【課題】本発明の目的は、表面粗さ測定が適正に行える形状測定機を提供することにある。
【解決手段】ワーク２２の評価対象面の断面形状情報を含む測定データを出力する粗さセンサー１４と、該ワーク２２上の該粗さセンサー１４位置を該評価対象面に沿って相対移動させ、その相対移動量を移動分解能Δθピッチでインデックス移動量情報として出力する相対移動機構１２と、該粗さセンサー１４からの測定データを、該相対移動機構１２が移動分解能Δθ移動するのに要する時間よりも短い一定時間間隔ｔ_ｓでサンプリングするタイマーサンプリング手段１６と、該相対移動機構１２からのインデックス移動量情報に基づき該タイマーサンプリング手段１６からの一定時間間隔ｔ_ｓの測定データを間隔定ピッチの測定データとし、該間隔定ピッチの測定データに基づきワーク２２の表面粗さを評価するデータ処理機構１８と、を備えたことを特徴とする形状測定機１０。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価装置を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価装置１１は、圧電体薄膜３１の測定面に接触させる試料固定治具２０の上方に備えられたプローブ１３と、プローブ１３にレーザー光３４を照射する光源１６と、プローブ１３のたわみによって変位した反射光レーザー３５を受光する位置検出素子１７と、位置検出素子１７によって受光した反射光レーザー３５のずれ量から変位量を算出する位置検出信号処理回路１８と、圧電体薄膜３１を固定する試料固定治具２０とを有する。圧電体薄膜３１は、試料固定治具２０によって、電界方向に対して交差する方向の測定面とプローブ１３（探針３３）とが直接接触することができる上面になるように固定される。 （もっと読む）

【課題】 電界集中によりプラズマから受けるダメージを減少させて探針基体の先端部にカーボンナノチューブをプラズマＣＶＤ法によって成長させることができるプローブ顕微鏡用探針の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 先端部１０ａを露出させてタングステン探針１０を保持するホルダー２６を容器２１内に配し、該容器２１内に導入した炭素系ガスをプラズマ化し、該プラズマ化した炭素系ガスに先端部１０ａを曝すことにより、当該先端部１０ａにカーボンナノチューブ３１を成長させる。タングステン探針１０の先端部１０ａには触媒金属が蒸着されている。 （もっと読む）

【課題】可動型ポジショナーのための位置決めシステムとして、機械的に複雑でなくてもポジショナーに高い位置決め精度を可能とし、フレキシブルにさまざまな用途に適するようなものを得ること。
【解決手段】
ポジショナーを位置決めする位置決めシステムが、ポジショナー（１０）を駆動するモーター（１８）と、測定装置とを備え、この測定装置は、モーター（１８）を制御するためポジショナーの調整トラベルを直接測定する。このため牽引ワイヤ（３２）がポジショナーと結合され、ドラム（３６）に巻き取られる。ポジショナーの調整トラベルを測定するため、シャフトエンコーダー（４２）を用いて、ドラム（３６）の回転を測定する。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物１と接触する接触子１を先端に有するプローブシャフト４と、プローブシャフト４を移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体２１と、前記プローブシャフト４を被測定物１に向けて付勢移動させる付勢装置と、該付勢装置がプローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するように前記プローブ本体２１に組み込まれた圧電センサ８ａと、該圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部８ｂと、該荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部９と、該制御部９により調整された付勢力で被測定物１に接触している接触子２の位置を測定する変位量計測装置と備える。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価方法を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価方法は、まず、圧電体薄膜３１を含む試料１２を試料固定治具２０に固定する。試料１２には、圧電体薄膜３１に電圧を印加するために圧電体薄膜３１を挟むように、第１電極４２と第２電極４３とが形成されている。次に、探針３３を圧電体薄膜３１の電界方向に対して交差する方向にある測定面に直接接触させる。そのあと、圧電体薄膜３１に電圧を印加しながら、探針３３を測定領域に直接走査させることにより、圧電体薄膜３１の圧電特性（第１変位量）を測定する。 （もっと読む）

【課題】回転角検出機構が破損しにくい構造の回転角検出センサを提供することである。
【解決手段】一端が開放された筒状のハウジング１に、その蓋部１ａを貫通する回転軸２の一端の大径部２ａを収納し、ハウジング１の一端を塞ぐ蓋部材４の内面と回転軸大径部２ａの端面との間に回転角検出機構５を設けるとともに、ハウジング蓋部１ａの内面に回転軸２と同心に円弧状の溝１ｂを設け、回転軸大径部２ａの段差面２ｂにハウジング蓋部１ａの溝１ｂ内を移動するストッパピン１２を取り付けることにより、ストッパピン１２が折損しても回転角検出機構５の破損にはつながらないようにしたのである。 （もっと読む）

