【課題】
探針走査機構の各駆動軸の真直誤差を低減して探針位置決め精度を向上させることによって、走査型プローブ顕微鏡の計測精度を向上させる。
【解決手段】
探針を試料表面に近接または接触させて前記試料表面を走査することにより前記試料表面の形状を計測する走査型プローブ顕微鏡において、試料を載置して少なくとも１軸方向に移動可能な試料ステージと、該試料ステージに載置された試料の表面に近接または接触させて前記試料表面を走査する探針と、該探針を３次元方向に駆動する探針駆動手段と、前記探針のたわみを検出するたわみ検出手段と、対物レンズを有して該対物レンズのほぼ光軸上に配置された前記探針及び前記試料を観察する観察手段とを備え、前記探針駆動部を、前記対物レンズの光軸に対して対称に配置された対を成す駆動源を３組備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定面と測定機の測定方向との平行出しを、効率よく行うことのできる平行出し装置、および、平行出し方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に並列した移動案内体と、移動案内体に沿って移動するスライダとを備える。スライダの移動位置におけるスライダ移動位置、および、測定物の測定面位置を、スライダに備えられた光電式リニアスケール５、および、センサ６によって検出し、これらを基に、ＣＰＵ７１は、スライダの移動方向を基準とする測定面の傾き直線を演算し、傾き直線から揺動支点の調整基準値を設定し、調整基準値をメモリ７２に記憶させ、記憶させた調整基準値、および、センサ６によって検出される測定面位置の差を調整量として算出する。調整量はモニタ８に表示され、作業者は、表示された調整量に従って移動案内体の姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】不検出区間を縮めることによって、ピストンの位置を精度よく検出して、検出結果に基づきエンジンの燃焼装置に最適の混合気噴射タイミングと点火タイミング情報を提供する。
【解決手段】フライホイール１０が回転中に、検出センサがフライホイール１０の内側面上に形成されたインデックス２０ａを検出することによってエンジン回転数及びピストンの位置を正確に測定することができる。このようなインデックス２０ａはフライホイール１０と中心を同じくする円周上に実質的に均一に形成されると同時に、所定の間隔に区分させることによってエンジン回転数の測定と同時にピストンが上死点に到達する位置を正確に予測できるようになる。これにより、別の回転板なしにフライホイール１０上にエンジンの燃焼装置制御システムを実現することができ、エンジンのＥＣＵがさらに正確に混合気の噴射タイミングと点火タイミングを制御できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 近接工事による構造物の変位を測定する装置において、基準線の揺れによる影響を無視できるようにした安価な構造物の変位測定装置を提供する。
【解決手段】 構造物７が工事の影響を受ける範囲を挟んだ外側に設定された固定点の間に張架する線材２と、工事の影響を受ける範囲内の変位測定点に対応する線材に取り付けた測定対象体３と、測定対象体３と構造物７の位置の変化を測定する構造物７に固定した変位計測センサ４ａ、４ｂと、前記測定対象体３の揺れを減衰させる減衰装置５とを備えた。
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【課題】被検面の形状誤差に関わらず、常に高精度に偏心量を測定できる偏心測定方法等を提供できる。
【解決手段】レンズ枠１００ｃが備える３つの球１００ｄ等の位置を測定する第１の基準物位置測定工程と、レンズ１００の所定面の形状を測定する光学素子形状測定工程と、レンズ枠１００ｃに関する測定座標系の位置を計算する測定座標系計算工程と、光学素子形状測定工程の測定結果を測定座標系に座標変換する座標変換計算工程と、固定枠１４０（取り付け部１６０）によりレンズ枠１００ｃを支持する支持工程と、支持されているレンズ枠１００ｃの球１００ｄの位置を測定する第２の基準物位置測定工程と、レンズ枠１００ｃの基準軸１６０ａに対する偏心量を算出する第１枠体偏心量計算工程と、基準軸１６０ａに対するレンズ１００の偏心量を計算する光学素子偏心量計算工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 安価な構成で且つ直前の測定方向に左右されず、ヒステリシスの影響を一定にして高精度な測定を可能にする。
【解決手段】 被測定物にプローブが接触したときのプローブの三次元位置の情報から測定要素のパラメータを算出する三次元測定システムにおいて、プローブを被測定物の測定点に同じ方向から２回連続して接触させ、このうちプローブが後で接触したときの三次元位置の情報のみを取り込んで測定要素のパラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】リップ・ロール間の隙間を高精度に測定し、高精度な塗工フィルムの作製のために、リップ・ロール間の隙間を高精度に設定すること。
【解決手段】
塗工用スロットダイ２０の両側端部にスロットダイ先端のリップ前面２１Ａと同一面をなす平坦なブロック前面２８Ａ、２９Ａを有する測定器取付ブロック２８、２９を取り付け、この測定器取付ブロック２８、２９に変位測定器２８、２９を取り付け、ブロック前面２８Ａ、２９Ａにブロックゲージ５０の表面５０Ａを押し当て、ブロックゲージ表面５０Ａを変位測定器２８、２、によって測定してキャリブレーションを行い、キャリブレーション完了後にブロックゲージ５０を取り除き、塗工へッドを塗工ロール側に前進移動させ、変位測定器２８、２９の計測値によってスロットダイ２０のリップ２１と塗工ロール外周面１１Ａとの隙間を測定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被被測定部材の厚さ、うねり、及びナノトポグラフィを測定する表面形状測定装置に関し、ガイドバーのガイド面に案内されて移動するスライダの横振れを小さくして、１つの装置で被測定部材の厚さ、うねり、ナノトポグラフィを精度良く測定することを課題とする。
【解決手段】 ワーク保持器９０が配設されたスライダ６１を複数の流体静圧パッド６２，６３によりガイドバー５１に対して移動可能に支持し、ワイヤ１１８を介して駆動モータ１０４の動力をスライダ６１に伝達させて、スライダ６１をＸ，Ｘ方向に移動させてワーク２９の面２９Ａ，２９Ｂの表面形状の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】小型で適用範囲の広い車両用角度センサを提供する。
【解決手段】パネル２４上で回転させるために搭載してあるレバーを有し、このレバーは、回転軸Ａ１の周りで周辺に広がる読み取りトラックと協働する少なくとも１つの読み取りカーソル３４，３６を備える。前記カーソル３４，３６は、参照角度位置Ｐｒに対して、前記レバー２２の瞬間角度位置Ｐｉを、トラック３０，３２上で読むことができる。出力信号を生じるように、前記２つのカーソル３４，３６をレバー２２を設け、かつ２つの連動する出力信号を生じさせるとともに、カーソル３４，３６の２つの独特な角度位置Ｐｉは、それらに連動する読み取りトラック３０，３２に対する、レバー２２の角度位置Ｐｉに対応している。 （もっと読む）

