【課題】測定精度の高い顎位置測定装置、及びこれに用いるセンサユニット、並びに顎位置測定方法を提供すること。
【解決手段】上顎と下顎との相対位置を測定するための顎位置測定装置１。顎位置測定装置１は、下顎に固定されるマーカー磁石２と、上顎に固定されると共にマーカー磁石２に対向して配置される複数の磁気センサ３１からなるセンサユニット３と、上顎と下顎との相対位置を算出する演算部と、演算結果を表示する表示部とを有する。センサユニット３は、複数の磁気センサ３１を顎開閉方向に配列させてなる。各磁気センサ３１は、配列方向の磁気成分を検知する。マーカー磁石２の着磁軸と磁気センサ３１の配列方向とが直交する。演算部は、マーカー磁石２の着磁軸を挟む２つの磁気センサ３１を選び出し、これらのセンサ出力を基に、上顎と下顎との相対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】異物の検出を行なう場合に、中空部内に存在する金属片の位置によって、検出感度に差異が生じることを防止するとともに、中空部外の外乱ノイズの影響を受けないように耐ノイズ性の向上を図った検針装置を提供すること。
【解決手段】被検査物を検査部１の中央に有する中空部２を通過させるように構成された検針装置１００である。検査部１に配設してなる第１のコイル体１０と、中空部２を挟んで第１のコイル体１０と反対側に配設される直流磁界発生部２０と、直流磁界発生部２０に配設してなる第２のコイル体３０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 近接工事による構造物の変位を測定する装置において、基準線の揺れによる影響を無視できるようにした安価な構造物の変位測定装置を提供する。
【解決手段】 構造物７が工事の影響を受ける範囲を挟んだ外側に設定された固定点の間に張架する線材２と、工事の影響を受ける範囲内の変位測定点に対応する線材に取り付けた測定対象体３と、測定対象体３と構造物７の位置の変化を測定する構造物７に固定した変位計測センサ４ａ、４ｂと、前記測定対象体３の揺れを減衰させる減衰装置５とを備えた。
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【課題】 位置検出精度が高く、構造簡単で、低コストな位置検出装置を提供する。
【解決手段】 クラッチ装置と、このクラッチ装置の締結及び締結解除操作を行う電磁式アクチュエータとを備え、この電磁式アクチュエータの磁気的操作力で移動する可動部材の位置を検出する位置検出装置であって、前記電磁式アクチュエータのコイル５に対する通電時の電流変化を検出することにより前記可動部材の動作状態を判断し、前記クラッチ装置の締結及び締結解除状態を判断する制御手段（デフロックＥＣＵ１３）を有する。 （もっと読む）

【課題】
構造が簡単な近接センサを使用した耐放射線回転検出器を使用し、ステッピングモータのパルス制御を監視することにより、高放射線環境下においても当該ステッピングモータによる直線移動対象物体の高精度の直線位置の検出、制御を可能にした。
【解決手段】
ステッピングモータ１の回転運動を直線運動に変換する直線移動機構２を介して移動対象物体５を直線移動させる装置において、上記ステッピングモータ１の回転軸１ａに接続された同期回転軸７を軸支した回転検出装置６を設け、この同期回転軸７に羽根車８を設け、この羽根車８の羽根８ｂの一つにそれぞれ対向する位置に第１近接センサＰＸ−Ａ及び第２近接センサＰＸ−Ｂを固定し、これらの第１近接センサＰＸ−Ａと第２近接センサＰＸ−Ｂとは、一方のセンサが上記羽根の一つに完全に対向したとき他方のセンサは上記羽根の他の一つに半分対向する位置になるように設けた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、ブリッジ回路を有するセンサの動作中における故障判定を行う。
【解決手段】ＯＰアンプ３０および３２は、磁気センサ１４の第１のブリッジ回路の対向する２つの出力端子の電圧を定電圧に対してそれぞれ非飽和増幅し、出力し、ＯＰアンプ３４および３６は、磁気センサ１４の第２のブリッジ回路の対向する２つの出力端子の電圧を定電圧に対してそれぞれ非飽和増幅し、出力する。これらのＯＰアンプは、磁気センサ１４の入力電源電圧および接地電圧が入力されると出力が飽和出力電圧となるように、その増幅率および出力基準電圧が、それぞれ設定される。故障判定部２０は、これらの出力電圧が、飽和出力電圧である場合、ブリッジ回路の対向する２つの出力端子に対応するＯＰアンプの出力電圧の平均が所定の電圧でない場合に、磁気センサ１４が故障であると判定する。 （もっと読む）

