【課題】金属帯板の形状を板幅端部まで精度良く測定でき、調整も容易で部品の交換だけで長期間使用できる金属帯板の形状測定装置を提供する。
【解決手段】金属帯板１が走行するラインに両端を回転自在に支持され金属帯板１に押し込むように設置されるロール１０，１００において、ロール１０，１００は、少なくとも１本以上の円周方向から傾斜した方向の溝２１と溝２１以外の部分であるランド部２２が表面に形成された内側ロール２０、又は、少なくとも２本以上の円周方向の溝２０１と溝２０１以外の部分であるランド部２０２が表面に形成された内側ロール２００に円筒４０を嵌合し、ランド部２２，２０２にはロール１０，１００の軸方向に穴２３を形成し、穴２３にランド部２２，２０２に作用する金属帯板１への押し込み荷重を測定するセンサー３０を設置した。 （もっと読む）

【課題】床センサにより検出される加圧位置と個々のユーザとを正確に対応付けられるようにすること。
【解決手段】床センサが計測した加圧位置をグループ化し、その重心位置をユーザの位置を示す一つの指標として用いる。そして、グループの重心位置と各ユーザの状態ベクトルとから３種類の接地モデル（右足接地モデル、左足接地モデル、両足接地モデル）を用いるパーティクルフィルタにより接地パタン（右足接地／左足接地／両足接地）を決定し、グループそれぞれにおける各ユーザの重み候補を算出する。そして、この重み候補を用いて、グループとユーザの対応関係を決定する。 （もっと読む）

【課題】熱間鍛造等のような高温環境において寸法計測の基準ワークとして使用できる高温用の基準ワーク、及び同基準ワークを用いた高温物寸法計測用形状計測器の精度検証方法を提供する。
【解決手段】半円形断面形状が一定間隔で一方向に複数個並設された、熱膨張係数が既知で耐酸化性を有する高融点の金属材により高温用の基準ワークを得る。この基準ワークの熱膨張係数と半円形断面形状並設方向の表面形状の寸法の常温での測定値とから検証目標高温時での上記表面形状の寸法を理論値として求めておく。同基準ワークを検証目標高温まで加熱し、その際の上記表面形状の寸法を精度検証対象である非接触型の形状計測器により計測し、上記表面形状中の複数の半円形断面形状について円形状のフィッティング処理を行い、上記表面形状の寸法を実測値として求める。この実測値と上記理論値との比較値を得て高温物寸法計測用の上記形状計測器の精度を検証する。 （もっと読む）

【課題】取付位置にずれが生じたときにも取付部位の姿勢角を正確に検出することができる姿勢角検出装置を提供する。
【解決手段】人体の部位１００の姿勢角を検出する姿勢角検出装置１０であって、姿勢角センサ２０と、移動量検出手段３１、３２と演算手段６０を備えている。姿勢角センサ２０は、人体の部位１００の表面に取り付けられ、自己の姿勢角を検出する。移動量検出手段３１、３２は、取付部位１００の表面を移動したときの姿勢角センサ２０の初期位置からの移動量を検出する。演算手段６０は、検出された姿勢角を検出された移動量に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】
CD-SEM画像からパターンのエッジを抽出する際にパターン上における高さ（基板からの距離を表す値）を指定してエッジ点を抽出する。あるいは、それを行って得られるLER値やLERのフーリエスペクトルを得る。
【解決手段】
あらかじめ同じサンプルをAFMとCD-SEMとで観察しておき(601)、AFM観察結果から、高さを指定して得られるLERの大きさやLERの自己相関距離あるいはスペクトルという指標を求め、さらにCD-SEM観察結果からは、エッジ点を検出する画像処理条件を指定して得られるこれらの指標を求め(602)、値が一致するときにその値を与える高さと画像処理条件とが対応していると判断し（603）、以降、AFM観察の代わりにCD-SEM画像からこの画像処理条件を用いてエッジ点を抽出する。 （もっと読む）

本発明は、物体の上に誘導される寸法測定デバイスによる物体の寸法取得の効率を向上させる方法であって、a)測定デバイスを物体の上に誘導して、その寸法を取得するステップと、b)取得した領域の分解能の指示をもたらすステップと、c)測定デバイスを、取得した領域の、所定の基準に基づいて不十分な分解能を指示する少なくとも一部分の上に再度誘導するステップと、d)取得した領域の分解能の指示を更新するステップと、e)所定の基準に基づいて十分な分解能が指示されるまで、ステップc)およびd)を繰り返すステップとを含み、それにより、物体の寸法を十分な分解能で効率的に取得する方法に関する。本発明は、そのためのコンピュータプログラムにも関する。
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【課題】ダム堤体の変位を正確に、かつ、低コストに測定することができるダム堤体の変位計測装置を提供する。
【解決手段】ダム堤体の変位計測装置の傾斜計２１の測定傾斜角と傾斜計２１の周囲の測定温度は記憶部２５に記憶される。制御部２７は、測定温度から傾斜計２１によって測定された傾斜角を補正し、補正された傾斜角から傾斜計２１周辺のダム堤体の変位量を産出する。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体等の電子写真装置用部品の表面形状を従来法よりも詳細に評価する方法を提供すること。
【解決手段】電子写真感光体等の電子写真装置用部品の表面の凹凸形状を表面粗さ計により測定して得た一次元データー配列を、ウェーブレット変換して高周波数成分から低周波数成分に至る複数の周波数成分に分離する多重解像度解析を行い、更に、ここで得た最低周波成分を間引きした一次元データー配列を作り、この一次元データー配列に対して更にウェーブレット変換を行なって、高周波数成分から低周波数成分に至る複数の周波数成分に分離する多重解像度解析を行い、得た多重解像度解析結果に対して、十点平均粗さ、最大高さを求める。 （もっと読む）

