【課題】 圧力計と流量変換器とを一体に形成し、圧力計を流量計とともに流路に着脱することのできるマルチ渦流量計を提供すること
【解決手段】 流管２内を流れる被測定流体を渦発生体７により生じるカルマン渦に基づく変動圧力を検出する渦式検出手段９と，感温センサ１０と加熱感温センサ１１の機能を有する熱式検出手段１２とを備える流量変換器と共に圧力計５を変換器ケース４０に一体に設け，マルチ渦流量計の挿脱によって圧力計５を流管２の挿入孔３に挿脱可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】取り回し容易に気体の流速が測定可能であり、耐久性が高い気液二相流における気体流速計を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる気液二相流における気体流速計は、全圧測定孔を備え、気液二相流において気体の全圧を測定する全圧管と、静圧測定孔を備え、気液二相流において気体の静圧を測定する静圧管とを有し、前記静圧管は、その外周面の少なくとも１部が前記全圧管に覆われ、前記静圧測定孔は、前記全圧管の外面に開口して設けられ、又は前記全圧管の外面から突出して設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】炉心流量を正確に計測することができる原子炉および炉心流量評価装置を提供する。
【解決手段】炉心冷却材流量計測装置３０において、炉心冷却材が通流するように炉心支持板１７に設けられている貫通孔における流路中間と下流側との差圧を検出する第１検出器３３と、この第１検出器３３からの差圧信号に基づき前記貫通孔における前記炉心冷却材の通過流量を求める第１演算器４２と、前記貫通孔における流路中間と上流側との差圧を検出する第２検出器４３と、この第２検出器４３からの差圧信号に基づきクラッド影響係数を求める第２演算器５１と、前記通過流量及び前記クラッド影響係数に基づき炉心流量を求める第３演算器５５と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】供給ノズルから大流量及び小流量で供給する処理液の流量を精度よく制御でき、小流量で処理液を供給するときの流量変動を防止できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板に処理液を供給するノズル部４５と、ノズル部４５に処理液を供給する供給系７０とノズル部４５とを接続する供給流路６８ａを絞る絞り部１３２ａと、絞り部１３２ａの両側の供給流路６８ａ内の圧力を計測する圧力計測部１３２ｂと、供給流路６８ａ上に設けられた流量制御弁１３３と、流量制御弁１３３を制御する流量制御部１３４とを有する。流量制御部１３４は、第１の流量Ｆ１で処理液を供給するときは、絞り部１３２ａの両側の圧力差に基づいて流量制御弁１３３を制御し、第１の流量Ｆ１よりも小さい第２の流量Ｆ２で処理液を供給するときは、絞り部１３２ａの片側の圧力に基づいて流量制御弁１３３を制御する。 （もっと読む）

【課題】 空調用ダクト等の風路内の風量を調整するための風量調整装置であって、設置スペースが小さく、操作者による調整作業を簡便で、円滑に行えるようにした風量調整装置を提供する。
【解決手段】 ダクトに接続させる風量調整装置１の筒形の本体２に、気流の流れ方向上流側に、本体２の中心位置で直交させ、内部を連通させて一対のピトー管３を配し、平均風速に係る全圧を捕捉する位置に全圧捕捉孔3a、3bを開口させて全圧測定口５に連通させる。本体２の壁体に内外部を連通させる静圧捕捉孔を開口して外部の静圧測定口６に連通させる。ピトー管３の下流側にダンパー７を設けて、その開度を調整可能とする。ダンパー７の開度を調整して、測定口５、６に現出する全圧と静圧の差圧（動圧）による風量を所望の大きさに調整する。 （もっと読む）

本発明は、チップ支持体とその上に配置されたセンサチップとを含むセンサモジュールに関する。本発明のセンサモジュールは、チップ支持体の第２の側に、凹部を有する少なくとも１つの部分的なカバーを備えており、チップ支持体および／またはセンサチップの熱を凹部の箇所で放出できる。本発明はまた、凹部を有するカバーを備えたセンサモジュールの製造方法に関する。
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【課題】フローノズル内における気柱の固有振動数Ｆ_ｒとフローノズルの固有振動数Ｆ_ｓとが一致することに起因して発生する騒音を抑制することのできる流量測定装置を提供する。
【解決手段】フローノズル２０内における気柱の固有振動数Ｆ_ｒとフローノズルの固有振動数Ｆ_ｓとが一致しないようにフローノズル２０の固有振動数Ｆ_ｓを調整する固有振動数調整部材３０を、フローノズル２０の外周面２４に設けることにより、フローノズルの固有振動数Ｆ_ｓをフローノズル２０内における気柱の固有振動数Ｆ_ｒと異ならせる。 （もっと読む）

