１０９】
押圧体３１は、前述したように、また、図２１に示すように、基材３７と緩衝材３５とモールド接触材３９とを備えて構成されており、また、押圧体３１は、押圧体支持体１２３の下側に設けられており、押圧体支持体１２３を介してベース部材４７の上側部材５５に一体的に設けられている。なお、モールド接触材３９を削除した構成であってもよい。
【０１１０】
基材３７と緩衝材３５とモールド接触材３９とは、たとえば、矩形な平板状に形成されており、それぞれの厚さ方向がお互いに一致するようにして基材３７、緩衝材３５、モールド接触材３９の順に重ね合わされている。また、押圧体支持体１２３の上部には、被成型品Ｗの紫外線硬化樹脂Ｗ２を硬化する紫外線を発生する紫外線発生装置１２５が設けられている（たとえば、図１２（ａ）参照）。
【０１１１】
また、転写装置５には、転写をする場合等に平板状のシート状モールド（移送されずに停止しているシート状モールド）ＭＡの位置ずれが発生することを防止すべく、シート状モールドＭＡを一時的に保持するモールド保持機構１２７が設けられている（たとえば、図１３（ｂ）参照）。
【０１１２】
モールド保持機構１２７は、たとえば、ベース部材４７に一体的に設けられている吸着パッド１２９によって構成されており、吸着パッド１２９でシート状モールドＭＡの上面（微細な転写パターンＭ１が形成されている面とは反対側の面）を真空吸着して、シート状モールドＭＡを保持するようになっている。
【０１１３】
吸着パッド１２９は、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向の上流側と下流側とで、転写装置５（各接触部材１０３，１０９）の近傍に設けられている。また、吸着パッド１２９は、前述したように、ベース部材４７に一体的に設けられているが、ベース部材４７に対して移動するようになっていてもよい。そして、平板状のシート状モールドＭＡが停止しているときには、平板状のシート状モールドＭＡに接触し、平板状のシート状モールドＭＡが移送されるときには、平板状のシート状モールドＭＡから離れるようになっていてもよい。
【０１１４】
また、モールド保持機構１２７による平板状のシート状モールドＭＡの保持は、たとえば、転写が終わって真空成型室９９を無くすときになされるようになっている。なお、モールド保持機構１２７は、図１３（ｂ）、図１４、図１５で描いてあり、他の図では、図示を省略してある。
【０１１５】
シート状モールド作成装置２７は、図２２で示すように、ロール・ツー・ロール方式（ロールｔｏロール方式）でモールド原反ＭＢを作成する装置であり、軸Ｃ７を中心にして回転する転写ロール１３１と軸Ｃ６を中心にして回転するバックアップロール１３３とシート状の素材（素材原反）Ｍ２を設置する素材原反設置装置１３５とシート状のモールドＭを巻き取るモールド巻き取り装置１３７とを有する。
【０１１６】
シート状の素材Ｍ２は、厚さ方向の両面が平面状になっており、モールド原反ＭＢと同様にロール状に形成されており、円柱状の芯材にＰＥＴ樹脂等の樹脂材料で構成されたシート状の素材Ｍ２を巻き付けた素材原反になっている。
【０１１７】
素材原反設置装置１３５に設置された素材原反から繰り出したシート状の素材Ｍ２に、微細な転写パターンを転写して設け、この転写がされたシート状の素材をモールド巻き取り装置１３７で巻き取ると、モールド原反ＭＢが生成されるようになっている。
【０１１８】
なお、素材原反設置装置１３５に設置された素材原反は、軸Ｃ５を中心にして回転し、モールド巻き取り装置で巻き取られるモールド原反ＭＢは、軸Ｃ９を中心にして回転するようになっている。転写ロール１３１とモールド巻き取り装置１３７との間には、軸Ｃ８を中心にして回転するテンションローラ１３９が設けられている。
【０１１９】
さらに説明すると、素材原反設置装置１３５とモールド巻き取り装置１３７との間で、素材原反から繰り出しているシート状の素材Ｍ２の一方の面に、塗工ノズル１４１によって液体状の紫外線硬化樹脂Ｗ２を膜状に塗布するようになっている。続いて、液体状の紫外線硬化樹脂Ｗ２が塗布されたシート状の素材Ｍ２を、転写ロール１３１に巻き掛けるとともに、転写ロール１３１とバックアップロール１３３とで挟み込み、紫外線発生装置１４３が発する紫外線を紫外線硬化樹脂Ｗ２に照射して紫外線硬化樹脂Ｗ２を硬化させ、転写ロール１３１から紫外線硬化樹脂Ｗ２に、転写ロール１３１の円柱側面状の外周面に予め形成されていた微細な転写パターンが転写されるようになっている。そして、図２１（ａ）で示すような、転写パターンＭ１が形成されるようになっている。