【課題】測定対象の移動距離、或いは測定対象が小さい場合でも測定を可能とする。
【解決手段】測定基準物１及び測定基準物１に沿って一定の測定間隔ｄ１で直線移動及び停止可能なステージ３と、測定基準物１及びステージ３の表面形状及び運動軌跡間の相対変位を検出する変位センサ７とを備え、ステージ３上の２点につき測定間隔ｄ１毎に相対変位を測定した結果に基づき測定基準物１及びステージ３の形状誤差、運動誤差を求める真直度測定装置において、相対変位の測定間隔ｄ１毎の測定を、ステージ３の２点についてステージ３の移動を繰り返し変位センサ７を各別に配置して行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】様々な厚みの測定試料の表面形状を測定する場合でも、事前の校正作業工数の増大を伴うことなく、高い測定精度を確保して測定できること。
【解決手段】変位計２で測定位置を２次元方向に走査させつつ得られる計測値から測定ウェハ４の表面形状を測定する場合に、測定ウェハ４と厚みが異なるが材料及び平面視した形状が同じ基準ウェハの厚み、及びそれが支持部１で支持された場合の自重による撓み量、並びに走査手段３の走査ぶれ量を予め記憶し、対向配置した変位計２ａ，２ｂによる測定ウェハ４の厚み計測、変位計２による測定ウェハ４の表面変位計測を行い、計算機７により、予め記憶された基準ウェハの厚み及び自重撓み量と測定ウェハの厚み計測値とにより、測定ウェハ４の自重撓み量を算出し、走査ぶれ量と測定ウェハ４の自重撓み量及び表面変位計測値とにより測定ウェハ４の表面形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながらも、３６０°を超える範囲の回転角の検出にも適用可能な回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングシャフトＳにウォームホイール１０を外嵌しておき、このウォームホイール１０、ウォームギア１１および案内ねじ軸１２により、ステアリングシャフトＳの回転に応じてウォームギア１１を直動させる送りねじ機構を構成した。そして、ウォームギア１１をその軸心方向から挟み込む態様で２つのカンチレバー１３，１４を設けた。また、これらカンチレバー１３，１４に歪みゲージ素子１６，１７をそれぞれ貼着した。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭを用いることで表面が金薄膜１０４で覆われた尖鋭部１０３と被測定試料
２０１との間の距離をトンネル電流が流れる距離にまで近接させることが出来るようにな
り、印加電圧−トンネル電流の関係の面内分布が測れるようになった。しかし、尖鋭部１
０３からの電界により被測定試料２０１中のバンド構造が歪められ、精密に測定を行うこ
とが困難であった。そこで、被測定試料２０１中のバンド構造をより精密に測定するため
の探針を提供する。
【解決手段】尖鋭部１０３を覆うように形成された金薄膜１０４を、さらに酸化シリコン
等からなるトンネル絶縁膜１０５で覆う。ＡＦＭの接触モードで尖鋭部１０３と被測定試
料２０１との距離が極めて近くなった場合でも、尖鋭部１０３を覆う金薄膜１０４と被測
定試料２０１との間にはトンネル絶縁膜１０５分の絶縁物が介在するため、被測定試料２
０１のバンド構造を乱さずに測定することができる。 （もっと読む）

【課題】小型で測定精度の高い回転角度測定装置を提供する。
【解決手段】回転盤１に第一、第二案内溝２，３を形成して第一、第二移動体４，５を各案内溝に案内させて移動させる。第一、第二移動体４，５の回転角度を検出して両移動体の回転角度から回転盤１の絶対回転角度を演算部８で演算する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、精度良く周長を測定可能な周長測定装置及び周長測定方法を提供する。
【解決手段】一対の円柱状ロール１４Ａ及び円柱状ロール１４Ｂに張架された無端ベルト１２の種別を示す種別情報に対応する熱線膨張係数及び吸湿線膨張係数と、環境温度と、環境湿度と、に基づいて、予め定められた基準温度及び基準湿度下において測定された周長となるように、周長測定結果を補正するので、簡易な構成で、温度変動や湿度変動に依存せず、精度良く無端ベルトの周長を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】搬送コンベアの不具合箇所を早期に発見し、故障予兆診断を可能とする搬送コンベアの保守検査装置および保守検査方法を提供する。
【解決手段】搬送レール９１に沿ってワークを搬送する搬送コンベアの保守検査装置であって、搬送コンベアに取り付けられ、搬送レール９１の断面形状の所定部位の形状変化を検出する形状変化検出手段２と、搬送レール９１の搬送方向における形状変化検出手段２の位置を検出する位置検出手段３と、位置検出手段３のデータに基づいて、搬送コンベアの軌道形状を求めるとともに、形状変化検出手段２および位置検出手段３で検出されたデータに基づいて、搬送コンベアの軌道における形状変化の分布を求める演算装置と、を備えたことを特徴とする搬送コンベアの保守検査装置。 （もっと読む）

