【課題】 ２次元画像における輪郭などの特徴から３次元物体を認識する３次元物体認識装置において、隠れの影響を排除してロバスト性を向上させるとともに、位置及び姿勢を最適化して認識精度を高める手段を提供する。
【解決手段】 本発明に係る３次元物体認識装置は、３次元物体を撮影するカメラと、３次元物体の位置及び姿勢を変化させながらカメラ画像に投影し、各投影点の座標及びエッジの向きを算出する手段と、それに基づいて作成したルックアップテーブルを記憶する手段と、ピラミッド画像を作成する手段と、解像度が最も低いピラミッド画像についてエッジを抽出する手段と、方向付きディスタンスマップを作成する手段と、方向付きディスタンスマップ上に各投影点をマッピングする手段と、位置及び姿勢を評価する手段と、位置及び姿勢を最適化する手段と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】精度良くかつ簡易なキャリブレーションによる三次元形状計測を実現する。
【解決手段】 位相シフト法により三次元形状を求める場合において投影部及び撮像部からの距離が既知の位置に基準平板を配して位相の異なる複数の格子縞を投影し、撮像画像から各画素の位相を算出し、算出した位相と既知の距離とから位相−距離関係を算出する。また距離が既知の位置に、距離方向に直交する平面上での２次元座標が既知の基準グリッドを有する基準グリッド平板を配し、基準グリッドに基づいて撮像画像の各画素の二次元座標を算出し、算出した各画素の二次元座標と既知の距離とから距離−二次元座標関係を算出する。実測定時には所定距離の位置に被測定物を配し、位相の異なる複数の格子縞を投影し、撮像画像の各画素の位相を算出し、位相−距離関係に基づいて距離を算出し、距離−二次元座標関係に基づいて画素の二次元座標を算出し、被測定物の三次元形状を求める。 （もっと読む）

【課題】二つの画像の間の対応する範囲を判定する。
【解決手段】画素評価算出部１１１は、対象画素の輝度と、隣接画素の輝度とを比較して、評価値を算出する。評価合致算出部１３１は、対象範囲設定部１２２が選択した対象範囲内の画素の評価値と、候補範囲選択部１２３が選択した候補範囲内の画素の評価値とを比較して、評価合致数を算出する。合致合計算出部１３２は、評価合致数を合計して、合致合計数を算出する。画像相関判定部１４０は、合致合計数に基づいて、候補範囲が対象範囲に対応するか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】薄板状の被測定物の厚み分布の測定において，簡易な装置構成により，被測定物の振動の影響を受けずに高精度で厚み分布の測定を行うことができること。
【解決手段】被測定物１の表裏各面について，レーザ光源２の出射光を２分岐したビーム光をさらに２分岐させて参照面及び表裏相対する測定点１ａ，１ｂに反射させ，参照光と物体光とを直交する偏光成分とする非干渉光Ｐａｘ，Ｐｂｘを得て，それを複数に分岐させ，分岐光のうちの１つ以上について波長板ａ２６１，ａ２６３，ａ２６４等で直交する偏光成分の位相差に変化を与えて位相シフトを行い，位相シフト後の分岐光における参照光及び物体光の偏光方向を基準とする共通の偏光成分の抽出により干渉光Ｑａ１〜Ｑａ４，Ｑｂ１〜Ｑｂ４を得て，それらの強度から前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差を算出し，その位相差の分布から被測定物１の厚み分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】ステージ制御により生じる機械振動成分を除去することなく、レーザ干渉計の測定信号に含まれる非線形誤差成分を最大限除去することが可能な荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法を提供する。
【解決手段】試料が載置されるステージの位置の測定にレーザ干渉計を用いる。レーザ干渉計の測定信号に含まれる非線形誤差成分を除去するフィルタ部のカットオフ周波数を、ステージの加速度のデジタル制御の周期Ｔａの逆数（１／Ｔａ）に設定する。 （もっと読む）

【課題】光源からの光の光量ばらつきの影響を低減して、被計測面の表面形状を高精度に、且つ、再現性よく計測することができる技術を提供する。
【解決手段】計測面の表面形状を計測する計測装置であって、光源からの光を計測光と参照光とに分離し、計測光を被計測面の表面に入射させ、参照光を参照面に入射させる光学系と、被計測面の表面で反射した計測光の光強度と、参照面で反射した参照光の光強度と、被計測面の表面で反射した計測光と参照面で反射した参照光との干渉パターンとを検出する検出部と、検出部によって検出された干渉パターンの干渉信号に基づいて、被計測面の表面形状を算出する処理部と、を有し、処理部は、検出部によって検出された計測光の光強度、及び、参照光の光強度に基づいて、検出部によって検出された干渉パターンの干渉信号に含まれる光源からの光の光量ばらつきによる影響を低減して、被計測面の表面形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】工事に伴い影響する地盤を介して近接する高架橋構造物やトンネル構造物等に影響が波及することを監視するためのものであり、鉛直方向の変位はもとより高架橋構造物の横移動や傾きを計測できる撮像装置を用いた変状計測システムを提供する。
【解決手段】本発明は、計測範囲外にある構造物に撮像装置を設置し、該撮像装置が撮像する計測ポイントを計測範囲内にある構造物の最初の計測点に設置し、該最初の計測点又は次の計測点或いはその次に続く計測範囲内にある計測点にそれぞれ撮像装置と該撮像装置が撮像する計測ポイントを設置することを特徴とし、画像化した計測ポイントの形状又は位置の差（ズレ）によって各計測点の変状が即時に判定できる。さらに、前記計測ポイントが前記撮像装置の光軸に対して斜交した方形面になっていると、撮像装置が画像化した計測ポイントの画像のズレをより計測し易くなる。 （もっと読む）

