【課題】バー塗布装置等に使用される円柱状部材の真直度を精度よく測定するのに好適な真直度測定装置、方法、及び該真直度測定装置で測定した円柱状部材を使用した塗布方法を提供する。
【解決手段】バーＢの上端部を把持しながら糸状部材１４により吊り下げ、バーの上端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第１の支持部材２４により支持するとともに、バーの下端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第２の支持部材２６により支持し、バーを回転駆動させるとともに、変位センサ２０をバーに沿って移動させながらバーの振れを非接触で検出する。 （もっと読む）

【課題】ケース体の部品コストを低減すると共に、回転に伴って発生する静電気が回転検出に影響を及ぼさない回転検出センサを提供する。
【解決手段】ケース体１に回転軸に追従して回転する回転体２と、回転体２の回転角度を検出する角度検出部３とを納めてなるものであって、ケース体１は上方開放状で周縁部に耳部１４を有した下ケース体１０と、下ケース体１０の上面を覆うカバー体１１とからなり、下ケース体１０の耳部１４には貫通孔１５が形成されると共に、貫通孔１５にはその内周面に略適合する金属カラー４が挿入され、カバー体１１は金属材からなると共に、耳部１４の貫通孔１５に挿入された金属カラー４の上面を含めて下ケース体１０の上面を覆ってなる。 （もっと読む）

【課題】運転者の顔の向きを精度よく判定可能な視線方向判定装置を提供すること。
【解決手段】シート３，５、６の着座者の視線方向を判定する視線方向判定装置１において、着座者の頭部とヘッドレスト５との間の頭部距離を検出する頭部距離検出手段３０と、頭部距離検出手段３０により検出された頭部距離に基づき着座者の視線方向を判定する視線方向判定手段２０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アレイ形状金型の個々のアレイ要素のピッチ誤差や形状誤差を最小にし、高精度で加工する。
【解決手段】アレイ形状金型２１０となるワーク２００に対する複数のアレイ要素２１１の加工において、最初に配列中央の一つのアレイ要素２１１を加工して、アレイ形状金型２１０の全体に対する偏心誤差および理想形状からの形状誤差を計測し、当該偏心誤差および形状誤差が許容値以下になるように加工データを修正し、その後、修正された加工データによって他の全てのアレイ要素２１１を加工する。これにより個々のアレイ要素２１１の形状誤差は許容値内に収まり、配列ピッチの誤差は、加工機の位置決め精度の水準で維持され、高精度のアレイ要素２１１を有するアレイ形状金型２１０を製作することができる。 （もっと読む）

【課題】作業者の手を煩わすことなく簡単且つ短時間でプローブの交換を行うことができ、小型の走査型プローブ顕微鏡にも適用可能であること。
【解決手段】試料Ｓに対向配置され、レバー部２ａの先端に探針２ｂを有すると共に該レバー部の基端側が本体部２ｃに片持ち状態に支持されたプローブ２を複数固定するものであって、試料表面Ｓ１に対向する対向面１０ａを有し、該対向面に複数のプローブを、本体部を介してそれぞれ着脱自在に固定する固定板１０と、該固定板を移動可能に支持するホルダ本体１１と、固定板を移動させると共に複数のプローブのうち選択したいずれかのプローブを観察ポジションＰに位置させる可動手段１２とを備えているプローブホルダ３を提供する。 （もっと読む）

【課題】全舵角範囲に亘る回転軸の回転角度を精度良く検出し、車両の舵角を簡素な構成にて精度良く検出可能な舵角検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール３０の操作に応じたステアリング軸３の回転を操舵用の車輪１２，１２に伝え、該車輪１２，１２の向きを変えて舵取りされる車両の操舵角度を、ステアリング軸３の複数回転に亘る回転角度を求めることにより検出する舵角検出装置において、ステアリング軸３に係合され、ステアリング軸３の回転に応じて移動する移動体６の移動位置を位置センサ７により検出し、この検出結果によりステアリング軸３が中立位置から左右の何回転目の領域にあるかを判定する。回転角センサにより判定された領域内でのステアリング軸３の回転角度を求めて全舵角範囲内での操舵角度を算出する。以上により簡素な構成により全舵角範囲に亘って高精度の舵角検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】高分解能にして組立が容易な絶対角度検出装置を提供する。
【解決手段】ステータ部材１と、ステータ部材１に回転可能に支承されているロータ部材２と、ロータ部材２に一体的に取り付けられたコード板３と、コード板３に形成された信号検出用のコードパターン列３ａと、ステータ部材１内に備えられたプリント基板５と、プリント基板５に実装された複数個の検出素子６とを有し、当該検出素子６がコードパターン列３ａの配列方向に沿って所定の間隔で配置された絶対角度検出装置において、リード貫通孔５ａが開設されたプリント基板５と当該プリント基板５上に実装される複数個の検出素子６の本体部６ａとの間に、位置決め孔１１が開設されたシート状の位置規制部材１０を介設する。 （もっと読む）

