【課題】複数の投影部を通して測定対象物が形成された基板を検査する基板検査方法を提供する。
【解決手段】複数の投影部を通して測定対象物が形成された基板にパターン照明を順に照射して基板に対する投影部別位相データを取得する（Ｓ１１０）。以後、投影部別位相データを用いて基板に対する投影部別高さデータを抽出する（Ｓ１２０）。その後、各投影部別で投影部別高さデータを用いて抽出された高さデータの傾きを補正する（Ｓ１３０）。その後、傾き補正が完了した投影部別高さデータを整列させ（Ｓ１４０）、整列された高さデータを用いて統合高さデータを抽出する（Ｓ１５０）。このように、複数の投影部から抽出された高さデータを整列させる前に各投影部別に測定された高さデータに対する傾きを補正することによって、統合高さデータの信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】正確性が向上した表面形状測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】このような表面形状測定方法は、少なくとも二以上の方向でパターン光を測定対象物に照射し、測定対象物から反射されたパターンイメージを取得する段階と、前記パターンイメージを用いて前記方向における高さを取得する段階と、前記方向における前記高さの増加率を表すベクトル場を取得する段階と、前記方向における前記高さに対する信頼指数を取得する段階と、前記信頼指数及び前記ベクトル場を用いて、統合ベクトル場を取得する段階及び前記統合ベクトル場を用いて測定対象物の各座標値に対する高さを測定する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】複数の測定面領域が互いにオーバーラップ領域を持たない場合などでも、複数の面測定データの相対位置関係を高精度に合わせることができる表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置１０は、光学的表面形状測定機１１と触針式検出器２２などの高さ測定機を備え、光学式表面形状測定機１１で測定した複数箇所の測定面領域の各面測定データにおける高さ測定点の各測定値の相対的位置関係を、高さ測定機２２で測定した前記高さ測定点の各測定値の相対的位置関係に合わせるように前記各面測定データを移動補正する。 （もっと読む）

【課題】試料に形成されたパターンに起因する高さ測定誤差を低減して、描画精度の向上を図ることのできる高さ測定方法および荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によれば、高さ測定方法は、高さの基準となる範囲を決定する工程と、ＰＳＤを含むアナログ信号処理回路上でのオフセット値を求める工程と、ＰＳＤの出力値からオフセット値を差し引いた値を用いて試料の高さの測定データを求める工程と、試料の高さの測定データの内で基準となる範囲に含まれない値を除き、残った値を用いてフィッティングを行い、試料の高さデータを作成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は複数の投影部を通して測定対象物が形成された基板を検査する検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査方法によると、複数の投影部を通して測定対象物が形成された基板にパターン照明を順に照射して基板に対する投影部別位相データを取得し、取得された投影部別位相データを用いて基板に対する投影部別高さデータを抽出する。複数の投影部のうち信頼度が最もよい投影部を基準投影部で設定し、基準投影部の高さデータを基準にして残り投影部の高さデータを整列させる。整列された高さデータを用いて統合高さデータを抽出する。このように、信頼度が最も高い投影部を基準として残りの投影部の高さを整列させることで、統合高さデータの信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】試料の高さを正確に測定することのできる高さ測定方法と、高さを正確に測定して高い精度で描画することのできる電子ビーム描画装置とを提供する。
【解決手段】光の波長を所定値としたときの反射光の光量を測定し、光量が閾値以下である場合には光の波長を変えて反射光の光量を測定する工程を繰り返し、光量が閾値より大きくなる波長で試料の高さを測定する。あるいは、光の波長を変えて反射光の光量を測定し、光量が最大となる波長で試料の高さを測定する。 （もっと読む）

【課題】部品のターミナルを短絡させるブリッジを検出することのできるブリッジ接続不良検出方法を提供する。
【解決手段】部品のターミナルの間を短絡させるブリッジ（bridge）を検出するためのブリッジ接続不良検出方法は部品が実装された基板に照射され反射された複数の光を通じて２Ｄイメージ及び高さ基準情報を獲得する段階と、２Ｄイメージ及び高さ基準情報のうち少なくとも一つ以上を用いて部品の回転情報を獲得する段階と、回転情報を用いて部品のブリッジ接続不良を検出するための検査領域を設定する段階と、２Ｄイメージを用いて検査領域内の第１ブリッジ領域を抽出する段階と、高さ基準情報を用いて検査領域内の第２ブリッジ領域を抽出する段階と、第１及び第２ブリッジ領域のうち少なくとも一つ以上を用いて部品のブリッジ接続不良可否を判断する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】回転工具の形状と性状を同時に測定する方法を提供する。
【解決手段】画像記憶部１０７は、回転する物体を撮影した画像を記憶する。画像処理部１０８は、一の撮影した画像の輝度値と他の撮影した画像の輝度値を画素毎に比較して輝度値画像を生成する。また、画像処理部１０８は、基準となる形状を示す基準画像の輝度値と輝度値画像の輝度値との差分に基づいて差分画像を生成する。性状算出部１１０は、差分画像に基づいて物体の性状を示す性状変数を算出する。 （もっと読む）