【課題】平面上の凹凸段差、曲面などが混在する測定面を有する測定対象物の表面高さおよび表面形状を高速かつ精度よく求める。
【解決手段】干渉縞を発生させて撮像した測定対象物の表面画像において、明部と暗部の組みからなる干渉縞の一周期ごとに輝度レベルが最大の画素と輝度レベルが最小の画素を選択する。選択された各画素の光の強度値とその近傍の画素の強度値を利用し、各画素に含まれる干渉縞波形の直流成分、交流振幅、および位相が等しいと仮定、位相を求め、高さを求める。この高さから測定対象物全体の高さを補間で求め、表面高さ、および表面形状を求める。 （もっと読む）

球形物体の飛行情報測定システム及び方法が開示される。トリガー信号生成部は球形物体が検出されると、第１トリガー信号を生成して出力し、第１トリガー信号の生成時点から球形物体の最大飛行速度及び最大回転速度に基づいて設定された基準時間間隔が経過すると、第２トリガー信号を生成して出力する。撮影部は、所定面積を有する第１映像獲得領域に対して球形物体が存在する映像を第１トリガー信号及び第２トリガー信号のそれぞれに対して複数撮影する。映像獲得部は、トリガー信号生成部から入力された第１トリガー信号及び第２トリガー信号を撮影部に提供し、第１トリガー信号及び第２トリガー信号のそれぞれに対応して撮影部から入力された複数の映像をデジタル映像に変換して貯蔵する。情報測定部は、複数のデジタル映像から球形物体の飛行速度、飛行角度、回転速度及び回転軸を含む飛行情報を算出する。

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【課題】検査中の高速回転のウェーハに対して、リアルタイムでその反り量を検出する。
【解決手段】被検査体１に光を照射する第一の光照射部６００と、該被検査体１からの散乱光を検出する第一の検出器７７０と、前記被検査体１に光を照射する第二の光照射部９２０と、前記第二の光照射部９２０の光によって前記被検査体１から反射した光を検出する第二の検出器９１０と、前記被検査体を移動させる被検査体移動ステージ４１０と、前記光が照射される位置の位置座標の情報を出力する検査座標検査部４５０と、前記第二の検出器９１０からの検出信号に基づいて前記被検査体１の高さ情報を出力する昇降駆動制御回路９４０と、前記検査座標検査部４５０からの位置座標の情報と前記昇降駆動制御回路９４０からの高さ情報に基づいて前記被検査体１のそり量を算出するデータ処理部５００を備えた。 （もっと読む）

【課題】3次元モデリングを容易に実現する。
【解決手段】物体までの距離を計測し、モデリング用のデータを取得する第１のセンサと、物体までの距離を計測し、平面位置推定用のデータを取得する第２のセンサと、第１のセンサの上下方向に移動させる上下移動機構と、３次元モデリング装置を移動させる移動機構と、モデリング対象場所の地図データを格納するデータベースを備える計算機と、を備える。計算機は、第２のセンタから取得したデータと地図データとを照合して第１のセンサの平面位置を推測し、上下移動機構による第１のセンサの垂直位置及び推測された第１のセンサの平面位置から第１のセンサの３次元位置を取得し、第１のセンサが取得した複数のモデリング用のデータを、取得された３次元位置に応じて統合し、３次元モデルを出力する。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの２軸回転量を高精度に算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法、及び、エンジンマウントの変位量計測装置を提供する。
【解決手段】エンジンマウントの変位量計測方法は、エンジンマウント１０のマウント軸であるボルト１２の両端に固定した２個の球体１３・１３の変位を、それぞれの球体１３・１３について４箇所ずつレーザー変位計３１で計測する球体変位計測工程と、球体変位計測工程で計測した球体１３・１３の変位結果に基づいて、球体１３・１３の中心Ｉ・Ｊの３次元座標Ｘ１・Ｘ２をそれぞれ算出する座標算出工程と、座標算出工程で算出した２個の３次元座標Ｘ１・Ｘ２に基づいて、ボルト１２の中心Ｋの３軸並進量、及び、ボルト１２の２軸回転量θ・φを算出するマウント軸変位算出工程とを備える。 （もっと読む）

