【課題】 ３次元計測による検査を簡易に行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】 ３次元計測システム１は、計測対象物の３次元データを計測する計測ユニット１０と、ＣＡＤデータに含まれるアノテーション情報に基づいて、計測対象物のプリミティブを特定する特定部３４と、計測対象物について取得された３次元データのうち、特定されたプリミティブに対応するデータを用いて、計測対象物の寸法を検査する検査部３７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 半導体集積回路のパターン密度に起因する寸法変動を検査可能なパターン抽出システムを提供する。
【解決手段】 リソグラフィ許容度を基に、回路パターンから複数の検査候補パターンを抽出する抽出部301と、複数の検査候補パターンのそれぞれを、隣接するパターンとのスペース距離を基に複数のスペース距離群に分類するスペース分類部303と、複数の検査候補パターンのそれぞれを、周辺のパターン密度を基に複数のパターン密度群に分類する密度分類部305と、複数のスペース距離群及び複数のパターン密度群のそれぞれに分類された複数の検査候補パターンのサンプル数を示すテーブルを作成するテーブル作成部306とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定力や加速度の二軸以上の方向成分を直接、かつ、個別に検出可能であり、さらに、従来のものより簡素化、かつ、小型化を達成できるセンサを提供すること。
【解決手段】辺構成要素３１…によって四角形に形成された構造体２Ａの一方の角部を移動部材６に固定し、他方の角部にスタイラス５を装着する。一対の辺構成要素３１，３２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対してＺ軸方向へ平行変位可能とする平行リンク機構３１Ｚ，３２Ｚを形成する。他対の辺構成要素４１，４２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対して、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に平行変位可能とする平行リンク機構４１Ｘ，４２Ｘ、および、４１Ｙ，４２Ｙを形成する。各平行リンク機構は辺構成要素に薄肉状に形成された少なくとも２箇所の弾性ヒンジ部３５Ｚと、２つの弾性ヒンジ部３５Ｚの間に形成された２本のリンク片３６Ｚとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法で部材の応力集中部に生じた塑性域を推定することができる塑性域推定方法を提供する。
【解決手段】 繰り返し荷重が加えられる測定対象物の、塑性変形によって生じる塑性域寸法を測定する塑性域寸法測定方法において、繰り返し荷重が加えられた上記測定対象物の温度変動を赤外線センサによって検出し、発熱と吸熱が繰り返される温度変動の平均温度θ_mを求め、この平均温度θ_mと上記測定対象物の初期温度θ₀との差（θ_m−θ₀）の最大値を最大温度上昇量ｔ_maxとして求め、上記温度変動に影響を与える上記測定対象物固有の強度・伝熱パラメータを既知数ｐとするとき、上記塑性域寸法ｓを下記式
塑性域寸法ｓ^1.7＝α₁・Ｃ・ｔ_max／ｐ
ただし、Ｃは塑性域寸法推定値のバラツキの中心を規定する定数、α₁は塑性域寸法の許容誤差を考慮した補正係数
により求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 記録材の厚さを検出する装置を用いて、記録材の先端、後端、重送、重送発生時における画像形成対象の記録材位置を検出する。
【解決手段】 記録材を給紙する給紙手段と、給紙された記録材を搬送する搬送手段と、搬送された記録材の厚さを検出する検出手段と、前記記録材厚さ検出手段により検出した記録材の厚さに基づき画像形成条件を設定する設定手段と、副走査基準信号を生成する手段によって構成される。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーション用具の抜き差し等の作業を必要とせず、かつレンズの画像を遮ることがなくキャリブレーションを行うこと。
【解決手段】レンズ１０の外周縁に押し付けてレンズ１０を保持する各押え用ピン７、８、９を設け、これら押え用ピン７、８、９の各頂部に例えば十字ライン等の目盛を表示する各目盛表示部１７、１８、１９を設けた。 （もっと読む）

