電気光学装置及び電子機器
【課題】 液晶装置等の電気光学装置における基板サイズを縮小する。
【解決手段】
所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板（１０）が他方の基板（２０）より張り出している一対の基板を備える。一方の基板には、表示用電極を駆動する回路部が設けられ、前記一辺において張り出してなる張り出し部（２０１）における他方の基板と対向する側の面には、回路部と引出し配線（１０３ａ）によって電気的に接続された複数の外部接続端子（１０２ａ）が設けられている。外部接続端子は、平面的に見て、引き出し配線と少なくとも部分的に重畳するように設けられる。
【解決手段】
所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板（１０）が他方の基板（２０）より張り出している一対の基板を備える。一方の基板には、表示用電極を駆動する回路部が設けられ、前記一辺において張り出してなる張り出し部（２０１）における他方の基板と対向する側の面には、回路部と引出し配線（１０３ａ）によって電気的に接続された複数の外部接続端子（１０２ａ）が設けられている。外部接続端子は、平面的に見て、引き出し配線と少なくとも部分的に重畳するように設けられる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び、該電気光学装置を備えた、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置では、表示用電極及びこれを駆動するための回路部が設けられた基板と対向基板とが、液晶等の電気光学物質を挟んで対向配置されている。具体的には、これらの基板を所定間隔で対向させ、その対向面の周縁をシール材で貼り合わせることで形成された内部空間に、電気光学物質が封入されている。
【０００３】
表示用電極が設けられた方の基板は、平面的に見て一辺において対向基板より張り出しており、この張り出した部分（以下、張り出し部という）に、外部接続端子が設けられている。外部接続端子は、回路部等から引き出された配線と接続される一方で、信号や電源が外部入力されるように表面が外部に露出するように設けられる。その他、画像信号供給用の外部接続端子と接続される駆動回路もまた、通常はこの張り出し部に設けられる。
【０００４】
これに対し、例えば特許文献１に記載されているように、駆動回路を内部空間に配置し、張り出し部には外部接続端子しか設けない装置構成を採れば、張り出し部の幅が短縮され、基板サイズの縮小を図ることができるとされている。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１１３９０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、実際の電気光学装置において、駆動回路を配置し、駆動回路から配線を引き出すだけのスペースを内部空間に設けるのは困難である。また、仮に張り出し部に外部接続端子しか設けない場合であっても、外部接続端子に接続される引出し配線の少なくとも一部は張り出し部に配置されるわけで、張り出し部の幅を縮小するためには、これら外部接続端子と引出し配線とのレイアウトを考慮する余地がある。
【０００７】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板サイズの縮小が可能な電気光学装置、及び、そのような電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１電気光学装置は、上記課題を解決するために、所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板と、前記一方の基板に設けられた表示用電極と、前記表示用電極を駆動するために前記一方の基板に設けられた回路部と、前記回路部及び前記表示用電極を駆動するための配線のうち少なくとも一方から、前記一方の基板のうち前記一辺において張り出してなる張り出し部に夫々引き出された複数の引出し配線と、該複数の引き出し配線に夫々接続され、平面的に見て前記複数の引き出し配線と少なくとも部分的に重畳するように、前記張り出し部における前記他方の基板と対向する側の面に設けられた複数の外部接続端子とを備える。
【０００９】
本発明の第１電気光学装置によれば、少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板を所定間隔で相対向している。一対の基板のうち、他方より張り出す基板には、例えば、走査線、データ線等の配線や薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：以下適宜“ＴＦＴ”と呼ぶ）等の電子素子、データ線駆動回路や走査線駆動回路等によって表示用電極を駆動する回路部が構成されており、その上層側に表示用電極が形成されている。
【００１０】
そして、この基板のうち、上記一辺において他方の基板より張り出してなる張り出し部に、回路部と電気的に接続される外部接続端子が設けられている。外部接続端子は、例えば張り出し部の外縁に沿って複数配列されており、回路部或いは表示用電極から引き出された引出し配線に夫々接続されている。引出し配線は通常、外部接続端子が配列された領域以外の領域に引き回されている。
【００１１】
これに対し、本発明に係る張り出し部では、平面的に見て、外部接続端子と引き出し配線とが少なくとも部分的に重なり合うように（即ち、張り出し部において立体的に）配置されている。そのような構成は、例えば、引出し配線及び外部接続端子の少なくとも一部を、コンタクトホール等を介して導通させつつ層間絶縁膜を介して積層させることで実現できる。この場合、配線や端子となる導電膜は、２層或いはそれ以上に積層されてよく、各層の導電膜は単層膜又は多層膜のいずれであってもよい。
【００１２】
このようにレイアウトを工夫することで、張り出し部の、張り出した方向における幅を短縮することができる。従って、基板サイズの縮小により、電気光学装置の省スペース化が実現可能である。また特に、基板サイズの縮小により、ウェハ一枚当たりから製造される電気光学装置の個数を増やすことができ、製造コストの低減、及び製造効率の向上に対して多大な効果を発揮する。例えば、一枚についての縮小量が１ｍｍ程度の比較的少量であっても、これが数枚から数十枚分或いは数百枚分だけ、同一ウェハ上に配列されるのであれば、同一ウェハ上に一行或いは複数行分だけ余計に電気光学装置を作り込める場合もあり得る。従って、実践上は顕著に有利となる。
【００１３】
本発明の第１電気光学装置の一態様では、前記外部接続端子及び前記引出し配線は、層間絶縁膜を介して積層され、前記外部接続端子は、前記回路部を構成する第１導電膜と同一膜を含み、前記引き出し配線は、前記回路部を構成する第２導電膜と同一膜を含む。
【００１４】
この態様によれば、外部接続端子と引出し配線とは、層間絶縁膜を介して積層された、相異なる導電膜により形成されることで、平面的に見て互いに重なり合いつつも、コンタクトホール等によって接続される部位以外では電気的に導通しないように構成することができる。
【００１５】
また、外部接続端子と引出し配線とは、回路部を構成する導電膜と同一膜として、或いはそのような導電膜の同一膜を含んで形成されることから、外部接続端子及び引出し配線の積層構造を回路部とは別に設けずに済む。よって、基板上の構造が簡素化でき、比較的容易に形成することが可能である。尚、導電膜の材料としては、例えば低抵抗のアルミニウム（Ａｌ）が好適に用いられる。
【００１６】
本発明の第１電気光学装置の他の態様では、前記複数の外部接続端子は、前記一辺に沿った方向に配列され、前記複数の引出し配線は夫々、前記一辺に沿った方向に延びると共に前記外部接続端子のうち前記一辺に沿った方向と交差する方向における縁部と接続されている。
【００１７】
この態様によれば、複数の外部接続端子の配列方向に複数の引出し配線が張り出すことで、外部接続端子と引出し配線とが立体交差している。両者は、外部接続端子のうち上記一辺に沿った方向と交差する方向における縁部（即ち、外部接続端子のうち外縁側ないし内縁側の縁部）において、例えばコンタクトホールを介して接続されている。このようなレイアウトでは、外部接続端子の形成領域内に引出し配線を効率よく配置できる。また、引出し配線は、自身が延在する領域からそれた領域で外部接続端子と接続されることから、例えばコンタクトホールの形成位置の誤差等により、外部接続端子に、接続対象とする配線と隣接する配線が誤って導通することが防止できる。よって、本態様に係る電気光学装置は、信頼性高く製造することができる。
【００１８】
或いは、他の態様では、前記複数の外部接続端子は、前記一辺に沿った方向に配列され、前記複数の引出し配線は夫々、前記一辺に沿った方向に延びると共に平面的に見て前記外部接続端子と交差する領域において前記外部接続端子と接続されている。
【００１９】
この態様によれば、複数の外部接続端子と複数の引出し配線とは、平面的に見て互いに交差する領域において、例えばコンタクトホールを介して接続されている。このようなレイアウトでは、外部接続端子の形成領域内に引出し配線を効率よく配置できると共に、引出し配線は自身が延在する領域で外部接続端子と接続されることから、コンタクトホールを形成するための領域を別途設けずに済み、引出し配線及び外部接続端子の配置スペースを小さくすることが可能である。よって、本態様に係る電気光学装置は、張り出し部が張り出した方向における幅が更に短縮され、基板サイズを更に縮小することが可能である。
【００２０】
本発明の第２電気光学装置は、上記課題を解決するために、所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板と、前記一方の基板に設けられた表示用電極と、前記表示用電極を駆動するために前記一方の基板に設けられた回路部と、前記回路部及び前記表示用電極を駆動するための配線のうち少なくとも一方から、前記一方の基板のうち前記一辺において張り出してなる張り出し部に夫々引き出された複数の引出し配線と、該複数の引き出し配線に夫々接続され、平面的に見て前記回路部と少なくとも部分的に重畳するように、前記張り出し部における前記他方の基板と対向する側の面に設けられた複数の外部接続端子とを備える。
【００２１】
本発明の第２電気光学装置によれば、張り出し部に、回路部と外部接続端子とが、平面的に見て少なくとも部分的に重なり合うように配置されている。このような構成は、例えば、回路部及び外部接続端子の少なくとも一部を、層間絶縁膜を介して積層させることで実現できる。この場合、回路部や端子を構成する導電膜は、２層或いはそれ以上に積層されてよく、各層の導電膜は単層膜又は多層膜のいずれであってもよい。
【００２２】
このようにレイアウトを工夫することで、張り出し部の張り出し方向における幅を短縮することができ、基板サイズの縮小により、上記第１電気光学装置と同様の効果を奏する。
【００２３】
本発明の第２電気光学装置の一態様では、前記回路部は、前記複数の外部接続端子のうち画像信号を供給する端子と電気的に接続されると共に前記画像信号の供給を受けて駆動される駆動回路を含んでおり、前記外部接続端子は、前記駆動回路と少なくとも部分的に重畳する。
【００２４】
この態様によれば、駆動回路、即ち、所謂データ線駆動回路が、平面的に見て外部接続端子と少なくとも部分的に重なり合うように配置されている。データ線駆動回路は一般に、上記一辺に沿って延在するように設けられ、両端において画像信号入力のために多数の外部接続端子と引出し配線を介して接続される。そのため、周辺に多数の引出し配線を引き回すだけの領域が必要とされることから、データ線駆動回路は、外部接続端子と共に、空間的制約の少ない張り出し部に設けられることが多い。その場合、通常は外部接続端子とデータ線駆動回路とは同一平面上に設けられるために、張り出し部の幅は、データ線駆動回路のサイズ形状等に応じて拡張されることになる。
【００２５】
これに対し、本態様では、張り出し部に設けられるデータ線駆動回路の全体又は少なくとも一部が外部接続端子と同じスペースに設けられているので、その分だけ張り出し部の幅が短縮され、電気光学装置の省スペース化或いは小型化を効果的に実現可能となる。
【００２６】
本発明の第２電気光学装置の他の態様では、前記外部接続端子と前記回路部の一部とは層間絶縁膜を介して積層され、前記外部接続端子は、前記回路部を構成する第１導電膜と同一膜を含む。
