【課題】探針と試料とが衝突するのを防ぐことができ、比較的高速での走査が可能で、分解能が高く、正確な表面形状を得ることができる間隙測定装置、表面形状測定装置、間隙測定方法および表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】探針１２が、試料１の表面にほぼ垂直な方向に沿って振動するよう、試料１の表面との間に隙間をあけて配置されている。電圧印加手段１４が、試料１と探針１２との間に直流バイアス電圧を印加可能である。制御手段１５が、走査手段１１により探針１２を走査しつつ、振動する探針１２が検出した電圧印加手段１４による電界信号に基づいて、試料１の表面と探針１２との距離を求めるとともに、探針１２が検出する電界信号の平均値が一定になるよう、走査手段１１により探針１２を垂直方向に移動させる。制御手段１５は、求められた試料１の表面と探針１２との距離と、探針１２の軌跡とから試料１の表面形状を求める。 （もっと読む）

【課題】
一定以上の表面粗さを有する構造材表面の粗さの凹凸に追従して、微細な凹部の表面にも磁気センサを十分に近づけることのできるひずみ検出センサを提供する。
【解決手段】
構造材表面のひずみを材料の応力誘起マルテンサイト変態した部分が強磁性体となることを利用して磁気的に検出するひずみ検出センサ１０であって、磁気信号を検出するためのセンサ部２および該センサ部と電気的回路を形成するための電極部３を備えており、前記センサ部２と前記電極部３を支持するセンサ本体部１の被測定面に対向する表面内において、前記センサ部２周辺がセンサ本体部１の他の部分よりも突出するように形成されたセンサ周辺突出部４を有し、該センサ周辺突出部４に前記センサ部２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】大面積の測定したい表面の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、大面積の測定される表面（１２）の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイスに関し、少なくとも１つのセンサ要素（２９）、およびセンサ要素（２９）に関連付けられた少なくとも１つの接触球状キャップ（３１）を備えた少なくとも１つの測定プローブ（２８）は、測定値を得るために測定される表面（１２）に宛てがわれ、大面積の測定される表面（１２）は、個別の部分領域（１４）に分割され、測定点（１６）の行列は検査される各部分領域（１４）に対して決定され、少なくとも１つの測定プローブ（２８）を担持するデバイス（２１）を使用して、部分領域（１４）の行列の少なくとも１つの行（１７）に沿って、等距離測定点（１６）で測定値が探知され、測定値は、前部分領域（１４）内の前記行列の全ての行（１７）に対して連続的に探知され、この部分領域（１４）に対して評価される。 （もっと読む）

【課題】検出可能距離および検出感度を向上させることができるセンサ装置および情報表示装置を提供する。
【解決手段】上記センサ装置は、センサ部１０と、演算部１２と、切替回路部１１と、制御部１３とを具備する。センサ部１０は、検出対象物の近接によって静電容量が変化する複数の検出電極を有する。演算部１２は、検出対象物とセンサ部との間の距離である第１の距離を算出する。切替回路部１１は、複数の検出電極を、上記静電容量の検出のための信号電圧が供給される第１の状態と電気的に浮遊した第２の状態との間で切り替える。切替回路部１２は、複数の検出電極のうち第２の状態から第１の状態へ切り替えられる二以上の検出電極を一つずつ選択する。制御部１３は、第２の状態から第１の状態へ切り替えられる検出電極相互間の距離である第２の距離が上記第１の距離に対応するように切替回路部１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】使用する磁気センサの数を増やすことなく高解像度の位置検出を行う。
【解決手段】互いに離間して配置した複数の磁気センサによって、任意の入力位置における磁気を個別に検出する。隣接する４つで一組の磁気センサによってそれぞれ区画される複数の領域の中で、該領域を区画する一組の磁気センサの検出値の総和が最大である領域を、入力位置が含まれる特定領域として判定する。特定領域を区画する一組の磁気センサのうちで検出値が最大である特定の磁気センサの位置と、特定領域を区画する一組の磁気センサの検出値Ａ（ｍ，ｎ）、Ａ（ｍ−１，ｎ）、Ａ（ｍ＋１，ｎ）、Ａ（ｍ，ｎ−１）、Ａ（ｍ，ｎ＋１）とに基づいて入力位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】空気圧リニアガイドによる並列スライダ装置において、二つのスライダを機械的に連結した場合に、スライダの連結部分の機械的剛性とエアスライド機構のエア軸受剛性とが互いに影響を及ぼしあって平行度の再現性が低下することを排除し、高精度な平行度再現性を保証すること。
【解決手段】第１の空気圧リニアガイド４８と第２の空気圧リニアガイド５４とでエアギャップの大きさや供給空気圧を相違させることにより、スライダ支持剛性（エア軸受剛性）に差を生じさせ、エアギャップ変化による真直誤差の吸収が、エア軸受剛性が低い側において安定して行われるようにする。 （もっと読む）