ゲージ測定システム内で回転台又はプラットフォーム（１０）に取付けた対象物（１２）の回転軸線（ＡＲ）を求めるための方法を提供する。本方法は、異なるポーズで取得した対象物（１２）の複数のビュー又は測定値間の変換（δ）を推定することによって対象物（１２）の回転軸線（ＡＲ）を求める。まず、回転軸線の周りで増分的に回転させた対象物（１２）の複数のポーズの各々について、該ポーズを表す測定値セットを取得し、測定値セットの連続する対から、前記複数のポーズの各々間での増分回転に対する剛体変換（δ）を推定し、推定剛体変換を推定回転値と推定並進値とに分解し、回転値及び並進値から回転軸線を推定する。
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【課題】走行体の変位量を正確に検出できる走行装置を提供する。
【解決手段】略平行に配設されたガイドレール３１０、３２０と、ガイドレール３１０、３２０に摺動可能に設けられたスライダ部７１１、７１２および２つのスライダ部７１１、７１２を連結する連結部７２０を有する走行体７００と、推進力を付与する推進力付与手段５００と、ガイドレール３１０、３２０間で配設されたスケール６１０およびスケール６１０に対する変位量を検出する検出ヘッド６２０を有する変位検出手段６００と、を備える。連結部７２０は、スライダ部７１１、７１２を架橋する主ビーム７２１と、両端が主ビーム７２１においてスライダ部７１１、７１２に近接する位置に固定された補助ビーム７２２と、を備える。推進力付与手段５００は主ビーム７２１に推進力を付与し、検出ヘッド６２０は補助ビーム７２２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 レーザ加工装置において加工ヘッドを被加工面へアプローチする際、アプローチ動作中の状況に応じた迅速で最適な制御を可能にすると共に、制御系の遅れによるオーバーシュートを抑制し、短時間で信頼性よく目標位置に収束させる。
【解決手段】 被加工面位置６ａを検出すると共に、加工ヘッドの位置制御に用いるその時点の位置指令４ａをフィードバックして、アプローチ終了までの上記加工ヘッドに対する残り位置指令分に対応する距離８ａを演算し、この残指令距離８ａに対応する速度指令１３ａを予め設定された最大加速度および最大速度とに基づいて演算し、該速度指令１３ａを位置指令４ａに変換して、加工ヘッドの移動を位置制御する。 （もっと読む）

【課題】 背面側に縦型定盤を設置した測定装置において、被測定基板の両面の平坦度を測定できる基板の平坦度測定装置を提供する。
【解決手段】 基準平面３ｂの面方向がほぼ垂直状態になるように配置された縦型定盤３と、被測定基板Ｗを保持する保持機構３０と、前記縦型定盤３の基準平面３ｂと前記保持機構３０によって保持された被測定基板Ｗの間に配置され前記縦型定盤３の基準平面３ｂとの距離及び前記被測定基板Ｗの板面との距離をそれぞれ測定する一つの移動ブロック２１上に搭載された非接触型距離測定センサと、前記保持機構３０によって保持された被測定基板Ｗの前面に配置され、前記縦型定盤３の基準平面３ｂ及び、前記被測定基板Ｗとの距離を測定する一つの移動ブロック３１上に搭載された非接触型距離測定センサと、前記各非接触型距離測定センサによる測定結果に基づいて、被測定基板Ｗの表裏の各平坦度を演算する演算手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 研削される工具を測定のつど着脱することなく、工具の所要寸法を測定できるスコープ装置、工具の研削装置、工具の製造方法及び工具の検査方法を提供する。
【解決手段】 工作機械４のテーブル６に着脱自在とされており、テーブル６に着脱可能とされたベース２１と、工具１の被測定部に対向して位置するようにベース２１に取り付けられたスコープ本体２５とを備えてなり、被測定部の中心を通り、スコープ本体２５側へ延びるように測定基準線Ｙを設定したときに、スコープ本体２５が、測定基準線Ｙの方向に移動自在であって、このＹを含む平面上において、Ｙに直交する方向Ｘに移動自在であって、且つ、このＹを通り、前記平面に直交する方向Ｚに移動自在に支持されると共に、スコープ本体２５の方向Ｘへの移動量を計測する計測手段２３を備えた。 （もっと読む）

【課題】構造物のき裂解析において、複数き裂の発生と合体の繰返しによる進展を対象とする解析が可能で、短時間で進展解析結果を提供することのできる複数き裂の進展解析方法および装置を提供する。
【解決手段】複数のき裂状欠陥を有する構造物を構成する材料のき裂進展特性データが入力されるデータ入力部と、き裂進展を計算する複数き裂進展計算部とを備えた複数き裂進展解析装置であって、前記複数き裂進展計算部が、前記データ入力部に入力された応力と部材寸法とき裂寸法とから個々のき裂の応力拡大係数を計算する応力拡大係数計算部と、計算された前記応力拡大係数と前記き裂進展特性データからき裂進展量を計算するき裂進展量計算部と、き裂間の距離が予め設定された基準値以下となるものを総ての隣り合うき裂同士について確認する合体判定部と、前記合体判定部によりき裂同士のき裂同士の距離が基準値以下と判定した場合にこのき裂同士を一つのき裂に置き換えるき裂置換部とを備えたことを特徴とする複数き裂の進展解析装置。 （もっと読む）