【００２７】
この態様によれば、外部接続端子と回路部とは夫々、層間絶縁膜を介して積層されることで、平面的に見て互いに重なり合いつつも電気的に導通しないように構成できる。また、外部接続端子は、回路部を構成する導電膜と同一膜として、或いはそのような導電膜の同一膜を含んで形成されることから、基板上の構造が簡素化でき、比較的容易に形成することが可能である。尚、導電膜の材料としては、例えば低抵抗のアルミニウム（Ａｌ）が好適に用いられる。
【００２８】
本発明の第１及び第２電気光学装置における他の態様では、前記一対の基板間に内部空間を形成するように前記一対の基板における相対向する面の周縁を貼り合わせるシール材と、前記内部空間に収容された電気光学物質とを更に備え、前記表示用電極及び前記回路部の一部は、前記内部空間に面して配置される。
【００２９】
この態様によれば、電気光学装置を構成する一対の基板の間には、両基板における相対向する面の周縁をシール材で封止することによって内部空間が構成されており、その周縁から張り出し部が張り出している。内部空間には液晶等の電気光学物質が封入される。表示用電極は、電気光学物質を動作させるために、内部空間に面して配置される。また、回路部の一部、例えば、走査線、データ線及びＴＦＴ等の配線や素子、走査線駆動回路等の一部の駆動回路は、表示用電極と共に内部空間に面した領域に設けられている。よって、張り出し部の殆ど全域を、外部接続端子を形成するための領域として利用できる。
【００３０】
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を備える。
【００３１】
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置を備えるので、省スペース化或いは小型化された、投射型表示装置、液晶テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置等も実現可能である。
【００３２】
本発明のこのような作用及び他の利得は、次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３４】
＜１：電気光学装置の実施形態＞
図１から図１３を参照して、本発明の電気光学装置に係る実施形態について説明する。尚、以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
【００３５】
＜１−１：第１実施形態＞
図１から図７を参照して、本発明の第１実施形態に係る液晶装置について説明する。
【００３６】
＜１−１−１：液晶装置の概略構成＞
先ず、図１から図３を参照して、この液晶装置の概略構成について説明する。図１は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図であり、図２は、図１のＩ−Ｉ’線断面を示している。図３は、本実施形態に係る液晶装置の比較例を示している。
【００３７】
図１及び図２において、液晶装置１００では、ＴＦＴアレイ基板１０に対向基板２０を所定間隔で対向させ、両基板の相対向する面の周縁をシール材５２ａで貼り合わせることによって、内部空間が形成されている。ＴＦＴアレイ基板１０には、平面的に見て対向基板２０より張り出してなる張り出し部２０１が存在し、シール材５２ａは、この張り出し部２０１が延在する辺における所定箇所（ここでは、この辺の両端）に対して、内部空間に通じる開口を規定している。そして、開口から内部空間に注入された液晶によって液晶層５０が構成され、開口は、封止モールド材１５１ａ及び１５１ｂによって夫々、封止されている。シール材５２ａの内縁に沿って設けられた額縁遮光膜５３は、画像が表示される画像表示領域１０ａを規定している。
【００３８】
ＴＦＴアレイ基板１０の対向面（図２中、上面）のうち、画像表示領域１０ａには、画素スイッチング用ＴＦＴや走査線、データ線等の配線の上層に、本発明の「表示用電極」の一例たる画素電極９ａが設けられている。そして、画素電極９ａの直上に配向膜が形成されている。対向基板２０の対向面（図２中、下面）には、ストライプ状の遮光膜２３を介して対向電極２１が形成されており、その上層に配向膜が形成されている。また、対向基板２０の角部の少なくとも１箇所（ここでは４箇所全部）には、ＴＦＴアレイ基板１０との間を電気的に導通させる上下導通端子１０６が設けられている。液晶層５０の液晶の配向状態は、画素電極９ａと対向電極２１との間に印加される電界に応じて変化するが、電界が印加されていない状態では、配向膜によって規定される初期配向をとる。
【００３９】
ＴＦＴアレイ基板１０の対向面のうち、額縁遮光膜５３の形成領域には、走査線を駆動する走査線駆動回路１０４と配線１０５とが設けられている。図１において、走査線駆動回路１０４は、額縁遮光膜５３の左右の辺に一つずつ設けられ、配線１０５は、これら２つの走査線駆動回路１０４の相互間を接続すべく、額縁遮光膜５３の上辺に引き回されている。
【００４０】
ＴＦＴアレイ基板１０の張り出し部２０１には、本発明の「駆動回路」の一具体例として、データ線を駆動するデータ線駆動回路１０１ａが、図１において、シール材５２ａの下辺に沿って配置されている。但し、平面的に見て、データ線駆動回路１０１ａの上半分は、シール材５２ａと重なるように設けられている。また、その下半分は、両端に封止モールド材１５１ａ及び１５１ｂの開口からはみ出した部分が夫々重なっている。
【００４１】
尚、本実施形態においては、ＴＦＴ等の電子素子や走査線、データ線等の配線、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１ａを含むＴＦＴアレイ基板１０上の回路全般が、本発明の「回路部」の具体例に対応している。また、張り出し部２０１には、データ線駆動回路１０１に加えて、複数のデータ線に画像信号を所定のタイミングで印加するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の液晶装置１００の品質、欠陥等を検査するための検査回路等が形成されていてもよい。
【００４２】
更に、本実施形態では、張り出し部２０１において複数の引出し配線１０３ａの少なくとも一部が、平面的に見て、外部接続端子１０２ａと重畳するように設けられている。具体的には後述するが、この液晶装置１００では、外部接続端子１０２ａが形成されている層と引出し配線１０３ａが形成されている層とは、例えば層間絶縁膜を介して積層され、外部接続端子１０２ａの形成領域と引出し配線１０３ａの形成領域とは少なくとも一部が重なり合っている。配線や端子となる導電膜は、２層或いはそれ以上に積層されてよく、各層の導電膜は単層膜又は多層膜のいずれであってもよい。
【００４３】
これら外部接続端子１０２ａは、ＦＰＣ１１０を介して接続された外部回路から液晶装置１００内に電源や信号を供給するために設けられており、夫々、引出し配線１０３ａを介して走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１ａ等の駆動回路と適宜に接続されている。液晶装置１００では、これら外部接続端子１０２ａに外部入力された信号に応じて画素電極９ａが駆動され、画像が表示される。ここでデータ線駆動回路１０１ａは、張り出し部２０１側の両端において、引出し配線１０３ａを介して複数の外部接続端子１０２ａと接続されている。
【００４４】
図３に示したように、本実施形態の比較例に係る液晶装置においては、外部接続端子１０２と引出し配線１０３とは、平面的に見て互いに重なり合わないように、例えば同一平面上に配置される。外部接続端子１０２はまた、ＦＰＣ１１０と接続されなければならないので、その上に封止モールド材１５０が重なるのを防ぐために、ある程度、封止モールド材１５０から離しておく必要がある。結果的に、張り出し部２００は所定の幅Ｌ0を有し、データ線駆動回路１０１全体を配置できるだけのスペースが生じる。
【００４５】
これに対し、本実施形態の液晶装置１００では、以上に説明したように、外部接続端子１０２ａと引出し配線１０３ａの少なくとも一部とを、平面的に見て重畳するように配置したので、省スペース化が実現できる。特に、ここでは、外部接続端子１０２ａが張り出し部２０１の外縁に沿って配列されていることから、張り出し部２０１の、張り出し方向における幅Ｌ11を、通常より短縮することができる。
【００４６】
尚且つ、ここでは、封止モールド材１５１ａと封止モールド材１５１ｂとの間の領域に外部接続端子１０２ａを配置するようにしたので、外部接続端子１０２ａは封止モールド材１５１ａ及び１５１ｂに対して間隔をとらずに済む。更に、図１において、データ線駆動回路１０１ａの上半分をシール材５２ａが配置される領域に設けることで、外部接続端子１０２ａの位置を上側に押し上げることができる。以上の結果、張り出し部２０１の幅Ｌ11は、比較例における張り出し部２００の幅Ｌ0よりも短縮できる。
【００４７】
従って、本実施形態における液晶装置１００は省スペース化が可能であり、これを適用する電子機器に高い設計自由度を与えることができる。また、ウェハ一枚当たりから製造される液晶装置の個数を増やすことができ、製造効率の向上及び製造コスト低減に対して大きな効果を発揮する。即ち、１つの液晶装置１００における張り出し部２０１の縮小幅は、たとえ僅かであっても、ウェハ上には通常、上記ＴＦＴアレイ基板１０に対応する領域が数百ないし数千単位で形成され、更にそのようなウェハが多数生産されることから、製造上極めて有効である。
【００４８】
更に、ここでは、図１におけるシール材５２ａないし対向基板２０の下辺において、開口及び封止モールド材１５０ａ及び１５０ｂの夫々を両端部に配置し、外部接続端子１０２ａを中央部に配置するようにしたので、引出し配線１０３ａは、中央部から左右に分かれて引き回しても左右で配線長をほぼ等しくすることができ、左右における信号遅延等の不具合が生じずに済む。また、開口が左右両端に規定されていることから、内部空間に液晶を効率よく且つ均一に注入することができる。
【００４９】
＜１−１−２：張り出し部の構成＞
次に、図４から図７を参照して、液晶装置１００における張り出し部２０１の具体的構成について、詳細に説明する。図４は、本実施形態に係る液晶装置の張り出し部における主要部分を拡大して表しており、図５は、図４のＡ−Ａ’線断面を表している。図６は、本実施形態に係る液晶装置の画像表示領域において、画素部が構成する等価回路を表している。図７及び図８は、画素部の構造を表す平面図と断面図である。尚、図８の（ａ）は、図７のＩＩ−ＩＩ’線断面を表しており、（ｂ）は、図７のＩＩＩ−ＩＩＩ’線断面を表している。また、図８においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材の縮尺比率を適宜に変えてある。
【００５０】
図４において、複数の外部接続端子１０２ａは一方向に配列されており、複数の引出し配線１０３ａの夫々は、外部接続端子１０２ａの配列方向に延びると共に、外部接続端子１０２ａとコンタクトホール２０ａを介して接続されている。コンタクトホール２０ａは、各外部接続端子１０２ａの外縁に複数設けられている。尚、こうしたコンタクトホールの全部又は一部は、各外部接続端子１０２ａの内縁側に設けられていてもよい。
【００５１】
このようなレイアウトでは、引出し配線１０３ａは、自身が延在する領域からそれた領域で外部接続端子１０２ａと接続されることから、例えばコンタクトホール２０ａの形成位置の誤差等によって、外部接続端子１０２ａと、接続対象の引出し配線１０３ａと隣接して延びる引出し配線１０３ａとが誤って導通することが防止できる。よって、この液晶装置１００は、信頼性高く製造することができる。
【００５２】
図５において、このような外部接続端子１０２ａと引出し配線１０３ａとは、層間絶縁膜４３を介して積層されている。また、コンタクトホール２０ａは、この層間絶縁膜４３を貫通するように形成されている。引出し配線１０３ａは、このように所望の外部接続端子１０２ａとコンタクトホール２０ａを介して接続されつつも、それ以外の外部接続端子１０２ａとは層間絶縁膜４３によって絶縁されることによって、平面的に見て外部接続端子１０２ａと重ね合わせられている。
【００５３】