【課題】回転する管状体の振れをより正確かつ迅速に測定できる測定方法とその装置を提供すること。
【解決手段】回転可能な管端チャックへ管状体の内側面を押圧する状態で当該管状体の一端部を保持させ、管端チャックにより前記管状体を回転させながら、管状体の他端部内の計測位置から管状体の内周までの距離を計測して回転角度毎の計測値を得るとともに、管状体の外周から離れた測定位置から管状体の外周までの距離を測定して回転角度毎の測定値を得、前記計測値に演算処理を施すことにより管状体の他端部の内径中心を算出して当該管状体の仮想中心軸を求め、前記測定位置において管端チャックの回転軸線と直交する面における前記回転軸線に対する前記仮想中心軸の偏倚量により前記測定値を補正する手段を含む。 （もっと読む）

【課題】 プレス機の定盤面における悪化した平面度を良好な平面度であるときと同等の状態に補正する定盤面精度補正方法と、その補正のための立体補正シートを提供する。
【解決手段】 定盤面の基準平面からの変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし凹凸を反転した等高線データを得て、その各等高線が外形となるように補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得て、各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように積層接着し立体補正シートを得て、定盤面と立体面とが対向しかつ定盤面と立体補正シートの対応する測定点が一致するように位置合せして設置するようにした定盤面精度補正方法とその補正のための立体補正シート。 （もっと読む）

【課題】振動や動ひずみが計測可能なワイヤレスひずみセンサにおいて、低ノイズで高精度な測定を実現しながら、同時に消費電力を低減し、バッテリ取り替え寿命の低減や、微小容量の電源での駆動を実現する。
【解決手段】ワイヤレスひずみセンサモジュールで動ひずみを測定する際に、ひずみセンサからの出力を、フィルタでフィルタリングし、整流・平滑化回路で整流・平滑化してから、ＣＰＵでデータ処理をして、無線通信を行うことにより、データ処理ＣＰＵのサンプリング周期を長くでき、また、無線通信するデータ量が小さくなるので、ＣＰＵ，無線通信の消費電力を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 探針と試料を測定領域に位置決めする際の探針破損を低減させ、探針先端形状に起因する分解能の変化を抑えて、適切でしかも安定な測定ができるプローブ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 先端に粗動用探針２１を有した粗動用カンチレバー２３と、先端に測定用探針２２を有した測定用カンチレバー２４を構成したプローブ顕微鏡において、粗動用探針２２で試料測定領域に位置決めされた後に、粗動用探針２１と測定用探針２２の試料表面との距離を変更するカンチレバー変換手段で、一旦、粗動用探針２１を試料表面測定領域から離し、測定用探針２２に切り替えた後に、測定用探針２２を試料測定領域に位置決めして測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】スプロケットの回転角を高精度かつ省スペースで検出することができる装置を提供する。
【解決手段】スプロケット２３の回転角毎に異なる態様に変化するパターン形成面２７ａをスプロケット２３に備え、スプロケット２３の回転角毎に変化するパターン形成面２７ａの態様を複数のフォトセンサ２７ｄにより検知し、フォトセンサ２７ｄによる検知信号の組み合わせに基づいて対角検出部２７ｃによりスプロケット２３の絶対回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】熱の影響、及び検出器やその取付部分と被検出部との線膨張係数の違いに起因する検出器と被検出部との間隔の変化を抑制すること。
【解決手段】この回転軸の回転角度検出装置１００は、センサプレート５と、ポジションセンサ１０と、第１及び第２潤滑油噴射ノズル９ａ、９ｂとを含む。センサプレート５はクランク軸４に取り付けられており、外周部に複数の歯５Ｇが設けられている。ポジションセンサ１０は、磁気センサであり、センサプレート５の外周部に形成される歯５Ｇの数を非接触で計数する。第１潤滑油噴射ノズル９ａからは、ポジションセンサ１０やその取付部分に向かって潤滑油Ｌが噴射され、また、第２潤滑油噴射ノズル９ｂからは、センサプレート５に向かって潤滑油Ｌが噴射される。 （もっと読む）

