【課題】対象物体の３次元計測を行って得られる３次元形状データの位置合わせに際し、ターゲットマークの対応の決定に当たってのロバスト性を向上させること。
【解決手段】対象物体の３次元計測を行って得られる３次元形状データについて対象物体に設けられたターゲットマークを利用して位置合わせを行うための方法であって、対象物体について写真測量を行い、ターゲットマークについての３次元位置であるターゲット座標ＴＺｇおよび法線ベクトルＨＶｇを演算によって取得し、３次元計測によってターゲット座標ＴＺｓおよび法線ベクトルＨＶｓを取得し、写真測量によって取得したターゲット座標ＴＺｇおよび法線ベクトルＨＶｇと、３次元計測によって取得したターゲット座標ＴＺｓおよび法線ベクトルＨＶｓとを用いて、これらのターゲット座標ＴＺｇ，ＴＺｓの対応関係を決定し、その対応関係に基づいて３次元形状データの位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】 上面より表面形状を測定する３次元測定機において用いられる、長さ測定とＸＹＺ軸の直角度をナノメートルのオーダで高精度に校正するための校正治具を提供する。
【解決手段】 ３次元測定機の校正治具であって、長さ標準器であるブロックゲージと、それぞれ所定の基準径をもつ少なくとも３つの基準球と、上記ブロックゲージの側端面に一定の力で上記各基準球を当接させる付勢手段とを備える。上記基準球は、少なくとも１つが上記ブロックゲージの第一の側端面側に配置され、少なくとも２つが上記第一の側端面と反対側の第二の側端面側に配置される。 （もっと読む）

【課題】高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報を計測でき、垂直な側壁やオーバーハングを含む試料の正確な立体形状情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針を測定点のみで接触させて次の測定点に向かうときには探針をいったん引き上げて退避させてから次の測定点に移動してから、探針を接近させることによって試料にダメージを与えずに正確な立体形状を用いる方法において、高周波・微小振幅カンチレバー励振と振動検出を行い、さらに、急傾斜部での接触力検知感度を上げるために、横方向励振あるいは、縦横２方向励振をおこなう。探針を測定対象の傾斜に合わせて傾斜させる手段と、探針と試料の接触状態を検知する光のカンチレバーでの反射後の向きが、探針の傾きによって大きく変わることを吸収または調整できる構造をもつ。 （もっと読む）

【課題】 慣性駆動ステージの上盤の振動を減衰させ、走査型プローブ顕微鏡像の原子像観察が可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの探針を用い、複数の探針を用いる場合にはそれぞれの探針を独立に動かして試料表面の観察及び分析を行なう走査型プローブ顕微鏡において、
慣性駆動ステージの基盤１側に上盤７が押し付けられるように、前記基盤１及び上盤７の周りにリング状制振材８を巻回する。このように構成すれば、慣性駆動ステージの上盤７の振動を減衰させ、ＳＰＭ像の原子像観察が可能になる。 （もっと読む）

【課題】走査範囲を大きくでき、しかも高精度に試料の観察を行うことができる走査型プロ−ブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針１と、探針１の位置を検出する位置検出器２と、探針１を試料Ｓに対して直交する方向に変位させる変位機構３と、変位機構３をＺ軸に対して直交するＸ軸方向に移動させる走査機構４と、変位機構３をＺ軸及びＸ軸に対して相互に直交するＹ軸方向に移動させる走査機構５とを備えた走査型プローブ顕微鏡である。変位機構３をＺ軸方向に伸縮する圧電素子１０にて構成する。走査機構４を、Ｙ軸方向に伸縮する圧電素子１１と、圧電素子１１の伸縮をＸ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１２にて構成する。走査機構５を、Ｘ軸方向に伸縮する圧電素子１３と、圧電素子１３の伸縮をＹ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１４にて構成する。 （もっと読む）

【課題】より正確にレース走行中のタイヤ摩耗予測を行うこと。
【解決手段】レース走行をする車両５に、処理部１１と記憶部１２とを有する制御部１０を搭載する。また、処理部１１には、表示モニタ１７と入力部１６と走行状態検出センサ１５を接続し、さらに、タイヤ２０の近傍に設けられた撮像部３１を有する画像解析装置３０を接続する。記憶部１２では、入力部１６からの入力によりレース走行前に摩耗データを記憶する。また、画像解析装置３０で、レース走行中のタイヤ摩耗状態情報を取得し、走行状態検出センサ１５によって走行状態を検出する。処理部１１では、これらの情報と記憶された摩耗データとを演算してタイヤ摩耗速度を予測する。従って、レース走行中における走行状態に応じた、当該レース走行時のタイヤ２０の摩耗予測をすることができる。この結果、より正確にレース走行中のタイヤ摩耗予測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】光記録媒体でのＶ溝形状のグルーブと、ここに形成された記録マークとの位置関係及び記録マークの形状を精密に測定する。
【解決手段】Ｖ溝形状のグルーブを有する光記録媒体に記録マークを形成しておき、これを、記録マーク測定装置５０における走査型プローブ顕微鏡５２をＡＦＭモードとしてプローブにより走査し、得られた凹凸像の信号から、Ｖ溝の底部のみを残すデータ処理を施して、グルーブ底部強調凹凸像を得て、このグルーブ底部強調凹凸像と検出電流により得られたコンダクティブＡＦＭ像とを合成して、グルーブ底部と記録マークとの位置関係を測定する。 （もっと読む）