【課題】位置検出性能の低下を防ぎ、安定した位置検出性能を得られる、複数の位置検出方式を備える位置検出装置を提供する。
【解決手段】第１の位置検出方式における送信導体の選択位置情報を第２の位置検出方式における信号受信のための導体選択に利用することで、第１の位置検出方式における送信導体と第２の位置検出方式における受信導体との間の空間的距離を可能な限り離間させる。更には、第１の位置検出方式における送信導体に供給される送信信号と第２の位置検出方式における送信導体に供給される送信信号との間に周波数インターリーブの関係を備える。 （もっと読む）

【課題】検出対象である操作位置の数よりも少ない個数の磁気センサで操作位置を判別し、また、磁気センサの１つが故障しても各操作位置の検出に支障がなく、さらに、ユーザに良好な操作感を付与することができる操作位置検出装置を提供する。
【解決手段】シフトポジション検出装置１は、シフトレバー２２に配置された磁石１０と、磁気センサとしての第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４と、判別部としての制御部１５と、を備えて概略構成され、第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４の出力の判定結果とポジションを対応させたシフトポジション情報１６０に基づいて各ポジションを判別する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小型で薄型であり、複雑な補正用ソフトウェアを作成することなく、高い操作感を備えた磁気検出式ポインティングデバイスを提供すること。
【解決手段】磁石１０３を備えた平行に揺動可能な操作部材と、操作部材の所定の方向への移動を検出するセンサ１０１ａ乃至１０１ｄと、センサのセンサ出力を信号処理する信号処理部１０４と、信号処理部１０４の信号処理の結果を出力する出力制御部１０８とを有している。磁石は、ホールセンサを実装した平面において直交するＸ軸方向及びＹ軸方向の長さよりも傾斜軸方向の長さが大きい形状を有している。 （もっと読む）

【課題】表面に近い検出部の配線の手間を低減するとともに配線周りの構造を簡素化することができる位置検出装置を提供すること。
【解決手段】位置検出装置１００は、人体により指示された位置を検出するものであって、複数の検出用電極が形成された検出領域１１２と検出用電極から引き出された配線が配設された配線領域１１４とを備える柔軟性を有するセンサ基板１１０と、センサ基板１１０を収納する収納部１４４を有する筐体１４０とを備える。収納部１４４にセンサ基板１１０の配線領域１１２を挿通する貫通孔１４２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 静電容量の変化を正確に検出することができる静電容量検出装置を提供する。
【解決手段】 本発明の静電容量検出装置は、２次元状に配された複数の容量素子Ｃｓと、定電流源１２２からの電流を各容量素子に供給し各容量素子の静電容量に対応する周波数をもつ出力信号を生成するプログラマブル駆動回路１２０と、出力信号の周波数に基づき容量素子の静電容量の変化を検出する検出手段と、検出された静電容量の変化がノイズによるものか否かを判定する判定手段と、ノイズによるものと判定されたとき、定電流源１２２の電流値を可変する可変制御部１６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】直交する２方向の座標位置を検出することができると共に複数の検出導体の集まりである検出ランドの数を減らすことができるようにする。
【解決手段】第１の方向Ｘの座標を検出する第１の検出部１６と、第２の方向Ｙの座標を検出する第２の検出部１７とから構成されたセンサを備え、第１の検出部１６は、第１の検出ランド２１と、第２の検出ランド２２、第３の検出ランド２３を含む。同様に、第２の検出部１７は、第１の検出ランド２１と、第２の検出ランド２２、第３の検出ランド２３を含む。第１の検出部１６及び第２の検出部１７を重ね合わせた際、第１の検出部１６を構成する検出ランドと第２の検出部１７を構成する検出ランドとは、互いに相補的配置関係を有するとともに、電気的に絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】低コストで構成が簡単なタッチ位置検出装置を実現する。
【解決手段】タッチ位置検出装置１は、列ラインＬＳ１〜ＬＳｎと、行ラインＬＣ１〜ＬＣｍとを有するタッチパネル２と、スリーステートバッファＢＳ１〜ＢＳｎと、スリーステートバッファＢＣ１〜ＢＣｍと、各行ラインＬＣ１〜ＬＣｍの一端から入力される電圧を閾値電圧ＶＣと比較するコンパレータＣＰＣ１〜ＣＰＣｍと、各列ラインＬＳ１〜ＬＳｎの一端から入力される電圧を閾値電圧ＶＳと比較するコンパレータＣＰＳ１〜ＣＰＳｎと、列ライン抵抗ＲＳ１〜ＲＳｎと、行ライン抵抗ＲＣ１〜ＲＣｍとを備える。これにより、コンパレータＣＰＣ１〜ＣＰＣｍに入力される電圧、およびコンパレータＣＰＳ１〜ＣＰＳｎに入力される電圧が、接触位置によらずそれぞれ一定になっているので、閾値電圧ＶＣおよび閾値電圧ＶＳを変化させる必要がない。 （もっと読む）

