【課題】計測対象面の凹凸に起因する面位置センサの計測誤差の補正データを作成し、該補正データを用いて計測精度が改善される面位置センサを用いて、移動体を高精度に２次元駆動する。
【解決手段】 Ｘ干渉計１２７、Ｙ干渉計１６を用いて位置を監視しながらウエハステージＷＳＴを移動させ、センサ７２ａ〜７２ｄを用いてウエハステージ上面に設けられたＹスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２のＺ位置を計測する。ここで、例えば、２つの面位置センサ７２ａ，７２ｂの計測結果の差より、Ｙスケール３９Ｙ_２のＹ軸方向の傾きが得られる。Ｙスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２の全面について傾きを計測することにより、それらの２次元凹凸データが作成される。この凹凸データを用いてセンサの計測結果を補正し、該補正済みの計測結果を用いることにより、高精度にウエハステージを２次元駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】簡単に精度よく鉄筋の配筋情報を取得する。
【解決手段】携帯端末４は、鉄筋の画像から、背景板Ｂに対して垂直方向の１ピクセルずつの位置に対応する連続的な径長を抽出する（Ｓ１００１）。次に、抽出した鉄筋径分布の全データのうち、上部５％のデータと、下部５％のデータとをノイズとして除去する（Ｓ１００２）。そして、中央部９０％のデータにおける最大値を特定し、最大径ｄ１として取得する（Ｓ１００３）。続いて、鉄筋規格情報４５２を参照し（Ｓ１００４）、最大径ｄ１に対応する鉄筋規格を特定できるか否かを判定する（Ｓ１００５）。鉄筋規格を特定できる場合には（Ｓ１００５のＹＥＳ）、該当した鉄筋規格を取得する（Ｓ１００６）。該当する鉄筋規格を特定できない場合には（Ｓ１００５のＮＯ）、その旨をオペレータに通知することにより、角度を変えて鉄筋を再度撮影し、画像を抽出し（Ｓ１００７）、Ｓ１００１の処理から再試行する。 （もっと読む）

【課題】平坦でない路面上に存在する対象物の高さを正確に計算することができる計測装置、計測方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】センサ情報取得部２１は、基準位置から路面上の複数の点へ向けてレーザを射出し、当該レーザの反射光に基づいて、基準位置から当該レーザが反射された点である反射点までの距離を計測するレーザセンサから計測結果を取得する。路面高特定部２３は、記憶部２２が記憶する路面高情報に基づいて反射点それぞれにおける路面高を特定する。高さ算出部２９は、レーザセンサが算出したそれぞれの距離と路面高特定部２３が特定した路面高とに基づいて、路面から前記反射点までの長さを対象物の高さとして算出する。 （もっと読む）

【課題】被計測物が様々な屈折率で、かつ様々な厚さの透明媒質の下に配置されていても、その被計測物の高さを容易に計測する。
【解決手段】高さ計測装置１は、照明光から分岐された第１照明光を被計測物６に導く対物レンズ２４と、照明光から分岐された第２照明光を参照ミラー２８に導く対物レンズ２６と、第２照明光の光路長を調整する移動部３６と、被計測物６及び参照ミラー２８で反射される２つの照明光の干渉像を撮像する高速度カメラ１２と、対物レンズ２４と被計測物６とを光軸方向に相対移動するピエゾ駆動装置１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】面位置センサの設置位置を計測し、該計測された設置位置に基づいて面位置センサを用いて移動体の２次元移動面の垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、移動体を安定かつ高精度に駆動する。
【解決手段】 干渉計システムを用いてウエハステージＷＳＴのＸＹ位置を監視しながらウエハステージを移動させて、面位置センサ７２_ｋ，７４_ｉ，７６_ｊを用いてＹスケール３９Ｙ₃，３９Ｙ₄を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に走査することにより、面位置センサのＸＹ設置位置を計測する。得られた設置位置情報に基づいて、面位置センサを用いて、ウエハステージのＸＹ平面（移動面）に対する垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、ウエハステージを安定かつ高精度に駆動する。 （もっと読む）