【０１２０】
また、図２１（ａ）で示してあるエッジラインＬ１は、転写ロール１３１の外周の継ぎ目（図２２で示す点Ｐ２の箇所で図２２の紙面に直交する方向に直線状に延びている継ぎ目）によって形成されているものである。継ぎ目は、厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている矩形な薄い平板状の原型を、転写ロール１３１の外周に一体的に設置したときに、前記原型の各端部の突合せ部によって形成されるものである。
【０１２１】
なお、図２２で示すシート状モールド作成装置２７において、ラミネートフィルムＳ１を設置するようにしてもよい（図２３参照）。図２３で示したシート状モールド作成装置２７ａでは、微細な転写パターンが転写されたシート状の素材Ｍ２にラミネートフィルムＳ１を供給するようになっている。そして、モールド巻き取り装置１３７で巻き取られて生成されるモールド原反ＭＢには、シート状のモールドＭの間にラミネートフィルムＳ１が入り込むようになっている。
【０１２２】
すなわち、軸Ｃ１０を中心にして回転するラミネート原反１４５からラミネートフィルムＳ１が供給されるようになっている。そして、モールド巻き取り装置１３７で巻き取られて生成されるモールド原反ＭＢでは、シート状のモールドＭの厚さ方向、ラミネートフィルムＳ１の厚さ方向が、モールド原反ＭＢの径方向と一致しているとともに、シート状のモールドＭとラミネートフィルムＳ１とが交互に重なっている（図２４（ｃ）参照）。これによって、モールド原反ＭＢにおけるシート状のモールドＭ同士の貼り付きを防止することができ、モールド原反ＭＢからのシート状のモールドＭの繰り出しがしやすくなっている。
【０１２３】
ところで、ラミネートフィルムＳ１を、シート状のモールドＭと同じ幅にして、シート状のモールドＭの全面を覆うように設けられていてもよいが、本実施形態では、シート状のモールドＭの一部にラミネートフィルムＳ１を設けてある。
【０１２４】
たとえば、ラミネートフィルムＳ１の幅を細くして、ラミネートフィルムＳ１をシート状のモールドＭの幅方向の両端部（転写パターン非形成領域ＡＥ２の一部）にのみ設けてある（図２４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）参照）。これにより、前述したように、モールド原反ＭＢにおいて、図２４（ｃ）で示すように、シート状モールドＭの微細な転写パターンＭ１が、これに対向しているシート状モールドＭの背面（微細な転写パターンＭ１が形成されている面とは反対側の面）に接触しないか接触しにくくなっており、微細な転写パターンＭ１の傷付きを防止することができる。
【０１２５】
なお、ラミネートフィルムＳ１の形状を適宜変更してもよい。図２４（ａ）に二点鎖線Ｌ３で示す部位を付加し、ラミネートフィルムＳ１をはしご状（転写パターン形成領域ＡＥ１に相当する部分に、矩形な貫通孔を所定の間隔をあけて設けた形状）に形成し、転写パターン形成領域ＡＥ１を囲むようにしてもよい。
【０１２６】
モールド原反ＭＢにラミネートフィルムＳ１を設けた場合には、図９（ａ）に二点鎖線で示すラミネートフィルム剥離装置１４５でラミネートフィルムＳ１を剥離して巻き取るようになっている。
【０１２７】
引き剥がし装置７は、図１６（ａ）等で示すように、ベース部材１４７と被成型品保持部１４９とモールド保持部１５１とモールド挟持部１５３と離型部１５５とを備えて構成されている。
【０１２８】
被成型品保持部１４９は、平面状の上面を備えた被成型品保持体１５７を備えており、この被成型品保持体１５７が、上下方向で移動位置決め自在なようにベース部材１４７に設けられている。すなわち、被成型品保持体１５７がリニアガイドベアリング１５９を介してベース部材１４７に設けられており、図示しないエアーシリンダ等のアクチュエータで上下方向に移動するようになっている。また、転写装置５での転写後に平板状のシート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品Ｗの下面に、被成型品保持体１５７の上面が面接触し、たとえば真空吸着によって被成型品Ｗ（基材Ｗ１）を保持することができるようになっている。
【０１２９】
モールド保持部１５１は、平面状の下面を備えたモールド保持体１６１を備えている。また、モールド保持体１６１は、被成型品保持体１５７の上方でベース部材１４７に設けられている。モールド保持体１６１の下面は、被成型品保持体１５７の上方で被成型品保持体１５７の上面と対向している。そして、転写後に被成型品Ｗが貼り付いている平板状のシート状モールドＭＡの上面に、モールド保持体１６１の下面が面接触し、たとえば真空吸着によって平板状のシート状モールドＭＡを保持するようになっている。
