【課題】従来のシステムより計測点数が多く、リアルタイムな計測ができる光ファイバセンシングシステムを提供する
【解決手段】光源と、受光部と、歪みを受け屈曲すると透過光が減衰する光ファイバセンサとを備えた光ファイバセンシングシステムにおいて、前記光ファイバの両端にそれぞれ異なる波長帯域の光を透過または反射する光学フィルタを備え、これら光学フィルタの透過光または反射光の光量の差分を光ファイバに掛かる歪み量として計測する。 （もっと読む）

表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(198)が結合される。
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【課題】フェルール端面の頂点ずれの測定において、高精度な繰り返し再現性が得られる光ファイバ用フェルールの頂点ずれ測定装置を提供する。
【解決手段】先端面が球面に形成され、かつ、中央に光ファイバが挿入固定したフェルールをフェルール保持具に配置し、光源から前記フェルールの先端面に光を照射して反射させた光と前記光源から光路長を異ならせた光を前記フェルールの先端面に照射して反射させた光とをそれぞれ受光することで干渉縞を形成するとともに、干渉縞の中心位置Ｑから前記フェルールの先端面に照射する光軸中心位置Ｌまでの仮想距離がフェルールの頂点ずれ距離として測定する光ファイバ用フェルールの頂点ずれ測定装置において、前記フェルール保持具は、フェルールの外径よりわずかに大きな内径を有した精密スリーブが用いられることを特徴とする光ファイバ用フェルールの頂点ずれ測定装置を用いてフェルール端面の頂点ずれの測定を行う。 （もっと読む）

サンプルを検査する装置は、サンプルの表面のエリアに光学放射を向けるように適応された放射ソースと、複数の像センサとを備えている。各像センサは、上記エリアから異なる各々の角度範囲へ散乱された放射を受け取って、上記エリアの各像を形成するように構成される。像プロセッサは、各像の少なくとも１つを処理して表面上の欠陥を検出するように適応される。
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【課題】 装置の大型化を防止しつつ、光ピックアップレンズの位置測定等の可能な光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光源２２からの平行光がレンズＷ上に照射されることにより正反射した光を、ビームスプリッタ２４により角度測定用正反射光Ｌ１と位置測定用正反射光Ｌ２とに分岐させ、角度測定用正反射光Ｌ１を収束レンズ２５により収束して角度測定用撮像手段２７の撮像面２７Ａに集光させるとともに、位置測定用正反射光Ｌ２を収束レンズ２５を介さずに位置測定用撮像手段２８の撮像面２８Ａに照射させ、角度測定用撮像手段２７の撮像面２７Ａにおける集光位置に基づいてレンズＷの傾きを測定するとともに、測定されたレンズＷの傾き及び位置測定用撮像手段２８の撮像面２８Ａにおける照射位置に基づいてレンズＷの位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】
離れた位置にある小領域対象面の面法線を計測する方法及び装置を提供する。
【解決手段】
互いの両端面を平行に組み合わせて中間に一定の隙間を有する２枚のウェッジプリズム１１ａ、１１ｂを用い、光ビームの入射光９１を平行にシフトするためのビームシフト光学系１を構成し、これを角度可変アクチュエータ４１により一体で回転させ照射位置を可変とし、小領域中の少なくとも３点９４ａ、９４ｂ、９４ｃに光ビームを照射して得られる距離データを基に法線演算回路５１で法線を算出することにより、離れた位置にある対象面の面法線を計測する方法及びその装置を提供する。 （もっと読む）

ウェハ上またはデバイス上の微細構成を破壊することなく測定できるようにするために、本発明は、少なくとも１つの蛍光発光局所構造体（２２）が共焦点顕微鏡（１）を用いて励起光で走査され、対物レンズ（１５）の焦点面（１９）中の焦点（１７）から放射され励起光で励起された蛍光が検出され、前記焦点（１７）の位置および検出された蛍光信号から測定データが得られる、ウェハ（２）上またはデバイス上の３次元局所構造体（２２）を測定する方法を提供する。 （もっと読む）

光源（１）と、ビームを制限するための絞り構造（３）と、光源から放射されて絞り構造を通過する光（５）を測定すべき物体（６）に収束させるための結像光学系（４）と、物体に当たって後方散乱してから同じ絞り構造または観察光路（７）に配置された別の絞り構造を通過する光（５）に対する受信光学系（１０）と、２つの放射感度のあるセンサ素子（１３、１４）を備える画像受信機（１０）とが含まれる。高さ情報を含んだ測定撮影を生成するために、光路の光学距離変更手段（１１）が、一方の光源（１）および／または画像受信機（１０）と他方の物体（６）との間に配置され、焦点の光学距離（ｄ）を所定の方法で変更可能である。露光時間（Ｔ）中における観察光路（７）の光強度に対する、２つのセンサ素子（１３、１４）での電荷の蓄積量（Ｑ１３、Ｑ１４）と、結像光学系（４）から画像平面までの光学距離（ｄ）との関連を成立させる。 （もっと読む）