【課題】装置構成の小型化・簡素化を可能としつつ、高い信頼性を有する荷重から変形量を算出するための変換行列を生成可能な荷重変位算出装置を提供する。
【解決手段】荷重変位算出装置１に、対象物を第一の姿勢、第二の姿勢、第三の姿勢で支持する支持手段１６・２０と、対象物を互いに直交する三つの軸の軸線方向および該三つの軸のいずれか一つの軸の周方向に変形させる変形手段１３・１４・１７・２２と、対象物の互いに直交する三つの軸の軸線方向の変形量および該三つの軸のいずれか一つの軸の周方向の変形量を検出する変形量検出手段２３・２４・２５・２６と、対象物の互いに直交する三つの軸の軸線方向の荷重および周方向の荷重を検出する荷重検出手段１９と、対象物の変形量に係る情報および荷重に係る情報に基づいて対象物の荷重から変形量を算出するための変換行列を生成する変換行列生成手段４ａと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】測定圧が低く、広い測定角度のタッチプローブの接触検出方法及び装置を提供。
【解決手段】一定の励起周波数（ｆ）で正弦波振動させられた触針部５ａと、触針部の振動波形を測定出力するセンサユニット７を有するタッチプローブの接触検出方法であって、センサユニットによって出力された振動波形を周波数分布に変換し、励起周波数の整数（ｎ）倍の所定の高調波（ｎ×ｆ）の値があらかじめ定められた閾値以上となった時に、タッチプローブが被測定対象物に接触したと判定する。また、所定の高調波は励起周波数（ｆ）の二倍の高調波（２×ｆ）である。さらには、励起周波数（ｆ）は触針部の固有振動数とは異なるようにする。 （もっと読む）

【課題】 多関節型測定アームに測定誤差要因となるストレスがかからない測
定姿勢を維持させる。
【解決手段】 測定アームの各関節の角度に基づき、１）測定アームの第１リ
ンクと第２リンクがなす角度が所定値を超えて１８０°に近づいた、２）手首関
節からアーム支点への距離が所定値を超えて遠くなった、３）バランサーにより
発生される力に基づいて定められる所定範囲を超えて第２リンクが曲げられた、
のいずれかの条件が成立した場合、ユーザへの警告を行ない、専用プロセッサか
らの空間座標値の出力を中止する。
（もっと読む）

【課題】簡易な構成で、精度良く膜厚測定可能な厚み測定装置または厚み測定方法を提供する。
【解決手段】基準部材１６の上に載置された測定対象部材１８上に載置されるように挿入された厚みの異なる複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の測定結果に基づいた該距離の差分と、該厚み測定装置１０において予め特定環境条件下において測定された複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の差分と、の比較結果に基づいて、膜厚センサ１２によって測定した膜厚測定結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】液中観察を行うにあたり、誰でも簡便、確実且つ短時間に試料を固定すること。
【解決手段】試料Ｓを溶液Ｗ内に浸した状態で固定するものであって、試料を載置する載置面１０ａを有する底板１０と、載置された試料の周囲を囲むように底板上に設けられ、囲んだ内側に溶液を貯留可能な壁部１１とを有する下部マウント２と、壁部の上面に接する上板２０と、該上板の外縁から略９０度折曲されるように形成され、壁部の外周面に接するフランジ部２１とを有し、下部マウントに対して上方から嵌合可能な上部マウント３と、該上部マウントが嵌合したときに、試料の外縁に接触して該試料を上方から載置面に押し付ける押さえ部材４とを備え、壁部の外周面及びフランジ部の内周面には、下部マウントに対して上部マウントを捩じ込みながら嵌合させる嵌合手段５が設けられている液中セル１を提供する。 （もっと読む）

【課題】塗膜の膜厚やその乾燥／湿潤状態に関わらず、塗膜の厚さを簡便にかつ高精度に計測する。
【解決手段】非接触式膜厚計１０において、本体１１の底面１３に渦流変位計のための中空管状のプローブ１２を取り付ける。プローブ１２の先端にコイル１４を設ける。底面１３において、中空管状のプローブ１２の内側にレーザ変位計のレーザ照射部１５とレーザ受光部１６とを設ける。コイル１４により交流磁界を生成し、金属板Ｓに渦電流を誘導する。誘導された渦電流によるコイル１４のインダクタンス変化を検出し、プローブ１２と金属板Ｓまでの距離Ｌ２を算出する。一方、レーザ照射部１５からレーザ光線を照射し、塗膜Ｆの表面で反射されたレーザ光線をレーザ受光部１６において検出する。三角測距の原理に基づいて、レーザ変位計と塗膜表面との間の距離Ｌ１を算出する。距離Ｌ１、Ｌ２に基づいて塗膜Ｆの厚さδを算出する。 （もっと読む）