【課題】 磁気テープのカッピングの影響を排除して正確なテープ寸法を容易に測定することができる磁気テープの測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】 磁気テープの測定装置は、磁気テープを置く支持部材と、少なくとも一部に透明部が設けられ、支持部材に置かれた磁気テープを覆うように該支持部材に取り付けられる蓋部材と、支持部材に対向配置された非接触式測定器と、を備える。蓋部材は、蓋部材を支持部材に取り付ける取付部と、磁気テープを視認するための透明部と、該透明部を取付部に対して伸縮可能に取り付ける伸縮部と、を有する。蓋部材を支持部材に取り付けた状態で、該支持部材の空気を引くことで伸縮部が伸縮し、透明部が支持部材側に変形して磁気テープを挟み込んで固定する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡易な構成の装置により、簡便な手順で高精度に３次元形状測定を行うことができる３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】被測定物２００を所定の回転軸ＡＸの周りに回転させる回転工程と、回転軸ＡＸと略直交する方向について、第１の位置Ｘ＝−Ｌから回転軸ＡＸまで被測定物２００の形状を測定する第１測定工程と、回転軸ＡＸと略直交する方向について、回転軸ＡＸから第２の位置Ｘ＝Ｌまで被測定物２００の形状を測定する第２測定工程と、第１測定工程で得られた第１の測定データと、第２測定工程で得られた第２の測定データとに基づいて回転軸ＡＸの回転誤差を補正するための回転誤差パラメータを算出する補正値算出工程と、補正値算出工程で算出された回転誤差パラメータに基づいて被測定物２００の形状を補正する補正工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】複雑なオートフォーカス機能を必要としない簡単な光学系によって、形状測定の基準となる位置マーク球の位置を高精度で検出する。
【解決手段】被測定物Ｗ₁ を保持するジグ２は３個の位置マーク球３を有し、被測定物Ｗ₁ の表面をトレースするプローブ１０とは別に、各位置マーク球３の反射光から位置マーク球３の光学像の２次元位置を互いに異なる光軸方向から検出する２つの光点位置測定光学系１２ａ、１２ｂを、Ｚスライダ７に保持させる。各光点位置測定光学系１２ａ、１２ｂのポジションセンサーから得られる２組の２次元位置情報を用いた演算によって、各位置マーク球３の位置を３次元的に求める。 （もっと読む）

【課題】 歯面全体にわたってクランクギアとバランサギアの噛合状態を迅速且つ精密に検査すること。
【解決手段】 クランクシャフト３を回転させる駆動機構１６０と、バランサギア１７のクランクギア４との噛み合いを調整する噛合調整機構１２６を設ける。噛合調整機構１２６は、当該クランクギア４に従動する従動方向と反従動方向とに択一的に調整する。各シャフト３、１７の回転角を検出する回転角度検出手段１２４、１５４を設ける。バランサシャフト１４の軸方向の移動を検出するスラスト変位量計測手段１２３を設ける。所定回転数だけバランサギア１７のクランクギア４への噛み合いを前記従動方向に調整した後、反従動方向に切り換え、各回転角度検出手段１２４、１５４並びにスラスト変位量計測手段１２３が計測した変位量に基づいて、バランサギア１７とクランクギア４のバックラッシュを演算するようにしている。 （もっと読む）

【課題】間欠ラスター走査に生じる振動ノイズが低減された走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】Ｙ走査信号の振幅値は、画像データを取得する画像取得時間Ｔｙｕの間だけ直線的に増加し、画像データの取得終了後直ちにほぼ０に戻る。一方、Ｘ走査信号の振幅値は常に一定で、画像データの取得時の振幅値のままである。 （もっと読む）

【課題】棒状体の真の曲がりを測定することができる棒状体の曲がり測定装置を提供する。
【解決手段】長手方向に搬送される棒状体ａの搬送方向と直交する平面内において互いに交差する第１及び第２の方向の棒状体変位を検出する一組または複数組の変位検出手段３を有する曲がり測定装置において，少なくとも前記変位検出手段３に最も近い上流側と下流側とに棒状体ａを下方から支持するＶ字状案内ロール１ａ，１ｂを設けると共に，該Ｖ字状案内ロール１ａ，１ｂの姿勢を棒状体ａの水平方向成分の曲りに追従可能に構成したことを特徴とする棒状体の曲がり測定装置。 （もっと読む）