【課題】短時間でかつ高精度に倣いプローブの校正を行う倣いプローブの校正方法を提供する。
【解決手段】半径および中心座標値が既知の真球であるマスターボール７の表面を倣い測定する測定経路として第１測定経路７１と第２測定経路７２とを設定する（測定経路設定工程）。次に、測定経路設定工程において設定された第１測定経路７１および第２測定経路７２を倣い測定する（測定工程）。測定工程における倣いプローブの検出センサの出力値を測定経路７１、７２上の座標値と対比して、この検出センサの出力値を補正する補正データを算出する（補正データ算出工程）。ここで、測定経路設定工程にて設定される第１測定経路７１および第２測定経路７２は、マスターボール７の表面において螺旋形状である。そして、２つの測定経路７１、７２の起点７１１、７２１は赤道上において互いに９０度ずれている。 （もっと読む）

【課題】高次の次数ｋを考えた場合でも、正しく計算できない次数ｋが出てくるということがなく、回転体の形状ｒ（θ）、ひいては回転振れ量ｘ（θ）、ｙ（θ）を正しく求めることができる回転体測定装置２０および方法を提供する。
【解決手段】４本以上の検出器を用いて、（２２）式および（２３）式の分母にくる倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等が均一になる検出器の角度配置を複数組選択する。（２２）式および（２３）式の分母が０となる部分は複数組の間で補完しあうように倍率Ｈ_１ｋ、Ｈ_２ｋ（結果的に倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等）を選択する。この補完しあう倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等（結果的にＡ_ａｋ、Ｂ_ａｋ）を用いて形状ｒ（θ）と回転振れ量ｘ（θ）、ｙ（θ）を求める。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、走査形プローブ顕微鏡等でのヒートサイクルにおいて、チューブ型圧電素子の破損が発生するという点である。
【解決手段】 円筒状に形成され、一方の端部に切欠部が形成された圧電素子体と、前記圧電素子体の前記一方の端部を固定し、前記圧電素子体と温度変化による変形率が異なる固定台と、前記圧電素子体に設けられた電極と、を備えた前記圧電素子体の他方の端部を微動させる微動装置であって、前記圧電素子体と前記固定台との温度変化による変形量の違いを前記切欠部を形成することにより生ずる前記圧電素子体の弾性変形で吸収することを特徴とする微動装置。 （もっと読む）

【課題】 カウンター質量となる可動部の可動範囲を確保することができ、常に良好に慣性力を相殺し、支持体の振動、しかして試料又は探針の振動を抑制する。
【解決手段】 試料又は探針を駆動する駆動ステージにおいて、探針１又は試料保持台５０５を移動させるためのカウンター駆動素子５００と、該探針又は試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部５１５、５１０と、を有し、前記可動部は、前記カウンター駆動素子５００の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＳＰＭ装置で使用する探針において、観察や加工などで探針先端に付着した物質を、ＳＰＭ装置内で除去し、探針先端を洗浄することを課題とする。
【解決手段】 異物4が付着した探針1を、サンプル3に押しつける。この時カンチレバー側のスキャナー5とサンプル台6の間で、相対的に水平振動10と垂直振動11を発生させる。探針先端への適切な摩擦を発生することにより、探針1の先端をに付着した異物4を取り除き、洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】
探針アプローチ時間を短縮してインライン装置としてのスループットを向上させた原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、試料の表面の形状を計測する走査型プローブ顕微鏡であって、試料の表面の高さを探針計測位置から距離Ｌ離れた高さ計測位置において計測する高さセンサ１１６と、高さ計測位置Ｃでの試料の表面の高さ情報ｈＣを前記高さセンサ１１６で計測した結果を用いて試料ステージ１０４を上昇させて、前記高さ計測位置での試料の表面の高さと探針計測位置での試料の表面の高さとの間の高さずれ情報ΔＺ又は段差情報（ＲｈＣ−ＲｈＡ）に基づき前記探針計測位置における試料の表面と前記探針の先端との間の間隔が所望の範囲（ｈｇ）になるように前記試料の表面を前記探針の先端に接近させる制御手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価方法を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価方法は、まず、圧電体薄膜３１を含む試料１２を試料固定治具２０に固定する。試料１２には、圧電体薄膜３１に電圧を印加するために圧電体薄膜３１を挟むように、第１電極４２と第２電極４３とが形成されている。次に、探針３３を圧電体薄膜３１の電界方向に対して交差する方向にある測定面に直接接触させる。そのあと、圧電体薄膜３１に電圧を印加しながら、探針３３を測定領域に直接走査させることにより、圧電体薄膜３１の圧電特性（第１変位量）を測定する。 （もっと読む）