ここで、ＴＦＴアレイ基板１０上には、下地絶縁膜１２、層間絶縁膜４１〜４４が順に積層されており、層間絶縁膜４２上に引出し配線１０３ａが設けられ、その上の層間絶縁膜４３上に外部接続端子１０２ａが設けられている。ここで、引出し配線１０３ａ及び外部接続端子１０２ａは共にアルミニウム層４０Ａ、窒化チタン層４０ＴＮの２層からなり、外部接続端子１０２ａの露出面Ｄ（図４中、外部接続端子１０２ａの斜線領域）層間絶縁膜４４及び窒化チタン層４０ＴＮを部分的に除去して形成された開口から外表に対して露出している。このような積層構造は、ＴＦＴアレイ基板１０上の画像表示領域１０ａにおける積層構造を準用して構成されている。そこで次に、画像表示領域１０ａにおける積層構造の構成について説明する。
【００５４】
＜１−１−３：画像表示領域の構成＞
図６において、画像表示領域１０ａには、複数の走査線１１ａ及び複数のデータ線６ａが相交差して配列しており、その線間に、走査線１１ａ，データ線６ａの各一によって選択される画素部が構成されている。各画素部は、ＴＦＴ３０、画素電極９ａ及び蓄積容量７０を含む。ＴＦＴ３０は、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを選択画素に印加するために設けられ、ゲートが走査線１１ａに接続され、ソースがデータ線６ａに接続され、ドレインが画素電極９ａに接続されている。画素電極９ａは、後述の対向電極２１との間で液晶容量を形成し、入力される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを一定期間保持するようになっている。即ち、画素電極９ａによって画素部毎の開口領域が画定される。蓄積容量７０の一方の電極は、画素電極９ａと並列にＴＦＴ３０のドレインと接続され、他方の電極は、定電位となるように電位固定の容量配線４００に接続されている。
【００５５】
液晶装置１００は、例えばＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式を採り、走査線駆動回路１０４（図１参照）から各走査線１１ａに走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍが線順次に印加されると共に、それによってＴＦＴ３０がオン状態となる水平方向の選択画素部の列に対し、データ線駆動回路１０１（図１参照）からの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを、データ線６ａを通じて印加される。その結果、選択画素に対応する画素電極９ａに画像信号が供給される。ＴＦＴアレイ基板１０は、液晶層５０を介して対向基板２０と対向配置されているので（図２参照）、こうして画素部毎に液晶層５０に電界を印加することにより、両基板間の透過光量が画素毎に制御され、画像が階調表示される。このとき各画素部に保持された画像信号は、蓄積容量７０によりリークが防止される。
【００５６】
図７及び図８においては、上述した画素部の各回路要素がパターン化され、積層された導電膜としてＴＦＴアレイ基板１０上に構築されている。本実施形態のＴＦＴアレイ基板１０は、石英基板からなり、ガラス基板や石英基板等からなる対向基板２０と対向配置されている。また、各回路要素は、下から順に、走査線１１ａを含む第１層、ゲート電極３ａを含む第２層、蓄積容量７０の固定電位側容量電極を含む第３層、データ線６ａ等を含む第４層、容量配線４００等を含む第５層、画素電極９ａ等を含む第６層からなる。また、第１層−第２層間には下地絶縁膜１２、第２層−第３層間には第１層間絶縁膜４１、第３層−第４層間には第２層間絶縁膜４２、第４層−第５層間には第３層間絶縁膜４３、第５層−第６層間には第４層間絶縁膜４４が夫々設けられ、前述の各要素間の短絡が防止されている。
【００５７】
（第１層の構成―走査線等―）
第１層は、走査線１１ａで構成される。走査線１１ａは、図７のＸ方向に沿って延びる本線部と、データ線６ａ或いは容量配線４００が延在する図７のＹ方向に延びる突出部とからなる形状にパターニングされている。このような走査線１１ａは、例えば導電性ポリシリコンからなり、その他にもチタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド又はこれらの積層体等により形成することができる。即ち、本実施形態における走査線１１ａは、できるだけ開口領域の間の領域を覆うことで、ＴＦＴ３０を下側から遮光する遮光膜としても機能する。
【００５８】
（第２層の構成―ＴＦＴ等―）
第２層は、ＴＦＴ３０及び中継電極７１９で構成されている。ＴＦＴ３０は、例えばＬＤＤ（Lightly Doped Drain）構造とされ、ゲート電極３ａ、半導体層１ａ、ゲート電極３ａと半導体層１ａを絶縁するゲート絶縁膜２を備えている。ゲート絶縁膜２は、例えば、ＨＴＯ（High Temperature Oxide）や熱酸化されたシリコン酸化膜からなる。ゲート電極３ａは、例えば導電性ポリシリコンで形成される。半導体層１ａは、例えばポリシリコンからなり、チャネル領域１ａ’、低濃度ソース領域１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃ、並びに高濃度ソース領域１ｄ及び高濃度ドレイン領域１ｅからなる。中継電極７１９は、例えばゲート電極３ａと同一膜として形成される。
【００５９】
ＴＦＴ３０のゲート電極３ａは、下地絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ｃｖを介して走査線１１ａに電気的に接続されている。下地絶縁膜１２は、例えば、ＨＴＯ等のシリコン酸化膜、或いはＮＳＧ（ノンシリケートガラス）膜からなり、第１層と第２層との層間を絶縁する他、ＴＦＴアレイ基板１０の全面に形成されることで、基板表面の研磨による荒れや汚れ等が惹き起こすＴＦＴ３０の素子特性の変化を防止する機能を有している。
【００６０】
（第３層の構成―蓄積容量等―）
第３層は、蓄積容量７０で構成されている。蓄積容量７０は、容量電極３００と下部電極７１とが誘電体膜７５を介して対向配置された構成となっている。このうち、容量電極３００は、コンタクトホール８０１、８０３及び容量配線用中継層６ａ１を介して容量配線４００と電気的に接続されている。下部電極７１と高濃度ドレイン領域１ｅとは、第１層間絶縁膜４１に開孔されたコンタクトホール８３を介して接続されている。また、下部電極７１と画素電極９ａとは、コンタクトホール８８１、８８２、８０４及び中継電極７１９、第２中継電極６ａ２、第３中継電極４０２により各層を中継し、コンタクトホール８９において電気的に接続されている。
【００６１】
容量電極３００は、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイドからなる単層ないし多層膜、好ましくはタングステンシリサイドからなり、ＴＦＴ３０に図８の上側から入射しようとする光を遮る機能を有している。下部電極７１には、例えば導電性のポリシリコンが用いられる。誘電体膜７５は、例えば、膜厚５〜２００ｎｍ程度の比較的薄いＨＴＯ膜、ＬＴＯ（Low Temperature Oxide）膜等の酸化シリコン膜、或いは窒化シリコン膜等からなる。
【００６２】
また、第１層間絶縁膜４１は、例えば、ＮＳＧによって形成されている。その他、第１層間絶縁膜４１には、ＰＳＧ（リンシリケートガラス）、ＢＳＧ（ボロンシリケートガラス）、ＢＰＳＧ（ボロンリンシリケートガラス）等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等を用いることができる。
【００６３】
（第４層の構成―データ線等―）
第４層は、データ線６ａ、容量配線用中継層６ａ１及び第２中継電極６ａ２で構成されている。データ線６ａは、アルミニウム膜、窒化チタン膜の２層からなり、窒化シリコン膜によって表面を被覆されている。データ線６ａは、第１層間絶縁膜４１及び第２層間絶縁膜４２を貫通するコンタクトホール８１を介して、ＴＦＴ３０の高濃度ソース領域１ｄと電気的に接続されている。更に、データ線６ａと同一膜として、容量配線用中継層６ａ１及び第２中継電極６ａ２が形成されている。
【００６４】
また、第２層間絶縁膜４２は、例えばＮＳＧからなり、その他、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。
【００６５】
（第５層の構成―容量配線等―）
第５層は、容量配線４００及び第３中継電極４０２により構成されている。容量配線４００は、画像表示領域１０ａの周囲にまで延設され、周辺駆動回路に供給される電源や上下導通端子を介して対向基板に供給される対向電極電位等の定電位源と電気的に接続されることで、固定電位とされている。また、容量配線４００は、第３層間絶縁膜４３に開孔されたコンタクトホール８０３を介して、容量配線用中継層６ａ１と電気的に接続されている。このような容量配線４００は、例えばアルミニウム膜、窒化チタン膜を積層した二層構造となっている。
【００６６】
容量配線４００は、図７に示すように、Ｘ方向、Ｙ方向に延在する格子状に形成され、Ｘ方向に延在する部分には、第３中継電極４０２の形成領域を確保するために切り欠きが設けられている。更に、容量配線４００は、遮光膜としても機能し、下層のデータ線６ａ、走査線１１ａ、ＴＦＴ３０等を覆うように、これらの回路要素よりも幅広に形成され、非開口領域を最終的に規定する形状となっている。更に、第５層には、容量配線４００と同一膜として、第３中継電極４０２が形成されている。
【００６７】
第５層の下には、全面に第３層間絶縁膜４３が形成されている。第３層間絶縁膜４３は、例えばＮＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。また、第３層間絶縁膜４３の表面を平坦化するためにＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）等により研磨しても良いし、ＳＯＧ（Spin On Glass）等により平坦化膜を形成しても良い。平坦化により、配線間の段差等によるクラック発生を防止することができる。
【００６８】
（第６層の構成―画素電極等―）
第５層の全面には第４層間絶縁膜４４が形成され、更にその上に、第６層として画素電極９ａが形成されている。第４層間絶縁膜４４には、画素電極９ａ−第３中継電極４０２間を電気的に接続するためのコンタクトホール８９が開孔されている。このような第４層間絶縁膜４４は、例えばＮＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。また、第４層間絶縁膜４４の表面を平坦化するためにＣＭＰ等により研磨しても良いし、ＳＯＧ等により平坦化膜を形成しても良い。平坦化により、配線間の段差等によるクラック発生を防止する事ができる。
【００６９】
画素電極９ａ（図７中、破線９ａ’で輪郭が示されている）は、縦横に区画配列された画素領域の各々と略対応して配置されている。このような画素電極９ａは、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明導電膜からなる。更に、画素電極９ａ上には、配向膜１６が形成されている。以上が、ＴＦＴアレイ基板１０側の画素部の構成である。
【００７０】
因みに、対向基板２０には、その対向面の全面に対向電極２１が設けられており、更にその上（図８では対向電極２１の下側）に配向膜２２が設けられている。対向電極２１は、画素電極９ａと同様、例えばＩＴＯ膜等の透明導電性膜からなる。対向基板２０と対向電極２１の間には、ＴＦＴ３０における光リーク電流の発生等を防止するため、少なくともＴＦＴ３０と正対する領域を覆うように遮光膜２３が設けられている。
【００７１】
本実施形態においては、このような画像表示領域１０ａの積層構造の延長上に、張り出し部２０１が形成されている。即ち、張り出し部２０１では、引出し配線１０３ａがデータ線６ａ等の同一膜として第４層に形成され、外部接続端子１０２ａが容量配線４００等と同一膜として第５層に形成されている（図５及び図８を参照）。そのため、図５に示したような引出し配線１０３ａと外部接続端子１０２ａとが層間絶縁膜を介して積層された構造を、画像表示領域１０ａの積層構造とは別に設けずに済む。よって、ＴＦＴアレイ基板１０上の構造が簡素化でき、比較的容易に形成することが可能である。
【００７２】
また、ここでは、第４層と第５層とが共にアルミニウムを含むことから、データ線６ａ、容量配線４００は勿論のこと、引出し配線１０３ａ及び外部接続端子１０２ａもまた、低抵抗に構成される。因みに、第４層及び第５層は、熱処理が必要な蓄積容量７０やＴＦＴ３０の上層に位置することにより、耐熱性の低いアルミニウムを用いることが可能となっている。ここでは、画像表示領域１０ａにおける積層構造のうち、第４層及び第５層に引出し配線１０３ａ及び外部接続端子１０２ａの夫々を設けることで、配線の低抵抗化と、外部接続端子１０２ａの露出面Ｄを容易に形成することが可能となる。