【課題】ビデオレート以上の高速での画像取得を可能にする走査型プローブ顕微鏡用走査機構を提供する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用走査機構は、可動部４とＸＹ弾性部材とＺ弾性部材７Ａと７Ｂと固定部５とからなるＸＹステージと、ＸＹステージが固定される固定台１と、可動部４をＸ方向に移動させるためのＸ圧電体２Ａと、可動部４をＹ方向に移動させるためのＹ圧電体と、可動部４の上面に固定された基板１１と、基板１１の上面に固定された、移動対象物をＺ方向に移動させるＺ圧電体３と、可動部４とＸ圧電体２ＡとＹ圧電体のほとんどを覆うカバー９と、Ｚ圧電体３の周囲の可動部４とカバー９の間に設けられたダンピング部材１０とを備え、Ｚ圧電体３の上端がカバー９の上面よりも高い位置に位置している。 （もっと読む）

【課題】 （１）高精度に製作でき、（２）高精度に値付け測定ができ、（３）トレーサビリティの保証も容易に行える、はすば歯車歯筋測定に対する検査・校正に用いる検査・校正アーティファクト及び検査・校正法を提供する。
【解決手段】 アーティファクト１０は、第１の平面に含まれる第１の基準部１６と、第１の平面と非直角の所定の角度γをなす第２の平面に含まれる第２の基準部１２とを備える。第１の基準部１６の位置及び傾きが、歯車歯面形状測定機に設置される測定対象はすば歯車の歯筋測定が行われるときの歯筋測定歯面の位置及び傾きと略一致するように、かつ、第２の基準部１２が、測定対象はすば歯車の中心軸と略平行又は略垂直となるように、歯車歯面形状測定機に設置された状態で、第１の基準部１６を測定対象はすば歯車の歯筋測定歯面と見立てて、歯筋測定が行われる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の正確な３次元形状測定を行うために、精度のよい座標変換関数を計算することが可能な座標変換関数の補正方法を提供する。
【解決手段】カメラ座標系の各座標軸の向きと基準座標系の各座標軸の向きとを一致させた状態で、両座標系の２つの座標軸に対してそれぞれ平行に３次元形状測定装置３０を移動させ、各移動方向においてそれぞれ少なくとも２つの位置で基準球６０の３次元形状を測定する。そして、各移動方向ごとに座標変換関数によって座標変換された基準球６０の中心座標を定点として計算し、各移動方向ごとの各定点によって基準座標系に定義される直線の傾きを計算する。この各移動方向ごとに直線の傾きに応じて第１座標変換関数を座標回転関数Ｍ’を用いて補正した後、この補正された第１座標変換関数によって座標変換された定点を用いて第１座標変換関数の座標移動関数を補正する。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ加硫成形装置のプレスで型閉しめされた実際の稼働状態における金型内周面の真円度を測定できる装置を提供する。
【解決手段】 タイヤ加硫成形装置１０のプレス１１、１２で型閉じされるコンテナ１３内に、割り金型の上部サイドプレート１４、下部サイドプレート１５、トレッドセグメント１６が組み込まれ、該割り金型に囲まれた内部空間の中央部に、環状に整列されたトレッドセグメント１６からなる金型内周面の真円度測定装置２０がセットされ、真円度測定装置２０は、下端開口の筒状本体２１と、該筒状本体２１の下端外周面より突出して下部サイドプレート１５の中央開口周縁の嵌合部１５ａに嵌合保持される取付部２２と、筒状本体２１の空洞に装備される駆動手段２５と、該駆動手段２５により筒状本体２１の外周面に沿って回転移動される非接触変位測定器２６を備えている。
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【課題】 連続搬送される長尺光学フィルムを連続的に精度よく検査することができるフィルム検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】 光学フィルム検査装置は、光学的入力手段2を移動させる駆動手段10と、フィルム被検査箇所Tの検査用基準位置からの変位量を計測する変位量計測手段4と、変位量計測手段4の出力に応じて光学的入力手段2の駆動量を決定する駆動量決定手段11とを備えている。 （もっと読む）

【課題】非接触計測プローブユニットの重力補償機構を改善することで、３次元形状計測装置の計測精度を向上させる。
【解決手段】ベースＢ上に立設された筐体１０にボイスコイルモータ１と空気バネ２を支持させ、ＸＹステージ７上の被測定物Ｗの高さを計測する非接触計測プローブユニット４を、ボイスコイルモータ１によって重力方向であるＺ軸方向に駆動する。非接触計測プローブユニット４を搭載するＺステージ３の重力補償を空気バネ２によって行い、ボイスコイルモータ１とエアースライダ６と空気バネ２とを組み合わせることで、小型でしかも信頼性と安全性の高い重力補償機構を実現する。 （もっと読む）

【課題】 新規なカンチレバー供給機構及びカンチレバー取り付け方法を得る。
【解決手段】 探針を有するカンチレバー１を保持する粘着性弾性材料２０ａを有するカンチレバー供給機構２０を備える。粘着性弾性材料２０ａは、カンチレバー取り付け部２がカンチレバー１に対して物理的に接触する際の干渉を弾性変形として吸収し、両者を密着させる部材である。カンチレバー取り付け部２は、カンチレバー１を吸着固定させることで取り付ける部材であり、粘着性弾性材料２０ａに保持されたカンチレバー１と密着した後、カンチレバー１を吸着固定し、所定位置へ移動する。 （もっと読む）