【課題】容器や流通配管の内面に薄く層状に残留付している汚れの有無を精度良く検出することができ、信頼性が高く且つ小型の静電容量型検出装置を提供する。
【解決手段】 非導電性の隔壁２７に汚れとして付着した誘電体層２８に対して当該隔壁２８を隔てて取り付けられた検出電極３に抵抗１７を介して矩形波電圧を印加し、抵抗１７と誘電体層２８とを経由して対地間で高周波電流が流れる際の対地間で生じる静電容量とによって形成されるＲＣ回路による検出電極３での立ち上がり立ち下がりの時間遅れに基づいて検出信号を出力するものであって、検出電極３に印加される矩形波電圧を同周波数の矩形波電圧を発生するガード電圧発生手段３０と、検出電極３の周囲に配設された第二電極４と、検出電極３の背面側をカバーするように配設された第三電極５とを備え、第二電極４及び第三電極５の両方が共に接地されている。 （もっと読む）

【課題】互いに変位する２物体間の隙間を変位の全範囲にわたって正確に測定するセンサシステムを提供すること。
【解決手段】感知されたパラメータを表す出力信号を供給するように動作可能なセンサ（１２）を備えるセンサシステム（１０）が提供される。センサシステム（１０）は、また、センサ（１２）に結合された制御システム（２０）を備え、この制御システム（２０）は、感知されたパラメータを表す出力信号に基づいてセンサ（１２）の物理特性を変えるように動作可能である。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも小型の回転角センサを提供すること。
【解決手段】 基板７の表面側に設けられ、ステアリングシャフトに連動して回転する検出用ギア５、６と、基板７の表面に設けられた開口部８、９と、開口部８、９に設けられ、検出用ギア５、６の絶対角度を検出する磁気センサ１０、１１と、磁気センサ１０、１１による検出結果に基づいて、ステアリングシャフトの絶対角度を算出する演算装置と、を回転角センサ１に備えさせた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、回転飛翔する飛翔体内のコイルから地磁気を界磁として発生する電圧波形を用いて基準方位信号を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明による回転飛翔体の回転角計測制御方法は、コイル(c)を設けた飛翔体(1)を発射し、中心軸を回転中心として回転する飛翔体(1)内のコイル(c)から地磁気(B)を界磁として発生する電圧波形(V)から飛翔体(1)の空間における回転角度である基準方位信号を得る方法である。 （もっと読む）

【課題】２つのデバイスを互いに対してアライメントする装置及び方法を提供すること。
【解決手段】これらのデバイスのうちの第１デバイスに近接スイッチが設けられ、これらの２つのデバイスのうちの第２デバイスに基準マークを設けることができる。この近接スイッチの検知領域に他のデバイスが入ると、近接スイッチの第１の状態が第２の状態に変わる。即ち、第１状態から第２状態までの移行は、近接スイッチに対する第２デバイスの相対位置の尺度である。近接スイッチに対する第２デバイスの相対位置が分かれば、これらのデバイスは互いに対して所望の相対位置に位置することができる。この近接スイッチを用いて他のデバイスの位置をいくつかの方向で決定することができる。第１デバイスの第２デバイスに対する相対位置及び方向の両方、即ち、回転を、近接スイッチを用いて決定することができる。 （もっと読む）