【００７３】
＜１−２：変形例＞
次に、図９及び図１０を参照して、第１実施形態の変形例に係る液晶装置について説明する。図９は、第１実施形態の変形例に係る液晶装置のうち、張り出し部における主要部分を拡大して表しており、図１０は、図９のＢ−Ｂ’線断面を表している。
【００７４】
本発明に係る外部接続端子及び引出し配線は、平面的に見て、少なくとも部分的に重畳するように配置されていればよく、そのレイアウトは、上記第１実施形態に説明した場合以外にも種々の変形実施が可能である。
【００７５】
図９においては、そのような一例として、複数の外部接続端子１０２ｂは一方向に配列されており、引出し配線１０３ｂとコンタクトホール２０ｂを介して接続されている。コンタクトホール２０ｂは、平面的に見て、複数の引出し配線１０３ｂが複数の外部接続端子１０２ｂと交差する領域の夫々に設けられている。
【００７６】
このようなレイアウトでは、引出し配線１０３ｂは、自身が延在する領域で外部接続端子１０２ｂと接続されることから、コンタクトホールを形成するための領域を別途設けずに済み、引出し配線及び外部接続端子の配置スペースを、例えば第１実施形態に比べて小さくすることが可能である（図５及び図１０を参照）。よって、本変形例では、張り出し部の幅がより短縮され、ＴＦＴアレイ基板のサイズを更に縮小することが可能である。
【００７７】
＜１−３：第２実施形態＞
次に、図１１から図１３を参照して、第２実施形態に係る液晶装置について説明する。ここに、図１１は、本実施形態に係る液晶装置の概略構成を表している。図１２は、第２実施形態に係る液晶装置のうち、張り出し部における主要部分を拡大して表しており、図１３は、図１２のＣ−Ｃ’線断面を表している。尚、本実施形態の液晶装置１００Ａは、張り出し部内のレイアウトが異なることを除けば、液晶装置１００と同様に構成されていることから、液晶装置１００と同様の構成要素については、同一の符号を付して、その説明を適宜省略する。
【００７８】
図１１において、液晶装置１００Ａでは、張り出し部２０２の外縁に沿って配列された複数の外部接続端子１０２ｃに対し、データ線駆動回路１０１ｃ及び引出し配線１０３ｃの夫々が、平面的に見て部分的に重畳された状態で配置されている。このように張り出し部２０２のレイアウトを工夫することで、張り出し部２０２の幅Ｌ12を短縮することができ、ＴＦＴアレイ基板１０のサイズの縮小によって上記第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００７９】
図１２及び図１３には、その様子が拡大表示されている。引出し配線１０３ｃは、第１実施形態の変形例と同様、外部接続端子１０２ｃと交差する領域に設けられたコンタクトホール２０ｃによって外部接続端子１０２ｃと接続されている。その一方、引出し配線１０３ｃは、自身が延在する領域に設けられたコンタクトホール２１ｃによってデータ線駆動回路１０１ｃと接続されている。
【００８０】
ここでは、ＴＦＴアレイ基板１０上の積層構造のうち、引出し配線１０３ｃは第４層に、外部接続端子１０２ｃは第５層に設けられており、コンタクトホール２０ｃは層間絶縁膜４３を貫通するように設けられている。データ線駆動回路１０１ｃは、第１層から第５層の少なくともいずれか（図示した範囲では第２層と第４層）に設けられており、コンタクトホール２１ｃは層間絶縁膜４１及び４２を貫通するように設けられている。
【００８１】
このように本実施形態においては、外部接続端子１０２ｃと引出し配線１０３ｃの夫々が、データ線駆動回路１０１ｃや画像表示領域１０ａにおける回路部分を構成する導電膜と同一膜として、或いはそのような導電膜の同一膜を含んで形成されることから、ＴＦＴアレイ基板１０上の構造が簡素化でき、比較的容易に形成することが可能である。その他の作用及び効果は上記第１実施形態と同様であり、第２実施形態に対しても第１実施形態に対する変形と同様の変形実施が可能である。
【００８２】
また、上記第２実施形態では、外部接続端子１０２ｃと引出し配線１０３ｃ、外部接続端子１０２ｃとデータ線駆動回路１０１ｃの夫々が平面的に見て重畳するようにしたが、図１４に示したように、外部接続端子に対してデータ線駆動回路のみが重畳されるようなレイアウトにおいても張り出し部の幅が短縮され、本発明の効果を得ることができる。
【００８３】
＜２：電子機器＞
次に、図１５を参照して、以上に説明した液晶装置を電子機器に適用する場合について説明する。ここでは、本発明に係る電子機器の一例として、上述の液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図１５は、このプロジェクタの構成例を示している。
【００８４】
図１５において、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド内に配置された４枚のミラー１１０６及び２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶装置１００Ｒ、１００Ｂ及び１００Ｇに入射される。液晶装置１００Ｒ、１００Ｂ及び１００Ｇの構成は上述した液晶装置と同等であり、夫々において画像信号処理回路から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号が変調される。液晶装置１００Ｒ、１００Ｂ及び１００Ｇによって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。これにより各色の画像が合成され、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン１１２０等にカラー画像が投写される。
【００８５】
尚、本発明の電気光学装置は、上述の液晶装置以外に、例えば有機ＥＬ装置、電子ペーパ等の電気泳動装置、電子放出素子を利用した表示装置（Field Emission Display及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display）等の各種装置として実現可能である。
【００８６】
また、このような本発明の電気光学装置は、先に説明したプロジェクタ以外にも、テレビジョン受像機や、ビューファインダ型或いはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の、各種の電子機器に対して適用可能である。
【００８７】
本発明は、上述した実施形態及び実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及びこれを備えた電子機器もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図である。
【図２】図１に示した液晶装置のＩ−Ｉ’線における断面図である。
【図３】第１実施形態に係る液晶装置の比較例を示す平面図である。
【図４】第１実施形態に係る液晶装置の主要部分の構成を示す平面図である。
【図５】図４に示した張り出し部のＡ−Ａ’線における断面図である。
【図６】第１実施形態に係る液晶装置の画像表示領域における等価回路を示す模式図である。
【図７】第１実施形態に係る液晶装置の画像表示領域の構成を示す平面図である。
【図８】第１実施形態に係る液晶装置の画像表示領域の構成を示す断面図であり、（ａ）は図７のＩＩ−ＩＩ’線における断面図、（ｂ）は図７のＩＩＩ−ＩＩＩ’線における断面図である。
【図９】第１実施形態に係る液晶装置の変形例を示す平面図である。
【図１０】図９に示した張り出し部のＢ−Ｂ’線における断面図である。
【図１１】第２実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図である。
【図１２】第２実施形態に係る液晶装置における主要部分の構成を示す平面図である。
【図１３】図１２に示した張り出し部のＣ−Ｃ’線における断面図である。
【図１４】第２実施形態に係る液晶装置の変形例を示す平面図である。
【図１５】本発明の電子機器の実施形態に係る液晶プロジェクタの構成を表す断面図である。
【符号の説明】
【００８９】
１０…ＴＦＴアレイ基板、９ａ…画素電極、１０ａ…画像表示領域、２０…対向基板、２１…対向電極、５０…液晶層、５２、５２ａ…シール材、５３…額縁遮光膜、１０１、１０１ａ〜１０１ｄ…データ線駆動回路、１０２、１０２ａ〜１０２ｄ…外部接続端子、１０３ａ〜１０３ｄ…配線、１０４…走査線駆動回路、１０５…配線、１０６…上下導通端子、１１０…フレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）、２００〜２０２…張り出し部、１５０〜１５３…封止モールド材、Ｌ0、Ｌ11、Ｌ12…（張り出し部の）幅。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び、該電気光学装置を備えた、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置では、表示用電極及びこれを駆動するための回路部が設けられた基板と対向基板とが、液晶等の電気光学物質を挟んで対向配置されている。具体的には、これらの基板を所定間隔で対向させ、その対向面の周縁をシール材で貼り合わせることで形成された内部空間に、電気光学物質が封入されている。
【０００３】
表示用電極が設けられた方の基板は、平面的に見て一辺において対向基板より張り出しており、この張り出した部分（以下、張り出し部という）に、外部接続端子が設けられている。外部接続端子は、回路部等から引き出された配線と接続される一方で、信号や電源が外部入力されるように表面が外部に露出するように設けられる。その他、画像信号供給用の外部接続端子と接続される駆動回路もまた、通常はこの張り出し部に設けられる。
【０００４】
これに対し、例えば特許文献１に記載されているように、駆動回路を内部空間に配置し、張り出し部には外部接続端子しか設けない装置構成を採れば、張り出し部の幅が短縮され、基板サイズの縮小を図ることができるとされている。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１１３９０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、実際の電気光学装置において、駆動回路を配置し、駆動回路から配線を引き出すだけのスペースを内部空間に設けるのは困難である。また、仮に張り出し部に外部接続端子しか設けない場合であっても、外部接続端子に接続される引出し配線の少なくとも一部は張り出し部に配置されるわけで、張り出し部の幅を縮小するためには、これら外部接続端子と引出し配線とのレイアウトを考慮する余地がある。
【０００７】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板サイズの縮小が可能な電気光学装置、及び、そのような電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１電気光学装置は、上記課題を解決するために、所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板と、前記一方の基板に設けられた表示用電極と、前記表示用電極を駆動するために前記一方の基板に設けられた回路部と、前記回路部及び前記表示用電極を駆動するための配線のうち少なくとも一方から、前記一方の基板のうち前記一辺において張り出してなる張り出し部に夫々引き出された複数の引出し配線と、該複数の引き出し配線に夫々接続され、平面的に見て前記複数の引き出し配線と少なくとも部分的に重畳するように、前記張り出し部における前記他方の基板と対向する側の面に設けられた複数の外部接続端子とを備える。
【０００９】
本発明の第１電気光学装置によれば、少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板を所定間隔で相対向している。一対の基板のうち、他方より張り出す基板には、例えば、走査線、データ線等の配線や薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：以下適宜“ＴＦＴ”と呼ぶ）等の電子素子、データ線駆動回路や走査線駆動回路等によって表示用電極を駆動する回路部が構成されており、その上層側に表示用電極が形成されている。