【課題】 適切な重み因子に基づくフィルタ処理により、データに適切に追従するフィルタ出力値を得る信号処理装置を提供する。
【解決手段】 ディジタル信号値を経路に沿った複数の区間に分割する。それぞれの区間ごとに、ディジタル信号値とこのディジタル信号値に対するフィルタ出力値との成分ごとの自乗和に基づく離隔量について中間値を算出する。区間内のディジタル信号値について、各区間における中間値に基づいて重み因子を算出するとともに更新する。算出された重み因子を用いたフィルタ演算を実行してディジタル信号値に対するフィルタ出力値を得る。 （もっと読む）

【課題】計測点間隔が大きくても変位量を求めることができる構造物変位推定システム及び構造物変位推定方法を提供する。
【解決手段】まくらぎ５に支持されたレール３の長さ方向に間隔をおいて設置されている計測傾斜角を計測する複数個の傾斜計６と、レール３の計測点間部分における補間傾斜角を推定する演算装置とを有し、演算装置は、レール３上の点の長さ方向の位置を表す位置値を示す位置軸と、レール３の傾斜角を表す傾斜角値を示す傾斜角軸とからなる位置−傾斜角座標において、計測点の位置値と計測傾斜角の傾斜角値とで表される座標計測点を含み、位置値に対応した傾斜角値を与える予備補間関数を求め、計測点間の位置値と補間傾斜角の傾斜計値とで表される、予備補間関数上の暫定点を補正することによって、暫定点に代わる仮想座標計測点を求め、座標計測点及び仮想座標計測点を含み、位置値に対応した傾斜角値を与える本補間関数を求める。 （もっと読む）

【課題】精度の高い位置制御を実施することができ、より高精度な加工等の実現に寄与することができる回転構造物の位置制御方法を提供する。
【解決手段】回転構造物のねじり剛性係数Ｋ_θを用いて角度誤差Δθを算出する第１工程と、回転構造物のたわみ剛性係数Ｋ_δを用いて、角度誤差Δθの補正により生じる位置誤差δＹ、δＺを算出する第２工程と、角度誤差Δθ及び位置誤差δＹ、δＺを補正量として出力する第３工程とを実行するようにした。当該位置制御方法によれば、角度補正により回転軸以外の軸方向に位置誤差が生じたとしても、該位置誤差を補正することが可能となり、精度の高い位置制御を実行することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物が非球面形状であっても、極めて高精度に測定データを取得することができる三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸方向に駆動される移動体においてＺ軸方向に移動自在に支持されたプローブを、被測定物の測定面に、所定の経路に沿って走査させて前記被測定物の形状を測定する三次元形状測定方法であって、測定時にＸ−Ｙ方向に移動する移動体の移動量を基準として測定データを取得するサンプリングピッチを、被測定物の既得形状情報から得られる走査上の各位置における被測定物の測定面の法線方向に引いた直線と、被測定物の中心線と、が交わる点を中心として、前記表面上の位置で被測定物の表面形状と接する円を近似円とし、その近似円の半径から算出する。これにより、被測定物の表面形状に沿う方向に対して一定のピッチで測定データを取り込むことができる。 （もっと読む）

【課題】 スポット溶接する複数の金属板の隙間を計測する。
【解決手段】 本発明は、アームの先端に支持された第１の電極と、該第１の電極と協働して重なり合う複数の金属板を加圧状態で挟持して溶接する第２の電極とを有するスポット溶接装置を用いる。挟持方向の加圧力と該加圧力によってたわむアームの挟持方向のたわみ量との関係を求める。アームに挟持方向の荷重を検出する荷重検出器を取り付けた状態で、該アームの先端と第２の電極との間に、隙間の計測箇所を配置し、第２の電極により金属板を加圧する。第２の電極による第１の加圧力と荷重検出器により検出される第２の加圧力とを比較する。第２の加圧力が第１の加圧力より小さいとき、第２の加圧力と加圧力とたわみ量との関係とに基づいてアームの挟持方向のたわみ量を算出する。算出したたわみ量と、複数の金属板の厚さ合計と、加圧中の第２の電極の挟持方向位置とに基づいて計測箇所の隙間を算出する。 （もっと読む）