【課題】正確な測定、使用の容易さおよび効率、適応性および柔軟性を有するレセプターモジュールの複数の信号レセプターを調整する方法を提供する。
【解決手段】各レセプターに対して、(a)レセプターを最大の信号にさらす工程と、(b)レセプターの出力を最大の信号から測定する工程と、(c)レセプターを最小の信号にさらす工程と、(d)レセプターの出力を最小の信号から測定する工程と、(e)最大の信号から所定基準の最大に出力をマッピングし、最小の信号から所定基準の最小に出力をマッピングするマッピング機能を決定する工程と、(f)複数の測定における使用に対して、レセプターモジュールに結合されたローカル制御装置においてマッピング機能を記憶する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 基板に実装された部品を検査する基板検査方法に関わり、より詳細には正確な端子領域を検出して部品の実装状態を検査することのできる基板検査方法を提供する。
【解決手段】印刷回路基板上に形成された部品の端子のチップ位置設定方法は基板上に形成された部品の端子と隣接して形成されたハンダに対して測定された測定高さを設定された基準高さと比較して仮象チップラインを設定することと、端子の長さ方向に沿って端子の幅方向に関する中心ラインを設定することと、仮象チップライン及び中心ラインの交差点から中心ラインによる測定高さを用いて端子のチップ位置を設定することと、を含む。従って、より正確な端子のチップ位置を獲得することができる。 （もっと読む）

【課題】プリント板上の測定しようとするはんだ箇所に対し、高さの基準となる基準面を設定し、その基準面に対するはんだの高さを求めるときに、部品実装後のプリント板を分割するために加工された分割用加工部の影響を受けないようにする技術を提供する。
【解決手段】変位センサがはんだが印刷されたプリント板を光学的に計測し、このプリント板の高さの変位を示す変位情報を出力し、分割ライン決定部がプリント板を分割するための分割用加工部を変位情報に基づき検出し、プリント板の分割ラインを分割ライン情報として出力する。基準面算出領域設定手段は、分割ライン情報を受け分割ラインの内側の領域内に基準面算出領域を設定し、基準面算出手段が基準面算出領域内の変位情報に基づいて、基準面算出領域に形成される平面を基準面として設定する。変位測定部は、はんだ箇所のはんだの高さを、はんだ箇所の変位情報と設定された基準面とから算出する。 （もっと読む）

【課題】車輪の径中心を求める必要も、カメラの焦点も変える必要がなく、簡単に光切断法による車輪の形状計測を実行できる車輪形状計測装置等を提供する。
【解決手段】レールに対し所定の高さに設置され、通過センサ１１ａ〜１２ｂによって車輪１０ａが通過したことが検出された場合、車輪１０ａ，１０ｂの計測部位に向け水平方向にレーザ線条光を照射するレーザ線条光照射部１３ａと、車輪１０ａ，１０ｂの通過が検出された場合、レーザ線条光が照射された車輪１０ａ，１０ｂの照射部位を撮影するカメラ１５ａ，１７ａと、それらのカメラ１５ａ，１７ａが撮影した車輪１０ａ，１０ｂの照射部位の画像を画像処理して、水平方向にレーザ線条光を照射したことに基づく歪を補正する画像処理部１８と、歪補正された画像に基づいて車輪１０ａ，１０ｂの形状に関する所定の計測項目を計測する車輪形状計測部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段２２と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段２３と、画像計測演算手段２２が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段２５とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】校正作業のバラツキを最小限にとどめ、車輪の所定の計測項目を計測する際の計測データの信頼性を向上させることができる車輪形状校正冶具、車輪形状校正冶具を用いた校正方法を提供する。
【解決手段】車輪形状校正冶具１０は、光切断法によるレーザ線条光が照射され、所定の計測項目が計測される未使用時の車輪における計測部位と同一寸法であって、かつ、その寸法が既知である計測部位を有する校正冶具本体１１と、レール２に対し平行面上において、校正冶具本体１１を回転させ、レール２に対し任意のアタック角を設定する回転ステージ１２と、レール２に対し平行面上において、校正冶具本体１１を前後左右に移動させるＸ，Ｙ方向移動ステージ１３，１４と、校正冶具本体１１等を搭載し、レール２上に設置される架台１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】計測時間を短縮化でき、装置構成が複雑化することを防ぐ。
【解決手段】三次元形状測定装置１は、測定対象物１１上に投影パターンを照射する投影部１３と、測定対象物１１を撮像する撮像部１４と、投影部１３に縞パターンを照射させ、照射させる縞パターンの位相を変化させながら、撮像部１４に測定対象物１１を繰り返し撮像させるとともに、測定対象物１１上に照射させた縞パターンの画像を複数取得する第１の制御部と、第１の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第１の画像と、第２の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第２の画像とを取得する第２の制御部と、第１の画像と第２の画像との差分に基づいて、縞パターンに含まれる縞の夫々を識別する基準線を検出する基準線検出部と、基準線に基づいて、測定対象物１１の三次元形状を測定する形状測定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】運転者自らが計測することなしにトレーラの実際の車高を計測することのできる車高計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】自車両の周囲の撮影画像を画像処理する画像処理手段１１と、この画像処理手段１１による処理画像に基づいて自車両が牽引するトレーラの車高を算出する算出手段１３とを備え、算出手段１３は、画像処理手段１１が画像処理した自車両前方の撮影画像および自車両が牽引するトレーラ後方の撮影画像とに基づいて自車両が牽引するトレーラの車高を算出する。 （もっと読む）

