【課題】化学反応性の高いアルカリ金属、アルカリ土類金属等からなる薄膜であっても、簡便かつ高い精度で膜厚を測定できる膜厚測定方法、膜厚測定システムおよび膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る膜厚測定方法は、成膜室２内のステージ２２に設置された測定用基板１０上に複数配置された振動子１１に、アルカリ金属またはアルカリ土類金属からなる薄膜を形成することを含む。上記測定用基板１０は、外部より低湿度に調節された測定室３の内部へ搬送される。測定室３内で、振動子１１を検出ユニット３２に接続し発振させることで、薄膜の膜厚が測定される。 （もっと読む）

【課題】温度の急上昇や他の原因によって共振周波数の測定値が急変したときにも正常な膜厚値を求める。
【構成】成膜開始時に、符号Ｌ₁で示すように、共振周波数の測定値が急変したとき、所定の回復時間まで測定値を異常値とし、回復時間後、最小個数の正常な測定値から、時間と共振周波数との間に成立する一次式の“傾きａ”と“ｙ切片ｂ”とを算出し、算出した一次式から、回復時間間に成長した薄膜の膜厚を求め、回復時間後の測定値から求めた膜厚に加算する。異常値が出力されている間の膜厚値が加算されるので、実際より小さい値の膜厚値を出力することが無くなる。正常状態から異常値が得られた場合も、異常値が出力されている間の膜厚は、一次式から求め、正常な測定値から求めた膜厚に加算する。 （もっと読む）

【課題】真空槽内の真空雰囲気を維持しながら振動子から付着膜を除去できる真空蒸着装置及び薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】
真空排気された真空槽１１内に蒸着材料の蒸気を放出させ、ホルダ３２ａ、３２ｂに接触して保持された振動子３１ａ、３１ｂの表面に蒸気を付着させ、付着膜の膜厚を測定しながら、基板１６に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、付着膜の蒸発温度より融点の高い振動子３１ａ、３１ｂとホルダ３２ａ、３２ｂと、ホルダ加熱装置３３ａ、３３ｂとを用いて、真空槽１１内の真空雰囲気を維持しながら、ホルダ３２ａ、３２ｂの融点と振動子３１ａ、３１ｂの融点の両方より低い温度でかつ付着膜の蒸発温度以上の温度にホルダ３２ａ、３２ｂを加熱し、ホルダ３２ａ、３２ｂからの熱伝導により振動子３１ａ、３１ｂを加熱し、振動子３１ａ、３１ｂから付着膜を気化させて除去する。 （もっと読む）

【課題】モデル基礎の共振条件式からずれた実基礎であっても、埋設部の寸法を精度よく測定する方法を実現する。
【解決手段】共振条件式には、基礎の各部の寸法が、ａ／ｂ、Ｂ／ｂ等の比の形で入っており、これらの比を２つの次数ｉ、ｊの共振振動数の比（ｆｉ／ｆｊ）で表せる。そこで、複数のサンプル基礎について実測したデータに基づいて、（ａ／ｂ）又は（Ｂ／ｂ）等の比と（ｆｉ／ｆｊ）との近似多項式で表すことにより、測定対象の実基礎について測定した２つの共振振動数（ｆｉ／ｆｊ）と、ａ、ｂ等の寸法をその近似多項式に代入して、未知寸法Ｂ，ｔを求めるようにした。つまり、軸対称の基礎について理論的に求めた捻れ振動の共振条件式を直接用いる代わりに、複数のサンプル実基礎について実測したデータに基づいて得られる埋設部の未知寸法を含む複数の近似多項式を用いて、その未知寸法を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】精度よく、成膜対象物に均一な膜を成膜することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜材料を加熱し、前記成膜材料の蒸気を放出させるための成膜源と、前記成膜源を、所定の成膜待機位置と成膜位置との間で成膜対象物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記成膜源から放出される前記成膜材料の放出量を測定するための測定用水晶振動子と、前記測定用水晶振動子を校正するための前記校正用水晶振動子と、を備える成膜装置であって、前記測定用水晶振動子は、前記移動手段内に設けられ、前記校正用水晶振動子は、前記移動手段が前記成膜待機位置にあるときの前記移動手段の上方に設けられることを特徴とする成膜装置、及びこの成膜装置を用いた成膜方法。 （もっと読む）