【００１０】
そして、この基板のうち、上記一辺において他方の基板より張り出してなる張り出し部に、回路部と電気的に接続される外部接続端子が設けられている。外部接続端子は、例えば張り出し部の外縁に沿って複数配列されており、回路部或いは表示用電極から引き出された引出し配線に夫々接続されている。引出し配線は通常、外部接続端子が配列された領域以外の領域に引き回されている。
【００１１】
これに対し、本発明に係る張り出し部では、平面的に見て、外部接続端子と引き出し配線とが少なくとも部分的に重なり合うように（即ち、張り出し部において立体的に）配置されている。そのような構成は、例えば、引出し配線及び外部接続端子の少なくとも一部を、コンタクトホール等を介して導通させつつ層間絶縁膜を介して積層させることで実現できる。この場合、配線や端子となる導電膜は、２層或いはそれ以上に積層されてよく、各層の導電膜は単層膜又は多層膜のいずれであってもよい。
【００１２】
このようにレイアウトを工夫することで、張り出し部の、張り出した方向における幅を短縮することができる。従って、基板サイズの縮小により、電気光学装置の省スペース化が実現可能である。また特に、基板サイズの縮小により、ウェハ一枚当たりから製造される電気光学装置の個数を増やすことができ、製造コストの低減、及び製造効率の向上に対して多大な効果を発揮する。例えば、一枚についての縮小量が１ｍｍ程度の比較的少量であっても、これが数枚から数十枚分或いは数百枚分だけ、同一ウェハ上に配列されるのであれば、同一ウェハ上に一行或いは複数行分だけ余計に電気光学装置を作り込める場合もあり得る。従って、実践上は顕著に有利となる。
【００１３】
本発明の第１電気光学装置の一態様では、前記外部接続端子及び前記引出し配線は、層間絶縁膜を介して積層され、前記外部接続端子は、前記回路部を構成する第１導電膜と同一膜を含み、前記引き出し配線は、前記回路部を構成する第２導電膜と同一膜を含む。
【００１４】
この態様によれば、外部接続端子と引出し配線とは、層間絶縁膜を介して積層された、相異なる導電膜により形成されることで、平面的に見て互いに重なり合いつつも、コンタクトホール等によって接続される部位以外では電気的に導通しないように構成することができる。
【００１５】
また、外部接続端子と引出し配線とは、回路部を構成する導電膜と同一膜として、或いはそのような導電膜の同一膜を含んで形成されることから、外部接続端子及び引出し配線の積層構造を回路部とは別に設けずに済む。よって、基板上の構造が簡素化でき、比較的容易に形成することが可能である。尚、導電膜の材料としては、例えば低抵抗のアルミニウム（Ａｌ）が好適に用いられる。
【００１６】
本発明の第１電気光学装置の他の態様では、前記複数の外部接続端子は、前記一辺に沿った方向に配列され、前記複数の引出し配線は夫々、前記一辺に沿った方向に延びると共に前記外部接続端子のうち前記一辺に沿った方向と交差する方向における縁部と接続されている。
【００１７】
この態様によれば、複数の外部接続端子の配列方向に複数の引出し配線が張り出すことで、外部接続端子と引出し配線とが立体交差している。両者は、外部接続端子のうち上記一辺に沿った方向と交差する方向における縁部（即ち、外部接続端子のうち外縁側ないし内縁側の縁部）において、例えばコンタクトホールを介して接続されている。このようなレイアウトでは、外部接続端子の形成領域内に引出し配線を効率よく配置できる。また、引出し配線は、自身が延在する領域からそれた領域で外部接続端子と接続されることから、例えばコンタクトホールの形成位置の誤差等により、外部接続端子に、接続対象とする配線と隣接する配線が誤って導通することが防止できる。よって、本態様に係る電気光学装置は、信頼性高く製造することができる。
【００１８】
或いは、他の態様では、前記複数の外部接続端子は、前記一辺に沿った方向に配列され、前記複数の引出し配線は夫々、前記一辺に沿った方向に延びると共に平面的に見て前記外部接続端子と交差する領域において前記外部接続端子と接続されている。
【００１９】
この態様によれば、複数の外部接続端子と複数の引出し配線とは、平面的に見て互いに交差する領域において、例えばコンタクトホールを介して接続されている。このようなレイアウトでは、外部接続端子の形成領域内に引出し配線を効率よく配置できると共に、引出し配線は自身が延在する領域で外部接続端子と接続されることから、コンタクトホールを形成するための領域を別途設けずに済み、引出し配線及び外部接続端子の配置スペースを小さくすることが可能である。よって、本態様に係る電気光学装置は、張り出し部が張り出した方向における幅が更に短縮され、基板サイズを更に縮小することが可能である。
【００２０】
本発明の第２電気光学装置は、上記課題を解決するために、所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板と、前記一方の基板に設けられた表示用電極と、前記表示用電極を駆動するために前記一方の基板に設けられた回路部と、前記回路部及び前記表示用電極を駆動するための配線のうち少なくとも一方から、前記一方の基板のうち前記一辺において張り出してなる張り出し部に夫々引き出された複数の引出し配線と、該複数の引き出し配線に夫々接続され、平面的に見て前記回路部と少なくとも部分的に重畳するように、前記張り出し部における前記他方の基板と対向する側の面に設けられた複数の外部接続端子とを備える。
【００２１】
本発明の第２電気光学装置によれば、張り出し部に、回路部と外部接続端子とが、平面的に見て少なくとも部分的に重なり合うように配置されている。このような構成は、例えば、回路部及び外部接続端子の少なくとも一部を、層間絶縁膜を介して積層させることで実現できる。この場合、回路部や端子を構成する導電膜は、２層或いはそれ以上に積層されてよく、各層の導電膜は単層膜又は多層膜のいずれであってもよい。
【００２２】
このようにレイアウトを工夫することで、張り出し部の張り出し方向における幅を短縮することができ、基板サイズの縮小により、上記第１電気光学装置と同様の効果を奏する。
【００２３】
本発明の第２電気光学装置の一態様では、前記回路部は、前記複数の外部接続端子のうち画像信号を供給する端子と電気的に接続されると共に前記画像信号の供給を受けて駆動される駆動回路を含んでおり、前記外部接続端子は、前記駆動回路と少なくとも部分的に重畳する。
【００２４】
この態様によれば、駆動回路、即ち、所謂データ線駆動回路が、平面的に見て外部接続端子と少なくとも部分的に重なり合うように配置されている。データ線駆動回路は一般に、上記一辺に沿って延在するように設けられ、両端において画像信号入力のために多数の外部接続端子と引出し配線を介して接続される。そのため、周辺に多数の引出し配線を引き回すだけの領域が必要とされることから、データ線駆動回路は、外部接続端子と共に、空間的制約の少ない張り出し部に設けられることが多い。その場合、通常は外部接続端子とデータ線駆動回路とは同一平面上に設けられるために、張り出し部の幅は、データ線駆動回路のサイズ形状等に応じて拡張されることになる。
【００２５】
これに対し、本態様では、張り出し部に設けられるデータ線駆動回路の全体又は少なくとも一部が外部接続端子と同じスペースに設けられているので、その分だけ張り出し部の幅が短縮され、電気光学装置の省スペース化或いは小型化を効果的に実現可能となる。
【００２６】
本発明の第２電気光学装置の他の態様では、前記外部接続端子と前記回路部の一部とは層間絶縁膜を介して積層され、前記外部接続端子は、前記回路部を構成する第１導電膜と同一膜を含む。
【００２７】
この態様によれば、外部接続端子と回路部とは夫々、層間絶縁膜を介して積層されることで、平面的に見て互いに重なり合いつつも電気的に導通しないように構成できる。また、外部接続端子は、回路部を構成する導電膜と同一膜として、或いはそのような導電膜の同一膜を含んで形成されることから、基板上の構造が簡素化でき、比較的容易に形成することが可能である。尚、導電膜の材料としては、例えば低抵抗のアルミニウム（Ａｌ）が好適に用いられる。
【００２８】
本発明の第１及び第２電気光学装置における他の態様では、前記一対の基板間に内部空間を形成するように前記一対の基板における相対向する面の周縁を貼り合わせるシール材と、前記内部空間に収容された電気光学物質とを更に備え、前記表示用電極及び前記回路部の一部は、前記内部空間に面して配置される。
【００２９】
この態様によれば、電気光学装置を構成する一対の基板の間には、両基板における相対向する面の周縁をシール材で封止することによって内部空間が構成されており、その周縁から張り出し部が張り出している。内部空間には液晶等の電気光学物質が封入される。表示用電極は、電気光学物質を動作させるために、内部空間に面して配置される。また、回路部の一部、例えば、走査線、データ線及びＴＦＴ等の配線や素子、走査線駆動回路等の一部の駆動回路は、表示用電極と共に内部空間に面した領域に設けられている。よって、張り出し部の殆ど全域を、外部接続端子を形成するための領域として利用できる。
【００３０】
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を備える。
【００３１】
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置を備えるので、省スペース化或いは小型化された、投射型表示装置、液晶テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置等も実現可能である。
【００３２】
本発明のこのような作用及び他の利得は、次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３４】
＜１：電気光学装置の実施形態＞
図１から図１３を参照して、本発明の電気光学装置に係る実施形態について説明する。尚、以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
【００３５】
＜１−１：第１実施形態＞
図１から図７を参照して、本発明の第１実施形態に係る液晶装置について説明する。
【００３６】
＜１−１−１：液晶装置の概略構成＞
先ず、図１から図３を参照して、この液晶装置の概略構成について説明する。図１は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図であり、図２は、図１のＩ−Ｉ’線断面を示している。図３は、本実施形態に係る液晶装置の比較例を示している。
【００３７】
図１及び図２において、液晶装置１００では、ＴＦＴアレイ基板１０に対向基板２０を所定間隔で対向させ、両基板の相対向する面の周縁をシール材５２ａで貼り合わせることによって、内部空間が形成されている。ＴＦＴアレイ基板１０には、平面的に見て対向基板２０より張り出してなる張り出し部２０１が存在し、シール材５２ａは、この張り出し部２０１が延在する辺における所定箇所（ここでは、この辺の両端）に対して、内部空間に通じる開口を規定している。そして、開口から内部空間に注入された液晶によって液晶層５０が構成され、開口は、封止モールド材１５１ａ及び１５１ｂによって夫々、封止されている。シール材５２ａの内縁に沿って設けられた額縁遮光膜５３は、画像が表示される画像表示領域１０ａを規定している。
【００３８】
ＴＦＴアレイ基板１０の対向面（図２中、上面）のうち、画像表示領域１０ａには、画素スイッチング用ＴＦＴや走査線、データ線等の配線の上層に、本発明の「表示用電極」の一例たる画素電極９ａが設けられている。そして、画素電極９ａの直上に配向膜が形成されている。対向基板２０の対向面（図２中、下面）には、ストライプ状の遮光膜２３を介して対向電極２１が形成されており、その上層に配向膜が形成されている。また、対向基板２０の角部の少なくとも１箇所（ここでは４箇所全部）には、ＴＦＴアレイ基板１０との間を電気的に導通させる上下導通端子１０６が設けられている。液晶層５０の液晶の配向状態は、画素電極９ａと対向電極２１との間に印加される電界に応じて変化するが、電界が印加されていない状態では、配向膜によって規定される初期配向をとる。
【００３９】
ＴＦＴアレイ基板１０の対向面のうち、額縁遮光膜５３の形成領域には、走査線を駆動する走査線駆動回路１０４と配線１０５とが設けられている。図１において、走査線駆動回路１０４は、額縁遮光膜５３の左右の辺に一つずつ設けられ、配線１０５は、これら２つの走査線駆動回路１０４の相互間を接続すべく、額縁遮光膜５３の上辺に引き回されている。