【課題】 より高精度に移動体の位置等を推定検出することができる方法及び装置を提供する。
【解決手段】 電界を直交３軸方向の各成分で検知する電界検知器１と、電界検知器１が検知した信号を電界のデータとして時系列に記録するデータ収集器５と、電界のデータの値が点電流源に係る電界の理論式を満足するように、あらかじめ定めた収束条件を満たすまで、残差を用いた最小自乗法による反復計算を行ってパラメータの値を決定し、決定したパラメータの値に基づいて移動体の現在、将来の位置等の推定検出をする位置等推定検出器６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 精度の高い傾き検知方法および傾き検知装置、この方法および装置に用いる金型、この方法および装置を用いた傾き調整方法を提供すること。
【解決手段】 加工対象物２００の加工面２００ａと、加工面２００ａに所定のパターンを形成する金型１００のパターン面１００ａとの相対的な傾きを検知する傾き検知方法であって、総てが同一直線状に並ばないパターン面上の３以上の点と対向する静電容量型変位計８０を加工面２００ａを基準とする所定位置にそれぞれ配置し、金型１００と各静電容量型変位計８０とを近接させ、各静電容量型変位計によって金型との距離を測定し、加工面に対するパターン面の傾きを検知する。 （もっと読む）

基板に起因する渦電流センサ（ＥＣＳ）信号の成分を決定するシステムおよび方法は、ＥＣＳに対して、ＥＣＳから第一の距離にある第一の位置に基板を設置するステップを含む。基板は、基板の第一の表面上に導電膜を含むことができる。第一のＥＣＳ信号は、基板が第一の位置にある状態で検出できる。基板は、次に、ＥＣＳに対して、ＥＣＳから第二の距離にある第二の位置に基板が存在するように、ＥＣＳに対して反転させることができる。第二の距離は、ほぼ基板の厚さを除いた第一の距離に等しい。第二のＥＣＳ信号は、基板が第二の位置にある状態で検出される。差分信号が決定される。差分信号は、ＥＣＳの較正グラフ上の第一の信号レベルと第二の信号レベルとの間の差に等しい。第二の信号レベルは、基板の厚さにほぼ等しい距離だけシフトされている。第一のＥＣＳ信号の第一の基板成分を計算する。第一のＥＣＳ信号の第一の基板成分は、第一の距離と差分信号との積を、基板の厚さで除算したものに等しい。
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【解決手段】 ウエハの層の厚さを検出するための方法が提供されている。その方法は、処理されるウエハを保持するよう構成されたウエハキャリアの特定の半径の規定を備える。その方法は、さらに、１組の相補的なセンサを形成するよう構成された複数のセンサの準備を備える。さらに、その方法は、複数のセンサの内の各センサと、隣接するセンサとの位相が、同じ角度だけずれるように、ウエハキャリア内の特定の半径に沿う複数のセンサの配置を備える。その方法は、さらに、複数のセンサによって生成された信号の測定を備える。さらに、合成信号を生成するために、複数のセンサによって生成された信号の平均化が備えられている。平均化は、合成信号が、層の厚さを特定するよう相関を有することができるように、合成信号からノイズを除去するよう構成されている。
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この発明は、サーボモーターによって制御されるオーバーライディング伝動部を備えた操舵システムでの操舵角を求める方法であって、この伝動部の出力側では、伝動部の入力側で設定されたハンドル角とサーボモーターを用いて調整された追加操舵角とを組み合わせた、ステアリングシャフトの伝動部の出力側の部分に対する合計操舵角を調整することが可能であり、サーボモーターは、操舵システムの停止状態ではロックされており、ハンドル角は、伝動部の入力側に配置されたハンドル角変換器により検出される方法に関する。この発明による方法は、伝動部の出力側のステアリングシャフト上に配置された増分測定式操舵角変換器（１３２）を用いて、初期値を出発点として合計操舵角（δ_T ）を検出し、この初期値は、操舵システムの作動時に、その前に行われた操舵システムの停止とほぼ同時に検出、保存していたハンドル角（δ_H,0 ）及び合計操舵角（δ_T,0 ）の値と、操舵システムの作動とほぼ同時にハンドル角変換器（１３０）を用いて検出したハンドル角（δ_H ）の値とから求めることを特徴とする。
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【課題】被検出物までの距離が長い場合も検出精度が十分に高い静電容量型距離センサを提供する。
【解決手段】センサ部１０１は、送信電極１０１ａと、送信電極１０１ａの裏面側から放射される電磁波を遮蔽するシールド電極１０１ｂと、送信電極１０１ａとシールド電極１０１ｂとの間に流れる電流を遮断するためにの補助電極１０１ｃとを有する。バッファ回路１０３が出力する交流電圧は、抵抗素子１０４を介して送信電極１０１ａに供給され、且つ、抵抗素子１０４を介さずに補助電極１０１ｃに供給される。抵抗素子１０４は、送信電極１０１ａから流出する検出電流の値を、端子間電圧として検出する。本発明によれば、異なる配線を介してバッファ回路から送信電極および補助電極に交流電圧を供給し、送信電極を流れる電流のみを電流検出抵抗素子で検出するので、被検出物の検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