【課題】測定管の状態の変化を検出すること、また、比較的簡単な構成で超音波流量計が固定されている測定管厚さの変化をモニタすること。
【解決手段】 超音波信号送受手段により送受される超音波信号に基づき、反射相関法により測定管内を流れる被測定流体の流速を測定する超音波計測器において、
前記超音波信号送受手段を制御して、２種以上のバースト送信波形で前記超音波送信信号を出力させる超音波出力制御手段を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、ノイズフットプリントの複数の基本周波数成分を含むノイズフットプリントを放出する１組の少なくとも１つの摩耗警報ブザー（１８）を有するタイヤ（１０）の摩耗を検出する方法に関し、ノイズフットプリントの音を含みがちな音響信号を収集し（１００）、音響信号は、周波数領域に収集された複数の基本周波数成分を含み；基本周波数成分の複数のシリーズを列挙し（２０６）、各列挙シリーズは、ノイズフットプリントの基本周波数成分の一部分を形成しがちであり；組に属するノイズフットプリントの一シリーズを列挙シリーズの中から選択し（３０２）；ノイズフットプリントシリーズのローカル信頼性指標を求め（３０６）；ローカル信頼性指標に基づいて求められた信頼性指標所定のしきい値よりも高い場合、タイヤ（１０）の摩耗に関する警報を出す。
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【課題】冷媒配管長を正確に測定するための準備が容易となる配管長測定システムを提供する。
【解決手段】周波数測定装置１０は、空調機における室外機５０と室内機６０とを接続する冷媒配管７０の室外機５０側の末端近傍に配置され、冷媒配管７０の周波数特性を測定する。フィルタ３０は、周波数特性測定装置１０の端子１１の接続箇所よりも室外機５０側に、冷媒配管７０を包むようにして取り付けられている。配管長算出装置２０は、周波数測定装置１０とインタフェースケーブル４０を介して接続し、周波数測定装置１０が測定した周波数特性をインタフェースケーブル４０を介して取得する。配管長算出装置２０は、取得した周波数特性から最小の反共振周波数を抽出し、該抽出した最小の反共振周波数に基づいて冷媒配管７０の長さを算出する。 （もっと読む）

対象物（１４）の変形可能なタッチ面（１８）上で局地的に変形する接触位置を特定する本位置特定装置（１０）は、少なくとも１つの発信トランスデューサ（Ｅ１、Ｅ２）および受信トランスデューサ（Ｒ１、Ｒ２）を有し、それぞれを対象物の変形可能なタッチ面上で伝搬する機械的弾性波を発信し、捕捉するように設計する。本装置はさらに、発信トランスデューサおよび受信トランスデューサ（Ｅ１、Ｅ２、Ｒ１、Ｒ２）に接続する中央電子装置（１２）を有し、この中央電子装置（１２）を、局地的に変形する接触があることにより、タッチ面に発信される波の伝搬によって生じるタッチ面（１８）の共振振動の少なくとも１つの固有モードの周波数シフトを検出し、周波数シフトを解析することによって局地的に変形する接触位置を特定するようにプログラムする（２６、２８）。 （もっと読む）