【課題】 多相流における異相スラグの存在を確実に検出する方法およびシステムを提供する。
【解決手段】 本発明に係る検出方法および検出システムは、オリフィス板８を備えた質量流量計を用いて、多相流の質量流量に対応した出力信号を例えば歪みゲージ２４から出力するプロセスと、信号処理装置３２によって、前記出力信号の信号波形の変化率を求めるプロセスと、前記出力信号の信号波形を、前記多相流にスラグが存在していない場合に検出されることが想定される正則な出力信号の信号波形として予め定めておいた正則な信号波形と比較して、前記出力信号の信号波形が、前記正則な信号波形における変化率に対して所定の許容範囲を逸脱した大きな変化率を有している場合には、そのとき前記多相流中に前記スラグが存在している旨の警報または情報を発することを決定するプロセスとを、実行するものである。 （もっと読む）

【課題】局地的な集中豪雨の時に合流式下水道内に流れ込む降水量の異常な増加を迅速に検知する降水異常検知方法及び降水異常検知システムを提供する。
【解決手段】合流式下水道の所定区間の本流ラインに連通するマンホール内において気体の状態量の単位時間当たりの変化を随時計測し、その計測結果に基づいて雨天時に前記本流ラインを流れる流量の単位時間当たりの増加量を推定し、その推定値が所定の閾値を超えたときに降水量が異常であると判定する。 （もっと読む）

【課題】液体及び気体からなる気液二相流の各流量を計測する際に、フローパターンの影響を受け難く、コンパクト且つ堅牢な構造で、広い流量範囲を精度良く計測するための容積式気液二相流量計を提供する。
【解決手段】容積式気液二相流量計１０は、液体及び気体からなる気液二相流の気液総流量Ｑ_Ｍと、気液総流量に対する気体流量の割合（ガスボイド率β）とを計測し、これらの気液総流量Ｑ_Ｍ及びガスボイド率βに基づいて液体及び気体の各流量を算出する。容積式気液二相流量計１０は、気液総流量Ｑ_Ｍを計測する容積式流量計測室１６を備え、容積式流量計測室１６の前段に、気液二相流中の液体及び気体を混合する気液混合室１４を設けている。 （もっと読む）

【課題】 従来の技術では、ガス元栓からガス器具までの間のガス漏れを、石鹸水や高価なガス漏れ検知機を使用して調べているが、人的要因や機械的要因のバラツキがあるためガス供給配管裏側の微少な漏れや、ガス供給配管からの微少な漏れを検知することが困難であり、またガス漏れ検知機は、本体費用およびメンテ費用等のコストもかかるのが現状である。
【解決手段】 ガス元栓からガス器具の間の微少な漏れを未然に防ぐために、ガス供給配管中に圧力センサーを設け、ガス配管容量を記憶させる制御モジュールと、その制御モジュールから条件により自動的に開閉させる弁により構成され、上記圧力センサーにより検知した圧力と時間などを基に制御モジュールによって、ガス漏れしているかを判断し、ガスが漏れている場合は警報などで使用者に知らせることが出来る確実なガス漏れ検知手段で、安全を提供するようにした。 （もっと読む）

本開示は、質量流量コントローラのような、質量流量給送／測定デバイスを通過する質量流量を測定し検証する質量流量検証システムおよび方法に関する。質量流量検証システムは、予め設定されている容積、温度センサ、および圧力センサを備えている。質量流量測定デバイスの中にある隙間容積から生ずる誤差を補償するために、質量流量検証システムによって測定、検証、および判定された流量を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】オリフィスを設置する位置が制限されず、合理的な給排ガス管の配置を実現できる蓄熱式バーナの流量測定方法及びその方法を用い得る給気排ガス装置の提供。
【解決手段】交互燃焼する蓄熱式バーナ１ａ，１ｂに各々直結する引出管２ａ，２ｂを備え、引出管２ａ，２ｂに繋がる給気ブリッジ３及び排ガスブリッジ４を備え、給気ブリッジ３及び排ガスブリッジ４における給気管連結部３Ｊ又は排ガス管連結部４Ｊの両側に各側で交互に開閉する遮断弁７を備え、引出管２ａ，２ｂを流通する気体の温度を検出する温度検出器１０を設置し、引出管２ａ，２ｂに、オリフィス８、及びオリフィス前後の気圧差を検出する差圧検出器９を設置し、オリフィス８の前後に給気時及び排ガス時において旋回流の発生を抑制し得る直管部２Ｓａ，２Ｓｂを備え、差圧情報と温度情報を差圧・温度−流量特性に当て嵌め燃焼空気及び排ガスの流量を導出する蓄熱式バーナの流量測定回路。 （もっと読む）