【０１３０】
なお、これらのお互いが対向している被成型品保持体１５７の上面とモールド保持体１６１の下面との間を、転写後にお互いが貼り付いている平板状のシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとが位置するように、シート状モールドＭＡがシート状モールド移送位置決め装置３で移送位置決めされるようになっている。また、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの厚さ方向が被成型品保持体１５７の上面やモールド保持体１６１の下面と直交している。
【０１３１】
転写装置５で転写がされた被成型品Ｗが、シート状モールドＭＡに貼り付いたまま転写装置５から引き剥がし装置７に移送されるのであるが、転写装置５と引き剥がし装置７との間に、所定の間隔（図２４（ａ）で示すピッチｐ１）をあけて、単数もしくは複数の被成型品（シート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品）Ｗが存在していてもよい（たとえば、図５参照）。これによって、転写装置５と引き剥がし装置７との距離を大きくとることができる。
【０１３２】
また、すでに理解されるように、被成型品保持体１５７が上昇端に位置しているときには、被成型品保持体１５７の上面が平板状のシート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品Ｗに接触するようになっている。一方、被成型品保持体１５７が下昇端に位置しているときには、被成型品保持体１５７の上面が平板状のシート状モールドＭＡに貼り付いている被成型品Ｗの下方で被成型品保持体１５７から所定の距離だけ離れている。
【０１３３】
モールド保持体１６１は、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向の上流側（図１６（ａ）の左側）で平板状のシート状モールドＭＡの幅方向に延伸している軸Ｃ１２を回動中心にして回動するように、ベース部材１４７に設けられている。そして、常態では、モールド保持体１６１の下面が、図示しないストッパによって水平になっており、シート状モールドＭＡの水平な上面に接触している。また、モールド保持体１６１が回動することにより、モールド保持体１６１の下流側が持ち上がり、モールド保持体１６１の下面が僅かに斜めになるようになっている（図１８（ａ）等を参照）。
【０１３４】
モールド挟持部１５３は、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向の下流側で、モールド保持体１６１に設けられている。モールド挟持部１５３は、棒状のモールド挟持体１６３を備えており、モールド挟持体１６３は、細長い平面状の上面を備えている。この上面はモールド保持体１６１の下面と対向しているとともに、上面の長手方向が平板状のシート状モールドＭＡの幅方向と一致しており、モールド挟持体１６３の上面の幅方向が、平板状のシート状モールドＭＡの長手方向（図１６（ａ）の左右方向）と一致している。
【０１３５】
また、モールド挟持体１６３は、モールド保持体１６１に対して接近離反する方向で移動自在なように、図示しないリニアガイドベアリングを介してモールド保持体１６１に設けられている。
【０１３６】
そして、エアーシンリンダ１６５等のアクチュエータでモールド挟持体１６３がモールド保持体１６１側に移動することによって、モールド挟持体１６３とモールド保持体１６１とが協働してシート状のモールドＭＡを挟み込むようになっている（たとえば、図１７（ｂ）参照）。一方、モールド挟持体１６３がモールド保持体１６１から離れる側に移動することによって、シート状モールドＭＡの挟持が解除されるようになっている。
【０１３７】
なお、モールド挟持体１６３は、被成型品保持体１５７とは干渉しない位置に設けられており、また、モールド挟持体１６３とモールド保持体１６１とで、被成型品Ｗを挟み込むことが無いようになっている。
【０１３８】
離型部１５５は、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向の下流側でベース部材１４７に設けられている。離型部１５５は、離型体１６７を備えており、この離型体１６７をエアーシンダ１６９等のアクチュエータで上昇させることにより、離型体１６７でモールド保持体１６１（モールド挟持体１６３）を押し上げ、モールド保持体１６１を回動させ、前述したように、モールド保持体１６１の下面を斜めにすることができるようになっている。なお、離型体１６７でモールド保持体１６１を押し上げていない状態では、離型体１６７が下方に位置してモールド保持体１６１（モールド挟持体１６３）から離れている。