【課題】 容器底部に取り付けた超音波トランスジューサにより液面検出する際に、容器底部の板厚による誤差を生じにくい超音波液面計を提供する。
【解決手段】 周波数を変化させながら超音波トランスジューサ２をバースト駆動して容器３０の底部を経て液面に向け超音波を発射すると、該駆動に伴ない当該超音波トランスジューサ２に発生する各周波数での検出情報には異次数の板厚固有周波数の出現に対応して極値が周期的に現れるので、これを利用すれば容器３０の底部の次数の異なる複数の板厚固有周波数を特定することができる。そして、液面検知用駆動周波数での液面反射波ＲＷの受信信号に基づいて容器３０内の液面高さを算出する際に、上記板厚ｔの値により補正することにより、容器３０板厚が変動した場合も液面高さを常に正確に特定でき、例えば、液面高さから容器３０内のガス残量を検針する際の信頼性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】下地上に形成された被膜の厚さを測定する膜厚測定方法及び測定装置において、特に袋内構造における内面被膜の厚さを該袋内構造の外側から非破壊的に測定する。
【解決手段】下地部材２０の外面または内面に形成された被膜２１，２２の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、前記下地部材の外面側から所定の周波数帯域を有する超音波を入射し、該入射した超音波の測定対象である被膜に対する共鳴する共鳴周波数ｆ_R（Ｈｚ）を求め、前記測定対象の被膜における膜内音速をＣ（ｍ／ｓ）とすると、該被膜の膜厚ｄ（ｍ）は、ｄ＝Ｃ／４ｆ_Rにより求められる。 （もっと読む）

【課題】 信号検知部に内蔵される部品数の削減による小型で電源を要しない、位置検知装置および防犯センサを提供すること。
【解決手段】 圧電材料から成る片持ち梁構造体１４の主面上の表面弾性波共振子１５および反射器１６と、裏面上の磁性薄膜１８と、表面弾性波共振子１５に接続されたアンテナ１３から成る信号検知部１０と、信号検知部１０に近接して移動可能な物体上の磁性体１２と、表面弾性波共振子１５の共振周波数と同一の周波数成分のパルス波状の送信電磁波を信号検知部１０に送信する機能と、信号検知部１０からの返信電磁波を受信する機能と、返信電磁波の位相を解析する機能とを備えた質問器１１からなり、片持ち梁構造体１４の歪みにより生ずる表面弾性波共振子１５と反射器１６間の距離の変化に応じた位相の変化を時間軸で解析することにより磁性体１２と信号検知部１０の相対的な位置情報を検知する。 （もっと読む）

【課題】中間膜の形成、洗浄、感応膜の形成、洗浄を繰り返して水晶振動子を製造する際に、洗浄処理での異常の有無を容易に検出する。
【解決手段】水晶振動子製造システム１は、水晶振動子の電極上に中間膜を形成する中間膜形成部４１、水晶振動子を洗浄する洗浄部４２，４４、並びに、中間膜上にアルコール検出用の主感応膜を形成する主感応膜形成部４３を備え、中間膜の形成、洗浄、主感応膜の形成、洗浄が順に繰り返される。中間膜形成部４１および主感応膜形成部４３では、膜の形成の開始時および終了時に水晶振動子の発振周波数が取得され、上記処理の繰り返しにおいて、一方の形成部での膜の形成の終了時における発振周波数と、他方の形成部での当該膜に積層される他の膜の形成の開始時における発振周波数とを比較することにより、当該膜の形成後、当該他の膜の形成前の洗浄処理における膜の変化が検出され、洗浄処理での異常の有無が容易に検出される。 （もっと読む）

【課題】光ドップラ方式における長さ調整用ファイバが不要で、安価な汎用部品を用いた小型のシステム構成が可能な配管の厚み測定方法および装置を提供すること。
【解決手段】予め定められた周波数帯域内を掃引して出力する電磁石発振器３００と、測定対象物の動的歪みを検出する光ファイバセンサ２００とを一体化して有するアクティブセンサを用意し、前記アクティブセンサを前記測定対象物である配管１０に取付け、前記配管の厚み方向に０〜１０ＭＨｚの間の所望周波数に指定した超音波または振動を入力し、入力した超音波または振動の反射波またはその合成波を検出し、検出した超音波または振動信号における前記配管による共振を基に前記測定対象物の厚みを測定する、配管の厚み測定方法および装置。 （もっと読む）

【課題】電磁超音波共鳴法により非接触でも、高精度かつ短時間に、ボイラの蒸気系配管等の基材に付着したスケールの厚さ変化、剥離、浮き上り状態等のスケールの付着状態を検出する方法を提案する。
【解決手段】 スケールが付着した対象物１に、電磁超音波探触子２により超音波１３を送信するとともに受信し、送信する周波数を掃引することにより超音波共鳴を発生させて共鳴スペクトルを得、共鳴次数の異なる共鳴ピークとして、それぞれ異なる共鳴次数において対応関係にある複数の個別共鳴ピークに分割された共鳴ピーク群の繰り返しからなる共鳴スペクトルが得られた場合に、不均質付着部と判定する。 （もっと読む）