【００４０】
ＴＦＴアレイ基板１０の張り出し部２０１には、本発明の「駆動回路」の一具体例として、データ線を駆動するデータ線駆動回路１０１ａが、図１において、シール材５２ａの下辺に沿って配置されている。但し、平面的に見て、データ線駆動回路１０１ａの上半分は、シール材５２ａと重なるように設けられている。また、その下半分は、両端に封止モールド材１５１ａ及び１５１ｂの開口からはみ出した部分が夫々重なっている。
【００４１】
尚、本実施形態においては、ＴＦＴ等の電子素子や走査線、データ線等の配線、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１ａを含むＴＦＴアレイ基板１０上の回路全般が、本発明の「回路部」の具体例に対応している。また、張り出し部２０１には、データ線駆動回路１０１に加えて、複数のデータ線に画像信号を所定のタイミングで印加するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の液晶装置１００の品質、欠陥等を検査するための検査回路等が形成されていてもよい。
【００４２】
更に、本実施形態では、張り出し部２０１において複数の引出し配線１０３ａの少なくとも一部が、平面的に見て、外部接続端子１０２ａと重畳するように設けられている。具体的には後述するが、この液晶装置１００では、外部接続端子１０２ａが形成されている層と引出し配線１０３ａが形成されている層とは、例えば層間絶縁膜を介して積層され、外部接続端子１０２ａの形成領域と引出し配線１０３ａの形成領域とは少なくとも一部が重なり合っている。配線や端子となる導電膜は、２層或いはそれ以上に積層されてよく、各層の導電膜は単層膜又は多層膜のいずれであってもよい。
【００４３】
これら外部接続端子１０２ａは、ＦＰＣ１１０を介して接続された外部回路から液晶装置１００内に電源や信号を供給するために設けられており、夫々、引出し配線１０３ａを介して走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１ａ等の駆動回路と適宜に接続されている。液晶装置１００では、これら外部接続端子１０２ａに外部入力された信号に応じて画素電極９ａが駆動され、画像が表示される。ここでデータ線駆動回路１０１ａは、張り出し部２０１側の両端において、引出し配線１０３ａを介して複数の外部接続端子１０２ａと接続されている。
【００４４】
図３に示したように、本実施形態の比較例に係る液晶装置においては、外部接続端子１０２と引出し配線１０３とは、平面的に見て互いに重なり合わないように、例えば同一平面上に配置される。外部接続端子１０２はまた、ＦＰＣ１１０と接続されなければならないので、その上に封止モールド材１５０が重なるのを防ぐために、ある程度、封止モールド材１５０から離しておく必要がある。結果的に、張り出し部２００は所定の幅Ｌ0を有し、データ線駆動回路１０１全体を配置できるだけのスペースが生じる。
【００４５】
これに対し、本実施形態の液晶装置１００では、以上に説明したように、外部接続端子１０２ａと引出し配線１０３ａの少なくとも一部とを、平面的に見て重畳するように配置したので、省スペース化が実現できる。特に、ここでは、外部接続端子１０２ａが張り出し部２０１の外縁に沿って配列されていることから、張り出し部２０１の、張り出し方向における幅Ｌ11を、通常より短縮することができる。
【００４６】
尚且つ、ここでは、封止モールド材１５１ａと封止モールド材１５１ｂとの間の領域に外部接続端子１０２ａを配置するようにしたので、外部接続端子１０２ａは封止モールド材１５１ａ及び１５１ｂに対して間隔をとらずに済む。更に、図１において、データ線駆動回路１０１ａの上半分をシール材５２ａが配置される領域に設けることで、外部接続端子１０２ａの位置を上側に押し上げることができる。以上の結果、張り出し部２０１の幅Ｌ11は、比較例における張り出し部２００の幅Ｌ0よりも短縮できる。
【００４７】
従って、本実施形態における液晶装置１００は省スペース化が可能であり、これを適用する電子機器に高い設計自由度を与えることができる。また、ウェハ一枚当たりから製造される液晶装置の個数を増やすことができ、製造効率の向上及び製造コスト低減に対して大きな効果を発揮する。即ち、１つの液晶装置１００における張り出し部２０１の縮小幅は、たとえ僅かであっても、ウェハ上には通常、上記ＴＦＴアレイ基板１０に対応する領域が数百ないし数千単位で形成され、更にそのようなウェハが多数生産されることから、製造上極めて有効である。
【００４８】
更に、ここでは、図１におけるシール材５２ａないし対向基板２０の下辺において、開口及び封止モールド材１５０ａ及び１５０ｂの夫々を両端部に配置し、外部接続端子１０２ａを中央部に配置するようにしたので、引出し配線１０３ａは、中央部から左右に分かれて引き回しても左右で配線長をほぼ等しくすることができ、左右における信号遅延等の不具合が生じずに済む。また、開口が左右両端に規定されていることから、内部空間に液晶を効率よく且つ均一に注入することができる。
【００４９】
＜１−１−２：張り出し部の構成＞
次に、図４から図７を参照して、液晶装置１００における張り出し部２０１の具体的構成について、詳細に説明する。図４は、本実施形態に係る液晶装置の張り出し部における主要部分を拡大して表しており、図５は、図４のＡ−Ａ’線断面を表している。図６は、本実施形態に係る液晶装置の画像表示領域において、画素部が構成する等価回路を表している。図７及び図８は、画素部の構造を表す平面図と断面図である。尚、図８の（ａ）は、図７のＩＩ−ＩＩ’線断面を表しており、（ｂ）は、図７のＩＩＩ−ＩＩＩ’線断面を表している。また、図８においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材の縮尺比率を適宜に変えてある。
【００５０】
図４において、複数の外部接続端子１０２ａは一方向に配列されており、複数の引出し配線１０３ａの夫々は、外部接続端子１０２ａの配列方向に延びると共に、外部接続端子１０２ａとコンタクトホール２０ａを介して接続されている。コンタクトホール２０ａは、各外部接続端子１０２ａの外縁に複数設けられている。尚、こうしたコンタクトホールの全部又は一部は、各外部接続端子１０２ａの内縁側に設けられていてもよい。
【００５１】
このようなレイアウトでは、引出し配線１０３ａは、自身が延在する領域からそれた領域で外部接続端子１０２ａと接続されることから、例えばコンタクトホール２０ａの形成位置の誤差等によって、外部接続端子１０２ａと、接続対象の引出し配線１０３ａと隣接して延びる引出し配線１０３ａとが誤って導通することが防止できる。よって、この液晶装置１００は、信頼性高く製造することができる。
【００５２】
図５において、このような外部接続端子１０２ａと引出し配線１０３ａとは、層間絶縁膜４３を介して積層されている。また、コンタクトホール２０ａは、この層間絶縁膜４３を貫通するように形成されている。引出し配線１０３ａは、このように所望の外部接続端子１０２ａとコンタクトホール２０ａを介して接続されつつも、それ以外の外部接続端子１０２ａとは層間絶縁膜４３によって絶縁されることによって、平面的に見て外部接続端子１０２ａと重ね合わせられている。
【００５３】
ここで、ＴＦＴアレイ基板１０上には、下地絶縁膜１２、層間絶縁膜４１〜４４が順に積層されており、層間絶縁膜４２上に引出し配線１０３ａが設けられ、その上の層間絶縁膜４３上に外部接続端子１０２ａが設けられている。ここで、引出し配線１０３ａ及び外部接続端子１０２ａは共にアルミニウム層４０Ａ、窒化チタン層４０ＴＮの２層からなり、外部接続端子１０２ａの露出面Ｄ（図４中、外部接続端子１０２ａの斜線領域）層間絶縁膜４４及び窒化チタン層４０ＴＮを部分的に除去して形成された開口から外表に対して露出している。このような積層構造は、ＴＦＴアレイ基板１０上の画像表示領域１０ａにおける積層構造を準用して構成されている。そこで次に、画像表示領域１０ａにおける積層構造の構成について説明する。
【００５４】
＜１−１−３：画像表示領域の構成＞
図６において、画像表示領域１０ａには、複数の走査線１１ａ及び複数のデータ線６ａが相交差して配列しており、その線間に、走査線１１ａ，データ線６ａの各一によって選択される画素部が構成されている。各画素部は、ＴＦＴ３０、画素電極９ａ及び蓄積容量７０を含む。ＴＦＴ３０は、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを選択画素に印加するために設けられ、ゲートが走査線１１ａに接続され、ソースがデータ線６ａに接続され、ドレインが画素電極９ａに接続されている。画素電極９ａは、後述の対向電極２１との間で液晶容量を形成し、入力される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを一定期間保持するようになっている。即ち、画素電極９ａによって画素部毎の開口領域が画定される。蓄積容量７０の一方の電極は、画素電極９ａと並列にＴＦＴ３０のドレインと接続され、他方の電極は、定電位となるように電位固定の容量配線４００に接続されている。
【００５５】
液晶装置１００は、例えばＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式を採り、走査線駆動回路１０４（図１参照）から各走査線１１ａに走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍが線順次に印加されると共に、それによってＴＦＴ３０がオン状態となる水平方向の選択画素部の列に対し、データ線駆動回路１０１（図１参照）からの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを、データ線６ａを通じて印加される。その結果、選択画素に対応する画素電極９ａに画像信号が供給される。ＴＦＴアレイ基板１０は、液晶層５０を介して対向基板２０と対向配置されているので（図２参照）、こうして画素部毎に液晶層５０に電界を印加することにより、両基板間の透過光量が画素毎に制御され、画像が階調表示される。このとき各画素部に保持された画像信号は、蓄積容量７０によりリークが防止される。
【００５６】
図７及び図８においては、上述した画素部の各回路要素がパターン化され、積層された導電膜としてＴＦＴアレイ基板１０上に構築されている。本実施形態のＴＦＴアレイ基板１０は、石英基板からなり、ガラス基板や石英基板等からなる対向基板２０と対向配置されている。また、各回路要素は、下から順に、走査線１１ａを含む第１層、ゲート電極３ａを含む第２層、蓄積容量７０の固定電位側容量電極を含む第３層、データ線６ａ等を含む第４層、容量配線４００等を含む第５層、画素電極９ａ等を含む第６層からなる。また、第１層−第２層間には下地絶縁膜１２、第２層−第３層間には第１層間絶縁膜４１、第３層−第４層間には第２層間絶縁膜４２、第４層−第５層間には第３層間絶縁膜４３、第５層−第６層間には第４層間絶縁膜４４が夫々設けられ、前述の各要素間の短絡が防止されている。
【００５７】
（第１層の構成―走査線等―）
第１層は、走査線１１ａで構成される。走査線１１ａは、図７のＸ方向に沿って延びる本線部と、データ線６ａ或いは容量配線４００が延在する図７のＹ方向に延びる突出部とからなる形状にパターニングされている。このような走査線１１ａは、例えば導電性ポリシリコンからなり、その他にもチタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド又はこれらの積層体等により形成することができる。即ち、本実施形態における走査線１１ａは、できるだけ開口領域の間の領域を覆うことで、ＴＦＴ３０を下側から遮光する遮光膜としても機能する。
【００５８】
（第２層の構成―ＴＦＴ等―）
第２層は、ＴＦＴ３０及び中継電極７１９で構成されている。ＴＦＴ３０は、例えばＬＤＤ（Lightly Doped Drain）構造とされ、ゲート電極３ａ、半導体層１ａ、ゲート電極３ａと半導体層１ａを絶縁するゲート絶縁膜２を備えている。ゲート絶縁膜２は、例えば、ＨＴＯ（High Temperature Oxide）や熱酸化されたシリコン酸化膜からなる。ゲート電極３ａは、例えば導電性ポリシリコンで形成される。半導体層１ａは、例えばポリシリコンからなり、チャネル領域１ａ’、低濃度ソース領域１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃ、並びに高濃度ソース領域１ｄ及び高濃度ドレイン領域１ｅからなる。中継電極７１９は、例えばゲート電極３ａと同一膜として形成される。