【０１３９】
また、平板状のシート状モールドＭＡの移送方向における引き剥がし装置７の下流には、モールド長調整装置１７１が設けられている。モールド長調整装置１７１は、ベース部材１４７に一体的に支持されているガイドレール１７３と、ガイドレール１７３に係合して上下方向に移動自在になっている軸受け部材１７５と、この軸受け部材１７５に軸（軸Ｃ１２や図９（ａ）で示す軸Ｃ３に平行な軸）Ｃ４を回転中心にして回転自在に設けられているローラ１７７とを備えて構成されている。ローラ１７７の下方側には、シート状のモールドＭが巻き掛けられている。
【０１４０】
さらに、軸受け部材１７５は、図示しない付勢手段によって、たとえば、シート状モールドＭＡを下方に一定の力で付勢している。具体的には、図示しない空気圧シリンダによって、軸受け部材１７５が付勢されている。この空気圧シリンダに供給される圧縮空気の配管部には、図示しないレギュレータとリリーフバルブとが接続されており、空気圧シリンダからのロッドの延出量にかかわらず、常に一定の付勢力を軸受け部材１７５に与えることができるようになっている。
【０１４１】
シート状モールド移送位置決め装置７での平板状のシート状モールドＭＡを移送するときには、図１６（ａ）等で示すように、被成型品保持体１５７の上面はシート状モールドＭＡや被成型品Ｗの下方でシート状モールドＭＡや被成型品Ｗから離れており、モールド保持体１６１の下面は、水平になってシート状モールドＭＡの上面に接触しているがもしくはごく僅かに離れている。また、離型体１６７は、下方に位置しており、モールド挟持体１６３も下方に位置してモールドを挟んでいない。
【０１４２】
シート状モールド移送位置決め装置７での平板状のシート状モールドＭＡの移送が終了して、シート状モールドＭＡから被成型品Ｗを引き剥がすときには、たとえば、図１７（ａ）で示すように、被成型品保持体１５７が上昇して、真空吸着により被成型品Ｗを保持し、真空吸着によりモールド保持体１６１でシート状モールドＭＡを保持するようになっている。
【０１４３】
そして、図１８（ａ）等で示すように、モールド挟持体１６３とモールド保持体１６１とで、シート状モールドＭＡを挟持し、離型体１６７を上昇してモールド保持体１６１（モールド挟持体１６３）を回動し、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの分離をするようになっている。このときに、モールド原反設置装置９（転写装置５）とモールド巻き取り装置１１との間で延びている平板状のシート状モールドＭＡの長さに変化が生じるので、この変化をモールド長調整装置１７１で吸収し、シート状モールドＭＡにやたらな張力を発生させることなく（張力をほぼ一定にしておいて）、モールド保持体１６１（モールド挟持体１６３）の回動を可能にしている。
【０１４４】
なお、モールド引き剥がし装置７のベース部材１４７は、ベッド４５に一体的に設けられている。また、モールド引き剥がし装置７でのシート状モールドＭＡからの被成型品Ｗの引き剥がしは、転写装置５による転写がされているとき（より具体的には、押圧体３１と被成型品設置体３３とで、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの挟み込みをしているとき）になされるようになっている。
【０１４５】
次に、転写システム１の動作を説明する。
【０１４６】
初期状態では、図９（ａ）で示すように、モールド原反設置装置９にモールド原反ＭＢが設置されており、モールド巻き取り装置１１とモールド原反設置装置９との間に、平板状のシート状モールドＭＡが適宜の張力で存在している。また、シート状モールドＭＡの転写パターン形成領域ＡＥ１が、転写装置５での転写がなされる位置に位置している。
【０１４７】
転写装置５の真空成型室９９は開放されており（各ベローズ１０１，１０７が縮んでおり）、移動体４９は下降しており、紫外線発生装置１２５は、停止して紫外線を発生していない。なお、図９（ａ）で示す距離（押圧体３１の下面と平板状のシート状モールドＭＡの上面との間の距離）Ｌ２は、実際には、ごく僅かな距離になっている。
【０１４８】