【課題】感度及びオクルージョンの関係がバランス良く設定されることで精度良く測定できる、形状測定装置を提供する。
【解決手段】ライン光を被検物に向けて照射する照射部と、ライン光の照射方向とは異なる方向から、被検物上の前記ライン光が照射されている部分を撮像する撮像部と、撮像結果に基づいて被検物上の前記ライン光が照射されている部分の形状を演算する形状演算部と、を備え、照射部の照射方向と撮像部の撮像方向とがなす角度が、３０°以上６０°以下の範囲である形状測定装置に関する。 （もっと読む）

【課題】 対象物の高さを高精度かつ迅速に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】 計測範囲内にある対象物の高さを計測する計測装置は、複数の波長を含む光を出射する光源と、軸上色収差を有する光学ユニットを含み、前記光源から出射された光を複数の光束に分割して、前記計測範囲を含むが異なる焦点範囲に前記複数の光束を前記光学ユニットによって集光させる第１光学系と、前記複数の光束について前記対象物の表面に焦点位置を有する波長を検出する検出部と、前記第１光学系と光路の一部を共有していて、前記第１光学系によって集光され前記対象物の表面で反射された前記複数の光束を前記検出部に導く第２光学系と、前記複数の光束から１つの光束を選択し、該選択された光束の前記検出部により検出された波長を用いて前記対象物の高さを算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検出エリア内におけるレーザ光の実際の照射高さを容易に計測し得るレーザ測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ測定装置１００は、レーザレーダ装置１と検出用基準物体９０とを備えている。検出用基準物体９０の反射部は、所定の高さ方向における各位置が高さに応じた構造をなし、且つレーザ光Ｌ１が入射したときに、当該レーザ光Ｌ１が入射する高さに応じた内容の特定反射光を発するように構成されている。一方、レーザレーダ装置１は、回動反射機構４０から照射されるレーザ光Ｌ１の走査エリア上に検出用基準物体９０が配置されたときにこの検出用基準物体９０からの特定反射光を検出している。そして、反射光の状態と高さ情報とを対応付ける対応データを参照して特定反射光の状態に対応する高さ情報を求め、検出用基準物体９０におけるレーザ光の照射高さを計測している。 （もっと読む）

【課題】硬貨の表面の凹凸を高精度に評価すること。
【解決手段】硬貨１００を一枚ずつ搬送し、第1の色成分を透過する第１の領域と第２の色成分を透過する第２の領域とを交互に配置したスリットパターン１１３を透過したスリットパターン光を照射する。スリットパターン光が照射された硬貨の画像をカメラ１１５が撮像し、色分離部２１１が撮像結果を第１の色成分と第２の色成分に分離する。高さ計算部２１３は、第１の色成分の画像データにおけるスリットパターン形状の変化と、第２の色成分の画像データにおけるスリットパターン形状の変化からそれぞれ高さ評価データを作成し、硬貨の三次元測定データを得る。判定部２０６は、三次元測定データに基づいて硬貨の真偽、種別（金種）、正損を判定する。 （もっと読む）