【００５９】
ＴＦＴ３０のゲート電極３ａは、下地絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ｃｖを介して走査線１１ａに電気的に接続されている。下地絶縁膜１２は、例えば、ＨＴＯ等のシリコン酸化膜、或いはＮＳＧ（ノンシリケートガラス）膜からなり、第１層と第２層との層間を絶縁する他、ＴＦＴアレイ基板１０の全面に形成されることで、基板表面の研磨による荒れや汚れ等が惹き起こすＴＦＴ３０の素子特性の変化を防止する機能を有している。
【００６０】
（第３層の構成―蓄積容量等―）
第３層は、蓄積容量７０で構成されている。蓄積容量７０は、容量電極３００と下部電極７１とが誘電体膜７５を介して対向配置された構成となっている。このうち、容量電極３００は、コンタクトホール８０１、８０３及び容量配線用中継層６ａ１を介して容量配線４００と電気的に接続されている。下部電極７１と高濃度ドレイン領域１ｅとは、第１層間絶縁膜４１に開孔されたコンタクトホール８３を介して接続されている。また、下部電極７１と画素電極９ａとは、コンタクトホール８８１、８８２、８０４及び中継電極７１９、第２中継電極６ａ２、第３中継電極４０２により各層を中継し、コンタクトホール８９において電気的に接続されている。
【００６１】
容量電極３００は、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイドからなる単層ないし多層膜、好ましくはタングステンシリサイドからなり、ＴＦＴ３０に図８の上側から入射しようとする光を遮る機能を有している。下部電極７１には、例えば導電性のポリシリコンが用いられる。誘電体膜７５は、例えば、膜厚５〜２００ｎｍ程度の比較的薄いＨＴＯ膜、ＬＴＯ（Low Temperature Oxide）膜等の酸化シリコン膜、或いは窒化シリコン膜等からなる。
【００６２】
また、第１層間絶縁膜４１は、例えば、ＮＳＧによって形成されている。その他、第１層間絶縁膜４１には、ＰＳＧ（リンシリケートガラス）、ＢＳＧ（ボロンシリケートガラス）、ＢＰＳＧ（ボロンリンシリケートガラス）等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等を用いることができる。
【００６３】
（第４層の構成―データ線等―）
第４層は、データ線６ａ、容量配線用中継層６ａ１及び第２中継電極６ａ２で構成されている。データ線６ａは、アルミニウム膜、窒化チタン膜の２層からなり、窒化シリコン膜によって表面を被覆されている。データ線６ａは、第１層間絶縁膜４１及び第２層間絶縁膜４２を貫通するコンタクトホール８１を介して、ＴＦＴ３０の高濃度ソース領域１ｄと電気的に接続されている。更に、データ線６ａと同一膜として、容量配線用中継層６ａ１及び第２中継電極６ａ２が形成されている。
【００６４】
また、第２層間絶縁膜４２は、例えばＮＳＧからなり、その他、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。
【００６５】
（第５層の構成―容量配線等―）
第５層は、容量配線４００及び第３中継電極４０２により構成されている。容量配線４００は、画像表示領域１０ａの周囲にまで延設され、周辺駆動回路に供給される電源や上下導通端子を介して対向基板に供給される対向電極電位等の定電位源と電気的に接続されることで、固定電位とされている。また、容量配線４００は、第３層間絶縁膜４３に開孔されたコンタクトホール８０３を介して、容量配線用中継層６ａ１と電気的に接続されている。このような容量配線４００は、例えばアルミニウム膜、窒化チタン膜を積層した二層構造となっている。
【００６６】
容量配線４００は、図７に示すように、Ｘ方向、Ｙ方向に延在する格子状に形成され、Ｘ方向に延在する部分には、第３中継電極４０２の形成領域を確保するために切り欠きが設けられている。更に、容量配線４００は、遮光膜としても機能し、下層のデータ線６ａ、走査線１１ａ、ＴＦＴ３０等を覆うように、これらの回路要素よりも幅広に形成され、非開口領域を最終的に規定する形状となっている。更に、第５層には、容量配線４００と同一膜として、第３中継電極４０２が形成されている。
【００６７】
第５層の下には、全面に第３層間絶縁膜４３が形成されている。第３層間絶縁膜４３は、例えばＮＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。また、第３層間絶縁膜４３の表面を平坦化するためにＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）等により研磨しても良いし、ＳＯＧ（Spin On Glass）等により平坦化膜を形成しても良い。平坦化により、配線間の段差等によるクラック発生を防止することができる。
【００６８】
（第６層の構成―画素電極等―）
第５層の全面には第４層間絶縁膜４４が形成され、更にその上に、第６層として画素電極９ａが形成されている。第４層間絶縁膜４４には、画素電極９ａ−第３中継電極４０２間を電気的に接続するためのコンタクトホール８９が開孔されている。このような第４層間絶縁膜４４は、例えばＮＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。また、第４層間絶縁膜４４の表面を平坦化するためにＣＭＰ等により研磨しても良いし、ＳＯＧ等により平坦化膜を形成しても良い。平坦化により、配線間の段差等によるクラック発生を防止する事ができる。
【００６９】
画素電極９ａ（図７中、破線９ａ’で輪郭が示されている）は、縦横に区画配列された画素領域の各々と略対応して配置されている。このような画素電極９ａは、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明導電膜からなる。更に、画素電極９ａ上には、配向膜１６が形成されている。以上が、ＴＦＴアレイ基板１０側の画素部の構成である。
【００７０】
因みに、対向基板２０には、その対向面の全面に対向電極２１が設けられており、更にその上（図８では対向電極２１の下側）に配向膜２２が設けられている。対向電極２１は、画素電極９ａと同様、例えばＩＴＯ膜等の透明導電性膜からなる。対向基板２０と対向電極２１の間には、ＴＦＴ３０における光リーク電流の発生等を防止するため、少なくともＴＦＴ３０と正対する領域を覆うように遮光膜２３が設けられている。
【００７１】
本実施形態においては、このような画像表示領域１０ａの積層構造の延長上に、張り出し部２０１が形成されている。即ち、張り出し部２０１では、引出し配線１０３ａがデータ線６ａ等の同一膜として第４層に形成され、外部接続端子１０２ａが容量配線４００等と同一膜として第５層に形成されている（図５及び図８を参照）。そのため、図５に示したような引出し配線１０３ａと外部接続端子１０２ａとが層間絶縁膜を介して積層された構造を、画像表示領域１０ａの積層構造とは別に設けずに済む。よって、ＴＦＴアレイ基板１０上の構造が簡素化でき、比較的容易に形成することが可能である。
【００７２】
また、ここでは、第４層と第５層とが共にアルミニウムを含むことから、データ線６ａ、容量配線４００は勿論のこと、引出し配線１０３ａ及び外部接続端子１０２ａもまた、低抵抗に構成される。因みに、第４層及び第５層は、熱処理が必要な蓄積容量７０やＴＦＴ３０の上層に位置することにより、耐熱性の低いアルミニウムを用いることが可能となっている。ここでは、画像表示領域１０ａにおける積層構造のうち、第４層及び第５層に引出し配線１０３ａ及び外部接続端子１０２ａの夫々を設けることで、配線の低抵抗化と、外部接続端子１０２ａの露出面Ｄを容易に形成することが可能となる。
【００７３】
＜１−２：変形例＞
次に、図９及び図１０を参照して、第１実施形態の変形例に係る液晶装置について説明する。図９は、第１実施形態の変形例に係る液晶装置のうち、張り出し部における主要部分を拡大して表しており、図１０は、図９のＢ−Ｂ’線断面を表している。
【００７４】
本発明に係る外部接続端子及び引出し配線は、平面的に見て、少なくとも部分的に重畳するように配置されていればよく、そのレイアウトは、上記第１実施形態に説明した場合以外にも種々の変形実施が可能である。
【００７５】
図９においては、そのような一例として、複数の外部接続端子１０２ｂは一方向に配列されており、引出し配線１０３ｂとコンタクトホール２０ｂを介して接続されている。コンタクトホール２０ｂは、平面的に見て、複数の引出し配線１０３ｂが複数の外部接続端子１０２ｂと交差する領域の夫々に設けられている。
【００７６】
このようなレイアウトでは、引出し配線１０３ｂは、自身が延在する領域で外部接続端子１０２ｂと接続されることから、コンタクトホールを形成するための領域を別途設けずに済み、引出し配線及び外部接続端子の配置スペースを、例えば第１実施形態に比べて小さくすることが可能である（図５及び図１０を参照）。よって、本変形例では、張り出し部の幅がより短縮され、ＴＦＴアレイ基板のサイズを更に縮小することが可能である。
【００７７】
＜１−３：第２実施形態＞
次に、図１１から図１３を参照して、第２実施形態に係る液晶装置について説明する。ここに、図１１は、本実施形態に係る液晶装置の概略構成を表している。図１２は、第２実施形態に係る液晶装置のうち、張り出し部における主要部分を拡大して表しており、図１３は、図１２のＣ−Ｃ’線断面を表している。尚、本実施形態の液晶装置１００Ａは、張り出し部内のレイアウトが異なることを除けば、液晶装置１００と同様に構成されていることから、液晶装置１００と同様の構成要素については、同一の符号を付して、その説明を適宜省略する。
【００７８】
図１１において、液晶装置１００Ａでは、張り出し部２０２の外縁に沿って配列された複数の外部接続端子１０２ｃに対し、データ線駆動回路１０１ｃ及び引出し配線１０３ｃの夫々が、平面的に見て部分的に重畳された状態で配置されている。このように張り出し部２０２のレイアウトを工夫することで、張り出し部２０２の幅Ｌ12を短縮することができ、ＴＦＴアレイ基板１０のサイズの縮小によって上記第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００７９】
図１２及び図１３には、その様子が拡大表示されている。引出し配線１０３ｃは、第１実施形態の変形例と同様、外部接続端子１０２ｃと交差する領域に設けられたコンタクトホール２０ｃによって外部接続端子１０２ｃと接続されている。その一方、引出し配線１０３ｃは、自身が延在する領域に設けられたコンタクトホール２１ｃによってデータ線駆動回路１０１ｃと接続されている。
【００８０】
ここでは、ＴＦＴアレイ基板１０上の積層構造のうち、引出し配線１０３ｃは第４層に、外部接続端子１０２ｃは第５層に設けられており、コンタクトホール２０ｃは層間絶縁膜４３を貫通するように設けられている。データ線駆動回路１０１ｃは、第１層から第５層の少なくともいずれか（図示した範囲では第２層と第４層）に設けられており、コンタクトホール２１ｃは層間絶縁膜４１及び４２を貫通するように設けられている。
【００８１】
このように本実施形態においては、外部接続端子１０２ｃと引出し配線１０３ｃの夫々が、データ線駆動回路１０１ｃや画像表示領域１０ａにおける回路部分を構成する導電膜と同一膜として、或いはそのような導電膜の同一膜を含んで形成されることから、ＴＦＴアレイ基板１０上の構造が簡素化でき、比較的容易に形成することが可能である。その他の作用及び効果は上記第１実施形態と同様であり、第２実施形態に対しても第１実施形態に対する変形と同様の変形実施が可能である。
【００８２】
また、上記第２実施形態では、外部接続端子１０２ｃと引出し配線１０３ｃ、外部接続端子１０２ｃとデータ線駆動回路１０１ｃの夫々が平面的に見て重畳するようにしたが、図１４に示したように、外部接続端子に対してデータ線駆動回路のみが重畳されるようなレイアウトにおいても張り出し部の幅が短縮され、本発明の効果を得ることができる。
【００８３】
＜２：電子機器＞
次に、図１５を参照して、以上に説明した液晶装置を電子機器に適用する場合について説明する。ここでは、本発明に係る電子機器の一例として、上述の液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図１５は、このプロジェクタの構成例を示している。