また、上記初期状態では、図１６（ａ）で示すように、引き剥がし装置７の被成型品保持体１５７は下降しており、モールド保持体１６１は回動しておらず、モールド保持体１６１の下面は水平になっている。モールド挟持体１６３は下方に位置して、シート状モールドＭＡを挟持しておらず、離型体１６７は下方に位置しており、被成型品保持体１５７の押し上げをしていない。さらに、被成型品Ｗが貼り付いているシート状モールドＭＡが、引き剥がし装置７での引き剥がしに適した適宜の位置に位置している。
【０１４９】
まず、転写装置５の動作について説明する。
【０１５０】
上記初期状態において、制御装置１７９の制御の下、転写前被成型品搬送装置１５によって転写前の被成型品Ｗを、転写装置５の被成型品設置体３３に設置する（図９（ｂ）参照）。
【０１５１】
続いて、各エアーシリンダ１０５，１１１で上下の各ベローズ１０１，１０７を延ばし（図１０（ａ）参照）。移動体４９を上昇して真空成型室９９を形成し（図１０（ｂ）参照）、真空成型室９９内を真空ポンプ（図２等参照）１２１によって減圧してほぼ真空の状態にする（図１１（ａ）参照）。
【０１５２】
続いて、真空成型室９９を維持したまま、上側のエアーシリンダ１０５を中間位置にし、移動体４９をごく僅かにさらに上昇させ、平板状のシート状モールドＭＡを押圧体３１（モールド接触材３９）に接触させ（図１１（ｂ）等参照）、移動体４９を僅かにさらに上昇し、押圧体３１と被成型品設置体３３とで被成型品Ｗとシート状モールドＭＡとを挟み込んで押圧し、紫外線発生装置１２５が発する紫外線を被成型品Ｗの紫外線硬化樹脂Ｗ２に照射して、紫外線硬化樹脂Ｗ２を硬化させる（図１２（ａ）参照）。
【０１５３】
続いて、真空成型室９９を大気圧に戻し（図１２（ｂ）参照）、上側のエアーシリンダ１０５で上側接触部材１０３を下降させるとともに移動体４９をごくわすかに下降して、お互いが貼り付いているシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを、押圧体３１と被成型品設置体３３から離す（図１３（ａ）参照）。
【０１５４】
続いて、モールド保持機構１２７でシート状モールドＭＡを保持し（図１３（ｂ）参照）、各エアーシリンダ１０５，１１１で上下の各ベローズ１０１，１０７を縮めて、真空成型室９９を開放し（無くし、図１４（ａ）参照）、移動体４９をさらに下降する（図１４（ｂ）参照）。
【０１５５】
続いて、モールド保持機構１２７でのシート状モールドＭＡの保持を止めて、シート状モールド移送位置決め装置３で、シート状モールドＭＡを被成型品Ｗが貼り付いたまま引き剥がし装置７に移送し（図１５参照）、次の転写にそなえる。
【０１５６】
次に、引き剥がし装置７の動作について説明する。
【０１５７】
上記初期状態において、制御装置１７９の制御の下、被成型品保持体１５７を上昇して、被成型品保持体１５７とモールド保持体１６１とでシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを挟み込み（図１６（ｂ）参照）、真空吸着によって被成型品保持体１５７で被成型品Ｗを保持し、真空吸着によってモールド保持体１６１でシート状モールドＭＡを保持する（図１７（ａ）参照）。
【０１５８】
続いて、モールド挟持体１６３を上昇して、モールド挟持体１６３とモールド保持体１６１とでシート状モールドＭＡを挟み込み（図１７（ｂ）参照）、離型体１６７を上昇してモールド保持体１６１を回動し、被成型品（転写後被成型品）Ｗからシート状モールドＭＡを引き剥がし（図１８（ａ）参照）、被成型品保持体１５７を下降する（図１８（ｂ）参照）。
【０１５９】
続いて、被成型品保持体１５７での真空吸着を停止し（図１９（ａ）参照）、転写後被成型品搬送装置１９によって、被成型品Ｗを搬出をし（図１９（ｂ）参照）、離型体１６７を下降してモールド保持体１６１の下面を水平にし、モールド挟持体１６３を下降してシート状モールドＭＡの挟持を止め、モールド保持体１６１での真空吸着を止め（図２０（ａ）参照）、シート状モールド移送位置決め装置７でシート状モールドＭＡを移送し、上述した初期状態になる（図２０（ｂ）参照）。
【０１６０】
転写システム１によれば、転写装置５で転写を行い、シート状モールドＭＡと被成型品Ｗとがお互いにくっついている状態でシート状モールドＭＡを移送し、転写装置５から離れて別個に設けられている引き剥がし装置７でシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの引き剥がし行うので、換言すれば、転写と引き剥がしとを別の箇所の別工程で行うので、転写と引き剥がしとを並行して行うことができ、シート状のモールドＭＡに形成されている微細な転写パターンＭ１を被成型品Ｗに転写するに際し、転写がされた被成型品Ｗを効率よく得ることができる（転写のスループットを短縮することがきる）。