【課題】座標測定機の使用の際の障害を減らし、大量のキャリブレーションデータを管理する重荷を軽減する。
【解決手段】複数のサブシステム（１０）から成り、サブシステム（１０）の一部を個別にキャリブレーションし、その後、各サブシステム（１０）に個別のキャリブレーション情報を提供し、マップ・ファイル（２０）を生成し、キャリブレーションされたサブシステム（１０）に関連づけられる、座標測定機を取り付ける手順に先立つ、事前のキャリブレーション手順と、前記キャリブレーション情報を保存する保存手順と、前記事前のキャリブレーション手順を通じて収集された前記キャリブレーション情報を処理する最終調整手順とから構成する。 （もっと読む）

【課題】超音波接合における不良品の発生を防止することができるワーク評価方法およびワーク評価装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク評価方法は、スキューネスを算出する段階およびワークの良否を判定する段階を有する。スキューネスを算出する段階は、超音波接合されるワークの表面粗さ測定結果から、ワークの表面粗さデータの高さ方向における偏り度合いを示すスキューネスを算出する。ワークの良否を判定する段階は、算出されるスキューネスに基づいて、超音波接合されるワークの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 相対変位のポジティブフィードバックの困難な調整を必要とすることなしに極低周波数まで検出範囲を広げることができると共に絶対変位を安定して検出することができる絶対変位検出方法及びその方法を用いた絶対変位センサを提供すること。
【解決手段】 絶対変位センサ１は、被検出体としてのセンサハウジング２と、センサハウジング２にばね係数ｋ及び減衰係数ｃをもって可動に支持された質量ｍを有した質量体３と、質量体３に対するセンサハウジング２の相対速度を電気的に検出する検出手段４と、相対変位をポジティブに、相対速度を一次微分して得られた相対加速度をネガティブに夫々フィードバックさせて、センサハウジング２の絶対変位に起因する質量体３の絶対変位を制御するフィードバック制御手段５と、相対変位に位相遅れ補償を施す位相遅れ補償手段６とを具備している。 （もっと読む）

【課題】容易に実施が可能であり、従来以上に確実にトピードカー内部の耐火物ライニングの残存厚さを判定できる耐火物ライニング残存厚さ判定方法および装置を提供すること。
【解決手段】トピードカー内部の耐火物ライニングの残存厚さを判定する耐火物ライニング残存厚さ判定方法であって、トピードカー内の溶銑排出タイミングの前後（排出前ｔ１(分)、排出後ｔ２(分)）でそれぞれ測定したトピードカー外壁温度（Ｔ１（℃）、Ｔ２（℃））に基いて、前記耐火物ライニングの残存厚さを判定する。 （もっと読む）

線路位置は、連続する計測区間（１５）において計測される。この場合、計測システム（９）の基準線としてレーザ放射（１６）によって形成される長弦（１７）を用いて、その都度相対的な線路位置が記録される。この場合、２つの連続する計測区間（１５）の両方の長弦（１７）により成された角度が計測され、ひいては線路実際位置を再現する空間曲線が得られる。
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【課題】パターンを書き込む際に生じるあらゆる物理的変形に無関係に、オブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法及びパターン生成装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光装置での使用を対象とするオブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法であって、表面を備えた厚さＴのオブジェクトをパターン生成装置のステージの上に配置するステップと、表面を多数の測定ポイントに分割するステップであって、隣接する２つの測定ポイントが所定の最大距離を越えない距離Ｐで間を隔てられているステップと、各測定ポイントにおける表面の勾配を決定するステップと、各測定ポイントのｘ−ｙ平面における二次元局部オフセットｄを勾配及びオブジェクトの厚さＴの関数として計算するステップと、前記表面に書き込むパターンを、二次元局部オフセットｄを使用して修正するステップとを含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】タービンロータの軸曲りを算出するシステムを提供を提供する。
【解決手段】ロータディスクの計測点を設定する入力部と、タービンロータの周方向の外表面に沿う４点以上の計測点について、変位計による計測値に基づく径方向の変位量を導出する振れ量検出部と、径方向の変位量及び前記計測点の計測角度を記憶する記憶部と、最確円芯ずれデータを演算する演算部を備え、演算部は全ての計測点から径方向の変位量及び計測角度から任意の３点を選択して計算円値を算出し、計算円値と径方向の変位量との差を誤差量として算出して誤差量合計値を導出し、誤差量合計値の中から最小となる計算円を最確円に選定し、最確円の中心とタービンロータの回転中心とのずれを最確円芯ずれデータとして算出する芯ずれ演算手段と、最大芯ずれ量が基準値内か否かを判定する芯ずれ判定手段と、最確円芯ずれデータから軸曲がり分布を算出する軸曲がり分布算出手段から構成する。 （もっと読む）