【課題】遊戯盤に植設される釘は植設される位置、および高さが所定の範囲内でなければならない。しかし、所定の高さより高い釘を見つける方法は、すでに開示されているが、所定の高さより低い釘を高速にしかも釘にダメージを与えることなく見つけるのに、適した方法はなかった。
【解決手段】前記遊戯盤を所定の速度で搬送する移送手段と、前記遊戯盤の垂直方向に視軸が配置された第１のラインセンサと、視軸が前記第１のラインセンサの視軸から所定の角度傾き、かつ前記視軸が前記第１のラインセンサの視軸と交わる交線が、前記遊戯盤の前記釘の頭と同じ高さに配置される第２のラインセンサと、前記釘の頭を前記第１のラインセンサが撮影した地点と前記第２のラインセンサが撮影した地点の間の距離に基づいて、前記釘の高さを算出する制御装置を有する検出する検査装置。 （もっと読む）

【目的】カメラやレーザー等の光学系手段を用いて測定効率の向上に貢献する手段を利用しつつ、さらに測定精度が高く、貨物自動車に関する的確なデータ管理が可能な貨物自動車寸法の測定装置及び測定方法とする。
【構成】貨物自動車の製造施設において、反射部を有するターゲット部と、所定位置に固定でターゲット部に反射される光を出力する複数の光学系手段と、反射光でターゲット部の座標位置を決定して貨物自動車の寸法を算定する制御部がある。ターゲット部の一部は、貨物自動車後方の灯火部に取り付けられている。光学系手段は、灯火部用のターゲット部に光を出力する灯火部用光学系手段を含む。ターゲット部の反射光データは制御部に入力され、貨物自動車の全長、全幅又は全高の少なくとも一つが算定され、灯火部用光学系手段の撮影データに基づいて灯火部の取り付け位置が算定される。 （もっと読む）

