【課題】一度のスリット光の走査により、任意の断面線における断面形状を検査することができる形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
【解決手段】撮像光学系１２を用いて被検査物２０の形状を検査する形状検査装置１０であって、被検査物２０にスリット光を投射する投射手段１３と、スリット光の走査により被検査物２０上に順次形成される形状線を撮像する撮像手段１４と、順次形成された各形状線の撮像データに基いて、被検査物２０の三次元形状を点群データとして取得する点群データ取得手段と、点群データに基いて表示された被検査物に、入力に応じて切断線を設定する切断線設定手段と、切断線に対応した点群データにより、切断線における被検査物２０の断面形状を算出する断面形状算出手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】精度の高い測定結果を得る。
【解決手段】広帯域スペクトルを有する光源からの光を被測定対象と参照面とに導きその光路長差により干渉光強度分布画像を生成する光学系と、干渉光強度分布画像を撮像する撮像手段と、光路長差を変化させる光路長差変更手段と、干渉光強度分布画像から各測定位置における光軸方向の位置を求める演算手段とを備える。演算手段は、複数の信号発生手段と、その出力信号に重み付けをして出力する重み付け手段と、周期信号を加算して検出信号として出力する第１の信号加算手段と、直流信号と検出信号とを加算する第２の信号加算手段と、干渉強度列から第２の信号加算手段の出力を減算して誤差信号を出力する信号減算手段と、誤差信号から重み付け手段の重みを調整する適応アルゴリズム部とを有する適応信号処理ブロックと、検出信号のピーク位置を検出するピーク検出ブロックとを有する。 （もっと読む）

【課題】ウェハを搬送する際に生じる振動に起因して測定データに現れるオフセット成分のバラツキを除去する。
【解決手段】Ｙ方向に光切断線を照射して平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０を求める。Ｘ方向に光切断線を照射して直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎを求める。平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０と直交断面形状データとの交差位置の高さデータが等しくなるようにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を求める。直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を加算し、補正直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０´，Ｚｇ＿Ｙ１´，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎ´を求める。 （もっと読む）

【課題】廃棄物処分場に埋め立て処分された廃棄物を、どの位置に、どのような種類の廃棄物があるのかを容易に把握し、再利用を容易にする。
【解決手段】廃棄物処分場４５に搬入された廃棄物の種類を含む廃棄物情報を取得する廃棄物情報取得部と、前記取得した廃棄物情報を記憶する廃棄物情報記憶部と、前記搬入された廃棄物が、前記廃棄物処分場内に投入された箇所の平面的な位置情報及び高さ情報を含む投入位置情報を取得する投入位置情報取得部と、前記取得した投入位置情報を、該当する廃棄物の廃棄物情報に関連付けて前記廃棄物情報記憶部に記憶する位置情報記憶部とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像による画像データを用いてより高精度な実装対象の電子部品の外部情報を取得する。
【解決手段】部品配置部に配置された電子部品を撮像する撮像手段１と、部品配置部と撮像手段との距離を可動調節する可動部１１１と、これらを制御して、電子部品について部品配置部と撮像手段の距離が異なる複数の画像データを取得する撮像制御部１２０と、各画像データの同一画素におけるコントラストの対比に基づいて、当該各画素における撮像手段から部品配置部の合焦点位置を求める測距処理部２３と、撮像エリア内の各画素における合焦点位置と、各画像データにおける各画素の輝度値とから、撮像エリアの一部の範囲内の画素における合焦点位置での輝度値を求め、局所全焦点画像を生成する全焦点画像生成部２５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明では、正確に測定対象平面を検出すると共に、測定時間の短縮が可能な共焦点顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【解決手段】観察試料８の観察面に光を集束する少なくとも１つの対物レンズ７と、観察試料８と対物レンズ７との距離を所定間隔で変化させるＺレボルバ１６と、観察試料８と対物レンズ７との距離に応じて所定間隔を設定する測定条件情報指示部１９と、設定された所定間隔で上記距離を変化させるようにＺレボルバ１６を駆動制御するＺ駆動制御部２２と、観察面からの反射光を検出する光検出器１２と、上記所定間隔の距離毎に観察面上に光を二次元走査して光検出器１２で検出される検出信号により平面画像を生成し、生成された複数の平面画像を用いて三次元画像を生成するコントローラ２を有する共焦点顕微鏡装置１００により、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】車両通過帯を通過する車両の寸法を検出すること。
【解決手段】車両通過帯１７０の側方に設けられて、当該車両通過帯１７０を通過する車両１９０を映す鏡１３０と、車両通過帯１７０の上方に設けられて、当該車両通過帯１７０を通過する車両１９０と、鏡１３０に映った当該車両１９０の鏡像とを撮像する撮像装置１５０と、撮像装置１５０と電気的に接続されて、撮像装置１５０が撮像した画像における、車両１９０の実像の輪郭線上の特徴的な複数の実像点と、鏡１３０に映った当該車両１９０の鏡像の輪郭線上の特徴的な複数の鏡像点とに基づいて、当該車両１９０の寸法を演算により求める演算装置１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動基板上に改良された発光蛍光体構造を有する蛍光体点光源を提供する
【解決手段】蛍光体点光源素子は、基板と、基板上に配置された発光蛍光体粒子を備えることで、動作トラック領域の平坦な動作表面の近くに密集状態の粒子配置を有する円形の動作トラックを提供する。動作トラック領域は、高輝度点光源を提供する点において照射されながら回転される。密集状態の粒子配置は、キャビティ内の蛍光体粒子を回転させてキャビティ周辺の基板上で蛍光体を圧縮することにより、または他の機械的な圧縮方法により達成され得る。密集状態の粒子配置を、キャビティを囲む形成要素に当てて圧縮するか、機械加工することにより、平坦な動作表面を提供することができる。蛍光体粒子に浸透した接着結合剤を硬化させることで、密集状態の粒子配置を固定することができる。 （もっと読む）