【００８４】
図１５において、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド内に配置された４枚のミラー１１０６及び２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶装置１００Ｒ、１００Ｂ及び１００Ｇに入射される。液晶装置１００Ｒ、１００Ｂ及び１００Ｇの構成は上述した液晶装置と同等であり、夫々において画像信号処理回路から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号が変調される。液晶装置１００Ｒ、１００Ｂ及び１００Ｇによって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。これにより各色の画像が合成され、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン１１２０等にカラー画像が投写される。
【００８５】
尚、本発明の電気光学装置は、上述の液晶装置以外に、例えば有機ＥＬ装置、電子ペーパ等の電気泳動装置、電子放出素子を利用した表示装置（Field Emission Display及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display）等の各種装置として実現可能である。
【００８６】
また、このような本発明の電気光学装置は、先に説明したプロジェクタ以外にも、テレビジョン受像機や、ビューファインダ型或いはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の、各種の電子機器に対して適用可能である。
【００８７】
本発明は、上述した実施形態及び実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及びこれを備えた電子機器もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図である。
【図２】図１に示した液晶装置のＩ−Ｉ’線における断面図である。
【図３】第１実施形態に係る液晶装置の比較例を示す平面図である。
【図４】第１実施形態に係る液晶装置の主要部分の構成を示す平面図である。
【図５】図４に示した張り出し部のＡ−Ａ’線における断面図である。
【図６】第１実施形態に係る液晶装置の画像表示領域における等価回路を示す模式図である。
【図７】第１実施形態に係る液晶装置の画像表示領域の構成を示す平面図である。
【図８】第１実施形態に係る液晶装置の画像表示領域の構成を示す断面図であり、（ａ）は図７のＩＩ−ＩＩ’線における断面図、（ｂ）は図７のＩＩＩ−ＩＩＩ’線における断面図である。
【図９】第１実施形態に係る液晶装置の変形例を示す平面図である。
【図１０】図９に示した張り出し部のＢ−Ｂ’線における断面図である。
【図１１】第２実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図である。
【図１２】第２実施形態に係る液晶装置における主要部分の構成を示す平面図である。
【図１３】図１２に示した張り出し部のＣ−Ｃ’線における断面図である。
【図１４】第２実施形態に係る液晶装置の変形例を示す平面図である。
【図１５】本発明の電子機器の実施形態に係る液晶プロジェクタの構成を表す断面図である。
【符号の説明】
【００８９】
１０…ＴＦＴアレイ基板、９ａ…画素電極、１０ａ…画像表示領域、２０…対向基板、２１…対向電極、５０…液晶層、５２、５２ａ…シール材、５３…額縁遮光膜、１０１、１０１ａ〜１０１ｄ…データ線駆動回路、１０２、１０２ａ〜１０２ｄ…外部接続端子、１０３ａ〜１０３ｄ…配線、１０４…走査線駆動回路、１０５…配線、１０６…上下導通端子、１１０…フレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）、２００〜２０２…張り出し部、１５０〜１５３…封止モールド材、Ｌ0、Ｌ11、Ｌ12…（張り出し部の）幅。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板と、
前記一方の基板に設けられた表示用電極と、
前記表示用電極を駆動するために前記一方の基板に設けられた回路部と、
前記回路部及び前記表示用電極を駆動するための配線のうち少なくとも一方から、前記一方の基板のうち前記一辺において張り出してなる張り出し部に夫々引き出された複数の引出し配線と、
該複数の引き出し配線に夫々接続され、平面的に見て前記複数の引き出し配線と少なくとも部分的に重畳するように、前記張り出し部における前記他方の基板と対向する側の面に設けられた複数の外部接続端子と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記外部接続端子及び前記引出し配線は、層間絶縁膜を介して積層され、
前記外部接続端子は、前記回路部を構成する第１導電膜と同一膜を含み、
前記引き出し配線は、前記回路部を構成する第２導電膜と同一膜を含むことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記複数の外部接続端子は、前記一辺に沿った方向に配列され、前記複数の引出し配線は夫々、前記一辺に沿った方向に延びると共に前記外部接続端子のうち前記一辺に沿った方向と交差する方向における縁部と接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記複数の外部接続端子は、前記一辺に沿った方向に配列され、前記複数の引出し配線は夫々、前記一辺に沿った方向に延びると共に平面的に見て前記外部接続端子と交差する領域において前記外部接続端子と接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項５】
所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板と、
前記一方の基板に設けられた表示用電極と、
前記表示用電極を駆動するために前記一方の基板に設けられた回路部と、
前記回路部及び前記表示用電極を駆動するための配線のうち少なくとも一方から、前記一方の基板のうち前記一辺において張り出してなる張り出し部に夫々引き出された複数の引出し配線と、
該複数の引き出し配線に夫々接続され、平面的に見て前記回路部と少なくとも部分的に重畳するように、前記張り出し部における前記他方の基板と対向する側の面に設けられた複数の外部接続端子と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
前記回路部は、前記複数の外部接続端子のうち画像信号を供給する端子と電気的に接続されると共に前記画像信号の供給を受けて駆動される駆動回路を含んでおり、該駆動回路の少なくとも一部は平面的に見て前記外部接続端子と重畳するように設けられていることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置。
【請求項７】
前記外部接続端子と前記回路部の一部とは層間絶縁膜を介して積層され、前記外部接続端子は、前記回路部を構成する第１導電膜と同一膜を含むことを特徴とする請求項５又は６に記載の電気光学装置。
【請求項８】
前記一対の基板間に内部空間を形成するように前記一対の基板における相対向する面の周縁を貼り合わせるシール材と、前記内部空間に収容された電気光学物質とを更に備え、前記表示用電極及び前記回路部の一部は、前記内部空間に面して配置されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備することを特徴とする電子機器。
【請求項１】
所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板と、
前記一方の基板に設けられた表示用電極と、
前記表示用電極を駆動するために前記一方の基板に設けられた回路部と、
前記回路部及び前記表示用電極を駆動するための配線のうち少なくとも一方から、前記一方の基板のうち前記一辺において張り出してなる張り出し部に夫々引き出された複数の引出し配線と、
該複数の引き出し配線に夫々接続され、平面的に見て前記複数の引き出し配線と少なくとも部分的に重畳するように、前記張り出し部における前記他方の基板と対向する側の面に設けられた複数の外部接続端子と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記外部接続端子及び前記引出し配線は、層間絶縁膜を介して積層され、
前記外部接続端子は、前記回路部を構成する第１導電膜と同一膜を含み、
前記引き出し配線は、前記回路部を構成する第２導電膜と同一膜を含むことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記複数の外部接続端子は、前記一辺に沿った方向に配列され、前記複数の引出し配線は夫々、前記一辺に沿った方向に延びると共に前記外部接続端子のうち前記一辺に沿った方向と交差する方向における縁部と接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記複数の外部接続端子は、前記一辺に沿った方向に配列され、前記複数の引出し配線は夫々、前記一辺に沿った方向に延びると共に平面的に見て前記外部接続端子と交差する領域において前記外部接続端子と接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項５】
所定間隔で相対向すると共に平面的に見て少なくとも一辺において一方の基板が他方の基板より張り出している一対の基板と、
前記一方の基板に設けられた表示用電極と、
前記表示用電極を駆動するために前記一方の基板に設けられた回路部と、
前記回路部及び前記表示用電極を駆動するための配線のうち少なくとも一方から、前記一方の基板のうち前記一辺において張り出してなる張り出し部に夫々引き出された複数の引出し配線と、
該複数の引き出し配線に夫々接続され、平面的に見て前記回路部と少なくとも部分的に重畳するように、前記張り出し部における前記他方の基板と対向する側の面に設けられた複数の外部接続端子と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
前記回路部は、前記複数の外部接続端子のうち画像信号を供給する端子と電気的に接続されると共に前記画像信号の供給を受けて駆動される駆動回路を含んでおり、該駆動回路の少なくとも一部は平面的に見て前記外部接続端子と重畳するように設けられていることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置。
【請求項７】
前記外部接続端子と前記回路部の一部とは層間絶縁膜を介して積層され、前記外部接続端子は、前記回路部を構成する第１導電膜と同一膜を含むことを特徴とする請求項５又は６に記載の電気光学装置。
【請求項８】
前記一対の基板間に内部空間を形成するように前記一対の基板における相対向する面の周縁を貼り合わせるシール材と、前記内部空間に収容された電気光学物質とを更に備え、前記表示用電極及び前記回路部の一部は、前記内部空間に面して配置されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備することを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００６−１３９０９２（Ｐ２００６−１３９０９２Ａ）
【公開日】平成１８年６月１日（２００６．６．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−３２８９８２（Ｐ２００４−３２８９８２）
【出願日】平成１６年１１月１２日（２００４．１１．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年６月１日（２００６．６．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１１月１２日（２００４．１１．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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