【課題】 ころの形状にばらつきがある場合でも、適切に評価基準を決定して、信頼性の高い形状評価を行うことができるころ形状評価方法を提供することにある。
【解決手段】 ころ形状評価方法において、実際に測定されたころの形状測定値から評価基準を決定する工程と、評価基準を用いてころの形状を評価する工程とを備える。 （もっと読む）

一定時間に亘って凹凸を検出する、凹凸検出のための装置（１０）、及び方法。得られた情報を使用して、凹凸の三次元構造、及び／又は伸縮性及び／又は弾性的挙動又は特徴に関して特定する。
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【課題】被測定面の形状測定を行う前の演算による測定シミュレーションによって、プローブと測定治具等との干渉の有無を確認することで、実際の形状測定におけるプローブ干渉によるトラブルを防ぐ。
【解決手段】ステップＳ２において、被測定物を保持する測定治具に設けられた基準球によって形状測定装置に対する被測定物の取付状態を検出し、座標変換を行ったうえで、被測定物の設計形状データＤ２、測定治具形状データＤ３等を用いた演算による測定シミュレーションを行い、測定治具や、被測定物の被測定面以外の面に対するプローブ干渉の有無を確認したうえで、走査中のプローブ傾斜角度を算出し、ステップＳ１２の形状測定工程におけるプローブ走査速度を自動設定する。 （もっと読む）

【課題】 ガスタービン動翼をタービンディスクに組込んだ状態でガスタービン動翼の１本１本のチップシュラウドの高さを計測できるガスタービン動翼のチップシュラウド変形計測装置を提供することである。
【解決手段】 ガスタービン動翼２のチップシュラウド３の上部に位置するように天井部１３を配置し、ガスタービン動翼２のエンジェルフィンの外周面に接して天井部１３を支持する脚部１２を設け、エンジェルフィン９の外周面位置を基準としてチップシュラウド９の位置を計測する計測部１４を天井部１３に取り付ける。これにより、タービンディスク１よりガスタービン動翼２を分解することなく、かつ精度良く、ガスタービン動翼２のチップシュラウド９の変形計測をかのうとする。 （もっと読む）