【課題】車軸検出装置における車軸の検出精度を向上させる。
【解決手段】車両進行方向に対して垂直方向に被写体に対して赤外線を照射する赤外線照射部（１０１ａ〜１０１ｄ）と、前記被写体からの反射光をそれぞれ受光して被写体像を取得する画像取得部（１０４ａ、１０４ｂ）と、取得された複数の被写体像に基づいて、前記被写体までの距離を演算する距離演算部（１０７）と、被写体に車両が含まれない場合の該被写体までの距離を記憶する距離データ記憶部（１０９）と、演算された前記被写体までの距離と記憶された距離との比較結果に基づいて車軸を検出する車軸判別部（１１０）と、を具備し、距離データ記憶部（１０９）は、前記被写体に車両が含まれない場合で演算された前記被写体までの距離の信頼性が所定条件を満足する場合、前記演算された距離に記憶内容を更新する。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状の測定精度を大幅に向上させることのできる、走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】対物レンズの下にビームスプリッター及びミラーを配し、試料表面を含めて、マイケルソン型などの干渉計を構成し、試料までの距離又はミラーまでの距離をピエゾアクチュエーターで走査し、それによりできる干渉波形をCCDカメラで撮影して動画ファイルデータとして記録し、データ収集間隔をナイキスト間隔（干渉波形の周期の１／２）よりも広く取って試料の表面形状を測定する、走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法において、得られた収集波形についてヒルベルト変換を行い、包絡線と位相を得、こうして得られた位相が０になる走査位置と試料の表面高さとの関係を用いて位相が0になる走査位置から試料表面の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状を測定する際に、干渉波形の包絡線と位相との両方に基き試料の表面形状を算出できるようにした走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】撮影した動画ファイルデータに基づき、試料の表面上の位置に対応する各画素において、ヒルベルト変換を用いて干渉波形の包絡線と位相を算出し、包絡線がピークになる走査位置と、位相が０になる走査位置を算出し、両位置の差から、試料表面の反射光の位相変化による位置ずれの値を検出し、その値の大きさから、その画素の試料表面が他の画素の試料表面と同種であるか異種であるかを判定し、同種のもの同士で干渉波形の位相が０になる走査位置のずれの平均値を算出しておき、各画素で、位相が０になる位置から対応する試料の表面上の物質での位相が０になる走査位置のずれの平均値を引くことで、反射光の位相変化の影響が消されて試料の表面形状が測定される。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ信頼性の高い幅測定機能を有し、被測定物体の幅を高精度に測定することができる幅測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体１の上方より外側に配置され、その一方側にスリット状光を照射する光源２ａと、そのスリット状光を撮像する一方側２次元撮像部４ａと、被測定物体１の一端部２８ａの幅方向座標を演算する一端部幅方向座標演算部７ａと、一端部高さ方向座標演算部８ａと、一端部位置演算部９ａと、被測定物体１の上方より外側でかつ光源２ａと反対側に配置され、その他方側にスリット状光を照射する光源２ｂと、そのスリット状光を撮像する他方側２次元撮像部４ｂと、他端部２８ｂの幅方向座標を演算する他端部幅方向座標演算部７ｂと、他端部高さ方向座標演算部８ｂと、他端部位置演算部９ｂと、一端部２８ａおよび他端部２８ｂの空間位置に基づいて、被測定物体１の幅を演算する幅演算部１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】正確に測定位置を制御でき、かつセンサの取り付け位置調整機構や位置調整作業を必要とせずに測定位置の制御精度を保つことができるレーザー高さ測定装置を提供する。
【解決手段】レーザー光Ｌ１を照射するレーザー光照射部６１および対象物で反射されたレーザー光を検出する反射光検出部６２を有するレーザー高さセンサ６と、レーザー高さセンサ６を平面内で移動させるセンサ移動機構（ヘッド駆動機構４１〜４３）と、所定の較正位置（光入射軸ＡＯ上）に配置された画像カメラ（部品カメラ５）と、レーザー光Ｌ１を減衰しつつ透過する減光フィルタ７１と、レーザー高さセンサ６を較正位置ＡＯに位置決めしてレーザー光Ｌ１を照射し、減光フィルタ７１を透過したレーザー光を画像カメラ５で撮像してレーザー光画像を得るレーザー光撮像手段と、座標位置の補正値をレーザー光画像上でのレーザー光の位置に基づいて求める補正値取得手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】渡り線と背景の切り分けを高精度に行うことが可能な画像処理による渡り線測定装置を提供する。
【解決手段】車両の屋根上に設置されたラインセンサカメラ２と、車両の内部に設置された計測用コンピュータ３とを備えた画像処理による渡り線測定装置において、計測用コンピュータ３が、ラインセンサ画像作成部３ａと、標準偏差背景除去処理部３ｂと、判別分析二値化処理部３ｃと、ノイズ除去処理部３ｄと、渡り線部エッジ検出部３ｅと、渡り線部高さ計算部３ｆと、渡り線部偏位計算部３ｇとを備えるようにし、ラインセンサ画像に対して標準偏差背景除去処理を行ったうえで二値化処理を行うことにより渡り線と背景との切り分けを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】複数の測定対象物それぞれの形状に応じた波形の比較を、作業者に簡易且つ正確にさせることが可能な技術を開示する。
【解決手段】変位センサシステム１０は、変位センサ１１、表示画面３３Ａを有する表示部３３、制御回路３０を備え、制御回路３０は、変位センサ１１から出力された測定信号ＳＧ３に基づき、複数のワークＷそれぞれの形状に対応した複数の信号波形Ｖ１〜Ｖ４それぞれについて当該信号波形のうち基準レベルを示す部位である基準部位Ｘ１〜Ｘ４を抽出する抽出処理と、当該抽出処理で抽出された基準部位Ｘ１〜Ｘ４同士を一致させた状態で、複数の信号波形Ｖ１〜Ｖを表示画面３３Ａに表示させる表示処理とを実行する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成を採用しつつ検出光量ムラの発生を抑制可能とした走査型検出測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の走査型検出測定装置は、レーザ光を射出する発光素子と、発光素子から供給されるレーザ光を走査しつつ標本に照射する走査光学系と、標本から生じる光を検出する検出光学系と、発光素子と走査光学系との間に設けられレーザ光の一部を発光素子に向けて反射させる反射光学素子と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの被計測体側に配設された光学素子によりスポット位置を光軸に垂直な面内方向に走査することができるとともにこの光学素子による光学系全体の結像性能の劣化を抑えることができる三次元画像取得装置および三次元画像取得方法を提供する。
【解決手段】三次元画像取得装置１０は、共焦点光学系を用いた三次元画像取得装置であって、対物レンズ１３の被計測体１５側の光軸と交差するよう配設された平行平板形の部材を有し、光軸と垂直な面に対する平行平板形の部材の傾きを異ならせることで、傾きに応じて屈折作用により被計測体側共役点の位置を光軸方向に垂直な面内で変更するＸＹ方向焦点位置変更部１４を備え、平行平板形の部材の傾きは、対物レンズ１３の被計測体側共役点に集光される光の直径が、エアリーディスク直径の半分となる所定の傾き以下である。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の断面積を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、測定対象物が載置されている断面形状出力範囲の複数の測定点における変位を測定し、測定された変位から測定対象物の形状データを算出する際に、複数の測定点に対応する複数の変位情報を大きさで順番付けした場合に、最も大きい側から予め定められた第１割合に含まれる変位と、最も小さい側から予め定められた第２割合に含まれる変位と、を除いた中間変位情報を選出し、この中間変位情報を圧縮係数を用いて圧縮処理した圧縮変位情報を加算して測定対象物の断面積を測定する。 （もっと読む）