【０１６１】
また、引き剥がし装置７を転写装置５から離して設けることができるので、引き剥がし装置７の設置スペースに余裕が生じ、無理の無い設計思想で転写装置５や引き剥がし装置７を作成することができる。また、転写前被成型品搬送装置１５や転写後被成型品搬送装置１９の設置がしやすくなる。
【０１６２】
また、転写システム１によれば、処理の能力の高い（タクトタイムの短い）１台のシート状モールド作成装置２７に対して、シート状モールド作成装置２７よりも処理能力が低い（タクトタイムの長い）転写装置５等を複数台設けてあるので（図２５参照）、シート状モールド作成装置２７の台数を少なくすることができ、転写システム１を簡素化し安価にすることができる。
【０１６３】
また、転写システム１によれば、転写装置５に緩衝材３５を設けているので、転写の際に均一な圧力でシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとを挟み込むことができ、転写抜けの発生を抑制することができる。
【０１６４】
さらに、転写システム１によれば、転写装置５の緩衝材３５にモールド接触材３９を設けてあるので、転写の際におけるシート状モールドＭＡと被成型品Ｗとの挟み込みをして転写をし、この転写後に押圧体３１をシート状モールドＭＡから離すときに、押圧体３１がシート状モールドＭＡに貼り付きにくくなっており、転写後の挟み込みの開放を確実に行うことができる。
【０１６５】
また、転写システム１によれば、ラミネートフィルムＳ１が設けられているので、モールド原反ＭＢにおける微細な転写パターンＭ１の傷付きを回避することができる。
【０１６６】
なお、上記説明では、シート状モールド作成装置２７、転写装置５において、ＵＶインプリント法をすることを例に掲げて説明したが、シート状モールド作成装置２７、転写装置５において、熱インプリント法をするようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１６７】
１ 転写システム
３ シート状モールド移送位置決め装置
５ 転写装置
７ 引き剥がし装置
２７、２７ａ シート状モールド作成装置
２９ 移送・転写・引き剥がしユニット
３１ 押圧体
３３ 被成型品設置体
３５ 緩衝材
３７ 基材
３９ モールド接触材
ＡＥ１ 転写パターン形成領域
ＡＥ２ 転写パターン非形成領域
Ｍ，ＭＡ シート状モールド
Ｍ１ 微細な転写パターン
ＭＢ モールド原反
Ｓ１ ラミネートフィルム
Ｗ 被成型品
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細な転写パターンが形成されている平板状のシート状モールドを所定の方向に移送位置決めするシート状モールド移送位置決め装置と、
前記シート状モールド移送位置決め装置の移送方向で上流側に設けられ、前記微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置と、
前記シート状モールド移送位置決め装置の移送方向で下流側に設けられ、前記転写装置による転写がされ前記シート状モールド移送位置決め装置による移送がされた後、お互いが貼り付いている前記シート状モールドと前記被成型品とを引き剥がす引き剥がし装置と、
を有することを特徴とする転写システム。
【請求項２】
請求項１に記載の転写システムにおいて、
シート状の素材に微細な転写パターンを形成して前記シート状モールドを作成するシート状モールド作成装置を有し、
１台の前記シート状モールド作成装置に対して、１台の前記シート状モールド移送位置決め装置と１台の前記転写装置と１台の前記引き剥がし装置とを備えて構成されている１組の移送・転写・引き剥がしユニットが、複数組設けられていることを特徴とする転写システム。
【請求項３】
請求項１または請求項２の記載の転写システムにおいて、
前記転写装置は、
押圧体と前記被成型品を設置する被成型品設置体とにより前記被成型品と前記平板状のシート状モールドとを挟み込んで、前記転写をするように構成されており、
前記押圧体は、緩衝材によって前記挟み込みをするように構成されていることを特徴とする転写システム。
【請求項４】
請求項３に記載の転写システムにおいて、