【課題】 金属エレメントの凹部に噛み込んだ異物の検査を自動化し、以て、効率の改善と検査精度の向上を図る。
【解決手段】 無段変速機用ベルトの金属エレメント（３ａ）に形成された一方の凹部（３ｇ）をレール（２０）に乗せ該レールに沿って多数の金属エレメントを順次に搬送する搬送手段と、前記搬送状態にある金属エレメントの他方の凹部に非接触で挿入される検査棒（２６）とを備え、前記金属エレメントの他方の凹部に噛み込んだ異物と前記検査棒との干渉、又は、前記金属エレメントの一方の凹部に噛み込んだ異物による金属エレメントの前記レールからの浮き上がり部分と前記検査棒との干渉によって該異物の存在の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブの表面に塵埃が付着していても、容易にそれら塵埃を取り除くことができ、ワークやプローブを破損することなく、高精度な測定ができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ２４をワークＷに接触させた状態で、移動機構１２により前記プローブ２４と前記ワークＷとを相対的に走査させることによって前記ワークＷの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記ワークＷを支持するワーク支持手段５と、前記ワークＷに対して前記プローブ２４を進退可能に支持するとともに、前記走査において前記ワーク支持手段５に対して相対的に移動するプローブ支持手段２１，２２と、前記ワーク支持手段５に支持された状態のワークＷまたは前記プローブ支持手段２１，２２に支持された状態のプローブ２４の少なくともいずれか一方を洗浄する洗浄手段３７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブを傷付けることなく、簡易な構成により迅速にワークを測定することができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ１４をワークに接触させた状態で、前記プローブ１４と前記ワークとを相対的に走査させることによって前記ワークの表面形状を測定する形状測定機であって、前記ワークの表面に対する前記プローブ１４の接触荷重を調整する荷重調整機構２６を有し、前記プローブの先端に曲率半径Ｒが０．０１μｍ以上１μｍ以下に設定された探針３０が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】 ウエハの層の厚さを検出するための方法が提供されている。その方法は、処理されるウエハを保持するよう構成されたウエハキャリアの特定の半径の規定を備える。その方法は、さらに、１組の相補的なセンサを形成するよう構成された複数のセンサの準備を備える。さらに、その方法は、複数のセンサの内の各センサと、隣接するセンサとの位相が、同じ角度だけずれるように、ウエハキャリア内の特定の半径に沿う複数のセンサの配置を備える。その方法は、さらに、複数のセンサによって生成された信号の測定を備える。さらに、合成信号を生成するために、複数のセンサによって生成された信号の平均化が備えられている。平均化は、合成信号が、層の厚さを特定するよう相関を有することができるように、合成信号からノイズを除去するよう構成されている。
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【課題】両面非球面レンズの偏心測定に要する時間を短縮する。
【解決手段】形状測定装置１０には、Ｙテーブル１３，Ｘテーブル１４，Ｚテーブル１５が設けられている。Ｚテーブル１５には、第１プローブ１６と第２プローブ１７が正対して設けられている。第１プローブ１６と第２プローブ１７の間にはレンズ保持枠１８が設けられ、偏心測定の対象となる両面非球面レンズが保持される。第１プローブ１６と第２プローブ１７は互いの位置関係が保たれながら移動するから、各プローブに対するレンズ位置のズレが生じない。第１プローブ１６によりレンズ前面の形状を測定し、第２プローブ１７によってレンズ後面の形状を測定すると、各非球面の光軸の位置が算出され、両面間の偏心量が求められる。 （もっと読む）

【課題】 カール量の測定をより正確に行うことの可能な平版印刷版のカール量測定方法と、このカール量測定方法を適用してカール矯正をより確実に行うことの可能な平版印刷版のカール矯正方法及びカール矯正装置を得る。
【解決手段】 カール量測定具５６を使用し、平版印刷版３０全体を鉛直下方へと吊り下げて、保持辺（上端辺）と対向辺（下端辺）の距離Ａを測定し、吊るしカール量（Ａ−Ｂ）を得る。平版印刷版３０を水平な平台においてカール量を測定しないので、正確且つ０ｍｍ付近での高感度の測定が可能となる。この吊るしカール量の値に基づいてカール矯正装置１３をフィードバック制御するので、より確実にカール矯正できる。 （もっと読む）

三次元座標測定装置に取り付けられた非接触式プローブを使用してアーチファクトを検査する方法を提供する。アーチファクトは、最初に接触式プローブを用いて測定され（２８）、次いで、非接触式プローブを用いて測定される（３２）。接触式プローブおよび非接触式プローブを用いて取得された測定値の間の差に対応する誤差マップまたは関数が生成される（３４）。この誤差マップまたは関数は、プローブを較正するのに使用することができる。あるいは、次のアーチファクトは、非接触式プローブを用いて測定され（３６）、誤差マップまたは関数を使用して測定値が補正される（３８）。
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