【課題】簡易な構成で、誤差要因の少ない流量測定装置及び流量計測方法を提供すること。
【解決手段】上端が頂部１１に連結され下端が入口部２０の下端よりも低い位置で開口した中空型の内筒３０と内筒の外側面及び胴部１３の内側面の少なくとも一方に設けられたガイド板４０とを備えた気液分離器１００と、気液多相流体の流路を、気液分離器１００を介さない経路と気液分離器１００を介する経路とに切り替える流路切替手段１３０と、液体出口部２１から合流部１１４への経路が開いた状態と閉じた状態とを切り替える第１開閉手段１３１と、気体出口部２２から合流部１１４への経路が開いた状態と閉じた状態とを切り替える第２開閉手段１３２と、気液分離器１００及び液体出口配管１２１のうち少なくとも一方の内部の高さの異なる２つ以上の測定箇所で圧力を計測する圧力計測部２００とを有し、ガイド板下部４２と胴部１３との間の少なくとも一部に空隙を有する。 （もっと読む）

【課題】ラミナー式流量計の測定対象たるガスの流れが、レイノルズ数が十分に小さい層流でない脈動流であっても、ガスの流量を正確に測定することができる脈動流の流量測定方法およびガス流量測定装置を提供する。
【解決手段】ラミナー式流量計２を用いた流量測定方法であって、測定前に、脈動周波数を複数設定するとともに、流量が一定であり、かつ、既知である複数の基準流量Ｑ_ａを設定し、各脈動周波数と各基準流量Ｑ_ａとを組み合わせた各パターンのガスの流れを、脈動振幅ｘを変化させながら、ラミナー式流量計２によって測定（測定流量ｙを取得）し、各パターンにおいて、ラミナー式流量計２による測定流量ｙと脈動振幅ｘとの関係を表す関数を算出しておき、測定において、当該測定の測定条件に最も近似するパターンを各パターンから選択するとともに、選択したパターンにおける関数を用いて、ラミナー式流量計２による測定流量ｙを補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、発振器単体の校正や精度確認のみでは発見できない導圧管からの圧力漏れや導圧管内の詰り等を流量制御システム系の異常として発見することを目的とする。
【解決手段】管内の流体の流量設定値（６）と差圧式流量計（３）で測定される流量実績値（７）との偏差を求め、該偏差を用いて流量調節弁（５）を制御する流量制御システムの異常監視方法において、前記管内を流れる最大流量に対する前記流量実績値との割合（％）と、前記流量調節弁（５）への開度指令値（％）（８）との差の絶対値を求め、 該絶対値が所定のしきい値を超えていれば、前記流量制御が異常であると判定することを特徴とする流量制御システムの異常監視方法。 （もっと読む）

【課題】流量計測機器及び制御機器を有する流量計測システムにおいて、そのメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ＭＦＣ２及びこのＭＦＣ２を管理する制御機器３を有する流量計測システム１００であって、前記ＭＦＣ２が、流量センサ２１と、この流量センサ２１により得られる計測データを用いた流量算出に用いる流量算出関連データを格納する関連データ格納部Ｄ１とを備え、前記制御機器３が、前記関連データ格納部Ｄ１から前記流量算出関連データを取得し、前記流量センサ２１の計測データ及び前記流量算出関連データを用いて流量算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】一次圧や二次圧に圧力損失を生じさせることなく、減圧装置を装備した流体導管の流量を計測可能にした。
【解決手段】流体導管１に装備され、上流側流体導管１ｕにおける一次圧を減圧して下流側流体導管１ｄにおける二次圧を得る減圧装置１０であって、二次圧を検出する二次圧検出部１３と、二次圧検出部１３で検出された二次圧に基づいて流量抵抗を可変調整する可変抵抗部１１と、可変抵抗部１１の下流側に設けられ、一定の流量抵抗を有する固定抵抗部１２とを備え、可変抵抗部１１と固定抵抗部１２との合成流量抵抗によって、一次圧を二次圧に減圧する。固定抵抗部１２による発生差圧を検出することで、流体導管１の流量を計測できる。 （もっと読む）