【課題】
周辺を壁で囲まれた凹型形状の被測定部品においても、内側形状を正確に計測することで、被測定部品の高さ及び体積を求めることができるようにする。
【解決手段】
載置面上に被測定部品を載置して被測定部品の高さ方向に移動可能なテーブルの載置面に垂直な方向から載置面上に載置された被測定部品に対物レンズを介して光パターンを投影し、テーブルを被測定部品の高さ方向に順次スッテプ移動させて各ステップ移動ごとに光パターンが投影された被測定部品を対物レンズを介して撮像して光パターンの画像を取得し、テーブルの各ステップ移動ごとに撮像して取得した光パターンの複数の画像を処理して被測定部品の各部の高さ情報を得て被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像を生成して部品高さを測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の変位情報を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、ガラス板及び測定対象物に対して垂直方向に光を出射し、当該光と同軸方向に反射される反射光を複屈折性のクリスタル及び偏光板を用いて受光し、反射光に含まれる各反射光成分に応じた反射面の変位の複数個を、各反射光成分の反射強度に関連付けて検出する。変位測定装置では、検出される変位のうち、最も高い反射強度の得られた変位Ｚ１と、変位Ｚ１の次に高い反射強度の得られた変位Ｚ２と、の差である差分変位をガラス板の同軸方向の厚さに設定された基準変位ＺＫと比較し、差分変位が基準変位ＺＫよりも小さい場合、変位Ｚ１を測定対象物までの変位Ｚと判断し、差分変位が基準変位ＺＫ以上である場合、変位Ｚ１と変位Ｚ２のうちの短いものを測定対象物までの変位Ｚと判断する。 （もっと読む）

【課題】より正確に体積変化を測定することが可能な体積測定装置を提供すること。
【解決手段】熱硬化性樹脂の熱硬化における体積を測定する体積測定装置であって、熱硬化性樹脂の加熱を行う加熱用台座部と、加熱用台座部の上面にくぼみ状に形成され、少なくともくぼみ状の内面は界面張力エネルギーが１５ｍＮ／ｍより大きく３０ｍＮ／ｍより小さい素材で形成された、熱硬化性樹脂が載置される載置部１３と、加熱用台座部を加熱するヒーター１６と、加熱用台座部の温度を測定する熱電対１７と、熱電対によって測定された温度に基づいてヒーターを温度制御する温調器１９と、各温度における、載置部１３に載置された熱硬化性樹脂の体積を測定するレーザー変位計２０とを備え、加熱用台座部は、加熱ステージ１０と、加熱ステージの上面に配置されたフッ化炭素樹脂板１１とを有し、フッ化炭素樹脂板に載置部１３が形成されている、体積測定装置である。 （もっと読む）