周波数走査型干渉計(１０)が検査対象物(１２)の広い推定オフセット範囲にわたる多重表面(１４,１５,１６)を同時に測定するために構成される。合成測定波長(λ_実効)に基づくアンビギュイティインターバル(Ｕ)内の中心に検査表面をおくために、検査表面の推定位置の知見が一連のアンビギュイティインターバルと比較される。
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【課題】高い測定精度を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、被測定物体１５の形状を測定して測定値を出力するプローブ１２と、所定の空間内でプローブ１２を移動させる移動機構部であるアーム部１１に、プローブ１２を着脱する取付部１６と、空間内におけるプローブ１２の空間座標を測定する空間座標測定部３０と、プローブ１２により測定された被測定物体１５の測定値を、空間座標測定部３０により測定されたプローブ１２の空間座標により補正する制御部２０，５０と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】
安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】
本発明の信号処理装置は、被計測物の位置を計測する計測装置に用いられる信号処理装置１であって、被計測物の位置に応じた信号の位相を時間に対して回帰することにより、被計測物の速度を算出する回帰演算器１９と、第１のサンプリング時における被計測物の位置に回帰演算器１９で算出された速度を加算することにより、第２のサンプリング時における被計測物の予測位置を求める予測演算手段（加算器２２）と、位相演算手段で求められた第２のサンプリング時の計測位相から予測位置を減算して予測誤差を求める誤差演算手段（減算器２３）と、桁拡張した予測誤差を予測位置に加算することにより、第２のサンプリング時における被計測物の位置を求める位置演算手段（加算器２１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構成で高精度の内面形状測定ができると共に、測定対象の内面形状が複雑な形状であってもより確実に測定を行い得る内面形状測定装置および内面形状測定方法を提供する。
【解決手段】２台の撮像装置１５，１６により、ビーム発射手段（１１，１２）が発射する放射状光ビーム１８が被測定物４０の内面４１に照射されてできる光跡を撮像し、演算処理装置３０により、撮像装置１５，１６による光跡撮像画像と、ビーム発射手段および２台の撮像装置１５，１６の相対的位置関係とに基づき、ビーム発射手段の光学中心（基準位置）と被測定物４０の内面４１との距離を算出する。 （もっと読む）

【課題】 立体物のイメージスキャナにおいて大きい立体物の全体像を良好な画質で取得する。
【解決手段】 スキャニングユニット２４は、リニアイメージセンサとテレセントリック結像系を内蔵し、前方の鉛直な線状のターゲット平面領域４８にピントが合っている。鉛直で線状の２本の光源３４A、３４Bがスキャニングユニット２４の左右両側に配置され、ターゲット平面領域４８を照明光する。光源３４A、３４Bの全箇所からの照明光の鉛直面に沿った出射角度が規制され、それにより、ターゲット平面領域４８の全箇所にて、照明光の鉛直面に沿った入射角と光量が一定にされる。スキャニングユニット２４と光源３４A、３４Bが一緒にX、Y、Z方向に移動して、被写体の空間１５を多数のレイヤとバンドに分割してスキャンする。スキャンで得た画像データからピントの合った画素が抽出され合焦点画像が合成される。 （もっと読む）

【課題】
分光検出手法を用いて検査対象表面に一様に形成された繰り返しパターンの形状を検出するには、分光検出する波長範囲が、短い波長領域に広いことが有利である。しかし、短い波長領域すなわち紫外領域を含む広い波長範囲で分光検出可能な光学系を比較的簡単な構成で実現することは容易ではない。
【解決手段】
パターン欠陥を検査する装置を、ハーフミラーとして空間的に部分的なミラーを用い、また検査対象へ光の照射および検査対象からの反射光の検出の角度及び方向を制限するための開口絞りを反射型対物レンズ内に設置することにより、深紫外から近赤外までの波長帯域で検出可能な分光検出光学系を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】レンズの縁の迅速かつ正確な計測が保証される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学レンズ１の縁１.１上の１つの点Ｐ１の座標Ｋを測定する方法であり、レンズ１は、保持装置３により保持され、光路２.１は、Ｚ軸方向で計測する光学マイクロメータ２のＹ軸方向に延びており、保持装置３とマイクロメータ２との間の相対位置が既知であり、ａ）縁１.１が光路２.１内でにある状態でレンズ１が保持され、ｂ）位置Ａに位置決めされた縁１.１の点Ｐ１について第１のＺ座標Ｚａが測定され、点Ｐ１のＸ座標Ｘａが光路２.１のＹ−Ｚ平面のＸ座標に対応しており、ｃ）レンズ１と光路２.１との間の相対位置の変化が保証され、ｄ）光路２.１内における縁１.１の点Ｐ１について、第２のＺ座標Ｚｂが測定され、ｅ）２つの相対位置における点Ｐ１についての２つの連立方程式に基づいて、欠けている座標およびが、従って点Ｐ１の位置が測定される。 （もっと読む）

【課題】２ストローク・クロスヘッドエンジンが一時的に非作動状態にある間に、シリンダライナの直径を測定する方法およびその方法で使用される直径測定装置を提供する。
【解決手段】シリンダライナの直径を測定する電子的な直径測定装置１０は、掃気ポート１０３を介して内燃エンジンのシリンダライナ１０６の内側に挿入されて測定位置に配置され、シリンダライナ１０６の内径を電子的なパラメータとして測定する。 （もっと読む）