本発明に従う測定ヘッド（４）は、好ましくは回折レンズであるゾーンレンズ（２６）と半球レンズ（２３）又はＧＲＩＮレンズ（３３）の組み合わせを有する。これは、高い開口数を有する非常に細い測定ヘッド（４）になる小型化の可能なコンセプトを表し、従って、ベストな解像能力をもたらす。このような測定ヘッドは、測定ヘッドの測定すべき表面への指向に関する角度誤差又は測定ヘッドの光軸に対する面の斜めの位置決めに対して反応しない。
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ＲＧＢ−Ｚセンサーは単一のＩＣチップ上に実施可能である。ホットミラーなどのビームスプリッタが、対象物から入射する第一及び第二のスペクトルバンド光エネルギーを受信し、好ましくはＲＧＢであるイメージ成分及び好ましくはＮＩＲＺである成分に分離する。ＲＧＢイメージとＺ成分は、それぞれイメージデータとＺデータを出力するＲＧＢピクセル検出器及びＮＩＲピクセル検出器のアレイ領域によってそれぞれ検出される。これらの領域のピクセルサイズ及びアレイ解像度は同一である必要はなく、またこれら両方のアレイ領域を共通のＩＣチップ上に形成しても良い。対象物の認識を容易にするために、イメージデータを用いたディスプレイはＺデータによって補助できる。その結果得られる構成は、ビームスプリットを行なうことによる光学的効率性と単一のＩＣチップに実施することによる簡素性とを組み合わせたものとなる。この単一チップの赤、緑、青、距離（ＲＧＢ−Ｚ）センサーの使用方法も開示されている。
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本発明は、
-像焦点面における物体の基本的な表面の光学フーリエ変換像を形成する手段と、
-検出手段によって提供された情報から少なくとも１つの物体の寸法的および／または構造的な特徴に関連するデータを生成する処理手段と、
を含むことを特徴とする、物体の寸法的または構造的な特徴を測定するための装置に関する。
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レーザ加工ビーム（４）を用いてワークピース（２）を遠隔処理する装置には、プログラマブル数値制御部（１２）をもつオペレーティング装置（１１）を備えたスキャナ光学系（６）が設けられている。数値制御部（１２）は、ワークピース（２）上の少なくとも１つの加工位置（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）をマークするためのポインタマーク（１４）を備えたポインタ（１３）を利用してプログラミングされる。その際、加工位置（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）をマークしているポインタマーク（１４）を検出する手段（１５）と、スキャナ光学系（６）のためのオペレーティング装置（１１）の数値制御部（１２）と接続された評価手段（１８）が用いられる。スキャナ光学系（６）のためのオペレーティング装置（１１）の数値制御部（１２）に対する設定値を、加工位置（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）をマークしているポインタマーク（１４）の検出に基づき評価手段（１８）によって規定することができる。この設定値は、以降のワークピース処理についてスキャナ光学系を調節するために用いられる。
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テンプレートマッチングのために有効な基準パターンを適切に効率良く抽出することのできる基準パターン抽出方法を開示する。本発明において、ウエハを撮像して得た画像情報上の観察視野（ＶＩＥＷ＿Ａｒｅａ）となり得る最大の範囲である最大視野範囲（ＯＲ＿Ａｒｅａ）内において、ユニークさが互いに異なり、かつ、その最大視野範囲（ＯＲ＿Ａｒｅａ）内に任意に配置される観察視野（ＶＩＥＷ＿Ａｒｅａ）内においてもユニークであると認識されるユニークなパターンを複数抽出する。そして、抽出されたユニークなパターンの全てを、観察視野（ＶＩＥＷ＿Ａｒｅａ）が取り得る範囲とは無関係に、基準パターン（テンプレート）として設定する。各ユニークパターンは、各々がユニークなパターンであるエレメント、又は、ほぼユニークなパターンであるエレメントの組み合わせにより表される。
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【課題】 暗くなる箇所が発生することなく、どの箇所においても均等に照らすことができる表面検査用照明装置を提供する点にある。
【解決手段】 多数の発光体が線状に配置された線状光源１４の光照射側に集光手段１６を配置してなる照明部３の複数のそれぞれを、検査対象物のほぼ同一箇所に対して照射し、該照明部３の各発光体ＶＬ１が検査対象物を照射するそれぞれの位置と該別の照明部３の各発光体ＶＲ１が検査対象物を照射するそれぞれの位置とが照射する線状の発光体群の長手方向において異なるように複数の照明部３の各発光体ＶＬ１、ＶＲ１を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】 シェアリング干渉計測において処理領域を高速に設定する方法を提供する。
【解決手段】 レンズから出射された光を回折し干渉させてシェアリング干渉像を得る。次に、回折光の位相を変化させ、位相変化により時間的に強度変化する複数の画像データ（座標、強度）を記憶装置に取り込む。また、複数の画像データにおいて、各画素における強度データの変化の大きさ（強度変化量）を算出する。そして、画像データ領域の略中央を通ってシェアリング軸と平行な線分と、シェアリング軸と直交する線分とによって、画像データの領域を４つの小領域に分割する。最後に、各小領域において、シェアリング軸に平行な複数ラインを設け、強度変化量があるしきい値を越える画素がただ一つであるラインエッジ点を決定する。 （もっと読む）