送信器手段と受信器手段とを含むパルス渦電流プローブを用いた導電性の壁をもった物体の壁厚の監視方法であって、前記壁上の検査場所を選択するステップ、複数の検査時間θ_ｍ（ｍ＝１，．．．，Ｍ；Ｍ≧２）にて、検査場所に対して所定の位置にプローブを配置し、送信器手段を作動させることにより前記物体中に過渡的な渦電流を誘導し、受信器手段により信号Ｖ_ｍを記録するステップ、及び信号Ｖ_ｍの各々から検査時間θ_ｍに関係する壁厚ｄ_ｍを求めるステップであって、検査時間θ_ｍにおける前記検査場所での物体の温度を考慮に入れる前記ステップ、を含む監視方法。
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【課題】 スライダ部のピッチング及びローリングを抑制する機能を具備したＸＹステージを実現する。
【解決手段】 Ｘ軸モータ及びＹ軸モータによりスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記スライダ部のＸ方向ピッチング角を検出する第１のＺ軸センサと、
前記スライダ部のＹ方向ローリング角を検出する第２のＺ軸センサと、
前記第１及び第２のＺ軸センサの測定値に基づき、前記Ｘ軸モータ又はＹ軸モータの少なくともいずれかの励磁電流にこれと位相が直交する電流を重畳させる直交電流生成手段と、
を備える。 （もっと読む）

ここで開示される構成は、少なくともほぼ直線運動座標上のボディーの位置を決定する装置であり、この直線運動座標に沿って２組の磁石装置が配置され、各磁石装置はＮ極及びＳ極からなる少なくとも一対の磁極を備え、さらに、２組の磁石装置の間に磁気抵抗角度センサ装置が配置され、この磁気抵抗角度センサ装置は磁界の方向を測定するように配置され、この磁界は、測定面に位置する空間基準方向との関係で、磁石装置間にわたっており且つ測定平面においてそれらの間で延びている。運動座標は磁気抵抗角度センサ装置の測定面に対して少なくともほぼ直角に整列し、２組の磁石装置の磁気軸は測定面にほぼ平行に延び、測定面上への磁気軸の射影が互いに相対的に所定の角度だけずらされるように整列される。少なくとも第１磁石装置はボディーに結合され且つ移動可能に配置され、その移動は、ボディーと共に且つ運動座標に沿って磁気抵抗角度センサ装置に対して行われる。その結果、少なくともほぼ直線運動をする場合に、角度センサを用いてボディーの位置を決定する装置が、作り出される。
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