【課題】必要とする測定点の抽出及び可動式ホーム柵の測定が可能となり、信頼性が高く、しかも、安全で高能率な測定作業を行うことができる可動式ホーム柵測定技術を提供する。
【解決手段】離れ測定手段によって測定された測定データの変化量が閾値より大きい場合に、台車上の柵本体頂部及び支障物センサボックス頂部を測定することができる位置に設置された上部非接触位置センサにより、軌道と直交する方向の縦断プロファイルを測定し、上部非接触位置センサによって測定された測定データの変化量から支障物センサボックス設置箇所であると判定した場合に、柵本体頂部の離れと支障物センサボックス頂部の高さと離れ、支障物センサボックス下部の離れをそれぞれ求める。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の像面位置を精度高く計測すること。
【解決手段】基板の露光量をラインパターンのレジスト像が解像する露光量以上になる大きさ、換言すれば、ラインパターンのレジスト像のコントラスト値が所定値以上になる大きさに制御する。また、フォーカス位置を変化させた際にパターン倒れが発生しない大きさ以上の線幅を有するラインパターンを使用してベストフォーカス位置を算出する。これにより、デフォーカスによってパターン倒れが発生することを抑制しつつ、算出されるベストフォーカス位置の露光量依存性を無視することができるので、投影光学系の像面位置を精度高く計測することができる。 （もっと読む）

【課題】作業員の技量にかかわらず短時間で精度高く車輪外周面形状を測定することが可能な車輪形状測定装置を提供する。
【解決手段】車輪１におけるフランジ及び踏面を含む外周面２の形状を測定する車輪形状測定装置１００であって、筐体（基部）１０と、該筐体１０内に取り付けられて車輪１の径方向外側から車輪１の外周面２に向かって光線を照射し、その反射光によって該外周面２までの距離を検出する距離測定部３０と、筐体１０を車輪１に対して位置決めして固定する位置決め手段２０と、距離測定部３０を筐体１０に対して車輪１の軸線Ｏ方向にスライド移動可能とさせるスライド手段４０と、外周面２における光線の反射にて生じる乱反射光を吸収する乱反射光吸収手段６０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 表面実装部品がはんだ付けされた基板上をレーザ変位計で走査することによりはんだ付けされた表面実装部品の高さを効率良く高精度で測定し、虚報率を抑えながら表面実装部品の電極のはんだ付けを精度良く良否判定する。
【解決手段】 レーザ計測手段で計測された基板表面にはんだ付けされた個々の表面実装部品の変位量の最小高さと最大高さと、あらかじめ指定してデータベースに格納した前記表面実装部品の高さ範囲とはんだ材の厚み範囲とを照合し、前記表面実装部品のはんだ付け状態を論理判定する。 （もっと読む）

【課題】試料中のターゲットの深さ位置を、大容量のメモリを必要とすることなく検出すること。
【解決手段】画像処理装置２０は、ステージ１１をＺ方向へ移動させながら撮像素子３０を露光させることで、蛍光マーカＭを示す第１の輝点を含む試料ＳＰＬの第１の画像を取得し、ステージ１１をＺ方向へ第１の速度で等速移動させるとともにＸ方向へ第２の速度で等速移動させながら撮像素子３０を露光させることで、上記蛍光マーカＭを示す第２の輝点を含む第２の画像を取得し、第１の画像と第２の画像の合成画像内で、第１の輝点と第２の輝点との間の距離Ｄを算出し、当該距離Ｄと、上記第１の速度及び第２の速度とを基に、試料ＳＰＬ中の蛍光マーカＭの高さｈを算出する。 （もっと読む）