【課題】計測環境に影響されない流量の計測を可能にする。
【解決手段】流量計（２０）を通してワークに供給する気体を調圧弁（１２）でテスト圧に設定し、流量計によりワークから流出する計測環境での流量を計測し、ワークに供給する気体の温度と計測環境の気圧を測定し、測定した温度と気圧により流量換算部（３０Ｒ）において標準状態の流量への変換係数Ｒを計算し、流量等価部（３０Ｅ）において換算流量に対し換算係数の平方根で割り算して計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量を求め、表示する。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出量が常に一定となるように高精度に制御すると共に、前記液体内にエアが混入した場合を検知して吐出精度の低下を防止する。
【解決手段】定量吐出装置１０は、液体が流通する第１及び第２通路１２、１６を有し、前記第１及び第２通路１２、１６の下部には、前記第１及び第２通路１２、１６内の液体の圧力を検出可能な一組の検出部２０ａ、２０ｂが設けられると共に、前記第１及び第２通路１２、１６の上部には、液体内に含まれるエアを排出可能なエア抜き通路４８ａ、４８ｂがそれぞれ設けられている。そして、第１ハウジング１４と第２ハウジング１８の間には、第１及び第２通路１２、１６に臨むように液体の流量を絞るための流量調整部２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】とりわけ、流体の体積流量および／または質量流量を測定できる幅広い測定領域において流量計を使用することができ、また、高い流速でも使用できる流量計を実現すること。
【解決手段】前記課題は、前記流体の少なくとも１つの第１の流れ特性を検出するための少なくとも１つの超音波センサ（１１４）と、前記流体の少なくとも１つの第２の流れ特性を検出するための少なくとも１つの有効圧センサ（１１６）とを有することを特徴とする、流量計によって解決される。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第１被測定対象の測定信号として出力する第１補正部と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第２被測定対象の測定信号として出力する第２補正部と、を備え、温度センサ４を、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂと相互に接触した状態で一体化する。 （もっと読む）

【課題】液圧モニタリングシステムを提供すること。
【解決手段】機械の回路（１２０）用の液圧モニタリングシステム（１００、２００、３００、４００）が提供される。このシステム（１００、２００、３００、４００）には、回路（１２０）を流通する液体の流量を測定するように構成された流量計（１３０）であり、回路（１２０）がストレーナ（１２２）および冷却セクション（１２４）を含む、流量計（１３０）と、回路（１２０）の少なくとも一部の圧力を測定するように構成された少なくとも１つのセンサ（１３２、１３４、１３６）と、予測圧力降下を超える測定圧力に基づいた値に応じて警報を生成するためのモニタリング構成要素（１５０）であり、予測圧力降下が流量および少なくとも１つの流量係数に基づく、モニタリング構成要素（１５０）とが含まれる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、地下水地表流出流速流量測定装置及びそのモニタリング装置を提供するためのものである。
【解決手段】本発明は、地下水が流出される地表領域に固定設置されて地表上に流出される地下水を保管する貯蔵槽と、貯蔵槽の内に保管された地下水を流入して水柱の上昇を誘発する液柱管及び液柱管の上端開口の上に形成されて液柱管の内で上昇した水柱の水頭差により地下水の流出速度及び流量を検出する圧力式測定手段とを含む構成からなって、地表に流出される地下水の流速及び流量を容易で、かつ速く測定することができ、併せて測定された地下水の流速及び流量に関するデータをリアルタイムまたは時間帯別に、あるいはユーザの要請によって何時でもユーザの端末機を介してモニタリングすることができる。 （もっと読む）

【課題】 流路内の旋回流を抑制したり、流速分布の偏りを少なくフラット化することで、風量測定機器の測定精度を高める整流格子に関し、整流効果を高め、整流格子を構成するプレートの摩耗や騒音を抑制し、計測機器との設置間隔を狭めることができる整流格子及びそれを組み込んだ風道を提供する。
【解決手段】 整流格子が、風道の内壁４と並行的に風道を区画する内設仕切りプレート２と、風道の内壁４や内設仕切りプレート２から風道の中心に向けて延設する複数の放射状仕切りプレート１、３から形成され、各仕切りプレート１、２、３や風道の内壁４で区画されたセル１２ｉ、１２ｎの水力平均深さが整流格子を構成する全てのセルでほぼ均一になるような構造を持つ。更に、仕切りプレート同士の交差部分７ａやコーナー部分を溶接したり、コーキング処理し固着することでプレート同士の擦れによる摩耗や騒音をなくすことができる。 （もっと読む）