前記押圧体は、剛性の高い材料で構成された基材と、この基材を覆うように層状に設けられた前記緩衝材と、前記シート状モールドに貼り付きにくい材料で構成され前記記緩衝材を覆うように層状に設けられたモールド接触材とを備えて構成されていることを特徴とする転写システム。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の転写システムにおいて、
前記平板状のシート状モールドは、前記シート状モールドが巻かれているモールド原反から延出しているシート状モールドであり、
前記微細な転写パターンは、前記シート状モールドの一部である転写パターン形成領域に形成されており、前記転写パターン形成領域以外の前記シート状モールドの部位には、ラミネートフィルムが設けられていることを特徴とする転写システム。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の転写システムを用いてさなれることを特徴とする前記被成型品への転写方法。
【請求項１】
微細な転写パターンが形成されている平板状のシート状モールドを所定の方向に移送位置決めするシート状モールド移送位置決め装置と、
前記シート状モールド移送位置決め装置の移送方向で上流側に設けられ、前記微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置と、
前記シート状モールド移送位置決め装置の移送方向で下流側に設けられ、前記転写装置による転写がされ前記シート状モールド移送位置決め装置による移送がされた後、お互いが貼り付いている前記シート状モールドと前記被成型品とを引き剥がす引き剥がし装置と、
を有することを特徴とする転写システム。
【請求項２】
請求項１に記載の転写システムにおいて、
シート状の素材に微細な転写パターンを形成して前記シート状モールドを作成するシート状モールド作成装置を有し、
１台の前記シート状モールド作成装置に対して、１台の前記シート状モールド移送位置決め装置と１台の前記転写装置と１台の前記引き剥がし装置とを備えて構成されている１組の移送・転写・引き剥がしユニットが、複数組設けられていることを特徴とする転写システム。
【請求項３】
請求項１または請求項２の記載の転写システムにおいて、
前記転写装置は、
押圧体と前記被成型品を設置する被成型品設置体とにより前記被成型品と前記平板状のシート状モールドとを挟み込んで、前記転写をするように構成されており、
前記押圧体は、緩衝材によって前記挟み込みをするように構成されていることを特徴とする転写システム。
【請求項４】
請求項３に記載の転写システムにおいて、
前記押圧体は、剛性の高い材料で構成された基材と、この基材を覆うように層状に設けられた前記緩衝材と、前記シート状モールドに貼り付きにくい材料で構成され前記記緩衝材を覆うように層状に設けられたモールド接触材とを備えて構成されていることを特徴とする転写システム。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の転写システムにおいて、
前記平板状のシート状モールドは、前記シート状モールドが巻かれているモールド原反から延出しているシート状モールドであり、
前記微細な転写パターンは、前記シート状モールドの一部である転写パターン形成領域に形成されており、前記転写パターン形成領域以外の前記シート状モールドの部位には、ラミネートフィルムが設けられていることを特徴とする転写システム。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の転写システムを用いてさなれることを特徴とする前記被成型品への転写方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【公開番号】特開２０１１−１７７９５６（Ｐ２０１１−１７７９５６Ａ）
【公開日】平成２３年９月１５日（２０１１．９．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−４２３９８（Ｐ２０１０−４２３９８）
【出願日】平成２２年２月２６日（２０１０．２．２６）
【出願人】（０００００３４５８）東芝機械株式会社 (843)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年９月１５日（２０１１．９．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年２月２６日（２０１０．２．２６）
【出願人】（０００００３４５８）東芝機械株式会社 (843)
【Ｆターム（参考）】
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