【課題】埋設された棒部材に受振子を取り付けハンマーなどの打撃による長さ方向の弾性波（疎密波）を測定し分析することで、ガードレール支柱のような棒部材の根入れ深さもしくは物理的状態を測定可能とする。
【解決手段】埋設された棒部材の側面に取り付け具４０a,４０b,４０cを用いて受振子１個もしくは複数個を取り付け、棒部材の先端（ガードレール支柱の場合ではキャップ）の中心部をハンマーなどでただき弾性波を発生させる。受振子で検出された縦波（疎密波）に対応する電気信号をＡＤ変換、共振周波数測定、波形分析して、棒部材の長さもしくは物理的状態を測定する。
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【課題】埋設コンクリート基礎の形状寸法測定に利用する振動モードと埋設コンクリート基礎に発生するその他の振動モードとの区別を明瞭にしてノイズを低減し、測定精度を向上させる。
【解決手段】コンクリート基礎２の軸周りに捩れ振動が起きるように加振して捩れ振動の加速度を検出し、その加速度検出値の複数の共振振動数ｆを抽出し、その抽出した複数の共振振動数ｆと、捩れ振動の共振振動数ｆとコンクリート基礎２の各部の寸法との関係を表した共振条件式に基づいて、コンクリート基礎２の寸法を求める。 （もっと読む）

【課題】安価に短時間で材料の厚さおよび応力測定のできる電磁超音波測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象板の表面で超音波を発生させる。このとき、横波、または、縦波の音速を仮定する（Ｓ１１）。受信した共鳴スペクトルの波形を算出し（Ｓ１２）、まず、板厚を算出する（Ｓ１３）。次に、板厚に基づいて音速を算出する（Ｓ１４）。算出した音速に基づいて、音響複屈折Ｂまたは音速比Ｒを求める。求めた音響複屈折Ｂ、または、音速比Ｒから応力を算出する（Ｓ１５）。その後、求めた板厚および応力を表示部に表示する（Ｓ１６）。 （もっと読む）

【課題】迅速に且つ精度よく有害なひび割れを検知する。
【解決手段】コンクリートＷの表面のひび割れＣ１、Ｃ２を挟んだ一方側で発振手段１により振動波を発振し、他方側でコンクリートＷ内部を伝播してくる前記振動波を受振して、コンクリート表面の有害な深さのひび割れを測定する。ひび割れの有害な深さの基準をｄ（コンクリートのかぶり厚さに等しい値）、前記振動波のコンクリート表面における伝達速度をＶとするとき、ひび割れを挟んだ一方側で次の周波数ｆの振動波を発振する。
ｆ≒Ｖ／４ｄ
そして、ひび割れを挟んだ他方側で受振した振動波の振幅の減衰の度合を測定することで、ひび割れが基準ｄ以上の深さのものか基準ｄ以下のものかを評価する。 （もっと読む）

【課題】プラント運転中にも材料厚さの測定・モニタリングが可能であると同時に、効率的にかつ高精度に材料厚さを測定可能とする。
【解決手段】材料１０表面に貼着された光ファイバセンサ３と、この光ファイバセンサ３中に光を供給するための光源２と、上記光ファイバセンサ３の近傍に配置され上記材料中に超音波を入射させる超音波発振装置４と、上記超音波の反射波を検出することによって波長が変化した光であって光ファイバセンサ３を透過した光と供給した際の光の波長とのシフト量を電気信号に変換するための光電変換装置５と、増幅器６と、その増幅された電気信号から材料厚さを算出するための演算装置７と、予め求められた波長のシフト量と入射された超音波の周波数との関係および各種材料内における超音波速度のデータが格納されたデータベース７ａと、材料厚さの算出結果を出力する出力装置８と、上記全ての機器を制御する制御用計算機９とを備える。 （もっと読む）