【課題】液体と気体のどちらにも使用することができ、小型化に適し、電子回路基板などに表面実装することが可能であり、信頼性が高い流量センサーを提供する。
【解決手段】表面実装型のパッケージ１２に流量検出手段を内蔵した流量センサー１０であって、パッケージ１２内に形成され、流体をパッケージ１２の下面に設けた流入口３０から流量検出手段を通してパッケージ１２の下面に設けた流出口３２に導く流体流路７０と、パッケージ１２の外面に設けられ流量検出手段の電気出力が導かれる外部端子４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】排ガスの流れに対する取付角度のずれが許容値内に収まるように、ピトー管をダクトに取り付けることができるピトー管取付具を提供する。
【解決手段】ピトー管取付具１ａは、ピトー管５０を挿入するための筒状の挿入部２ａを有し，ダクト等の側面に形成された分岐管５３ａのフランジ部５４に取り付けられる固定フランジ２と、フランジ部５４の外周面５４ａに設けられる凸状部３ａと、固定フランジ２の挿入部２ａの内部に設置されるスペーサ４と、固定フランジ２の周縁部２ｂに沿って設けられるガイド部３ｂと、スペーサ４の外面を押圧可能に，挿入部２ａの側面に形成されたネジ穴（図示せず）に螺入されるネジ５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】供給ノズルに処理液を供給するための供給流路に設けられた差圧式流量計の流量の計測値が真の値からずれたことを容易に検知することができる基板処理方法及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理液を供給する供給流路に設けられた差圧式流量計を介して接続された供給ノズルにより基板に処理液を供給し、供給された処理液により基板を処理する基板処理方法において、基板に処理液を供給していないときに、供給流路内の圧力を差圧式流量計内の圧力計測部により計測する計測工程Ｓ１５と、計測工程Ｓ１５を行って計測した圧力値と、所定の圧力値とを比較することによって、圧力計側部が正常に動作しているかを判定する判定工程Ｓ１６と、判定工程Ｓ１６において圧力計側部が正常に動作していると判定したときに、基板に処理液を供給する供給工程Ｓ１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】流体の漏洩と正常な使用とを、構造を複雑化することなく安価な構成で識別できる漏洩監視装置を得る。
【解決手段】付与される圧力変化に対する応答として発生する流量変化を検出する流量変化検出手段と、検出される流量変化に基づいて、下流側で流体の漏れが発生している否かを判定する判定手段７ｄを備えた漏洩監視装置を構成するに、流量変化検出手段の流量検出部位に、ダイアフラム上に電気的抵抗部を所定のパターンで形成した単一のセンサ部と、電気的抵抗部の電気的特性を検出する一対の電極とを備え、ダイアフラムの表面及び裏面を流体が流れるフローセンサ６を備え、フローセンサ６の一対の電極を介して出力される電気的出力から管路２を流れる流量を導出する流量導出手段を、流量変化検出手段に備える。 （もっと読む）

【課題】マルチバリアブル伝送器が無くても流量演算結果を提供し、ユーザ設定値やセンサー値を用いてマルチバリアブル伝送器で算出された模擬的な流量結果が正しいことを容易に確かめることを可能とする設定サポートツールを実現する。
【解決手段】信号伝送ラインに接続され、プロセスの測定値と設定されるパラメータに基づいて質量流量を演算する伝送器に対し、前記信号伝送ラインを介する通信により前記パラメータを生成してダウンロードすると共に、前記伝送器の演算結果をアップロードして表示する伝送器の設定サポートツールにおいて、
前記パラメータ及び前記伝送器より取得した前記測定値に基づいて質量流量を演算する、仮想質量流量演算手段と、
この仮想質量流量演算手段の演算結果を取得して表示手段に表示させる、仮想質量流量演算結果取得手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路１１を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ１０において、流体主流路１１の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部１２を設けて圧力計測部４を設置し、さらに、流体主流路１１と圧力計測空間部１２との間については、流体主流路１１より管径の細い導入管１３及び流出管１４を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】流量の算出時間を短縮することが可能な膜式ガスメータを提供する。
【解決手段】膜式ガスメータ４０は、燃料ガスの流量の発生により膜を前後運動させ、その膜の前後運動から流量パルスを発生させ、この流量パルスに基づいて発生した流量を算出するものである。また、膜式ガスメータ４０は、燃料ガスの圧力に応じた計測信号を出力する圧力センサ４２と、流量と圧力との相関関係を記憶した相関データ記憶部４５ａと、圧力センサ４２からの計測信号と相関データ記憶部４５ａにより記憶された流量と圧力との相関関係とに基づいて、流量を算出する圧力／流量換算部４４ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】制限フロー構成要素によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ１０、ならびにこの比例バルブ１０を調節するためのアクチュエータ１７を備える。この制限フロー要素１５は、この比例フローバルブ１０と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段２４，２５、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段１６、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ１０を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段２４，２５、およびアクチュエータ１７と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）