ねじ製品を測定し、予め規定された仕様と製品との整合性を判断する方法およびシステムが提供されている。測定システムは、電気的にコンピュータベースの構成要素に結合された測定装置を含む。測定装置はねじ製品の幅の情報を検出し、検出された幅の情報に関して回転の情報と長さの情報とを検出する。コンピュータベースの構成要素は検出された情報を受信し、検出された情報と予め規定された製品の品質仕様情報とを比較し、その比較に基づいて製品が仕様情報の不確定要素の範囲内にあるかどうかを測定する。
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【課題】 矯正分野における模型分析の各部の計測をパソコン入力用インターフェースを有するデジタルノギスを用いて測定し、測定データをパソコンへ直接送ることにより測定値入力の時間を大幅に短縮することができる。また、ヒューマンエラーにより誤った測定値を入力する測定値の入力ミスがなくなる。このようなことを特徴とするデータ自動入力装置を提供する。
【解決手段】 矯正分野における模型分析における各部の計測をパソコン入力用インターフェースを有するデジタルノギスを用いて測定し、測定データを直接パソコンへ送りパソコンにある模型分析用ソフトへ直接入力する。 （もっと読む）

組立環境に関して組立部品の取り付けおよび位置合わせを評価する自動化方法を提供する。この方法は、前記組立部品に関する測定データを集める工程と、組立環境を示すモデルデータを定義する工程と、前記測定データを前記組立環境に関するモデルデータと比較することにより、その組立環境に関して前記組立部品を評価する工程と、を含む。前記組立環境は、組立配置において前記組立部品に隣り合う物体の表面により定義される。
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【課題】 経験や熟練を要することなく、間口の寸法および柱の傾きや鴨居の傾斜・撓みなどの形状を測定する装置を提供すること。
【解決手段】 立設した柱21を有する架台２と、この架台２の柱21に取り付けられる寸法測定装置本体１とを具備し、この寸法測定装置本体１は、柱21に取り付けられる基台26と、この基台26に水平方向に植設された固定軸27に回動自在に設けられた回転台３と、この回転台３上に載置され、基台26に対する回転台３の回動角度を検出するロータリ・エンコーダ32と、回転台３に載置され、基台26から間口の測定点まで長さを検出するワイヤーまたはテープ38およびインクリメンタル形のリニア・エンコーダ33と、検出した角度データおよび長さデータを対応させて極座標で格納する記憶手段とを具備するものである。 （もっと読む）

【課題】 マスクパターンの寸法を精度良く測定する。
【解決手段】 測定対象パターン１１の先端部近傍に、寸法測定用の補助パターン１２を形成する。この補助パターン１２を基準にして測定対象パターン１１のパターンエッジの位置を測定し、設計値からの変動量を測定することによって測定対象パターン１１の寸法を求める。補助パターン１２は、測定対象パターン１１が転写されてウェーハ上に回路パターンが形成されたときに、その回路パターンの本来有すべき機能を維持させるような形状と寸法で形成されるとともに、その回路パターンの本来有すべき機能を維持させるような位置に形成される。 （もっと読む）

【課題】大きさや加工精度の制約が小さい上に、製造が容易で、マニュアル工作機械等の比較的厳しい温度環境での使用にも対応でき、平行板ばね機構に比べ小型化、低価格化が可能な弾性固定具を提供する。
【解決手段】長さ測定装置１０を、線膨張係数が異なる被測定物Ｍに取付けるために用いる、該測定装置の長手方向に弾性変形可能な弾性固定具を、一端が長さ測定装置に固定され、他端が被測定物に固定される、板金製曲りはり４２、４４を含む構成とした。 （もっと読む）

【課題】ユニットの組立前に、ユニットの組立不良率を精度良く求めることができ、ま
た、時間のロスについても少なくすることのできる組立品の品質評価方法を提供すること
。
【解決手段】複数の部品を組み立てて製造されるユニットの品質を評価するための組立
品の品質評価方法において、部品の寸法規格を示した情報と、ユニットの品質良否の判定
に利用するユニットの設計仕様を示した情報と、部品を実際に測定することによって得ら
れる、部品の寸法のばらつきに関する情報とに基づいて、ユニットの組立不良率を求める
ステップを設ける。
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形状記憶合金ワイヤまたは類似物を連続的に品質制御する方法であって、ａ）ワイヤを装置内に供給し、該ワイヤの材料に特有の各遷移温度を含む範囲をカバーする温度遍歴を該装置内で該ワイヤにさせる工程、ｂ）種々の既知温度に対応する該装置の各所定箇所で、該ワイヤの伸びを直接または間接にインラインで測定する工程、ｃ）温度と伸びのデータを用いて、箇所毎に、温度−伸び線図における上記材料のヒステレシス曲線を求める工程を含む方法。望ましくは、ワイヤを既知の速度と一定の張力で供給し、上記伸びの測定を、ワイヤの速度の想定によって行なう。上記方法を行なう装置であって、ワイヤ（Ｆ）の張力および供給速度を調節するのに適した供給ユニット（Ｂ、Ｂ'、Ｖ、Ｖ'）、ワイヤ（Ｆ）はアイドルプーリー（Ｍ）を含む一連の恒温槽（Ｔ）を通り、該プーリ（Ｍ）に滑らずに巻き付き、該プーリ（Ｍ）の回転速度を例えば高分解能エンコーダで測定することができる。
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