【課題】効率よく正確に架線の位置を測定することができる架線位置測定装置を提供する。
【解決手段】架線位置測定装置において、架線を撮影する第１のラインセンサカメラ１及び第２のラインセンサカメラ２と、架線までの距離を計測するレーザ距離計３と、第１のラインセンサカメラ及び第２のラインセンサカメラから出力された画像データを基にラインセンサ画像上の架線の位置情報を算出する第１の画像処理部１０及び第２の画像処理部１１と、ラインセンサ画像上の架線の位置情報とレーザ距離計３から出力された距離情報とを記憶する処理メモリ１２と、ラインセンサ画像上の架線の位置情報と距離情報とに基づきステレオ対応点の探索を行うステレオ対応点探索部１３と、探索したステレオ対応点に基づき架線の高さと偏位を算出する高さ・偏位算出部１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】凹凸形状の測定精度の向上を図ることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置は、測定対象１の凹凸形状にライン光を照射する投光装置２と、前記投光装置２によって前記凹凸形状に形成される光切断線を撮像する撮像装置３と、前記凹凸形状の上底及び下底の各々で前記光切断線の幅が最小になるように前記投光装置２をその光出射軸方向４に移動させる駆動装置５と、前記撮像装置３によって撮像された、前記凹凸形状の上底で前記光切断線の幅が最小となる画像と、前記凹凸形状の下底で前記光切断線の幅が最小となる画像に基いて、前記凹凸形状の高さ又は深さを算出する処理装置６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度に高さ方向の位置を検出可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】光源１から出射される光を２つの光束に分割する第１の光束分割手段３と、分割された第１の光束を反射する反射部材８と、第１の光束分割手段によって分割された第２の光束を被測定面上に集光する対物レンズ５と、反射された第１の光束と、被測定面によって反射された第２の光束との干渉光を受光する第１の受光手段３０と、受光した干渉光強度に基づいて被測定面の高さ方向の相対位置情報を出力する相対位置情報出力手段６０と、第２の光束の一部を取り出す第２の光束分割手段２０と、取り出された第２の光束に非点収差を発生させる非点収差発生手段１０と、非点収差が発生した第２の光束を受光する第２の受光手段４０と、検出された受光強度に基づいて被測定面の高さ方向の絶対位置情報を出力する絶対位置情報出力手段５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】円筒状ワークの外径寸法を、迅速かつ正確に取得することが可能な円筒状ワークの寸法測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象となる円筒状ワークＷの中心軸線と平行に配置された固定軸Ｐと、該固定軸Ｐの径方向に離間して平行に配置され、固定軸Ｐを中心とした円の周方向に回動可能とされた可動軸Ｑと、可動軸Ｐと固定軸Ｑとの対向方向に延びる基準直線ｌ上における円筒状ワークＷによる遮蔽距離を検出する距離センサ５０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】反射材を備えるターゲットが複数設置された車両をステレオカメラにより撮影した画像のみに基づいて、車両の寸法を精度良く計測できる車両寸法計測装置を提供する。
【解決手段】 車両２の車長に合わせて設置され、既知の高さに設定される車長用ターゲット３と、車両２の車幅に合わせて設置され、車長用ターゲット３と同一の高さに設定される車幅用ターゲット４と、車両２の最も高い位置に設置される車高用ターゲット５と、車両２の車軸方向に沿うように設置され、車長用ターゲット３及び車幅用ターゲット４と異なる既知の高さに設定される車軸用ターゲット６と、夫々のターゲット３〜６が設定された車両２を撮影するステレオカメラ７と、該ステレオカメラ７から得た画像に基づいて、車両２の寸法を計測する演算装置とを備える車両寸法計測装置１。 （もっと読む）

【課題】車両等にターゲットなどを設けることなく、低価でかつ簡易な処理プログラムによって非接触で車両等の寸法を高精度に測定できるようにする。
【解決手段】車両の左右側面及び上面を含む外周面全体に渡って複数のレーザ光を間断のない線状となるように照射することによって、この照射箇所を線状光として認識することができるようになる。この線状光を光切断線としてカメラ装置などで検出することによって車両の外形寸法を測定するようにした。また、測定された車両の外形寸法が車両限界内にあるのか否かの判定を行なう。さらに、車両限界の超過箇所を視認可能に表示する。 （もっと読む）

【課題】液中の測定ワークの表面形状も測定することができる液浸非接触形状測定装置を提供する。
【解決手段】レーザープローブ３の下側を容器形状のコレット２４で覆い、コレット２４をレーザープローブ３ごと上下動させることができるため、測定ワーク６が設けられた液中にコレット２４を浸して、液中の測定ワーク６の表面をレーザー光Ｌにより計測することができる。電極プローブ２６により液中における測定ワーク６の表面のイオン分布を計測することもできる。 （もっと読む）