【課題】ノイズレベルの大きな環境においても位置検出が安定して行える、高精度かつ信頼性の高い位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の電極を並列に配置した第１の電極３及びこの第１の電極３と交差して設けられ、複数の電極を並列に配置した第２の電極４とが形成された支持体１１と、支持体１１の一の面に対向して設けられ、所定の位置指示部材が当接される保護層（表面部材）１２と、支持体１１の他方の面に対向して設けられた補強材（背面部材）１３とを積層して備え、支持体１１、保護層（表面部材）１２、補強材（背面部材）１３の少なくとも１つの、第１の電極３の間又は第２の電極４の間に対応する位置に気体層（空間部）１５を設け、静電容量Ｃを増加させる電気的な結合経路を遮断する。 （もっと読む）

【課題】導体で形成された配線パターンが積層されてなる多層配線板において、測定対象パターンの位置を精度良く計測できる計測装置を提供する。
【解決手段】計測対象パターン２が配置された多層配線板１の微小領域に交番磁場を印加する磁気ヘッド５０と、交番磁場によって誘起された起電力の電圧値を検出する検出電極５２と、電圧値及び位置データが少なくとも記録される情報記録部７と、磁気ヘッド５１と、情報記録部６とを制御する制御部Ｃｏｎｔとを備え、制御部Ｃｏｎｔは位置データと電圧値とを用いて、計測対象パターン２の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】ＡＬＣパネルの製造工程において、内部に埋設される主筋から両面までの主筋かぶり厚を、高速かつ安価に、過検出とならないように測定する方法を提供する。
【解決手段】渦電流式磁気センサ（７）を使用し、該センサ（７）を、水平方向に搬送されるＡＬＣパネル（１）の腹面から一定距離（Ｌ）を保持し、かつ、一定速度（ｖ１）で、ＡＬＣパネル（１）の搬送方向に対して垂直方向に往復動させ、センサ（７）の出力値をアナログ出力させ、センサ（７）が主筋（２）の上を通過する際の測定信号のピーク値（ｖｍ）と、前記速度（ｖ１）と、センサ（７）と主筋（２）との距離の関係式ｆ（ピーク値、速度）を予め求めておき、主筋のかぶり厚（ｔ）を、ｔ＝ｆ（ｖｍ、ｖ１）−Ｌにより算出し、得られたデータをピークカット処理ないしは移動平均処理することにより、補強鉄筋徒の交差の影響を排除して、ＡＬＣパネルの主筋かぶり厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】小さな回路規模で高い生体判定精度を得る。
【解決手段】基準信号生成部４に、入力された周波数調整値４２Ｓに応じた一定周波数の基準信号４Ｓを生成する可変周波数発振部４１を設け、例えば表面形状認識センサ装置１０の起動時など、第２のＡ／Ｄ変換部３１でのＡ／Ｄ変換動作が実行される以前に、制御部２５からの調整動作制御信号４Ｒに基づいて、基準信号４Ｓの周波数を調整するための周波数調整動作を実行し、カウント部４３からの計数結果４Ｘが所定の許容範囲に収まるよう周波数調整値４２Ｓを変更することにより、基準信号４Ｓの周波数を調整する。 （もっと読む）

【課題】プローブと測定試料との間にミクロンオーダーの距離を保持しつつ、試料の表面形状を測定可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ移動機構３によりプローブ２をＸＹ平面方向に走査させ、走査に伴う複数位置において、プローブ移動機構３によるプローブ２のＺ軸方向の位置又は電圧印加機構による印加電圧を変化させてプローブ２と試料表面との間に絶縁破壊を発生させ、絶縁破壊が生じたときの位置測定機構４又は電圧測定機構６の測定結果に基づいて試料の表面形状を得る。 （もっと読む）

本発明は、パッシブマトリックス式多点接触タッチセンサ（１）のための分析用電子回路であって、このマトリックスの２つの軸の一方に電力を供給する手段と、このマトリックスの他方の軸による電気的特性を、これら２つの軸のノードにおいて検出する手段と、を有し、少なくとも１つの走査特性を局所的または時間的に変更することを特徴とする分析用電子回路に関する。本発明は、このような分析用電子回路をさらに有するパッシブマトリックス式多点接触タッチセンサ（１）にも関する。 （もっと読む）

特に接触検出システムのための第１及び第２の電気経路（Ｒ、Ｓ；Ｓ、ＶＰＳ）の間の不均衡を検出して定量化するための装置は、それぞれの入力で第１及び第２の経路を受信する比較手段（ＣＣ；ＣＤ）と、経路の少なくとも一方に接続した可変移送キャパシタンス手段（ＣＰＢ；ＣＰＣ）と、比較手段と可変移送キャパシタンス手段の間に接続され、かつ不均衡の補償まで比較手段によって生成される結果（Ｑ）に応じて可変移送キャパシタンス手段の可変移送キャパシタンスを変えるようになった制御ユニット（ＵＣ）とを含む。 （もっと読む）