【課題】圧縮機を検査するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】本圧縮機用の検査装置は、バルブ（１２）と該バルブ（１２）と連結したダクト（１４）とを有する。ダクト（１４）と連結したフローノズル（１６）は、対応する流量係数を有する。フローノズル（１６）と連結した圧力センサ（２６）が、作動流体の圧力を測定し、また作動流体の流量が、圧力及び流量係数を使用して計算される。本圧縮機を検査する方法は、第１の出力レベルで圧縮機を作動させるステップと、第１の出力レベルで作動流体の流量を測定するステップと、作動流体の圧力を第１の所定の圧力に等しくなるように調整するステップと、第１の出力レベルで圧縮機の作動パラメータを測定するステップとを含む。本方法はまた、作動流体の圧力を第２の所定の圧力に等しくなるように調整するステップと、作動流体の圧力が第２の所定の圧力である状態で第１の出力レベルで圧縮機の作動パラメータを測定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】潤滑剤供給時の潤滑剤の流れにより曲げ変形を受ける検知部材（圧電素子を有する板状部材）を備え、その検知部材の変形により発生する電圧出力に基づいて、潤滑剤の供給状態を監視する潤滑剤の供給状態監視センサにおいて、潤滑剤の供給状態を長期間安定して精度良く監視することができる潤滑剤の供給状態監視センサを提供する。
【解決手段】検知部材として、従来の熱収縮性を有する合成ゴム系の被覆材９で圧電素子８を被覆した検知部材６に代えて、長期安定して曲げ弾性を有する燐青銅製の金属板２９の表面に圧電素子８を接合した検知部材２６を用いる。 （もっと読む）

【課題】消費電力の増大を抑制しつつ、ガス使用開始時又はガス漏れ発生時を特定することが可能な計測装置、トリガ信号発生装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】ガスメータ４０は、流路内のガス圧力に応じた電気信号を出力する圧力センサ４２と、圧力センサ４２から入力した電気信号が所定の出力変化を超える場合、トリガ信号を発生させるトリガ信号発生部４４と、流路内のガス圧力及びガス流量の少なくとも一方からなる計測対象を第１所定時間毎の計測間隔で計測する高速計測部４３ａ１と、を備え、高速計測部４３ａ１は、トリガ信号発生部４４によりトリガ信号が発生された場合に、トリガ信号の発生から計測対象の計測を開始する。 （もっと読む）

【課題】 実用的な面から流量の数値が差圧の直線的関係数値から±１％以内の偏差に収まるような特性のラミナーエレメントを実現することが課題である。そして装置としての構造が小型で耐圧性があり、圧力センサを含めた構成が実用的に簡便なものにすることが課題である。
【解決手段】 管路の入口１７側と出口２１側との差圧を測定し、流体の物理定数、入口温度及絶対圧と流路断面積から流量を測定する層流型流量計において、層流を形成するラミナー素子２０として外側管１の内周とその内部に装着した内側管１１、１３の外周で形成する環状流路を一重または複数重用いて差圧発生に必要な一定の長さのラミナー素子として用いる （もっと読む）

【課題】蒸気に適した差圧流量計を提供する。
【解決手段】差圧流量計は、測定対象の蒸気が流れるダクト（１００）に配置されるオリフィス板（１２）と、差圧計（１４）と、導圧管（１６）と、均圧弁（２０）と、補管（２２）とを備える。導圧管（１６）は、オリフィス板（１２）に対して上流位置及び下流位置でダクト（１００）に流体的に接続されかつ差圧計（１４）に流体的に接続される。補管（２２）は、導圧管（１６）から実質的に独立して設けられ、ダクト（１００）からのドレンが流れる。また、補管（２２）は、オリフィス板（１２）に対して上流位置及び下流位置でダクト（１００）に流体的に接続されかつ均圧弁（２０）に流体的に接続される。 （もっと読む）

【課題】導管部そのものを排除し、導管部が存在することに起因する不具合を抜本的に解決する。
【解決手段】
配管部材１の中間部に絞り機構３を設けるとともに、その上流側及び下流側に設けた圧力センサ２による測定圧力に基づいて前記流体の流量を測定する流量測定装置において、前記配管部材１における外壁１１の所要箇所に外面側が凹んだ薄肉部分１１ａを設けて、前記流体の圧力変動による前記薄肉部分１１ａの弾性変形によって突没する突没部６が、前記絞り機構３の上流側及び下流側に形成されるようにするとともに、前記突没部６の外表面に圧力センサ２の感圧面を接触させるようにした。 （もっと読む）

【課題】小流量を高精度で計測し、かつ大流量を低損失で計測できる。
【解決手段】流路１内に絞り２を設け、この絞りの前後の差圧を差圧計測器３によって計測する。絞り２は、固定オリフィス２１と、ばね部材２３によってこの固定オリフィスに押し付けられる可動オリフィス２２とを有する。固定オリフィス２１には、第１の中央孔２１ａと溢流孔２１ｂとが開口する。可動オリフィス２２には、第１の中央孔２１ａより径の大きい第２の中央孔２２ａが開口する。小流量の場合には、径の小さい第１の中央孔２１ａを流体が高速で通過するため、精度良く流量を計測できる。大流量の場合には、固定オリフィス２１と可動オリフィス２２との間に隙間２４が生じ、絞り２の流路面積が拡大する。このため圧力損失が過大になることを回避しつつ流量を計測できる。 （もっと読む）